JP4613451B2 - エピタキシャルウェーハの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はエピタキシャルウェーハの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコンエピタキシャルウェーハは、気相成長装置に配設されたサセプタの座ぐり部にシリコン単結晶基板を載置させ、このシリコン単結晶基板の主表面上に原料ガスを供給することによりシリコンエピタキシャル層(シリコン単結晶薄膜)を気相エピタキシャル成長させて製造される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、例えば図10に示すように、シリコン単結晶基板100を、該基板100の厚さよりも深い座ぐり部110内に載置し、サセプタ120の表面に沿ってシリコン単結晶基板100の主表面上にシリコン原料ガスを供給すると、原料ガス流(点線による矢印で図示)が、座ぐり部110の段差付近で乱れてしまう場合がある(矢印a、b)。これに伴って、シリコン単結晶薄膜101の周辺部101aでの厚さT1が、中心部101bでの厚さT2よりも薄くなってしまう。
【0004】
近年では、エピタキシャルウェーハから半導体デバイスを製造するための面内使用率がさらに高まる傾向にある。このために今後のエピタキシャルウェーハには、単結晶薄膜をその周辺部まで均一に成長させるための技術開発が極めて重要な課題となる。
【0005】
本発明の課題は、単結晶薄膜の厚さ分布を周辺部までより均一にできるエピタキシャルウェーハの製造方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、本発明は、サセプタが備える座ぐり部に載置された半導体単結晶基板上に単結晶薄膜を気相成長させるエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記半導体単結晶基板の厚さdを求める第1工程と、
前記半導体単結晶基板を前記座ぐり部に載置させた状態で、当該半導体単結晶基板の上面から前記サセプタの表面に至る寸法を段差量hと定義した際に、前記段差量hについて、前記単結晶薄膜の周辺部での平均成長速度と、中心部での平均成長速度とを等しくし、前記単結晶薄膜の厚さ分布が均一となるための最適値である最適段差量h0について、前記座ぐり部の深さDの異なる複数のサセプタを用いて、前記単結晶薄膜の厚さ分布をそれぞれ定量化し、定量化した単結晶薄膜の厚さ分布と前記段差量hとの関係を示す検量線から求める第2工程と、
下記式によって、前記半導体単結晶基板の厚さdに応じて当該半導体単結晶基板を載置させる座ぐり部の深さD0を求め、当該深さD0を有する座ぐり部を選択する第3工程と、を備えることを特徴とする。
座ぐり部の深さD0=(半導体単結晶基板の厚さd)+(最適段差量h0)
【0007】
ここで、半導体単結晶基板とは、例えばシリコン単結晶基板であり、単結晶薄膜とは、例えばシリコン単結晶薄膜である。
【0008】
本発明によれば、半導体単結晶基板を載置させる座ぐり部の深さを、半導体単結晶基板の厚さに応じて選択することで、エピタキシャルウェーハの周辺部における単結晶薄膜の厚さを調節できる。
例えば、単結晶薄膜の周辺部での平均成長速度が中心部での平均成長速度と略等しくなるように、座ぐり部に載置された半導体単結晶基板の上面からサセプタの表面に至る段差量を定め、この段差量と半導体単結晶基板の厚さとの和から定まる深さの座ぐり部を選択する。
このようにして、単結晶薄膜の厚さ分布が周辺部までより均一となるように改善できる。
【0009】
なお、シリコン単結晶基板の厚さは、SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)スタンダ−ドにおいて、センターポイントでの規格値がその直径に応じて定められている。
例えば、直径100mmのシリコン単結晶基板では525±15μm(M1.11−90)であり、直径125mmのシリコン単結晶基板では625±15μm(M1.12−90)であり、直径150mmのシリコン単結晶基板では625±15μm(M1.13−90)である。また、大径のシリコン単結晶基板については、例えば直径300mmのシリコン単結晶基板では775±20μm(M1.15−0997)である。
さらに大径となる次世代のシリコン単結晶基板についてはプロセス開発のためにそのガイドラインとして以下のターゲットが示されている。例えば、直径350mmのシリコン単結晶基板では800±25μmであり、直径400mmのシリコン単結晶基板では825±25μmである(M1.14−96)。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜9を参照して、本発明の実施の形態のエピタキシャルウェーハの製造方法を詳細に説明する。
