JP2002042663A

JP2002042663A - 交流駆動型プラズマ表示装置及びその製造方法

Info

Publication number: JP2002042663A
Application number: JP2000222007A
Authority: JP
Inventors: Kazunao Oniki; 一直鬼木; Shinichiro Shiromizu; 進一郎白水; Hiroshi Mori; 啓森
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2000-07-24
Filing date: 2000-07-24
Publication date: 2002-02-08

Abstract

(57)【要約】【課題】輝度の向上を図るために電荷蓄積量を増加させ
得る構造を有する交流駆動型プラズマ表示装置を提供す
る。【解決手段】交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板１１上に形成された放電維持電極１２、及び、第１の
基板１１と放電維持電極１２の上に形成された誘電体層
１４，１５を備えた第１パネル１０、並びに、第２パネ
ル２０が、それらの外周部で接合されて成り、誘電体層
１４，１５の厚さは１．５×１０^-5ｍ以下である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体層に特徴を
有する交流駆動型プラズマ表示装置及びその製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる
画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の
表示装置が種々検討されている。このような平面型の表
示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロル
ミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置
（ＰＤＰ：プラズマ・ディスプレイ）を例示することが
できる。中でも、プラズマ表示装置は、大画面化や広視
野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振動等の
環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であること
等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公共用の
大型情報端末機器への適用が期待されている。

【０００３】プラズマ表示装置は、希ガスから成る放電
ガスを放電空間内に封入した放電セルに電圧を印加し
て、放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫
外線で放電セル内の蛍光体層を励起することによって発
光を得る表示装置である。つまり、個々の放電セルは蛍
光灯に類似した原理で駆動され、放電セルが、通常、数
十万個のオーダーで集合して１つの表示画面が構成され
ている。プラズマ表示装置は、放電セルへの電圧の印加
方式によって直流駆動型（ＤＣ型）と交流駆動型（ＡＣ
型）とに大別され、それぞれ一長一短を有する。ＡＣ型
プラズマ表示装置は、表示画面内で個々の放電セルを仕
切る役割を果たす隔壁を例えばストライプ状に形成すれ
ばよいので、高精細化に適している。しかも、放電のた
めの電極の表面が誘電体層で覆われているので、かかる
電極が磨耗し難く、長寿命であるといった長所を有す
る。

【０００４】ＡＣ型プラズマ表示装置の典型的な構成例
の一部分の模式的な分解斜視図を、図１に示す。このＡ
Ｃ型プラズマ表示装置は所謂３電極型に属し、一対の放
電維持電極１２の間で放電が生じる。図１に示すＡＣ型
プラズマ表示装置は、フロントパネルに相当する第１パ
ネル１０とリアパネルに相当する第２パネル２０とがそ
れらの外周部で接合されて成る。第２パネル２０上の蛍
光体層２５の発光は、例えば、第１パネル１０を通して
観察される。

【０００５】第１パネル１０は、透明な第１の基板１１
と、第１の基板１１上にストライプ状に設けられ、透明
導電材料から成る複数の一対となった放電維持電極１２
と、放電維持電極１２のインピーダンスを低下させるた
めに放電維持電極１２上に設けられ、放電維持電極１２
よりも電気抵抗率の低い材料から成るバス電極１３と、
バス電極１３及び放電維持電極１２上を含む第１の基板
１１上に形成された誘電体層から構成されている。この
誘電体層は、バス電極１３及び放電維持電極１２上を含
む第１の基板１１上に形成された誘電体材料から成る第
１の誘電体膜１４と、その上に形成されたＭｇＯから成
る第２の誘電体膜１５（保護膜１５とも呼ばれる）との
２層構造を有する。

【０００６】一方、第２パネル２０は、第２の基板２１
と、第２の基板２１上にストライプ状に設けられた複数
のアドレス電極（データ電極とも呼ばれる）２２と、ア
ドレス電極２２上を含む第２の基板２１上に形成された
誘電体材料層２３と、誘電体材料層２３上であって隣り
合うアドレス電極２２の間の領域にアドレス電極２２と
平行に延びる絶縁性の隔壁２４と、誘電体材料層２３上
から隔壁２４の側壁面上に亙って設けられた蛍光体層２
５とから構成されている。蛍光体層２５は、ＡＣ型プラ
ズマ表示装置においてカラー表示を行う場合、赤色蛍光
体層２５Ｒ、緑色蛍光体層２５Ｇ、及び青色蛍光体層２
５Ｂから構成されており、これらの各色の蛍光体層２５
Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂが所定の順序に従って設けられてい
る。図１は一部分解斜視図であり、実際には第２パネル
２０側の隔壁２４の頂部が第１パネル１０側の保護膜１
５に当接している。一対の放電維持電極１２と、２つの
隔壁２４の間に位置するアドレス電極２２とが重複する
領域が、放電セルに相当する。そして、隣り合う隔壁２
４と蛍光体層２５と保護膜１５とによって囲まれた放電
空間内には、放電ガスが封入されている。第１パネル１
０と第２パネル２０とは、それらの外周部において、フ
リットガラスを用いて接合されている。

【０００７】放電維持電極１２の射影像が延びる方向と
アドレス電極２２の射影像が延びる方向とは直交してお
り、一対の放電維持電極１２と、３原色を発光する蛍光
体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂの１組とが重複する領域が
１画素（１ピクセル）に相当する。グロー放電が一対の
放電維持電極１２間で生じることから、このタイプのＡ
Ｃ型プラズマ表示装置は「面放電型」と称される。例え
ば、一対の放電維持電極１２間に電圧を印加する直前
に、例えば、放電セルの放電開始電圧よりも低いパルス
電圧をアドレス電極２２に印加することで、放電セル内
に壁電荷が蓄積され（表示を行う放電セルの選択）、見
掛け上の放電開始電圧が低下する。次いで、一対の放電
維持電極１２の間で開始された放電は、放電開始電圧よ
りも低い電圧にて維持され得る。放電セルにおいては、
放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫外線
の照射によって励起された蛍光体層が、蛍光体材料の種
類に応じた特有の発光色を呈する。尚、封入された放電
ガスの種類に応じた波長を有する真空紫外線が発生す
る。

【０００８】通常、放電空間内に封入されている放電ガ
スは、ネオン（Ｎｅ）ガス、ヘリウム（Ｈｅ）ガス、ア
ルゴン（Ａｒ）ガス等の不活性ガスにキセノン（Ｘｅ）
ガスを４容積％程度混合した混合ガスから構成されてお
り、混合ガスの全圧は６×１０⁴Ｐａ〜７×１０⁴Ｐａ程
度、キセノン（Ｘｅ）ガスの分圧は３×１０³Ｐａ程度
である。また、一対の放電維持電極１２の間の距離は１
００μｍ程度である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】現在商品化されている
ＡＣ型プラズマ表示装置においては、その輝度の低さが
問題となっている。例えば、４２インチ型のＡＣ型プラ
ズマ表示装置の輝度は、高々５００ｃｄ／ｍ²程度であ
る。しかも、実際にＡＣ型プラズマ表示装置を商品化す
るにあたっては、例えば、第１パネル１０の外面に電磁
波遮蔽や外光反射防止のためのシートやフィルムを張り
合わせる必要があり、ＡＣ型プラズマ表示装置における
実際の表示光はかなり暗くなってしまう。

【００１０】ＡＣ型プラズマ表示装置における第１パネ
ル１０には、例えば、低融点ガラスペーストといった誘
電体材料から成る第１の誘電体膜１４から構成された誘
電体層が設けられている。第１の誘電体膜１４は、通
常、スクリーン印刷法にて形成される。ＡＣ型プラズマ
表示装置の駆動においては、この第１の誘電体膜１４に
電荷を蓄積させ、放電維持電極に逆向きの電圧を印加す
ることで蓄積された電荷を放出させ、プラズマを発生さ
せる。輝度は、このプラズマから発生する真空紫外線の
量に依存している。それ故、輝度を向上させるためには
第１の誘電体膜１４に出来るだけ多くの電荷を蓄積させ
る必要がある。

【００１１】従って、本発明の目的は、輝度の向上を図
るために電荷蓄積量を増加させ得る構造を有る交流駆動
型プラズマ表示装置及びその製造方法を提供することに
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の第１の態様に係る交流駆動型プラズマ表示
装置は、第１の基板上に形成された放電維持電極、及
び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電体
層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それら
の外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装置
であって、誘電体層の厚さは１．５×１０^-5ｍ以下、好
ましくは１．０×１０^-5ｍ以下であることを特徴とす
る。

【００１３】本発明の第１の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置において、誘電体層の厚さの下限値は、例
えば、５×１０^-7ｍ、好ましくは１×１０^-6ｍとするこ
とが望ましい。尚、誘電体層を、単層構成としてもよい
し、多層構成としてもよい。

