JP4629624B2 - 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 - Google Patents
半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 Download PDFInfo
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Description
上面が上記粘着シートのピックアップされる上記半導体チップの周辺部分に対応する部分を吸着保持する吸着面に形成されたバックアップ体と、
ピン状部材及びこのピン状部材を被覆して上端部が上記ピン状部材の上端よりも上方に突出しその突出部分の弾性変形が上記ピン状部材によって制限される弾性チューブを有し、ピックアップされる上記半導体チップを上記粘着シートを介して上記弾性チューブの上記ピン状部材の上端から突出した部分で弾性的に突き上げる突き上げ手段と、
この突き上げ手段によって突き上げられた上記半導体チップの上面を吸着して上記粘着シートからピックアップするピックアップ手段と
を具備したことを特徴とする半導体チップのピックアップ装置にある。
上下方向に駆動される突き上げ軸と、
保持面を有し上記突き上げ軸の上端に設けられた保持体と、
上記保持面に着脱可能に保持され上記弾性チューブが装着された上記ピン状部材の下端部を上記保持面とで挟持する挟持部材と
から構成されていることが好ましい。
上記粘着シートのピックアップされる上記半導体チップの周辺に位置する部分の下面を吸着保持する工程と、
ピン状部材を被覆して上端部が上記ピン状部材の上端よりも上方に突出しその突出部分の弾性変形が上記ピン状部材によって制限される弾性チューブによって上記半導体チップを上記粘着シートの下面から弾性的に突き上げる工程と、
突き上げられた半導体チップの上面を吸着してピックアップする工程と
を具備したことを特徴とする半導体チップのピックアップ方法にある。
図1に示すピックアップ装置はバックアップユニット10を備えている。このバックアップユニット10は図示しないウエハリングに張設された粘着シート2の下面側に対向して設けられている。
なお、吸着ノズル体4、バックアップユニット10などの駆動制御は、図示しない制御装置によって後述するように動作が制御される。
まず、図示しないウエハリングによって粘着シート2をX、Y方向に駆動し、図1と図2に示すようにピックアップする半導体チップ3をバックアップ体1の開口部12の上方に位置決めする。つまり、半導体チップ3の中心が開口部12の中心に一致するよう位置決めする。
Claims (5)
- 粘着シートに貼着された半導体チップをピックアップする半導体チップのピックアップ装置であって、
上面が上記粘着シートのピックアップされる上記半導体チップの周辺部分に対応する部分を吸着保持する吸着面に形成されたバックアップ体と、
ピン状部材及びこのピン状部材を被覆して上端部が上記ピン状部材の上端よりも上方に突出しその突出部分の弾性変形が上記ピン状部材によって制限される弾性チューブを有し、ピックアップされる上記半導体チップを上記粘着シートを介して上記弾性チューブの上記ピン状部材の上端から突出した部分で弾性的に突き上げる突き上げ手段と、
この突き上げ手段によって突き上げられた上記半導体チップの上面を吸着して上記粘着シートからピックアップするピックアップ手段と
を具備したことを特徴とする半導体チップのピックアップ装置。 - 上記バックアップ体の上面には上記半導体チップの面積よりも小さな形状の開口部が形成され、上記粘着シートの上記開口部に対応する部分が吸引されることを特徴とする請求項1記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 上記突き上げ手段は、
上下方向に駆動される突き上げ軸と、
保持面を有し上記突き上げ軸の上端に設けられた保持体と、
上記保持面に着脱可能に保持され上記弾性チューブが装着された上記ピン状部材の下端部を上記保持面とで挟持する挟持部材と
から構成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体チップのピックアップ装置。 - 上記保持体は平行に対向する2つの保持面及び各保持面に着脱可能に保持される一対の挟持部材を有し、各保持面にはそれぞれ複数の上記ピン状部材が上記挟持部材とで挟持固定されることを特徴とする請求項3記載の半導体チップのピックアップ装置。
- 粘着シートの上面に貼着された半導体チップをピックアップする半導体チップのピックアップ方法であって、
上記粘着シートのピックアップされる上記半導体チップの周辺に位置する部分の下面を吸着保持する工程と、
ピン状部材を被覆して上端部が上記ピン状部材の上端よりも上方に突出しその突出部分の弾性変形が上記ピン状部材によって制限される弾性チューブによって上記半導体チップを上記粘着シートの下面から弾性的に突き上げる工程と、
突き上げられた半導体チップの上面を吸着してピックアップする工程と
を具備したことを特徴とする半導体チップのピックアップ方法。
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