本実施の形態で用いられる気相成長装置としては、座ぐり部11が形成されたサセプタ10(図1参照)を備えていれば、縦型(パンケーキ型)、バレル型(シリンダ型)、枚葉式等、各種の型を用いることができる。
これら気相成長装置は、図示しない反応炉内に、図1に示すサセプタ10を備える。このサセプタ10の表面10aには、半導体単結晶基板(以下単に「基板21」と称す)21を載置させるための座ぐり部11が形成されている。
本実施の形態では、基板21の厚さdに応じて、基板21を載置させる座ぐり部11の深さDを以下の通りにして選択する。
【0011】
先ず、基板21の厚さdを実測もしくは規格値(上述)により求める。
次に、便宜上、基板21を座ぐり部11に載置させた状態で基板21の上面21aからサセプタ10の表面10aに至る寸法を「段差量h」と定義する(図1参照)。この「段差量h」について、単結晶薄膜(以下単に「薄膜22」と称す)22の周辺部での平均成長速度を中心部での平均成長速度とほぼ等しくするための最適値(以下「最適段差量h0」と称する)を把握する。
この「最適段差量h0」を把握するには、例えば、座ぐり部11の深さDが異なる複数のサセプタ10をそれぞれ用いてエピタキシャルウェーハ20を製造し、これらの薄膜22の厚さ分布をそれぞれ定量化する。これらの数値から、薄膜22の厚さ分布と段差量hとの関係を示す検量線を把握する。この検量線から、薄膜22の厚さ分布ができるだけ均一となる「最適段差量h0」を求める。
【0012】
以上により、選択すべき座ぐり部11の深さD0は、基板の厚さdと最適段差量h0との和によって以下の通りに一義的に定まる。
深さD0=(基板の厚さd)+(最適段差量h0)
【0013】
座ぐり部11の深さD0は、以下の通りにして選択する。
例えば、座ぐり部11の深さDが互いに異なる複数のサセプタ10を予め用意しておき、これらのサセプタ10のうちから上記深さD0をもつ座ぐり部11を有するサセプタ10を使用する。あるいは、座ぐり部11がサセプタ10に着脱自在に配設される構成とし、このサセプタ10に上記深さD0の座ぐり部11を装着させても良い。
【0014】
このようにして、基板21の厚さdに応じて深さD0の座ぐり部11を選択し、この座ぐり部11に基板21を載置させる。そして、所定温度に保たれた反応炉内に原料ガスをキャリアガスと共に供給する。こうして薄膜22の厚さ分布をその周辺部まで均一にできる。
【0015】
[実施例1]
(1)気相成長装置の説明
実施例1として、縦型気相成長装置30を使用してシリコンエピタキシャルウェーハを製造する。
この縦型気相成長装置30は、図2に示すように、ベースプレート31上に反応炉32となる釣鐘状のベルジャが備えられている。この反応炉32内には円盤状のサセプタ33が水平に配設されており、このサセプタ33の下面には高周波誘導加熱コイル34がカバー35内に設けられている。一方、反応炉32の中央には円管状のノズル36がサセプタ33を垂直に貫通している。このノズル36はその側面に多数の噴出口36aが形成されており、この噴出口36aから、ノズル36の上端に備えられた板36bの下面に沿って、原料ガスがキャリアガスと共にほぼ水平に噴出する。
この縦型気相成長装置30によりシリコンエピタキシャルウェーハ20を製造するには、高周波誘導加熱コイル34によりサセプタ33を誘導加熱してシリコン単結晶基板21を加熱しながら、ガス導入口37から供給される原料ガスおよびキャリアガスを噴出口36aからシリコン単結晶基板21の主表面に沿って噴出させる。
【0016】
(2)座ぐり部の深さを選択する方法
このような縦型気相成長装置30を用い、直径100mm、厚さ290μmのシリコン単結晶基板21を使用し、座ぐり部33aの深さDが、340、390、460、500、900μmであるサセプタ33をそれぞれ使用して、シリコンエピタキシャルウェーハ20を製造した。それぞれの座ぐり部33aに上記シリコン単結晶基板21を載置させると、前記段差量hはそれぞれ50、100、170、210、610μmとなる。なお、何れの座ぐり部33aの外径も101.5mmである。
また、シリコンエピタキシャルウェーハの成長条件は、成長温度(サセプタ33の温度)を1120℃、シリコン単結晶薄膜の成長速度を1.0μm/分とし、中心部での膜厚が7μm程度となるまで成長させた。
【0017】
こうして得られたシリコン単結晶薄膜の厚さ分布を、以下に定める「周辺膜厚比α」によって評価した。