【００１４】本発明の第１の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置においては、従来の交流駆動型プラズマ表
示装置における誘電体層の膜厚（通常、２．５×１０^-5
ｍ程度）と比較して、充分に薄い誘電体層が形成されて
いるので、誘電体層の容量を大きくすることができる。
その結果、駆動電圧の低減を図ることができると共に、
電荷蓄積量を増加させることができるので、交流駆動型
プラズマ表示装置の輝度の向上、駆動電力の低減を図る
ことができる。

【００１５】上記の目的を達成するための本発明の第２
の態様に係る交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放
電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネ
ル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合され
て成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、該誘電体
層は、少なくとも、酸化アルミニウム層から成ることを
特徴とする。

【００１６】本発明の第２の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置における誘電体層は、酸化アルミニウム層
から構成された第１の誘電体膜と、第１の誘電体膜の上
に形成された第２の誘電体膜との２層構造とすることも
できるし、酸化アルミニウム層の単層構造とすることも
できる。第２の誘電体膜を構成する材料として、酸化マ
グネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（Ｍｇ
Ｆ₂）、フッ化カルシウム（ＣａＦ₂）を例示することが
できるが、中でも酸化マグネシウムは、２次電子放出比
が高い上に、スパッタリング率が低く、蛍光体層の発光
波長における光透過率が高く、放電開始電圧が低い等の
特色を有する好適な材料である。尚、第２の誘電体膜
を、これらの材料から成る群から選択された少なくとも
２種類の材料から構成された積層膜構造としてもよい。
以下に説明する各種の本発明の交流駆動型プラズマ表示
装置における第２の誘電体膜も、上述の材料から構成す
ることができる。

【００１７】上記の目的を達成するための本発明の第３
の態様に係る交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放
電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネ
ル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合され
て成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、該誘電体
層は、少なくとも、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層
との積層構造から成ることを特徴とする。

【００１８】本発明の第３の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置においては、下から、酸化アルミニウム
層、酸化ケイ素層の順に積層されていてもよいし、酸化
ケイ素層、酸化アルミニウム層の順に積層されていても
よい。酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層とが交互に複
数積層されていてもよい。この場合、積層数は偶数であ
ってもよいし、奇数であってもよい。更には、誘電体層
を、酸化アルミニウム層と酸化ケイ素層との積層構造か
ら構成された第１の誘電体膜と、第１の誘電体膜の上に
形成された第２の誘電体膜との多層構造とすることもで
きる。このように、誘電体層を酸化アルミニウム層と酸
化ケイ素層との積層構造から構成することによって、誘
電体層内の応力を緩和し、誘電体層にクラックが生じる
ことを防止することができる。

【００１９】上記の目的を達成するための本発明の第４
の態様に係る交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放
電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネ
ル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合され
て成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、該誘電体
層は、少なくとも、酸化ケイ素層から成ることを特徴と
する。

【００２０】本発明の第４の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置においては、酸化ケイ素層から構成された
第１の誘電体膜と、第１の誘電体膜の上に形成された第
２の誘電体膜との２層構造とすることもできる。

【００２１】上記の目的を達成するための本発明の第５
の態様に係る交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放
電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネ
ル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合され
て成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、該誘電体
層は、少なくとも、ダイヤモンドライクカーボン層、窒
化ホウ素（ボロンナイトライド）層、若しくは、酸化ク
ロム（ＩＩＩ）層から成ることを特徴とする。

【００２２】本発明の第５の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置においては、ダイヤモンドライクカーボン
層、窒化ホウ素層、若しくは、酸化クロム（ＩＩＩ）層
から構成された第１の誘電体膜と、第１の誘電体膜の上
に形成された第２の誘電体膜との２層構造とすることも
できる。

【００２３】上記の目的を達成するための本発明の第６
の態様に係る交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放
電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネ
ル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合され
て成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、該誘電体
層は、少なくとも、ダイヤモンドライクカーボン層、窒
化ホウ素層、若しくは、酸化クロム（ＩＩＩ）層と、酸
化ケイ素層、若しくは、酸化アルミニウム層との積層構
造から成ることを特徴とする。

【００２４】本発明の第６の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置における誘電体層の構造として、下から
「Ａ」層、「Ｂ」層の２層構造、「Ａ」層、「Ｂ」層、
「Ａ」層の３層構造、「Ａ」層、「Ｂ」層、「Ａ」層、
「Ｂ」層・・・の多層構造を挙げることができる。ここ
で、「Ａ」層が、ダイヤモンドライクカーボン層、窒化
ホウ素層、若しくは、酸化クロム（ＩＩＩ）層である場
合には、「Ｂ」層は酸化ケイ素層若しくは酸化アルミニ
ウム層あるいは酸化ケイ素層と酸化アルミニウム層の積
層構造である。この場合、「Ａ」層が２層以上であると
きには、各「Ａ」層を構成する層は同種の層であって
も、異種の層であってもよいし、「Ｂ」層が２層以上で
あるときには、各「Ｂ」層を構成する層は同種の層であ
っても、異種の層であってもよい。また、「Ａ」層が、
酸化ケイ素層若しくは酸化アルミニウム層あるいは酸化
ケイ素層と酸化アルミニウム層の積層構造である場合に
は、「Ｂ」層は、ダイヤモンドライクカーボン層、窒化
ホウ素層、若しくは、酸化クロム（ＩＩＩ）層である。
この場合、「Ａ」層が２層以上であるときには、各
「Ａ」層を構成する層は同種の層であっても、異種の層
であってもよいし、「Ｂ」層が２層以上であるときに
は、各「Ｂ」層を構成する層は同種の層であっても、異
種の層であってもよい。このように、酸化ケイ素層若し
くは酸化アルミニウム層あるいは酸化ケイ素層と酸化ア
ルミニウム層の積層構造を誘電体層の構成要素とするこ
とによって、誘電体層内の応力を緩和し、誘電体層にク
ラックが生じることを防止することができる。

【００２５】本発明の第６の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置においては、上記の積層構造から構成され
た第１の誘電体膜と、第１の誘電体膜の上に形成された
第２の誘電体膜との多層構造とすることもできる。

【００２６】上記の目的を達成するための本発明の第７
の態様に係る交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放
電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネ
ル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合され
て成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、該誘電体
層は、ダイヤモンドライクカーボン層、窒化ホウ素層、
及び、酸化クロム（ＩＩＩ）層から成る群から選択され
た少なくとも２層から成ることを特徴とする。

【００２７】本発明の第７の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置における誘電体層の構造として、下から
「Ａ」層、「Ｂ」層の２層構造、「Ａ」層、「Ｂ」層、
「Ｃ」層の３層構造、「Ａ」層、「Ｂ」層、「Ｃ」層、
「Ｄ」層・・・の多層構造を挙げることができる。ここ
で、ダイヤモンドライクカーボン層、窒化ホウ素層、及
び酸化クロム（ＩＩＩ）層を、便宜上、材料層と呼ぶ。
隣接する材料層（例えば、「Ａ」層と「Ｂ」層）を構成
する材料は異なっている。隣接していない材料層（例え
ば、「Ａ」層と「Ｃ」層）を構成する材料は異なってい
てもよいし、同じであってもよい。

【００２８】本発明の第７の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置において、誘電体層は、更に、酸化ケイ素
層、酸化アルミニウム層、若しくは、酸化ケイ素層と酸
化アルミニウム層の積層構造を備えている構成とするこ
ともできる。上述の例において、例えば酸化ケイ素層を
更に備えている場合、下から、酸化ケイ素層、「Ａ」
層、「Ｂ」層の３層構造、「Ａ」層、酸化ケイ素層、
「Ｂ」層の３層構造、「Ａ」層、「Ｂ」層、酸化ケイ素
層の３層構造を挙げることができる。「Ａ」層、「Ｂ」
層、「Ｃ」層の３層構造、や、「Ａ」層、「Ｂ」層、
「Ｃ」層、「Ｄ」層・・・の多層構造においては、少な
くとも１層の酸化ケイ素層をいずれかの材料層の間に挿
入するか、酸化ケイ素層を最下層若しくは最上層に配置
すればよい。このように、酸化ケイ素層や、酸化アルミ
ニウム層、酸化ケイ素層と酸化アルミニウム層の積層構
造を誘電体層の構成要素とすることによって、誘電体層
内の応力を緩和し、誘電体層にクラックが生じることを
防止することができる。

【００２９】本発明の第７の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置においては、上記の積層構造から構成され
た第１の誘電体膜と、第１の誘電体膜の上に形成された
第２の誘電体膜との多層構造とすることもできる。

【００３０】本発明の第２の態様〜第７の態様に係る交
流駆動型プラズマ表示装置において、誘電体層の厚さ
は、１．５×１０^-5ｍ以下、好ましくは１．０×１０^-5
ｍ以下であることが望ましい。誘電体層の厚さの下限値
は、例えば、５×１０^-7ｍ、好ましくは１×１０^-6ｍと
することが望ましい。尚、誘電体層を第１の誘電体膜及
び第２の誘電体膜から構成する場合には、誘電体層の厚
さは、第１の誘電体膜の膜厚と第２の誘電体膜の膜厚の
合計値である。誘電体層を、第１の誘電体膜と第２の誘
電体膜とから構成する場合、第２の誘電体膜の膜厚は、
１×１０^-6ｍ乃至１×１０^-5ｍとすることが望ましい。
このように、誘電体層の厚さを規定することによって、
誘電体層の容量を大きくすることができる結果、駆動電
圧の低減を図ることができると共に、電荷蓄積量を増加
させることができるので、交流駆動型プラズマ表示装置
の輝度の向上、駆動電力の低減を図ることができる。

