JP4647068B2

JP4647068B2 - Cutting equipment

Info

Publication number: JP4647068B2
Application number: JP2000257665A
Authority: JP
Inventors: 直樹大宮; 洋平菅野
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2000-08-28
Filing date: 2000-08-28
Publication date: 2011-03-09
Anticipated expiration: 2020-08-28
Also published as: JP2002066869A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を切削する切削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４に示す切削装置２０は、チャックテーブル２１において保持した被加工物を切削手段２２を用いて切削する装置であり、チャックテーブル２１は支持基台２３によって回転可能に支持され、更に支持基台２３は送り手段２４によってＸ軸方向に移動可能に支持されている。
【０００３】
ここで、送り手段２４は、切削方向であるＸ軸方向に配設されたＸ軸ガイドレール２５と、Ｘ軸ガイドレール２５に摺動可能に支持されたＸ軸移動基台２６と、Ｘ軸移動基台２６に形成されたナット部（図示せず）に螺合するＸ軸ボールネジ２７と、Ｘ軸ボールネジ２７を回転駆動するＸ軸パルスモータ２８とから構成されており、チャックテーブル２１を回転可能に支持する支持基台２３はＸ軸移動基台２６に固定されている。
【０００４】
切削手段２２は、Ｙ軸方向に配設されたスピンドルハウジング２９と、スピンドルハウジング２９によって回転可能に支持されたスピンドル３０と、スピンドル３０に装着された回転ブレード３１と、回転ブレード３１の両側において回転ブレード３１を挟むようにして配設された切削水供給ノズル３２とから構成され、Ｚ軸スライダー３３によって切り込み方向であるＺ軸方向に移動可能に支持されており、更にこのＺ軸スライダー３３は、Ｙ軸スライダー３４によって割り出し方向であるＹ軸方向に移動可能に支持されている。
【０００５】
Ｚ軸スライダー３３は、壁部３５の側面においてＺ軸方向に配設されたＺ軸ガイドレール３６と、切削手段２２を支持すると共にＺ軸ガイドレール３６に摺動可能に支持された昇降部３７と、Ｚ軸方向に配設されて昇降部３７に形成されたナット部（図示せず）に螺合するＺ軸ボールネジ（図示せず）と、Ｚ軸ボールネジを回転駆動するＺ軸パルスモータ３８とから構成され、Ｚ軸パルスモータ３８の駆動によりＺ軸ボールネジが回転して昇降部３７がＺ軸方向に昇降する構成となっている。
【０００６】
一方、Ｙ軸スライダー３４は、Ｙ軸方向に配設されたＹ軸ガイドレール３９と、Ｙ軸ガイドレール３９に摺動可能に支持され壁部３５と一体形成されたＹ軸移動基台４０と、Ｙ軸移動基台４０に形成されたナット部（図示せず）に螺合するＹ軸ボールネジ４１と、Ｙ軸ボールネジ４１を回転駆動するＹ軸パルスモータ４２とから構成され、Ｙ軸パルスモータ４２の駆動によってＹ軸ボールネジ４１が回転することにより、Ｙ軸移動基台４０がＹ軸方向に移動する構成となっている。
【０００７】
支持基台２３のＸ軸方向の両端には、伸縮自在なジャバラ布４３、４４が連結されている。このジャバラ布４３、４４は、切削水を受け止めると共にウォーターケース４７に落下させて内周壁４５と外周壁４６との間に切削水を導き、更にその切削水は、排水ドレーン４８を通じて外部に排出される。
【０００８】
各ジャバラ布の端部の取り付けフレーム４９ａ、５０ａと装置の固定壁とをネジ止めによって固定すると共に、支持基台２３と取り付けフレーム４９ｂ、５０ｂとをネジ止めによって固定することによって、開口部５１がジャバラ布４３、４４によって上方から覆われ、これによって装置内部に切削水が侵入するのを防止している。また、ジャバラ布４３の中間部には下部にローラー５２を備えたガイドプレート５４が取り付けられ、ジャバラ布４４の中間部には下部にローラー５３を備えたガイドプレート５５が取り付けられ、ジャバラ布４３、４４の中央部が垂下しないように支持している。
【０００９】
例えば半導体ウェーハＷを切削する場合は、保持テープＴを介してフレームＦに保持されたウェーハＷがチャックテーブル２１に保持される。そして、切削手段２２がＹ軸方向に移動することにより、半導体ウェーハＷの表面に複数形成されたストリートのうち、切削しようとするストリートと切削ブレード３１とのＹ軸方向の位置合わせがなされ、チャックテーブル２１が＋Ｘ方向に移動し、更に切削手段２２が下降し、切削水供給ノズル３２から切削水を供給すると共に高速回転する切削ブレード３１が＋Ｘ方向に移動する半導体ウェーハＷのストリートに切り込み、当該ストリートが切削される。
【００１０】