周辺膜厚比α=(tx1)/(tx2)
但し、tx1は外周から5mm内側の位置(図4に示すx1)でのシリコン単結晶薄膜の厚さであり、tx2は外周から10mm内側の位置(図4に示すx2)でのシリコン単結晶薄膜の厚さである。シリコン単結晶薄膜の厚さ測定を外周から5mmと10mmの位置で測定して比較するのは、シリコン単結晶薄膜の膜厚は中心部に比べてそれらの周辺部で急激に変化していくので、周辺部での膜厚変化量の小さいものが、周辺部まで厚さ分布の均一なエピタキシャルウェーハとすることができるからである。これらx1、x2を決めるための基準位置は、シリコンエピタキシャルウェーハ20の側面から最も水平に突出した位置とした。また、周辺膜厚比αは、ガス流(図4に点線による矢印で図示)の上流側および下流側でそれぞれ求めた値の平均値とした。
【0018】
図3は、段差量hとシリコン単結晶薄膜の周辺部における厚さ分布との関係を示す結果である。この図3において、横軸は段差量hを示しており、縦軸は周辺膜厚比αを示している。そしてA点は段差量hが50μm、B点は段差量hが100μm、C点は段差量hが170μm、D点は段差量hが210μm、E点は段差量hが610μmでの結果を示している。
図3から判るように、周辺膜厚比αは段差量hが大きくなるに伴ってリニアに減少する傾向を示し、以下の回帰式によって良く近似された。
α=−3×10-5×h+1.0073
そしてD点で示される段差量hが210μmの付近で周辺膜厚比αがほぼ1、すなわち外周から5mmと10mmの位置での膜厚がほぼ等しくなり、上記回帰式から、「最適段差量h0」として243μmに設定すれば、シリコン単結晶薄膜をその周辺部まで均一に成長することができると判断した。
【0019】
(3)シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法
そこで、上記範囲のうちから「最適段差量h0」に最も近い210μmを製造に使用する段差量hとして定め、図4に示すように、シリコン単結晶基板21の厚さd(290μm)との和から、深さD0として500μmの座ぐり部33aを選択し、上記同様の成長条件(成長温度1120℃、成長速度を1.0μm/分、中心部での膜厚が7μm程度)で、シリコンエピタキシャルウェーハ20を製造する。なお、シリコン単結晶基板21は、そのオリエンテーションフラット(以下「オリフラ」と称す)がガス流に対して平行となるように、座ぐり部33aに載置させた。
【0020】
(4)結果
図5に、こうして得られたシリコン単結晶薄膜22の厚さ分布を実測した結果を示す。図5において、横軸はシリコンエピタキシャルウェーハ20の中心からの距離を示しており、縦軸はシリコン単結晶薄膜22の厚さを示している。この膜厚測定は、シリコンエピタキシャルウェーハのオリフラと平行な直径方向(図3中「◆」で図示)と、オリフラに直交する方向(図3中「■」で図示)について行った。図5から判るように、シリコン単結晶薄膜22の周辺部が中心部よりも薄くなる傾向はほとんど見られず、膜厚ばらつきがほぼ0.15μm以内に収まり、薄膜の厚さ分布が周辺部まで均一なシリコンエピタキシャルウェーハが得られた。
【0021】
なお、本実施例1では、成長温度は1120℃、成長速度は1.0μm/分としたが、以下の異なる3条件で、中心部での膜厚が7μm程度までエピタキシャル成長させた結果でも、同様の値の「最適段差量h0」が得られた。
(a)成長温度1120℃、成長速度0.5μm/分
(b)成長温度1060℃、成長速度1.0μm/分
(c)成長温度1060℃、成長速度0.5μm/分
そして、これら(a)〜(c)の各条件においても同様に、深さ500μmの座ぐり部33aを選択することで、周辺部まで均一なシリコン単結晶薄膜の形成されたシリコンエピタキシャルウェーハが得られた。
【0022】
[比較例1]
実施例1と同じ290μmの厚さのシリコン単結晶基板21を用い、深さDが900μmの座ぐり部33aにシリコン単結晶基板21を載置させてエピタキシャル成長させる。
図6に、こうして得られたシリコン単結晶薄膜22の厚さ分布を実測した結果を示す。薄膜22の厚さは、周辺部に向かうにつれて中心部よりも極端に薄くなり、シリコンエピタキシャルウェーハ20の外周から10mm程度までの部分で急激に薄くなっていた。特に、オリフラと平行な方向の厚さ分布は、その周辺部の厚さが中心部よりも0.2μm以上薄くなっていた。
【0023】
[実施例2]
(1)気相成長装置の説明
実施例2として、バレル型気相成長装置40を使用してシリコンエピタキシャルウェーハを製造する。