【００３１】また、本発明の第１の態様〜第７の態様に
係る交流駆動型プラズマ表示装置においては、第１パネ
ルに形成された放電維持電極は一対で作動する構成とす
ることができる。一対の放電維持電極の間の距離は、所
定の放電電圧において必要なグロー放電が生じる限りに
おいて本質的には任意であるが、一対の放電維持電極の
間の間隔は５×１０^-5ｍ未満、好ましくは５．０×１０
^-5ｍ未満、一層好ましくは２×１０^-5ｍ以下であること
が望ましい。尚、一対の放電維持電極の間の距離が１×
１０^-4ｍ程度以下の場合、誘電体層の膜厚が厚すぎる
と、誘電体層内での放電破壊が生じ、誘電体層における
電荷の蓄積が困難となる場合がある。本発明の第１の態
様に係る交流駆動型プラズマ表示装置においては、誘電
体層の厚さを従来よりも薄くしているので、また、本発
明の第２の態様〜第７の態様に係る交流駆動型プラズマ
表示装置においては、誘電体層の厚さを従来よりも薄く
することによって、即ち、誘電体層の厚さを１．５×１
０^-5ｍ以下、望ましくは１．０×１０^-5ｍ以下とするこ
とによって、このような現象の発生を確実に抑制するこ
とができる。

【００３２】本発明の第２の態様〜第７の態様に係る交
流駆動型プラズマ表示装置においては、誘電体層を比較
的大きな比誘電率を有する材料から構成することによっ
て（例えば、スパッタ法にて形成された酸化アルミニウ
ム層の比誘電率は９〜１０である）、誘電体層の容量を
大きくすることができる。その結果、電荷蓄積量を増加
させることができるので、交流駆動型プラズマ表示装置
の輝度の向上、駆動電力の低減を図ることができる。

【００３３】上記の目的を達成するための本発明の第１
の態様に係る交流駆動型プラズマ表示装置の製造方法
は、第１の基板上に形成された放電維持電極、及び、第
１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電体層を備
えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それらの外周
部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装置の製造
方法であって、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレー
ティング法といった各種の物理的気相成長法（ＰＶＤ
法）、若しくは、化学的気相成長法（ＣＶＤ法）に基づ
き、厚さ１．５×１０^-5ｍ以下、好ましくは１．０×１
０^-5ｍ以下の誘電体層を第１の基板及び放電維持電極上
に形成する工程を含むことを特徴とする。このように、
ＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法やＣＶＤ（Che
mical Vapor Deposition）法を採用することによって、
薄く、しかも、均一な膜厚を有する誘電体層を形成する
ことができる。

【００３４】ここで、ＰＶＤ法として、より具体的に
は、誘電体層を構成する材料にも依存するが、（ａ）電子ビーム加熱法、抵抗加熱法、フラッシュ蒸着
等の各種真空蒸着法（ｂ）プラズマ蒸着法（ｃ）２極スパッタ法、直流スパッタ法、直流マグネト
ロンスパッタ法、高周波スパッタ法、マグネトロンスパ
ッタ法、イオンビームスパッタ法、バイアススパッタ法
等の各種スパッタ法（ｄ）ＤＣ(direct current)法、ＲＦ法、多陰極法、活
性化反応法、電界蒸着法、高周波イオンプレーティング
法、反応性イオンプレーティング法等の各種イオンプレ
ーティング法を挙げることができる。

【００３５】また、ＣＶＤ法として、誘電体層を構成す
る材料にも依存するが、常圧ＣＶＤ法（ＡＰＣＶＤ
法）、減圧ＣＶＤ法（ＬＰＣＶＤ法）、低温ＣＶＤ法、
高温ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法（ＰＣＶＤ法，ＰＥＣ
ＶＤ法）、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法、ＭＯ
ＣＶＤ法を例示することができる。

【００３６】上記の目的を達成するための本発明の第２
の態様に係る交流駆動型プラズマ表示装置の製造方法
は、第１の基板上に形成された放電維持電極、及び、第
１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電体層を備
えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それらの外周
部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装置の製造
方法であって、誘電体材料を含む溶液に基づき、厚さ
１．５×１０^-5ｍ以下、好ましくは１．０×１０^-5ｍ以
下の誘電体層を第１の基板及び放電維持電極上に形成す
ることを特徴とする。

【００３７】本発明の第２の態様に係る交流駆動型プラ
ズマ表示装置の製造方法においては、誘電体材料を含む
溶液を、スピンコーティング法に基づき、第１の基板及
び放電維持電極上に塗布する工程を含む構成とすること
ができる。あるいは又、誘電体材料を含む溶液（ペース
ト状を含む）を、スクリーン印刷法に基づき、第１の基
板及び放電維持電極上に形成する工程を含む構成とする
ことができる。尚、誘電体材料を含む溶液として、水ガ
ラス、ガラス粉の懸濁液を例示することができる。誘電
体層を構成する材料にも依存するが、誘電体材料を含む
溶液の塗布後、乾燥、焼成を経ることによって誘電体層
を得ることができる。

【００３８】ここで、水ガラスとして、日本工業規格
（ＪＩＳ）Ｋ１４０８に規定される１号乃至４号、又は
これらの同等品を使用することができる。１号乃至４号
は、水ガラスの構成成分である酸化ナトリウム（Ｎａ₂
Ｏ）１モルに対する酸化珪素（ＳｉＯ₂）のモル数（約
２〜４モル）の違いに基づく４段階の等級であり、それ
ぞれ粘度が大きく異なる。従って、水ガラスを使用する
際には、スクリーン印刷法に適した粘度を有する最適な
等級の水ガラスを選択するか、又は、これらの等級と同
等の水ガラスを調製して使用することが好ましい。尚、
水ガラスにおける溶媒として、水、アルコール等の有機
溶媒を挙げることができる。また、スクリーン印刷法に
適した粘度とするために、分散助剤や界面活性剤を添加
することが望ましい。

【００３９】本発明の各種態様における交流駆動型プラ
ズマ表示装置においては、誘電体層を設けることによっ
て、イオンや電子と放電維持電極との直接接触を防止す
ることができる結果、放電維持電極の磨耗を防ぐことが
できる。誘電体層は、壁電荷を蓄積する機能だけでな
く、過剰な放電電流を制限する抵抗体としての機能、放
電状態を維持するメモリ機能を有する。

【００４０】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にお
いては、一対の放電維持電極の一方を第１パネルに形成
し、他方を第２パネルに形成する構成とすることができ
る。尚、このような構成の交流駆動型プラズマ表示装置
を、便宜上、２電極型と呼ぶ。この場合、一方の放電維
持電極の射影像は第１の方向に延び、他方の放電維持電
極の射影像は、第１の方向とは異なる第２の方向に延
び、一対の放電維持電極が対面するごとく対向して配置
されている。あるいは又、一対の放電維持電極を第１パ
ネルに形成し、所謂アドレス電極を第２パネルに形成す
る構成とすることもできる。尚、このような構成の交流
駆動型プラズマ表示装置を、便宜上、３電極型と呼ぶ。
この場合、一対の放電維持電極の射影像は互いに平行に
第１の方向に延び、アドレス電極の射影像は第２の方向
に延び、一対の放電維持電極とアドレス電極とが対面す
るごとく対向して配置されている構成とすることができ
るが、かかる構成に限定するものではない。これらの場
合、第１の方向と第２の方向とは、交流駆動型プラズマ
表示装置の構造の簡素化の観点から、直交していること
が好ましい。

【００４１】本発明の第１の態様〜第７の態様に係る交
流駆動型プラズマ表示装置においては、第１パネルに設
けられた一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャ
ップ形状を直線状としてもよいし、一対の放電維持電極
の対向する縁部の間のギャップ形状を、放電維持電極の
幅方向に屈曲したパターン若しくは湾曲したパターンと
することもでき、これによって、放電に寄与する放電維
持電極の部分の面積の増加を図ることができる。

【００４２】例えば、３電極型の交流駆動型プラズマ表
示装置を例にとり、以下、本発明の交流駆動型プラズマ
表示装置の説明を行うが、２電極型の交流駆動型プラズ
マ表示装置にあっては、必要に応じて、以下の説明にお
ける「アドレス電極」を「他方の放電維持電極」と読み
替えればよい。