また、チャックテーブル２１のＸ軸方向の往復運動と共に切削手段２２をＹ軸方向にストリート間隔ずつ割り出し送りしながらストリートを順次切削していくことにより、同方向のストリートがすべて切削され、更にチャックテーブル２１を９０度回転させてから上記と同様の切削を行うと、すべてのストリートが縦横に切削され、個々のチップに分割される。
【００１１】
このようにして行われる切削の際は、支持基台２３のＸ軸方向の移動に伴ってジャバラ布４３、４４が伸縮することによって開口部５１は常にジャバラ布４３、４４によって覆われているため、開口部５１から装置内部に切削水が侵入するのが防止されている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、切削装置２０によって切削される被加工物は、半導体ウェーハ、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ガラス基板等の硬質材料からなるものであるため、これらを切削することによって鋭利な刃物のような端材が形成され、この端材が回転ブレード３１の回転によってジャバラ布４３、４４の上部に飛散することがある。この場合は、ジャバラ布４３，４４の伸縮に伴い端材がジャバラ布４３，４４に食い込んで孔を開け、この孔から装置内部に切削水が侵入してしまうという問題を引き起こす。
【００１３】
従って、硬質材料の切削によって端材が飛散したとしても、ジャバラ布に孔を開けないようにして装置内部に切削水が侵入するのを防止することに課題を有している。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための具体的手段として本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら回転ブレードによって切削を遂行する切削手段と、チャックテーブルを切削方向に往復移動させる送り手段と、一端部がチャックテーブルを支持する支持基台に固定されると共に他端部が装置の固定壁に固定されて切削方向に伸縮自在に配設されたジャバラ布と、ジャバラ布が受け止めた切削水を排水するウォーターケースとを少なくとも備えた切削装置であって、ジャバラ布の上部は保護シートによって覆われ、ジャバラ布の伸縮に伴って保護シートを巻き取りまたは送り出す保護シート巻き取り及び送り出し手段が配設されている切削装置を提供する。
【００１５】
そしてこの切削装置は、保護シート巻き取り及び送り出し手段は、保護シートを巻き取る巻き取り部と、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部と、ブラシ部を保護シートに接触させる付勢部とから構成されて装置の固定壁に装着され、保護シートの一端側は巻き取り部に巻回され、他端側はチャックテーブルを支持する支持基台に固定されること、保護シートは、ポリエステルで形成され巻き癖が付けられており、保護シート巻き取り及び送り出し手段の巻き取り部に巻回されていること、保護シート巻き取り及び送り出し手段には、保護シートを、ジャバラ布に接触させない位置に位置付けるガイドローラーが配設されていること、保護シートは、ジャバラ布の上部を覆うように配設され、保護シート巻き取り及び送り出し手段は、該保護シートの位置に対応して該ジャバラ布の伸縮に伴って該保護シートを巻き取りまたは送り出すことで該保護シードが常にジャバラ布を上方から覆うことができる位置に配設されることを付加的要件とする。
【００１６】
このように構成される切削装置においては、ジャバラ布の上部が保護シートによって覆われているため、切削によって生じて飛散した端材がジャバラ布の上部に落下することがない。
【００１７】
また、保護シートは、保護シート巻き取り及び送り出し手段によってジャバラ布の伸縮に伴って巻き取られまたは送り出されるため、切削時のチャックテーブルの切削方向の移動が妨げられることがない。
【００１８】
更に、保護シート巻き取り及び送り出し手段には、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部が配設されているため、保護シートに端材が付着していたとしても、巻き取り部によって巻き取られた際にブラシ部によってその端材は除去され、保護シートといっしょに端材が巻き取られることによって保護シートの裏側に端材が付着し、保護シートが送り出された際にその端材もいっしょに送り出されてジャバラ布上に落下するということがない。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の一例について図１〜図３を参照して説明する。なお、図４に示した従来例と同様に構成される部位については同一の符号を付し、その説明は省略することとする。
【００２０】
図１に示す切削装置１０は、本発明の実施の形態の一例を示したもので、ジャバラ布４３、４４の上部を覆う保護シート１１を設け、それに対応して保護シート巻き取り／送り出し手段１２を配設した点が図４に示した切削装置２０とは異なっている。
【００２１】