図7に示すように、このバレル型気相成長装置40は、反応炉41となるベルジャ内に、多角錐台状のサセプタ42が回転軸42bを中心として回転可能に配設されている。このサセプタ42には、それぞれの側周面に3段の座ぐり部42aが上下に並んで形成されている。そして反応炉41の外側にはハロゲンランプ等の加熱手段43が設けられている。
このバレル型気相成長装置40によりシリコンエピタキシャルウェーハを製造するには、加熱手段43により所定温度に保たれた反応炉41内に、該反応炉41上部に設けられたガス供給ノズル44から原料ガスをキャリアガスと共に供給する。この原料ガスは、回転軸42bの周りに回転されるサセプタ42の側周面に沿って流れながらシリコン単結晶基板21上に供給され、反応炉41下方に設けられたガス排気管45から外部へ排出される。
【0024】
(2)座ぐり部の深さを選択する方法
このようなバレル型気相成長装置40を用い、直径100mm、厚さ525μmのシリコン単結晶基板21を使用し、座ぐり部42aの深さDが、905、1025、1135、1425、1725μmであるサセプタ42をそれぞれ使用してシリコンエピタキシャルウェーハ20を製造した。それぞれのサセプタ42に上記シリコン単結晶基板21を載置させると、前記段差量hはそれぞれ380、500、610、900、1200μmとなる。なお、何れの座ぐり部42aの外径も102mmである。
また、シリコン単結晶薄膜22の成長条件は、該薄膜22の成長速度を0.3μm/分とし、中心部での膜厚が10μm程度となるようにエピタキシャル成長させた。
【0025】
こうして得られたシリコン単結晶薄膜22の厚さ分布を、以下に定める「周辺膜厚分布β」によって評価した。
周辺膜厚分布β=[(tx2−tx1)/(tx2+tx1)]×100(%)
但し、tx1は外周から5mm内側の位置(図9に示すx1)での薄膜22の厚さであり、tx2は外周から15mm内側の位置(図9に示すx2)での薄膜22の厚さである。なお「周辺膜厚分布β」は、図9に示すように、座ぐり部42aに傾斜して載置されるシリコン単結晶基板21の下方側のみで求めた。
【0026】
図8は、段差量hとシリコン単結晶薄膜22の厚さ分布との関係を示すグラフである。図8において、横軸は段差量hを示しており、縦軸は「周辺膜厚分布β」を示している。そして図8では、サセプタ42の側周面に形成される3段の座ぐり部42aで得られた結果のうち、最上段となる1段目を「−□−」で示し、上から2段目を「−○−」で示し、最下段となる上から3段目を「−△−」によりそれぞれ示している。
【0027】
図8から判るように、周辺膜厚分布βは段差量hが大きくなるに伴ってリニアに減少する傾向を示す。そして、1段目から3段目の座ぐり部42aの何れにおいても段差量hが380μmで周辺膜厚分布βがほぼ0%となっており、「最適段差量h0」としては380μmに設定すれば良いと判断した。
【0028】
(3)シリコンエピタキシャルウェーハの製造方法
こうして、シリコン単結晶基板21の厚さdと最適段差量h0とから定まる深さD0の座ぐり部42aを選択し、上記同様の成長条件(成長速度を0.3μm/分、中心部での膜厚が10μm程度)で、シリコンエピタキシャルウェーハを製造する。
(4)結果
このようにしてシリコンエピタキシャルウェーハを製造することで、周辺部までほぼ均一な厚さのシリコン単結晶薄膜が得られた。
【0029】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。
例えば、本実施の形態ではシリコンエピタキシャルウェーハを製造したが、その他の半導体単結晶基板上に気相エピタキシャル成長させてエピタキシャルウェーハを製造する場合にも同様に適用できる。
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、適宜に変更可能であることは勿論である。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体単結晶基板を載置させる座ぐり部の深さを、半導体単結晶基板の厚さに応じて選択することで、単結晶基板の厚さ分布が周辺部まで均一となるように改善できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態のエピタキシャルウェーハの製造法で用いるサセプタの要部を模式的に示した図である。
【図2】実施例1で用いる縦型気相成長装置を示す図である。
【図3】実施例1において得られた段差量hに対する周辺膜厚比αの関係を示すグラフである。
【図4】実施例1において選択された座ぐり部によってエピタキシャルウェーハを製造している様子を示す図である。