【００４３】放電維持電極を構成する導電性材料は、交
流駆動型プラズマ表示装置が透過型であるか、反射型で
あるかによって異なる。透過型の交流駆動型プラズマ表
示装置では、蛍光体層の発光は第２の基板を通して観察
されるので、放電維持電極を構成する導電性材料に関し
て透明／不透明の別は問わないが、アドレス電極を第２
の基板上に設けるので、アドレス電極は透明である必要
がある。一方、反射型の交流駆動型プラズマ表示装置で
は、蛍光体層の発光は第１の基板を通して観察されるの
で、アドレス電極を構成する導電性材料に関して透明／
不透明の別は問わないが、放電維持電極を構成する導電
性材料は透明である必要がある。尚、ここで述べる透明
／不透明とは、蛍光体材料に固有の発光波長（可視光
域）における導電性材料の光透過性に基づく。即ち、蛍
光体層から射出される光に対して透明であれば、放電維
持電極やアドレス電極を構成する導電性材料は透明であ
ると云える。不透明な導電性材料として、Ｎｉ、Ａｌ、
Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｐｄ／Ａｇ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｂ
ａ、ＬａＢ₆、Ｃａ_0.2Ｌａ_0.8ＣｒＯ₃等の材料を単独又
は適宜組み合わせて用いることができる。透明な導電性
材料として、ＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）やＳｎＯ
₂を挙げることができる。放電維持電極やアドレス電極
は、スパッタ法や、蒸着法、スクリーン印刷法、サンド
ブラスト法、メッキ法、リフトオフ法等によって形成す
ることができる。

【００４４】放電維持電極に加えて、放電維持電極全体
のインピーダンスを低下させるために、放電維持電極に
接して、放電維持電極よりも電気抵抗率の低い材料から
成るバス電極が設けられている構成とすることもでき
る。バス電極は、典型的には、金属材料、例えば、Ａ
ｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｃｒ／Ｃｕ
／Ｃｒ積層膜から構成することができる。かかる金属材
料から成るバス電極は、反射型の交流駆動型プラズマ表
示装置においては、蛍光体層から放射されて第１の基板
を通過する可視光の透過光量を低減させ、表示画面の輝
度を低下させる要因となり得るので、放電維持電極全体
に要求される電気抵抗値が得られる範囲内で出来る限り
細く形成することが好ましい。バス電極は、スパッタ法
や、蒸着法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、メ
ッキ法、リフトオフ法等によって形成することができ
る。

【００４５】誘電体層を構成する材料は、反射型の交流
駆動型プラズマ表示装置においては、蛍光体層の発光が
第１の基板を通して観察されるので、透明であることが
要求される。

【００４６】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にお
いて、第１パネルを構成する第１の基板及び第２パネル
を構成する第２の基板の構成材料として、高歪点ガラ
ス、ソーダガラス（Ｎａ₂Ｏ・ＣａＯ・ＳｉＯ₂）、硼珪
酸ガラス（Ｎａ₂Ｏ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂）、フォルステラ
イト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）、鉛ガラス（Ｎａ₂Ｏ・Ｐｂ
Ｏ・ＳｉＯ₂）を例示することができる。第１の基板と
第２の基板の構成材料は、同じであっても異なっていて
もよい。

【００４７】蛍光体層は、例えば、赤色を発光する蛍光
体材料、緑色を発光する蛍光体材料及び青色を発光する
蛍光体材料から成る群から選択された蛍光体材料から構
成され、アドレス電極の上方に設けられている。交流駆
動型プラズマ表示装置がカラー表示の場合、具体的に
は、例えば、赤色を発光する蛍光体材料から構成された
蛍光体層（赤色蛍光体層）がアドレス電極の上方に設け
られ、緑色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体
層（緑色蛍光体層）が別のアドレス電極の上方に設けら
れ、青色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体層
（青色蛍光体層）が更に別のアドレス電極の上方に設け
られており、これらの３原色を発光する蛍光体層が１組
となり、所定の順序に従って設けられている。そして、
一対の放電維持電極とこれらの３原色を発光する１組の
蛍光体層が重複する領域が、１画素に相当する。赤色蛍
光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層は、ストライプ
状に形成されていてもよいし、格子状に形成されていて
もよい。更には、放電維持電極とアドレス電極とが重複
する領域にのみ、蛍光体層を形成してもよい。

【００４８】蛍光体層を構成する蛍光体材料としては、
従来公知の蛍光体材料の中から、量子効率が高く、真空
紫外線に対する飽和が少ない蛍光体材料を適宜選択して
用いることができる。カラー表示を想定した場合、色純
度がＮＴＳＣで規定される３原色に近く、３原色を混合
した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、３原色の
残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合わせるこ
とが好ましい。真空紫外線の照射により赤色に発光する
蛍光体材料として、（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＹＢＯ₃Ｅ
ｕ）、（ＹＶＯ₄：Ｅｕ）、（Ｙ_0.96Ｐ_0.60Ｖ_0.40Ｏ₄：
Ｅｕ_0.04）、［（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ］、（ＧｄＢ
Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＳｃＢＯ₃：Ｅｕ）、（３．５ＭｇＯ・
０．５ＭｇＦ₂・ＧｅＯ₂：Ｍｎ）を例示することができ
る。真空紫外線の照射により緑色に発光する蛍光体材料
として、（ＺｎＳｉＯ₂：Ｍｎ）、（ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：
Ｍｎ）、（ＢａＭｇ₂Ａｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｍｎ）、（ＭｇＧａ₂
Ｏ₄：Ｍｎ）、（ＹＢＯ₃：Ｔｂ）、（ＬｕＢＯ₃：Ｔ
ｂ）、（Ｓｒ₄Ｓｉ₃Ｏ₈Ｃｌ₄：Ｅｕ）を例示することが
できる。真空紫外線の照射により青色に発光する蛍光体
材料として、（Ｙ₂ＳｉＯ₅：Ｃｅ）、（ＣａＷＯ₄：Ｐ
ｂ）、ＣａＷＯ₄、ＹＰ_0. ₈₅Ｖ_0.15Ｏ₄、（ＢａＭｇＡｌ
₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ）、（Ｓｒ₂Ｐ₂Ｏ₇：Ｅｕ）、（Ｓｒ ₂Ｐ₂
Ｏ₇：Ｓｎ）を例示することができる。蛍光体層の形成
方法として、厚膜印刷法、蛍光体粒子をスプレーする方
法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物質を付けて
おき、蛍光体粒子を付着させる方法、感光性の蛍光体ペ
ーストを使用し、露光及び現像によって蛍光体層をパタ
ーニングする方法、全面に蛍光体層を形成した後に不要
部をサンドブラスト法により除去する方法を挙げること
ができる。

【００４９】尚、蛍光体層はアドレス電極の上に直接形
成されていてもよいし、アドレス電極上から隔壁の側壁
面上に亙って形成されていてもよい。あるいは又、蛍光
体層は、アドレス電極上に設けられた誘電体材料層上に
形成されていてもよいし、アドレス電極上に設けられた
誘電体材料層上から隔壁の側壁面上に亙って形成されて
いてもよい。更には、蛍光体層は、隔壁の側壁面上にの
み形成されていてもよい。誘電体材料層の構成材料とし
て、低融点ガラスや酸化ケイ素を挙げることができ、ス
クリーン印刷法やスパッタ法、真空蒸着法等に基づき形
成することができる。場合によっては、蛍光体層や隔壁
の表面に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネ
シウム（ＭｇＦ₂）、フッ化カルシウム（ＣａＦ₂）等か
ら成る保護層を形成してもよい。

【００５０】第２の基板には、アドレス電極と平行に延
びる隔壁（リブ）が形成されていることが好ましい。
尚、隔壁（リブ）はミアンダ構造を有していてもよい。
誘電体材料層が第２の基板及びアドレス電極上に形成さ
れている場合には、隔壁は誘電体材料層上に形成されて
いる場合もある。隔壁の構成材料として、従来公知の絶
縁材料を使用することができ、例えば広く用いられてい
る低融点ガラスにアルミナ等の金属酸化物を混合した材
料を用いることができる。隔壁の形成方法として、スク
リーン印刷法、サンドブラスト形成法、ドライフィルム
法、感光法を例示することができる。ここで、スクリー
ン印刷法とは、隔壁を形成すべき部分に対応するスクリ
ーンの部分に開口部が形成されており、スクリーン上の
隔壁形成用材料をスキージを用いて開口部を通過させ、
第２の基板上若しくは誘電体材料層上（以下、これらを
総称して、第２の基板等上と呼ぶ）に隔壁形成用材料層
を形成した後、かかる隔壁形成用材料層を焼成する方法
である。ドライフィルム法とは、第２の基板等上に感光
性フィルムをラミネートし、露光及び現像によって隔壁
形成予定部位の感光性フィルムを除去し、除去によって
生じた開口部に隔壁形成用の材料を埋め込み、焼成する
方法である。感光性フィルムは焼成によって燃焼、除去
され、開口部に埋め込まれた隔壁形成用の材料が残り、
隔壁となる。感光法とは、第２の基板等上に感光性を有
する隔壁形成用の材料層を形成し、露光及び現像によっ
てこの材料層をパターニングした後、焼成を行う方法で
ある。サンドブラスト形成法とは、例えば、スクリーン
印刷やロールコーター、ドクターブレード、ノズル吐出
式コーター等を用いて隔壁形成用材料層を第２の基板等
上に形成し、乾燥させた後、隔壁を形成すべき隔壁形成
用材料層の部分をマスク層で被覆し、次いで、露出した
隔壁形成用材料層の部分をサンドブラスト法によって除
去する方法である。尚、隔壁を黒くすることにより、所
謂ブラック・マトリックスを形成し、表示画面の高コン
トラスト化を図ることができる。隔壁を黒くする方法と
して、黒色に着色されたカラーレジスト材料を用いて隔
壁を形成する方法を例示することができる。