この保護シート１１は、一端が支持基台２３に固定され、ジャバラ布４３の伸縮に伴って、保護シート巻き取り／送り出し手段１２によって巻き取られ、または、送り出されることによって、常にジャバラ布４３を上方から覆っている構成となっている。
【００２２】
図２に示すように、保護シート１１の一端には、支持基台２３に固定するための固定部１６が設けられており、ネジ穴１６ａ、１６ｂ、１６ｃにおいてネジ止めによって支持基台２３に設けられたネジ穴に固定される。
【００２３】
図２に示すように、保護シート巻き取り／送り出し手段１２には、保護シート１１を巻き取る巻き取り部１３と、保護シート１１に付着した端材を除去するブラシ部１４と、ブラシ部１４をおもり１５ａの回転しようとする力で保護シート１１に接触させる付勢部１５とを備えている。
【００２４】
保護シート巻き取り／送り出し手段１２には、少なくとも２以上のガイドローラー１７が設けられ、図３に示すように、保護シート１１がガイドローラー１７によって一定の高さに保たれ、ジャバラ布４３に接触しない位置に位置付けられている。
【００２５】
保護シート巻き取り／送り出し手段１２は、取り付け部１８をウォーターケース４７を構成する装置内部の固定壁である内周壁４５の外側に密着させ、ボルト孔１８ａを介してボルトによって固定し、チャックテーブル２１を支持する支持基台２３がＸ軸方向に移動した場合にも常にジャバラ布４３は上方から保護シート１１によって覆われる構成となっている。
【００２６】
保護シート１１は、例えばポリエステルによって形成され、巻き取り部１３に巻かれた状態において一定の温度で加熱処理を行う等によって巻き癖がつけられた状態となっている。
【００２７】
チャックテーブル２１に保持された被加工物を切削する際は、チャックテーブル２１を支持する支持基台２３がＸ軸方向に往復運動する。また切削時は図１に示した切削水供給ノズル３２から切削水が切削部位に供給されると共に、硬質部材からなる被加工物を回転ブレード３１により切削することによって生じた端材が飛散する。
【００２８】
しかし、保護シート１１には巻き癖がつけられているため、支持基台２３が＋Ｘ方向に移動することによってジャバラ布４３が収縮した場合には保護シート巻き取り／送り出し手段１２によって保護シート１１が巻き取られ、保護シート１１は緊張状態でジャバラ布４３を上方から覆ったままの状態を維持することができる。
【００２９】
一方、支持基台２３が−Ｘ方向に移動することによってジャバラ布４３が伸張した場合には固定部１６が支持基台２３と共に−Ｘ方向に移動するが、保護シート１１には巻き癖がついているため、保護シート１１はこの場合も緊張状態でジャバラ布４３を上方から覆ったままの状態を維持することができる。
【００３０】
即ち、切削時も常に保護シート１１によってジャバラ布４３が上方から覆われた状態となっており、切削により生じた端材が飛散しても保護シートによってジャバラ布４３が保護されているため、ジャバラ布４３に孔が開くことがない。従って、切削水が装置内部に侵入することがない。
【００３１】
また、保護シート１１はジャバラ布のように伸縮するものではないため、保護シート１１に端材が付着したとしてもその端材が保護シート１１に食い込むことはない。
【００３２】
更に、保護シート１１に端材が付着していたとしても、巻き取り部１３によって巻き取られた際にブラシ部１５によってその端材を除去することができるため、保護シートといっしょに端材も巻き取られることによって保護シートの裏側に端材が付着し、保護シートが送り出された際にその端材もいっしょに送り出されてジャバラ布上に落下するという問題も生じない。
【００３３】
なお、本実施の形態において、ジャバラ布４３のみを保護シート１１によって覆うようにしたのは、回転ブレード３１の回転方向に起因して端材がジャバラ布４３の方向に飛散する場合を想定したからであり、端材がジャバラ布４４の方向に飛散する場合には、ジャバラ布４４を覆うように保護シートを設けてもよい。また、ジャバラ布４３及びジャバラ布４４の双方に端材が飛散するおそれがあるときは、双方を覆う保護シートを設けるようにすることもできる。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る切削装置においては、ジャバラ布の上部が保護シートによって覆われており、切削によって生じて飛散した端材がジャバラ布の上部には落下しないため、ジャバラ布に孔が開いて切削水が装置内部に侵入することがなくなる。
【００３５】
また、保護シートは、保護シート巻き取り／送り出し手段によってジャバラ布の伸縮に伴って巻き取られまたは送り出されるため、切削時のチャックテーブルの切削方向の移動が妨げられることがなく、切削に支障が生じない。
【００３６】
更に、保護シート巻き取り／送り出し手段には、保護シートに付着した端材を除去するブラシ部が配設されているため、保護シートに端材が付着していたとしても、巻き取り部によって巻き取られる際にブラシ部によってその端材は除去され、保護シートといっしょに端材が巻き取られることによって保護シートの裏側に端材が付着し、保護シートが送り出された際にその端材もいっしょに送り出されてジャバラ布上に落下するという問題が生じない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る切削装置を示す斜視図である。
