JP4636495B2 - 有機el表示装置を製造するための塗布装置 - Google Patents
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Description
すなわち、第1の発明は、有機EL材料または正孔輸送材料の処理液を基板にストライプ状に塗布する塗布装置と、搬送装置と、ベーク装置とを備える基板処理システムである。塗布装置は、基板を載置するステージと、ステージ内に取り付けられて当該ステージを加熱する加熱手段と、ステージに載置された基板を塗布後の搬送に適した温度に加熱するように加熱手段を制御する制御手段と、ステージに載置された基板に対して処理液を流下しストライプ状に塗布する塗布手段とを備えている。搬送装置は、前記塗布装置によって前記処理液が塗布された基板を前記ベーク装置に搬送する。ベーク装置は、前記搬送装置によって搬送されてくる基板にベーク処理を行う。
2 ノズルユニット
3 液受け部
4 ステージ
5 ステージ移動機構部
6 制御部
7 基板
41 ヒーター
42 均熱プレート
43 第1断熱材
44 放熱板
45 第2断熱材
46 ベースプレート
Claims (4)
- 有機EL材料または正孔輸送材料の処理液を基板にストライプ状に塗布する塗布装置と、搬送装置と、ベーク装置とを備える基板処理システムであって、
前記塗布装置は、
前記基板を載置するステージと、
前記ステージ内に取り付けられて当該ステージを加熱する加熱手段と、
前記ステージに載置された前記基板に対して前記処理液を流下しストライプ状に塗布する塗布手段と、
前記ステージに載置され、前記塗布手段により前記処理液が塗布された基板を、塗布後の搬送に適した温度に加熱して、当該基板に塗布された処理液が流動しない程度に当該処理液を硬化するように前記加熱手段を制御する制御手段と、
を備え、
前記搬送装置は、前記塗布装置によって前記処理液が塗布された基板を前記ベーク装置に搬送し、
前記ベーク装置は、前記搬送装置によって搬送されてくる基板にベーク処理を行う、基板処理システム。 - 前記塗布装置は、前記ステージに接続され、前記ステージを移動させるステージ移動手段をさらに備え、
前記ステージは、
前記基板を載置する載置面を有する第1プレートと、
放熱板と、
前記ステージ移動手段に接続される第2プレートと、
前記第1プレートにおける前記載置面の反対側の面と前記放熱板とを接続する第1断熱材と、
前記放熱板と前記第2プレートとを接続し、それぞれが間隔を有するように配置される複数の第2断熱材とを含み、
前記加熱手段は、前記第1断熱材と所定の間隔を空けて配置され、前記載置面の反対側の面から前記第1プレートを加熱する、請求項1に記載の基板処理システム。 - 前記制御手段は、前記基板の温度が30度から100度までの範囲になるように前記加熱手段を制御する、請求項1または2に記載の基板処理システム。
- 前記制御手段は、前記基板の温度が約80度になるように前記加熱手段を制御する、請求項3に記載の基板処理システム。
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