【００５１】第２の基板上に形成された一対の隔壁と、
一対の隔壁によって囲まれた領域内を占める放電維持電
極とアドレス電極、蛍光体層（例えば、赤色蛍光体層、
緑色蛍光体層及び青色蛍光体層のいずれか１つの蛍光体
層）によって１つの放電セルが構成される。そして、か
かる放電セル内、より具体的には、隔壁によって囲まれ
た放電空間内に混合ガスから成る放電ガスが封入されて
おり、蛍光体層は、放電空間内の放電ガス中で生じた交
流グロー放電に基づき発生した真空紫外線に照射されて
発光する。

【００５２】本発明の第１の態様〜第７の態様に係る交
流駆動型プラズマ表示装置においては、放電空間に封入
された希ガスの圧力は、１×１０²Ｐａ乃至５×１０⁵Ｐ
ａ、好ましくは１×１０³Ｐａ乃至４×１０⁵Ｐａとする
こともできる。尚、一対の放電維持電極の間隔を５×１
０^-5ｍ未満とする場合には、放電空間内における希ガス
の圧力を１×１０²Ｐａ以上３×１０⁵Ｐａ以下、好まし
くは１×１０³Ｐａ以上２×１０⁵Ｐａ以下、更に好まし
くは１×１０⁴Ｐａ以上１×１０⁵Ｐａ以下とすることが
望ましく、このような圧力範囲とすることによって、希
ガス中で発生した真空紫外線に照射されて蛍光体層が発
光するし、このような圧力範囲内では、圧力が高いほど
交流駆動型プラズマ表示装置を構成する各種部材のスパ
ッタリング率が低減する結果、交流駆動型プラズマ表示
装置を長寿命化することができる。ここで、放電空間に
封入される希ガスには、以下の〜が要求される。
尚、希ガスとして、Ｈｅ（共鳴線の波長＝５８．４ｎ
ｍ）、Ｎｅ（同７４．４ｎｍ）、Ａｒ（同１０７ｎ
ｍ）、Ｋｒ（同１２４ｎｍ）、Ｘｅ（同１４７ｎｍ）を
単独で用いるか、又は混合して用いることが可能である
が、ペニング効果による放電開始電圧の低下が期待でき
る混合ガスが特に有用である。かかる混合ガスとして
は、Ｎｅ−Ａｒ混合ガス、Ｈｅ−Ｘｅ混合ガス、Ｎｅ−
Ｘｅ混合ガス、Ｈｅ−Ｋｒ混合ガス、Ｎｅ−Ｋｒ混合ガ
ス、Ｘｅ−Ｋｒ混合ガスを挙げることができる。特に、
希ガスの中でも最も長い共鳴線波長を有するＸｅは、分
子線の波長１７２ｎｍにも強い真空紫外線を放射するの
で、好適な希ガスである。

【００５３】交流駆動型プラズマ表示装置の長寿命
化の観点から、化学的に安定であり、且つ、ガス圧力を
高く設定し得ること表示画面の高輝度化の観点から、真空紫外線の放射
強度が大きいこと真空紫外線から可視光線へのエネルギー変換効率を
高める観点から、放射される真空紫外線の波長が長いこ
と消費電力低減の観点から、放電開始電圧の低いこと

【００５４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、発明の実
施の形態（以下、実施の形態と略称する）に基づき本発
明を説明する。

【００５５】（実施の形態１）実施の形態１は、本発明
の第１の態様及び第４の態様に係るプラズマ表示装置に
関する。実施の形態１のプラズマ表示装置は、誘電体層
の厚さが１．５×１０ ^-5ｍ以下であることを特徴とす
る。誘電体層を、酸化ケイ素（ＳｉＯ_X）から成る第１
の誘電体膜と、その上に形成されたＭｇＯから成る第２
の誘電体膜とから構成した。そして、図１に示した構造
を有する３電極型の、本発明の第１の態様に係るプラズ
マ表示装置を、以下に説明する方法にて作製した。

【００５６】第１パネル１０を以下の方法で作製した。
先ず、高歪点ガラスやソーダガラスから成る第１の基板
１１の全面に例えばスパッタ法によりＩＴＯ層を形成
し、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により
ＩＴＯ層をストライプ状にパターニングすることによっ
て、一対の放電維持電極１２を、複数、形成した。放電
維持電極１２は第１の方向に延びている。次に、全面に
例えば蒸着法によりアルミニウム膜、銅膜等を形成し、
フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によりアル
ミニウム膜、銅膜等をパターニングすることによって、
各放電維持電極１２の縁部に沿ってバス電極１３を形成
した。尚、一対の放電維持電極１２の間の間隔を２×１
０^-5ｍ（２０μｍ）とした。

【００５７】その後、全面に酸化ケイ素から成る第１の
誘電体膜１４を、高周波マグネトロンスパッタ装置を使
用した、以下の表１に例示する条件に基づくスパッタ法
にて形成した。この場合の第１の誘電体膜１４の膜厚を
１μｍ、３μｍ及び６μｍとした。また、全面に主とし
て酸化ケイ素から成る第１の誘電体膜１４をスクリーン
印刷法にて形成した。尚、誘電体材料を含む溶液とし
て、ペーストを使用した。この場合の第１の誘電体膜１
４の膜厚を１０μｍとした。更には、参考のために、全
面に、厚さ２０μｍの酸化ケイ素から成る第１の誘電体
膜１４をスクリーン印刷法にて形成した。

【００５８】［表１］ターゲット：ＳｉＯ₂ プロセスガス：Ａｒ／Ｏ₂＝５００／１００sccm Ａｒガス圧力：５×１０^-1ＰａＲＦパワー：１ｋＷ

【００５９】次いで、第１の誘電体膜１４の上に、電子
ビーム蒸着法により厚さ０．６μｍの酸化マグネシウム
（ＭｇＯ）から成る第２の誘電体膜（保護膜）１５を形
成した。以上の工程により第１パネル１０を完成するこ
とができた。

【００６０】第２パネル２０を以下の方法で作製した。
先ず、高歪点ガラスやソーダガラスから成る第２の基板
２１上に例えばスクリーン印刷法により銀ペーストをス
トライプ状に印刷し、焼成を行うことによって、アドレ
ス電極２２を形成した。アドレス電極２２は、第１の方
向と直交する第２の方向に延びている。次に、スクリー
ン印刷法により全面に低融点ガラスペースト層を形成
し、この低融点ガラスペースト層を焼成することによっ
て誘電体材料層２３を形成した。その後、隣り合うアド
レス電極２２の間の領域の上方の誘電体材料層２３上
に、例えばスクリーン印刷法により低融点ガラスペース
トを印刷し、焼成を行うことによって、隔壁２４を形成
した。尚、隔壁の平均高さを１３０μｍとした。次に、
３原色の蛍光体スラリーを順次印刷し、焼成を行うこと
によって、隔壁２４の間の誘電体材料層２３上から隔壁
２４の側壁面上に亙って、蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２
５Ｂを形成した。以上の工程により第２パネル２０を完
成することができた。

【００６１】次に、プラズマ表示装置の組み立てを行っ
た。即ち、先ず、例えばスクリーン印刷により、第２パ
ネル２０の外周部にフリットガラス層を形成した。次
に、第１パネル１０と第２パネル２０とを貼り合わせ、
焼成してフリットガラス層を硬化させた。その後、第１
パネル１０と第２パネル２０との間に形成された空間を
排気した後、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガスを封入し、かかる空間
を封止し、プラズマ表示装置を完成させた。

【００６２】このようにして作製した試験用のプラズマ
表示装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行っ
た。尚、印加電圧を１５０ボルトとして放電させた。そ
の結果を図２に示す。尚、全面に、厚さ２０μｍの酸化
ケイ素から成る第１の誘電体膜１４をスクリーン印刷法
にて形成することによって得られたプラズマ表示装置の
輝度の測定値を参考値と呼ぶ。

【００６３】輝度測定結果から、誘電体層の厚さを１．
５×１０^-5ｍ（１５μｍ）以下、好ましくは１．０×１
０^-5ｍ（１０μｍ）以下とすることによって、明らかに
輝度の向上が認められた。