【図２】同切削装置を構成する保護シート巻き取り／送り出し手段を示す斜視図である。
【図３】同保護シート巻き取り／送り出し手段が装着された状態を示す正面図である。
【図４】従来の切削装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
１０…切削装置１１…保護シート
１２…保護シート巻き取り／送り出し手段
１３…巻き取り部１４…ブラシ部１５…付勢部
１６…固定部１６ａ、１６ｂ、１６ｃ…ネジ穴
１７…ガイドローラー１８…取り付け部
１８ａ…ボルト孔
２０…切削装置２１…チャックテーブル
２２…切削手段２３…支持基台２４…送り手段
２５…Ｘ軸ガイドレール２６…Ｘ軸移動基台
２７…Ｘ軸ボールネジ２８…Ｘ軸パルスモータ
２９…スピンドルハウジング３０…スピンドル
３１…回転ブレード３２…切削水供給ノズル
３３…Ｚ軸スライダー３４…Ｙ軸スライダー
３５…壁部３６…Ｚ軸ガイドレール３７…昇降部
３８…Ｚ軸パルスモータ３９…Ｙ軸ガイドレール
４０…Ｙ軸移動基台４１…Ｙ軸ボールネジ
４２…Ｙ軸パルスモータ４３，４４…ジャバラ布
４５…内周壁４６…外周壁４７…ウォーターケース
４８…排水ドレーン
４９ａ、４９ｂ、５０ａ、５０ｂ…取り付けフレーム
５１…開口部５２、５３…ローラー
５４、５５…ガイドプレート[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a cutting apparatus for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer.
[0002]
[Prior art]
A cutting apparatus 20 shown in FIG. 4 is an apparatus that uses a cutting means 22 to cut a workpiece held on a chuck table 21. The chuck table 21 is rotatably supported by a support base 23, and further a support base. 23 is supported by the feeding means 24 so as to be movable in the X-axis direction.
[0003]
Here, the feeding means 24 includes an X-axis guide rail 25 disposed in the X-axis direction that is a cutting direction, an X-axis moving base 26 that is slidably supported on the X-axis guide rail 25, and an X-axis An X-axis ball screw 27 screwed into a nut portion (not shown) formed on the movable base 26 and an X-axis pulse motor 28 that rotates the X-axis ball screw 27 are configured to rotate the chuck table 21. The support base 23 that supports the base is fixed to the X-axis movement base 26.
[0004]
The cutting means 22 rotates on both sides of the spindle housing 29 disposed in the Y-axis direction, a spindle 30 rotatably supported by the spindle housing 29, a rotating blade 31 mounted on the spindle 30, and the rotating blade 31. The cutting water supply nozzle 32 is disposed so as to sandwich the blade 31, and is supported by a Z-axis slider 33 so as to be movable in the Z-axis direction, which is the cutting direction. The slider 34 is supported so as to be movable in the Y-axis direction that is the indexing direction.