【図5】実施例1において得られた薄膜の厚さ分布を実測した結果を示すグラフである。
【図6】比較例1において得られた薄膜の厚さ分布を実測した結果を示すグラフである。
【図7】実施例2において用いるバレル型気相成長装置を示す図である。
【図8】実施例2において得られた段差量hに対する周辺膜厚分布βの関係を示すグラフである。
【図9】実施例2において選択された座ぐり部によってエピタキシャルウェーハを製造している様子を示す図である。
【図10】従来の製造方法により薄膜の周辺部が中心部よりも薄くなってしまう場合を説明するための図である。
【符号の説明】
10 サセプタ
11 座ぐり部
20 シリコンエピタキシャルウェーハ(エピタキシャルウェーハ)
21 シリコン単結晶基板
22 シリコン単結晶薄膜
33 サセプタ
33a 座ぐり部
42 サセプタ
42a 座ぐり部
d 基板の厚さ
D0 選択すべき座ぐり部の深さ
D 座ぐりの深さ
Claims (2)
- サセプタが備える座ぐり部に載置された半導体単結晶基板上に単結晶薄膜を気相成長させるエピタキシャルウェーハの製造方法において、
前記半導体単結晶基板の厚さdを求める第1工程と、
前記半導体単結晶基板を前記座ぐり部に載置させた状態で、当該半導体単結晶基板の上面から前記サセプタの表面に至る寸法を段差量hと定義した際に、前記段差量hについて、前記単結晶薄膜の周辺部での平均成長速度と、中心部での平均成長速度とを等しくし、前記単結晶薄膜の厚さ分布が均一となるための最適値である最適段差量h0について、前記座ぐり部の深さDの異なる複数のサセプタを用いて、前記単結晶薄膜の厚さ分布をそれぞれ定量化し、定量化した単結晶薄膜の厚さ分布と前記段差量hとの関係を示す検量線から求める第2工程と、
下記式によって、前記半導体単結晶基板の厚さdに応じて当該半導体単結晶基板を載置させる座ぐり部の深さD0を求め、当該深さD0を有する座ぐり部を選択する第3工程と、を備えることを特徴とするエピタキシャルウェーハの製造方法。
座ぐり部の深さD0=(半導体単結晶基板の厚さd)+(最適段差量h0) - 前記半導体単結晶基板はシリコン単結晶基板であり、前記単結晶薄膜はシリコン単結晶薄膜であることを特徴とする請求項1記載のエピタキシャルウェーハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001198999A JP4613451B2 (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | エピタキシャルウェーハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003012397A JP2003012397A (ja) | 2003-01-15 |
JP4613451B2 true JP4613451B2 (ja) | 2011-01-19 |
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ID=19036350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4613451B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4724043B2 (ja) | 2006-05-17 | 2011-07-13 | トヨタ自動車株式会社 | 対象物認識装置 |
JP5092975B2 (ja) | 2008-07-31 | 2012-12-05 | 株式会社Sumco | エピタキシャルウェーハの製造方法 |
TWI390074B (zh) * | 2010-04-29 | 2013-03-21 | Chi Mei Lighting Tech Corp | 有機金屬化學氣相沉積機台 |
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-
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- 2001-06-29 JP JP2001198999A patent/JP4613451B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2003012397A (ja) | 2003-01-15 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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