【００６４】更には、このようにして作製した試験用の
プラズマ表示装置を用いて、プラズマ表示装置の放電電
圧の測定を行った。その結果を図３に示す。

【００６５】輝度測定結果から、誘電体層の厚さを１．
５×１０^-5ｍ（１５μｍ）以下、好ましくは１．０×１
０^-5ｍ（１０μｍ）以下とすることによって、明らかに
放電電圧の低下が認められた。

【００６６】尚、例えば、ＳｉＨ₄／Ｏ₂を原料ガスと
し、キャリアガスとしてＡｒガスを使用し、堆積温度を
４２０゜Ｃとした減圧ＣＶＤ法により、酸化ケイ素から
成る第１の誘電体膜を形成することもできる。あるいは
又、ターゲットとしてペレット状のＳｉＯ₂を使用し、
プロセスガスとしてＯ₂を使用した電子ビーム加熱法に
より、酸化ケイ素から成る第１の誘電体膜を形成するこ
ともできる。また、蒸着源として、ＳｉＯ₂、ＳｉＯあ
るいはＳｉを使用し、反応性ガスとしてＯ₂を使用した
イオンプレーティング法にて、酸化ケイ素から成る第１
の誘電体膜を形成することもできる。更には、酸化ケイ
素を含む溶液を用いたスピンコート法にて、酸化ケイ素
から成る第１の誘電体膜を形成することもできる。

【００６７】（実施の形態２）実施の形態２も、本発明
の第１の態様及び第４の態様に係るプラズマ表示装置に
関する。実施の形態２においては、一対の放電維持電極
１２の間の間隔を変えて、得られたプラズマ表示装置の
輝度と、一対の放電維持電極１２の間の間隔との関係を
調べた。尚、実施の形態２、あるいは、後に説明する実
施の形態３〜実施の形態７においても、図１に示した構
造を有する３電極型のプラズマ表示装置を作製した。

【００６８】実施の形態２においては、第１パネル１０
を以下の方法で作製した。先ず、バス電極１３の形成ま
でを、実施の形態１と同様の方法で実行した。その後、
実施の形態１と同様にして、全面に、スパッタ法にて厚
さ３μｍの酸化ケイ素から成る第１の誘電体膜１４を形
成した。あるいは又、その後、全面に、スクリーン印刷
法にて厚さ１０μｍの酸化ケイ素から成る第１の誘電体
膜１４を形成した。次いで、第１の誘電体膜１４の上
に、電子ビーム蒸着法により厚さ０．６μｍの酸化マグ
ネシウム（ＭｇＯ）から成る第２の誘電体膜（保護膜）
１５を形成した。以上の工程により第１パネル１０を完
成することができた。第２パネル２０の作製、プラズマ
表示装置の組立は、実施の形態１と同様とした。尚、一
対の放電維持電極１２の間の間隔（ｄ）を、１０μｍ、
２０μｍ、４０μｍ、７０μｍとした。

【００６９】このようにして作製された試験用のプラズ
マ表示装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行
った。尚、印加電圧を実施の形態１と同様とした。その
結果を図４及び図５に示す。

【００７０】図４及び図５からも明らかなように、第１
の誘電体膜の厚さが薄くなる程、プラズマ表示装置の輝
度は向上し、しかも、一対の放電維持電極１２の間の間
隔が狭くなる程、プラズマ表示装置の輝度は向上する。

【００７１】（実施の形態３）実施の形態３は、本発明
の第２の態様に係るプラズマ表示装置に関する。実施の
形態３のプラズマ表示装置において、誘電体層は、酸化
アルミニウム層から構成された第１の誘電体膜と、その
上に形成されたＭｇＯから成る第２の誘電体膜とから成
る。

【００７２】第１パネル１０を以下の方法で作製した。
先ず、バス電極１３の形成までを、実施の形態１と同様
の方法で実行した。その後、全面に、電子ビーム加熱法
に基づき、以下の表２に例示する条件にて酸化アルミニ
ウムから成る第１の誘電体膜１４を形成した。この場合
の第１の誘電体膜１４の膜厚を１μｍ〜２０μｍとし
た。次いで、第１の誘電体膜１４の上に、電子ビーム蒸
着法により厚さ０．６μｍの酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）から成る第２の誘電体膜（保護膜）１５を形成し
た。以上の工程により第１パネル１０を完成することが
できた。第２パネル２０の作製、プラズマ表示装置の組
立は、実施の形態１と同様とした。

【００７３】［表２］蒸着源：Ａｌ₂Ｏ₃ プロセスガス：Ｏ₂ Ｏ₂ガス圧力：１×１０^-2ＰａＲＦパワー：１ｋＷ加熱温度：２００゜Ｃ

【００７４】このようにして作製された試験用のプラズ
マ表示装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行
った。尚、印加電圧を実施の形態１と同様とした。その
結果、第１の誘電体膜１４の膜厚が２０μｍであって
も、プラズマ表示装置は、参考値よりも高い値を示し
た。また、第１の誘電体膜の膜厚が薄い程、高い輝度値
を示し、特に、誘電体層の膜厚が１５μｍ以下のとき、
一層高い輝度値を示した。

【００７５】尚、ターゲットとしてＡｌ₂Ｏ₃やＡｌを使
用し、プロセスガスとしてＯ₂を使用したスパッタ法に
より、酸化アルミニウムから成る第１の誘電体膜を形成
することもできる。また、ゾル−ゲル法にて酸化アルミ
ニウムから成る第１の誘電体膜を形成することもでき
る。

【００７６】（実施の形態４）実施の形態４は、本発明
の第３の態様に係るプラズマ表示装置に関する。実施の
形態４のプラズマ表示装置において、誘電体層は、酸化
アルミニウム層と酸化ケイ素層との積層構造から構成さ
れた第１の誘電体膜と、その上に形成されたＭｇＯから
成る第２の誘電体膜とから成る。

【００７７】第１パネル１０を以下の方法で作製した。
先ず、バス電極１３の形成までを、実施の形態１と同様
の方法で実行した。その後、全面に、電子ビーム加熱法
に基づき、表２に例示した条件にて酸化アルミニウム層
（膜厚３μｍ）を形成した後、実施の形態１にて説明し
たと同様にして酸化ケイ素層（膜厚３μｍ）をその上に
形成した。次いで、第１の誘電体膜１４の上に、電子ビ
ーム蒸着法により厚さ０．６μｍの酸化マグネシウム
（ＭｇＯ）から成る第２の誘電体膜（保護膜）１５を形
成した。以上の工程により第１パネル１０を完成するこ
とができた。第２パネル２０の作製、プラズマ表示装置
の組立は、実施の形態１と同様とした。

【００７８】このようにして作製された試験用のプラズ
マ表示装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行
った。尚、印加電圧を実施の形態１と同様とした。その
結果、実施の形態４のプラズマ表示装置は、参考値より
も高い値を示した。

【００７９】（実施の形態５）実施の形態５は、本発明
の第５の態様に係るプラズマ表示装置に関する。実施の
形態５のプラズマ表示装置において、誘電体層は、ダイ
ヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層から構成された第
１の誘電体膜と、その上に形成されたＭｇＯから成る第
２の誘電体膜とから成る。

【００８０】第１パネル１０を以下の方法で作製した。
先ず、バス電極１３の形成までを、実施の形態１と同様
の方法で実行した。その後、全面に、高周波ＣＶＤ法あ
るいは熱分解ＣＶＤ法にて、例えば、ＣＨ₄といった炭
素を含む原料ガスを使用して、ダイヤモンドライクカー
ボン層（膜厚１〜２０μｍ）を形成した。次いで、第１
の誘電体膜１４の上に、電子ビーム蒸着法により厚さ
０．６μｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から成る第２
の誘電体膜（保護膜）１５を形成した。以上の工程によ
り第１パネル１０を完成することができた。第２パネル
２０の作製、プラズマ表示装置の組立は、実施の形態１
と同様とした。

【００８１】このようにして作製された試験用のプラズ
マ表示装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行
った。尚、印加電圧を実施の形態１と同様とした。その
結果、第１の誘電体膜１４の膜厚が２０μｍであって
も、プラズマ表示装置は、参考値よりも高い値を示し
た。また、第１の誘電体膜の膜厚が薄い程、高い輝度値
を示し、特に、誘電体層の膜厚が１５μｍ以下のとき、
一層高い輝度値を示した。尚、ダイヤモンドライクカー
ボン層の代わりに、窒化ホウ素層、若しくは、酸化クロ
ム（ＩＩＩ）層から第１の誘電体膜を構成したが、同様
の結果を得ることができた。

【００８２】尚、窒化ホウ素から成る第１の誘電体膜の
形成は、反応性ＲＦスパッタ法や高周波ＣＶＤ法にて行
うことができ、あるいは又、窒化ホウ素を含むペースト
をスクリーン印刷した後に焼成する方法、窒化ホウ素を
含む懸濁液に基づきスピンコート法やディッピング法に
よって成膜する方法にて行うこともできる。