[0005]
The Z-axis slider 33 includes a Z-axis guide rail 36 disposed in the Z-axis direction on the side surface of the wall 35, and an elevating part 37 that supports the cutting means 22 and is slidably supported by the Z-axis guide rail 36. A Z-axis ball screw (not shown) that is disposed in the Z-axis direction and is screwed into a nut portion (not shown) formed in the elevating part 37, and a Z-axis pulse motor 38 that rotationally drives the Z-axis ball screw. The Z-axis ball motor rotates by driving of the Z-axis pulse motor 38, and the elevating part 37 moves up and down in the Z-axis direction.
[0006]
On the other hand, the Y-axis slider 34 includes a Y-axis guide rail 39 disposed in the Y-axis direction, and a Y-axis moving base 40 that is slidably supported by the Y-axis guide rail 39 and integrally formed with the wall portion 35. The Y-axis pulse motor includes a Y-axis ball screw 41 that is screwed into a nut portion (not shown) formed on the Y-axis moving base 40, and a Y-axis pulse motor 42 that rotationally drives the Y-axis ball screw 41. When the Y-axis ball screw 41 is rotated by driving 42, the Y-axis movement base 40 is configured to move in the Y-axis direction.
[0007]
Stretchable bellows cloths 43 and 44 are connected to both ends of the support base 23 in the X-axis direction. The bellows cloths 43 and 44 receive the cutting water and drop it onto the water case 47 to guide the cutting water between the inner peripheral wall 45 and the outer peripheral wall 46, and the cutting water is discharged to the outside through the drainage drain 48. The
[0008]
The fixing frame 49a, 50a at the end of each bellows cloth and the fixing wall of the apparatus are fixed by screwing, and the support base 23 and the mounting frames 49b, 50b are fixed by screwing, whereby the opening 51 is formed. Covered from above by bellows cloths 43 and 44, this prevents cutting water from entering the apparatus. Further, a guide plate 54 having a roller 52 at the lower part is attached to the middle part of the bellows cloth 43, and a guide plate 55 having a roller 53 to the lower part is attached to the middle part of the bellows cloth 44. It supports so that the center part of 44 may not hang down.
[0009]
For example, when cutting the semiconductor wafer W, the wafer W held on the frame F via the holding tape T is held on the chuck table 21. Then, by moving the cutting means 22 in the Y-axis direction, among the streets formed on the surface of the semiconductor wafer W, the street to be cut and the cutting blade 31 are aligned in the Y-axis direction. The table 21 is moved in the + X direction, the cutting means 22 is further lowered, the cutting water 31 is supplied from the cutting water supply nozzle 32, and the cutting blade 31 that rotates at high speed cuts into the street of the semiconductor wafer W moving in the + X direction. The street is cut.
[0010]
Further, the streets are sequentially cut while the cutting means 22 is indexed and fed in the Y-axis direction at intervals of streets along with the reciprocating motion of the chuck table 21 in the X-axis direction, whereby all streets in the same direction are cut. When the same cutting as described above is performed after rotating 21 by 90 degrees, all the streets are cut vertically and horizontally and divided into individual chips.
[0011]
When cutting is performed in this manner, the opening 51 is always covered with the bellows cloths 43 and 44 by the expansion and contraction of the bellows cloths 43 and 44 as the support base 23 moves in the X-axis direction. The cutting water is prevented from entering the inside of the apparatus through the opening 51.
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the workpiece to be cut by the cutting apparatus 20 is made of a hard material such as a semiconductor wafer, a CSP (Chip Size Package) substrate, or a glass substrate, it is like a sharp blade by cutting them. An end material is formed, and the end material may be scattered on the upper portions of the bellows cloths 43 and 44 by the rotation of the rotary blade 31. In this case, with the expansion and contraction of the bellows cloths 43 and 44, the end material bites into the bellows cloths 43 and 44 to open holes, and causes a problem that cutting water enters the inside of the apparatus from the holes.
