JP4640006B2 - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態について、図1〜図9を用いて説明する。図1は、本発明の第1の実施の形態におけるPDPの前面板100の概略構成を示す断面図である。図1において、ガラス板1上にパターニングされた透明導電膜2(ITO薄膜)が形成され、透明導電膜2上にはバス電極となる不透明導電膜3が形成されている。透明導電膜2及び不透明導電膜3上にはこれらを覆うようにフッ素または水を含む第1の誘電体層4が形成され、第1の誘電体層4上にはフッ素と水をともに含まない第2の誘電体層5が形成されている。さらに第2の誘電体層5上には酸化マグネシウム薄膜からなる保護層6が形成されている。
第1の実施の形態では、プラズマCVD装置を用いて、TEOS、He、C2F6、O2ガスを供給しつつ、フッ素化シリコン酸化膜を形成する場合を例示したが、第2の実施の形態では、ガスとしてはTEOS、He、O2ガスを用い、C2F6を用いない例を示す。誘電体層の比誘電率をさほど下げる必要がない場合であれば、第1の誘電体層にフッ素を含有させる必要はない。しかし、従来例で説明したように、第1の誘電体層をCVD法で形成した場合、形成工程で用いるCVD装置の容器内壁にもSiO2などの誘電体膜が付着するため、処理を重ねるとパーティクルとなって剥がれ、第1の誘電体層中に異物が混入して絶縁耐圧などの品質を著しく低下させてしまう。これを防止するには、CVD法による第1の誘電体層の形成後、CVD装置内にフッ素を含むガスプラズマを発生させて、容器内壁に付着した誘電体膜を除去する(クリーニングする)必要がある。しかし、クリーニングする過程でCVD装置の容器内壁にフッ素を含む薄膜が堆積し、第1の誘電体層を形成する過程でフッ素が容器内に飛び出してくるため、誘電体ガラス層にフッ素が混入する。混入したフッ素が保護層中に拡散してくるのを防止するために、フッ素透過性の小さいフッ素と水をともに含まない第2の誘電体層を形成する。その方法としては、第1の実施の形態で述べたのと同様、PVD法が適している。
2 透明導電膜
3 不透明導電膜
4 第1の誘電体層
5 第2の誘電体層
6 保護層
7,27 真空容器
8 下部電極
9 ガラス板
10 上部電極
11 シャワーヘッド
12 上部電極用高周波電源
13 下部電極用高周波電源
15,29 ガス供給装置
16,30 ポンプ
17 昇降弁
18 コイル用高周波電源
19 コイル
20 排気口
21 支柱
22 誘電管
23 高周波電極
24 接地電極
25,33 高周波電源
26 活性粒子流
28 基板ホルダ
31 バッキングプレート
32 シリコン酸化物ターゲット
34 るつぼ
35 蒸着源
36 電子ビーム源
37 電子ビーム
100 (PDPの)前面板
Claims (4)
- 対向配置された前面板と背面板との間に放電ガスを封入したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記前面板を形成する工程が、ガラス板上に電極を形成する工程と、前記ガラス板上と前記電極上とにフッ素を含むガスを用いた化学的気相成長法によりフッ素および水を含む第1の誘電体層を形成する工程と、前記第1の誘電体層上に物理的気相成長法によりフッ素および水を含まない第2の誘電体層を形成する工程と、前記第2の誘電体層上に保護層を形成する工程とからなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記化学的気相成長法がプラズマCVD法であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記フッ素を含むガスが、CxHyFz(x、y、zは正の整数、ただしyはゼロを含む)、SF6またはNF3の少なくとも1つであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記物理的気相成長法がスパッタリング法または電子ビーム蒸着法であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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