【００８３】また、酸化クロム（ＩＩＩ）層から成る第
１の誘電体膜の形成は、酸化クロム（ＩＩＩ）を含むペ
ーストをスクリーン印刷した後に焼成する方法、酸化ク
ロム（ＩＩＩ）を含む懸濁液に基づきスピンコート法や
ディッピング法によって成膜する方法にて行うことがで
きる。あるいは又、ターゲットとして酸化クロム（ＩＩ
Ｉ）を使用し、プロセスガスとしてＡｒガス及びＯ₂ガ
スを使用したＲＦスパッタ法や、高周波ＣＶＤ法にて行
うこともできる。

【００８４】（実施の形態６）実施の形態６は、本発明
の第６の態様に係るプラズマ表示装置に関する。実施の
形態６のプラズマ表示装置において、誘電体層は、ダイ
ヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層と酸化ケイ素層と
の積層構造から構成された第１の誘電体膜と、その上に
形成されたＭｇＯから成る第２の誘電体膜とから成る。

【００８５】第１パネル１０を以下の方法で作製した。
先ず、バス電極１３の形成までを、実施の形態１と同様
の方法で実行した。その後、全面に、ＣＶＤ法にてダイ
ヤモンドライクカーボン層（膜厚１μｍ）を形成し、次
いで、その上にスパッタ法にて酸化ケイ素層（膜厚２μ
ｍ）を形成した。その後、第１の誘電体膜１４の上に、
電子ビーム蒸着法により厚さ０．６μｍの酸化マグネシ
ウム（ＭｇＯ）から成る第２の誘電体膜（保護膜）１５
を形成した。以上の工程により第１パネル１０を完成す
ることができた。第２パネル２０の作製、プラズマ表示
装置の組立は、実施の形態１と同様とした。

【００８６】このようにして作製された試験用のプラズ
マ表示装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行
った。尚、印加電圧を実施の形態１と同様とした。その
結果、実施の形態６のプラズマ表示装置は、参考値より
も高い値を示した。尚、ダイヤモンドライクカーボン層
の代わりに、窒化ホウ素層、若しくは、酸化クロム（Ｉ
ＩＩ）層から第１の誘電体膜を構成したが、同様の結果
を得ることができた。また、酸化ケイ素層を酸化アルミ
ニウム層に置き換えたプラズマ表示装置を作製し、その
輝度測定を行ったところ、参照値よりも高い値を示し
た。更には、酸化ケイ素層を酸化ケイ素層／酸化アルミ
ニウム層の積層構造に置き換えたプラズマ表示装置を作
製し、その輝度測定を行ったところ、参照値よりも高い
値を示した。

【００８７】（実施の形態７）実施の形態７は、本発明
の第７の態様に係るプラズマ表示装置に関する。実施の
形態７のプラズマ表示装置において、誘電体層は、ダイ
ヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層と酸化アルミニウ
ム層との積層構造から構成された第１の誘電体膜と、そ
の上に形成されたＭｇＯから成る第２の誘電体膜とから
成る。

【００８８】第１パネル１０を以下の方法で作製した。
先ず、バス電極１３の形成までを、実施の形態１と同様
の方法で実行した。その後、全面に、ＣＶＤ法にてダイ
ヤモンドライクカーボン層（膜厚１μｍ）を形成し、次
いで、その上にスパッタ法にて酸化アルミニウム層（膜
厚２μｍ）を形成した。その後、第１の誘電体膜１４の
上に、電子ビーム蒸着法により厚さ０．６μｍの酸化マ
グネシウム（ＭｇＯ）から成る第２の誘電体膜（保護
膜）１５を形成した。以上の工程により第１パネル１０
を完成することができた。第２パネル２０の作製、プラ
ズマ表示装置の組立は、実施の形態１と同様とした。

【００８９】このようにして作製された試験用のプラズ
マ表示装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行
った。尚、印加電圧を実施の形態１と同様とした。その
結果、実施の形態７のプラズマ表示装置は、参考値より
も高い値を示した。尚、ダイヤモンドライクカーボン層
の代わりに、窒化ホウ素層、若しくは、酸化クロム（Ｉ
ＩＩ）層から第１の誘電体膜を構成したが、同様の結果
を得ることができた。更には、ダイヤモンドライクカー
ボン層と酸化ケイ素層の積層構造、あるいは又、ダイヤ
モンドライクカーボン層と酸化アルミニウム層と酸化ケ
イ素層の積層構造から第１の誘電体膜を構成したが、同
様の結果を得ることができた。

【００９０】以上、本発明を、実施の形態に基づき説明
したが、本発明はこれらに限定されるものではない。実
施の形態にて説明したプラズマ表示装置の構造や構成、
使用した材料、寸法、製造方法等は例示であり、適宜変
更することができる。実施の形態における誘電体層（第
１の誘電体膜、第２の誘電体膜）の形成方法は例示であ
り、誘電体層を構成する材料に依存し、誘電体層を構成
する材料に最適な形成方法に基づき誘電体層を形成すれ
ばよい。例えば、水ガラス、ガラス粉の懸濁液といった
溶液に基づき、スピンコーティング法やスクリーン印刷
法に基づき、誘電体層を第１の基板及び放電維持電極上
に形成することができる。

【００９１】また、蛍光体層の発光が第２の基板を通し
て観察される透過型のプラズマ表示装置の本発明を適用
することができる。実施の形態においては、平行に延び
る一対の放電維持電極からプラズマ表示装置を構成した
が、その代わりに、一対のバス電極が第１の方向に延
び、一対のバス電極の間で、一方のバス電極から一方の
放電維持電極が他方のバス電極の手前まで、第２の方向
に延び、他方のバス電極から他方の放電維持電極が一方
のバス電極の手前まで、第２の方向に延びる構造とする
こともできる。一対の放電維持電極の内、第１の方向に
延びる一方の放電維持電極を第１の基板に設け、他方の
放電維持電極をアドレス電極と平行に、隔壁の側壁上部
に形成する構造としてもよい。また、本発明の交流駆動
型プラズマ表示装置を２電極型のプラズマ表示装置とし
てもよい。更には、アドレス電極を第１の基板に形成し
てもよい。このような構造の交流駆動型プラズマ表示装
置は、例えば、第１の方向に延びる一対の放電維持電
極、及び、一対の放電維持電極の一方の近傍に、一対の
放電維持電極の一方に沿って設けられたアドレス電極
（但し、一対の放電維持電極の一方に沿ったアドレス電
極の長さを放電セルの第１の方向に沿った長さ以内とす
る）から構成することができる。尚、放電維持電極と短
絡しないように、絶縁層を介して第２の方向に延びるア
ドレス電極用配線を設け、かかるアドレス電極用配線と
アドレス電極とを電気的に接続し、あるいは又、アドレ
ス電極用配線からアドレス電極が延在する構造とする。

【００９２】また、実施の形態においては、一対の放電
維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を直線状と
したが、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャ
ップ形状を、放電維持電極の幅方向に屈曲したパターン
若しくは湾曲したパターン（例えば、「く」の字の組合
せ、「Ｓ」字の組合せや弧の組合せ等、任意の曲線の組
合せ）とすることもできる。このような構成にすること
によって、一対の放電維持電極の対向する縁部の長さを
長くすることができ、放電効率の向上を期することがで
きる。このような構造を有する一対の放電維持電極の模
式的な部分的平面図を、図６の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）
に示す。

【００９３】本発明のプラズマ表示装置の交流グロー放
電動作の一例を説明する。先ず、例えば、全ての一方の
放電維持電極１２に、放電開始電圧Ｖ_bdよりも高いパル
ス電圧を短時間印加する。これによってグロー放電が生
じ、一方の放電維持電極の近傍の誘電体層１４の表面に
誘電分極に起因して壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積し、
見掛けの放電開始電圧が低下する。その後、アドレス電
極２２に電圧を印加しながら、表示をさせない放電セル
に含まれる一方の放電維持電極１２に電圧を印加するこ
とによって、アドレス電極２２と一方の放電維持電極１
２との間にグロー放電を生じさせ、蓄積された壁電荷を
消去する。この消去放電を各アドレス電極２２において
順次実行する。一方、表示をさせる放電セルに含まれる
一方の放電維持電極には電圧を印加しない。これによっ
て、壁電荷の蓄積を維持する。その後、全ての一対の放
電維持電極１２間に所定のパルス電圧を印加することに
よって、壁電荷が蓄積されていたセルにおいては一対の
放電維持電極１２の間でグロー放電が開始し、放電セル
においては、放電空間内における放電ガス中でのグロー
放電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起さ
れた蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光
色を呈する。尚、一方の放電維持電極と他方の放電維持
電極に印加される放電維持電圧の位相は半周期ずれてお
り、放電維持電極の極性は交流の周波数に応じて反転す
る。