[0013]
Therefore, even if the end material is scattered by cutting the hard material, there is a problem in preventing cutting water from entering the apparatus without opening a hole in the bellows cloth.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
As specific means for solving the above-described problems, the present invention provides a chuck table for holding a workpiece and a cutting means for performing cutting with a rotating blade while supplying cutting water to the workpiece held on the chuck table. And a feed means for reciprocating the chuck table in the cutting direction, and one end fixed to the support base supporting the chuck table and the other end fixed to the fixed wall of the apparatus so as to be extendable in the cutting direction. A cutting device comprising at least a bellows cloth provided and a water case for draining cutting water received by the bellows cloth, the upper part of the bellows cloth being covered with a protection sheet, and the protection sheet as the bellows cloth expands and contracts Provided is a cutting device in which a protective sheet winding and feeding means for winding or feeding is disposed.
[0015]
In this cutting apparatus, the protective sheet winding and delivery means includes a winding unit that winds up the protective sheet, a brush unit that removes the end material adhering to the protective sheet, and an urging unit that brings the brush unit into contact with the protective sheet. The protective sheet is attached to the fixed wall of the apparatus, one end side of the protective sheet is wound around the winding portion, the other end side is fixed to the support base that supports the chuck table, and the protective sheet is made of polyester. in is assigned a formed winding habit, that is wound around the winding portion of the protective sheet winding and delivery means, the protective sheet winding and delivery means, a protective sheet, not in contact with the bellows fabric position the guide roller positioned at is disposed, the protective sheet is disposed to cover the top of the bellows cloth, protective sheet winding and feeding means Adding to be disposed at a position capable of covering a constantly bellows cloth the protective seed from above by winding or feeding the protective sheet with the expansion and contraction of the bellows cloth so as to correspond to the position of the protective sheet It is a necessary requirement.
[0016]
In the cutting apparatus configured as described above, since the upper part of the bellows cloth is covered with the protective sheet, the end material scattered and scattered by the cutting does not fall onto the upper part of the bellows cloth.
[0017]
Further, since the protective sheet is wound or sent out by the protective sheet winding and feeding means along with the expansion and contraction of the bellows cloth, movement of the chuck table in the cutting direction during cutting is not hindered.
[0018]
Further, since the protective sheet winding and delivery means is provided with a brush portion for removing the end material attached to the protective sheet, even if the end material is attached to the protective sheet, the winding portion is used to wind the protective sheet. The scrap is removed by the brush part when it is taken, and the scrap is attached to the back side of the protective sheet by winding the scrap together with the protective sheet, and the scrap when the protective sheet is sent out. They are not sent together and fall on the bellows cloth.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An example of an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the site | part comprised similarly to the prior art example shown in FIG. 4, the same code | symbol is attached | subjected and the description shall be abbreviate | omitted.
[0020]
A cutting apparatus 10 shown in FIG. 1 shows an example of an embodiment of the present invention. A protective sheet 11 covering the upper portions of the bellows cloths 43 and 44 is provided, and the protective sheet winding / feeding means 12 is provided correspondingly. Is different from the cutting apparatus 20 shown in FIG.
[0021]
The protective sheet 11 is fixed to the support base 23 at one end, and is wound or sent out by the protective sheet take-up / feed-out means 12 as the bellows cloth 43 expands and contracts. It is configured to cover from above.
[0022]
As shown in FIG. 2, a fixing portion 16 for fixing to the support base 23 is provided at one end of the protective sheet 11, and provided on the support base 23 by screwing in screw holes 16a, 16b, and 16c. It is fixed to the screw hole.
[0023]
As shown in FIG. 2, the protective sheet take-up / feed-out means 12 includes a winding unit 13 that winds up the protective sheet 11, a brush unit 14 that removes scraps attached to the protective sheet 11, and a brush unit 14. An urging portion 15 that is brought into contact with the protective sheet 11 with a force of the weight 15a to rotate is provided.
[0024]
At least two or more guide rollers 17 are provided in the protective sheet take-up / feed-out means 12, and the protective sheet 11 is maintained at a certain height by the guide rollers 17 and contacts the bellows cloth 43 as shown in FIG. It is positioned in a position that does not.
[0025]
The protective sheet take-up / feed-out means 12 brings the attachment portion 18 into close contact with the outside of the inner peripheral wall 45 that is a fixing wall inside the apparatus constituting the water case 47, and is fixed by a bolt through the bolt hole 18a. The bellows cloth 43 is always covered with the protective sheet 11 from above even when the support base 23 that supports the base plate 23 moves in the X-axis direction.
[0026]
The protective sheet 11 is made of polyester, for example, and is in a state in which curled creases are applied by performing a heat treatment at a constant temperature in a state where the protective sheet 11 is wound around the winding portion 13.
[0027]
When cutting the workpiece held on the chuck table 21, the support base 23 supporting the chuck table 21 reciprocates in the X-axis direction. Further, at the time of cutting, cutting water is supplied from the cutting water supply nozzle 32 shown in FIG. 1 to the cutting site, and the end material generated by cutting the workpiece made of a hard member with the rotating blade 31 is scattered.
[0028]
However, since the protective sheet 11 is provided with a curl, if the bellows cloth 43 contracts due to the support base 23 moving in the + X direction, the protective sheet 11 is taken up by the protective sheet take-up / feed-out means 12. The protective sheet 11 is wound up and can maintain a state in which the bellows cloth 43 is covered from above in a tension state.
[0029]
On the other hand, when the bellows cloth 43 is extended by the movement of the support base 23 in the −X direction, the fixing portion 16 moves in the −X direction together with the support base 23, but the protective sheet 11 has curl. Therefore, the protective sheet 11 can maintain the state which covered the bellows cloth 43 from the upper part in the tension state also in this case.
[0030]
That is, the bellows cloth 43 is always covered from above by the protective sheet 11 even during cutting, and the bellows cloth 43 is protected by the protective sheet even if the end material generated by cutting is scattered. There is no opening in the cloth 43. Therefore, the cutting water does not enter the apparatus.
[0031]
Further, since the protective sheet 11 does not expand and contract like a bellows cloth, even if the end material adheres to the protective sheet 11, the end material does not bite into the protective sheet 11.
[0032]
Furthermore, even if the end material adheres to the protective sheet 11, the end material can be removed by the brush portion 15 when the end material is taken up by the winding unit 13. The end material adheres to the back side of the protective sheet by being wound up, and when the protective sheet is sent out, the end material is also sent out together and falls onto the bellows cloth.
[0033]
In the present embodiment, only the bellows cloth 43 is covered with the protective sheet 11 because it is assumed that the end material is scattered in the direction of the bellows cloth 43 due to the rotation direction of the rotary blade 31. When the end material scatters in the direction of the bellows cloth 44, a protective sheet may be provided so as to cover the bellows cloth 44. Moreover, when there is a possibility that the end material is scattered on both the bellows cloth 43 and the bellows cloth 44, a protective sheet covering both of them may be provided.
[0034]
【The invention's effect】
As described above, in the cutting device according to the present invention, the upper part of the bellows cloth is covered with the protective sheet, and the scrap material generated by cutting does not fall on the upper part of the bellows cloth. A hole is opened and cutting water does not enter the inside of the apparatus.
[0035]
In addition, since the protective sheet is wound or sent by the protective sheet winding / feeding means along with the expansion and contraction of the bellows cloth, the movement of the chuck table in the cutting direction during cutting is not hindered, and the cutting is hindered. Does not occur.
[0036]
Further, since the protective sheet winding / feeding means is provided with a brush portion for removing the end material adhering to the protective sheet, even if the end material adheres to the protective sheet, it is wound by the winding unit. The end material is removed by the brush part when it is taken, and the end material adheres to the back side of the protective sheet by winding the end material together with the protective sheet, and when the protective sheet is sent out, the end material also becomes There is no problem of being sent together and falling onto the bellows cloth.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a cutting apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a protective sheet take-up / feed-out means constituting the cutting apparatus.
FIG. 3 is a front view showing a state in which the protective sheet winding / feeding means is mounted.