【００９４】あるいは又、本発明のプラズマ表示装置の
交流グロー放電動作を、以下のとおりとすることもでき
る。先ず、全画素を初期化するために全画素に対して消
去放電を行い、次いで、放電動作を行う。放電動作は、
初期放電によって誘電体層の表面に壁電荷を発生させる
アドレス期間と、グロー放電を維持する放電維持期間と
に分けて行われる。アドレス期間では、選択された一方
の放電維持電極と選択されたアドレス電極に、放電開始
電圧Ｖ_bdよりも低いパルス電圧を短時間印加する。パル
ス電圧が印加された一方の放電維持電極とアドレス電極
との重複領域が表示画素として選択され、この重複領域
において誘電体層の表面に誘電分極に起因して壁電荷が
発生し、壁電荷が蓄積される。続く放電維持期間では、
対になった放電維持電極にＶ_bdよりも低い放電維持電圧
Ｖ_susを印加する。壁電荷が誘起する壁電圧Ｖ_wと放電維
持電圧Ｖ_susとの和が放電開始電圧Ｖ_bdよりも大きくな
れば（即ち、Ｖ_w＋Ｖ_sus＞Ｖ_bd）、グロー放電が開始さ
れる。一方の放電維持電極と他方の放電維持電極に印加
される放電維持電圧Ｖ_susの位相は半周期ずれており、
放電維持電極の極性は交流の周波数に応じて反転する。

【００９５】

【発明の効果】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置に
おいては、従来の交流駆動型プラズマ表示装置と比較し
て充分に薄い誘電体層が形成されているので、あるいは
又、比誘電率の高い材料から誘電体層が構成されている
ので、誘電体層の容量を大きくすることができる。その
結果、電荷蓄積量を増加させることができ、駆動電力、
即ち、消費電力の低減が可能となるばかりか、交流駆動
型プラズマ表示装置の輝度の向上を図ることができる。
また、酸化アルミニウム層、ダイヤモンドライクカーボ
ン層、窒化ホウ素層、酸化クロム（ＩＩＩ）層は膜密度
が高く、異常放電が生じ難く、放電安定性が向上するの
で、交流駆動型プラズマ表示装置の信頼性が高くなる。
尚、酸化ケイ素層等との積層構造とすれば、誘電体層内
の応力を緩和することができ、誘電体層にクラックが生
じることを防止することができる。

【００９６】しかも、一対の放電維持電極の間の距離を
５×１０^-5ｍ未満、好ましくは５．０×１０^-5ｍ未満、
一層好ましくは２×１０^-5ｍ以下とすれば、駆動電力
を、一対の放電維持電極の間の距離が１００μｍ程度で
ある従来の交流駆動型プラズマ表示装置と比べて、低減
することができる。それ故、交流駆動型プラズマ表示装
置の駆動回路の負担を少なくすることができるばかり
か、放電の安定性も向上する。更には、駆動電力を従来
の交流駆動型プラズマ表示装置と同等若しくは従来に近
い大きさとするときには、本発明の交流駆動型プラズマ
表示装置の発光輝度を高めることができる。一方、従来
と同等の駆動電力とするときには、本発明の交流駆動型
プラズマ表示装置の明るさを高めることができる。しか
も、高精細度、高密度表示を達成でき、あるいは又、蛍
光体層の面積増加に伴う輝度の向上を図ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】３電極型の交流駆動型プラズマ表示装置の一般
的な構成例を概念的に示す一部分解斜視図である。

【図２】実施例１にて作製された試験用のプラズマ表示
装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行った結
果を示すグラフである。

【図３】実施例１にて作製された試験用のプラズマ表示
装置を用いて、プラズマ表示装置の放電電圧の測定を行
った結果を示すグラフである。

【図４】実施例２にて作製された試験用のプラズマ表示
装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行った結
果（但し、第１の誘電体膜の厚さ：３μｍ）を示すグラ
フである。

【図５】実施例２にて作製された試験用のプラズマ表示
装置を用いて、プラズマ表示装置の輝度測定を行った結
果（但し、第１の誘電体膜の厚さ：１０μｍ）を示すグ
ラフである。

【図６】本発明のプラズマ表示装置において、一対の放
電維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を、放電
維持電極の幅方向に屈曲したパターン若しくは湾曲した
パターンとしたときの、一対の放電維持電極の模式的な
部分的平面図である。

【符号の説明】

１０・・・第１パネル、１１・・・第１の基板、１２・
・・放電維持電極、１３・・・バス電極、１４・・・第
１の誘電体膜、１５・・・第２の誘電体膜、２０・・・
第２パネル、２１・・・第２の基板、２２・・・アドレ
ス電極、２３・・・誘電体材料層、２４・・・隔壁、２
５，２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂ・・・蛍光体層

フロントページの続き (72)発明者森啓東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内Ｆターム(参考） 5C027 AA05 AA06 AA07 5C040 FA01 GD01 GD02 GD07 GD09 JA02 JA07 KA03 KA04 KB19 LA10 MA03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の基板上に形成された放電維持電極、
及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電
体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それ
らの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装
置であって、誘電体層の厚さは１．５×１０^-5ｍ以下であることを特
徴とする交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項２】誘電体層の厚さは１．０×１０^-5ｍ以下で
あることを特徴とする請求項１に記載の交流駆動型プラ
ズマ表示装置。
【請求項３】第１の基板上に形成された放電維持電極、
及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電
体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それ
らの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装
置であって、該誘電体層は、少なくとも、酸化アルミニウム層から成
ることを特徴とする交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項４】第１の基板上に形成された放電維持電極、
及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電
体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それ
らの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装
置であって、該誘電体層は、少なくとも、酸化アルミニウム層と酸化
ケイ素層との積層構造から成ることを特徴とする交流駆
動型プラズマ表示装置。
【請求項５】第１の基板上に形成された放電維持電極、
及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電
体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それ
らの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装
置であって、該誘電体層は、少なくとも、酸化ケイ素層
から成ることを特徴とする交流駆動型プラズマ表示装
置。
【請求項６】第１の基板上に形成された放電維持電極、
及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電
体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それ
らの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装
置であって、該誘電体層は、少なくとも、ダイヤモンドライクカーボ
ン層、窒化ホウ素層、若しくは、酸化クロム（ＩＩＩ）
層から成ることを特徴とする交流駆動型プラズマ表示装
置。
【請求項７】第１の基板上に形成された放電維持電極、
及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電
体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それ
らの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装
置であって、該誘電体層は、少なくとも、ダイヤモンドライクカーボ
ン層、窒化ホウ素層、若しくは、酸化クロム（ＩＩＩ）
層と、酸化ケイ素層、若しくは、酸化アルミニウム層と
の積層構造から成ることを特徴とする交流駆動型プラズ
マ表示装置。
【請求項８】第１の基板上に形成された放電維持電極、
及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電
体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それ
らの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装
置であって、該誘電体層は、ダイヤモンドライクカーボン層、窒化ホ
ウ素層、及び、酸化クロム（ＩＩＩ）層から成る群から
選択された少なくとも２層から成ることを特徴とする交
流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項９】前記誘電体層は、更に、酸化ケイ素層、酸
化アルミニウム層、若しくは、酸化ケイ素層と酸化アル
ミニウム層の積層構造を備えていることを特徴とする請
求項８に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項１０】誘電体層の厚さは、１．５×１０^-5ｍ以
下であることを特徴とする請求項３乃至請求項９のいず
れか１項に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項１１】誘電体層の厚さは、１．０×１０^-5ｍ以
下であることを特徴とする請求項１０に記載の交流駆動
型プラズマ表示装置。
【請求項１２】第１パネルに形成された放電維持電極は
一対で作動し、該一対の放電維持電極の間の間隔は５×
１０^-5ｍ未満であることを特徴とする請求項１乃至請求
項１１のいずれか１項に記載の交流駆動型プラズマ表示
装置。
【請求項１３】一対の放電維持電極の間の間隔は２×１
０^-5ｍ以下であることを特徴とする請求項１２に記載の
交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項１４】第１の基板上に形成された放電維持電
極、及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された
誘電体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、
それらの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表
示装置の製造方法であって、スパッタ法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、若
しくは、化学的気相成長法に基づき、厚さ１．５×１０
^-5ｍ以下の誘電体層を第１の基板及び放電維持電極上に
形成する工程を含むことを特徴とする交流駆動型プラズ
マ表示装置の製造方法。
【請求項１５】第１の基板上に形成された放電維持電
極、及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された
誘電体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、
それらの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表
示装置の製造方法であって、誘電体材料を含む溶液に基づき、厚さ１．５×１０^-5ｍ
以下の誘電体層を第１の基板及び放電維持電極上に形成
することを特徴とする交流駆動型プラズマ表示装置の製
造方法。
【請求項１６】誘電体材料を含む溶液を、スピンコーテ
ィング法に基づき、第１の基板及び放電維持電極上に塗
布する工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載の
交流駆動型プラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１７】誘電体材料を含む溶液を、スクリーン印
刷法に基づき、第１の基板及び放電維持電極上に形成す
る工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載の交流
駆動型プラズマ表示装置の製造方法。
【請求項１８】誘電体層の厚さは１．０×１０^-5ｍ以下
であることを特徴とする請求項１４乃至請求項１７のい
ずれか１項に記載の交流駆動型プラズマ表示装置の製造
方法。