FIG. 4 is a perspective view showing a conventional cutting apparatus.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Cutting device 11 ... Protection sheet 12 ... Protection sheet winding / delivery means 13 ... Winding part 14 ... Brush part 15 ... Energizing part 16 ... Fixing part 16a, 16b, 16c ... Screw hole 17 ... Guide roller 18 ... Installation Part 18a ... Bolt hole 20 ... Cutting device 21 ... Chuck table 22 ... Cutting means 23 ... Supporting base 24 ... Feeding means 25 ... X-axis guide rail 26 ... X-axis moving base 27 ... X-axis ball screw 28 ... X-axis pulse motor DESCRIPTION OF SYMBOLS 29 ... Spindle housing 30 ... Spindle 31 ... Rotating blade 32 ... Cutting water supply nozzle 33 ... Z-axis slider 34 ... Y-axis slider 35 ... Wall part 36 ... Z-axis guide rail 37 ... Lifting part 38 ... Z-axis pulse motor 39 ... Y Axis guide rail 40 ... Y-axis moving base 41 ... Y-axis ball screw 42 ... Y-axis pulse motor 43, 44 ... Bellows 45 ... inner circumferential wall 46 ... outer circumferential wall 47 ... Water case 48 ... drainage drain 49a, 49b, 50a, 50b ... mounting frame 51 ... opening 52, 53 ... Roller, 55 ... guide plate

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら回転ブレードによって切削を遂行する切削手段と、該チャックテーブルを切削方向に往復移動させる送り手段と、一端部が該チャックテーブルを支持する支持基台に固定されると共に他端部が装置の固定壁に固定されて切削方向に伸縮自在に配設されたジャバラ布と、該ジャバラ布が受け止めた切削水を排水するウォーターケースとを少なくとも備えた切削装置であって、
該ジャバラ布の上部は保護シートによって覆われ、該ジャバラ布の伸縮に伴って該保護シートを巻き取りまたは送り出す保護シート巻き取り及び送り出し手段が配設されている切削装置。A chuck table for holding a workpiece, a cutting means for performing cutting with a rotating blade while supplying cutting water to the workpiece held on the chuck table, and a feeding means for reciprocating the chuck table in the cutting direction A bellows cloth having one end fixed to a support base that supports the chuck table and the other end fixed to a fixed wall of the apparatus and arranged to be stretchable in a cutting direction, and the bellows cloth A cutting device comprising at least a water case for draining the cutting water,
A cutting apparatus in which an upper portion of the bellows cloth is covered with a protective sheet, and protective sheet winding and feeding means for winding or feeding the protective sheet along with expansion and contraction of the bellows cloth is provided.

保護シート巻き取り及び送り出し手段は、保護シートを巻き取る巻き取り部と、該保護シートに付着した端材を除去するブラシ部と、該ブラシ部を保護シートに接触させる付勢部とから構成されて装置の固定壁に装着され、
該保護シートの一端側は該巻き取り部に巻回され、他端側はチャックテーブルを支持する支持基台に固定される
請求項１に記載の切削装置。The protective sheet winding and feeding means is composed of a winding part for winding the protective sheet, a brush part for removing the end material adhering to the protective sheet, and a biasing part for bringing the brush part into contact with the protective sheet. Attached to the fixed wall of the device
The cutting apparatus according to claim 1, wherein one end side of the protective sheet is wound around the winding portion, and the other end side is fixed to a support base that supports the chuck table.

保護シートは、ポリエステルで形成され巻き癖が付けられており、保護シート巻き取り及び送り出し手段の巻き取り部に巻回されている請求項２に記載の切削装置。The cutting apparatus according to claim 2, wherein the protective sheet is made of polyester and is provided with a winding rod, and is wound around a winding portion of the protective sheet winding and feeding means.

保護シート巻き取り及び送り出し手段には、保護シートを、ジャバラ布に接触させない位置に位置付けるガイドローラーが配設されている請求項３に記載の切削装置。The cutting apparatus according to claim 3, wherein a guide roller for positioning the protective sheet at a position where the protective sheet is not brought into contact with the bellows cloth is disposed in the protective sheet winding and feeding means.

保護シートは、ジャバラ布の上部を覆うように配設され、保護シート巻き取り及び送り出し手段は、該保護シートの位置に対応して該ジャバラ布の伸縮に伴って該保護シートを巻き取りまたは送り出すことで該保護シードが常にジャバラ布を上方から覆うことができる位置に配設される請求項１乃至４に記載の切削装置。The protective sheet is disposed so as to cover the upper part of the bellows cloth, and the protective sheet winding and feeding means winds or sends the protective sheet along with the expansion and contraction of the bellows cloth corresponding to the position of the protective sheet. The cutting device according to any one of claims 1 to 4 , wherein the protective seed is disposed at a position where the bellows cloth can always be covered from above .