JP4611918B2 - 処理ユニットの傾き調整方法 - Google Patents
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Description
(1)前記基板搬送手段を用いて各処理ユニットの基板載置面に共通の治具を順次搬送し、治具に設けられた傾斜検出部を用いて、複数段に積層された処理ユニットの各々の基板載置面について、水平面上の2軸であるX軸及びY軸周りの各傾きを検出する工程と、
(2)基板搬送手段のアーム部が処理ユニットの搬送口に対向する位置に置かれたときまたは処理ユニット内に進入したときに、アーム部の基板載置面に載置された前記治具に設けられた傾斜検出部により、当該アーム部の基板載置面について水平面上の2軸であるX軸及びY軸周りの各傾きを処理ユニット毎に検出する工程と、
(3)各処理ユニットの基板載置面のX軸周りの傾き及びY軸周りの傾きを各処理ユニット毎に表示させると共に各基板載置面の前記傾きが許容値に収まっているか否かの判断をして判断結果を各処理ユニット毎に表示する工程と、
(4)基板搬送手段のアーム部における基板載置面のX軸周りの傾き及びY軸周りの傾きを各処理ユニットに対応する高さ毎に表示させると共に各基板載置面の前記傾きが許容値に収まっているか否かの判断をして各高さ毎に判断結果を表示する工程と、
(5)各処理ユニット毎に、処理ユニットの基板載置面のX軸周りの傾きと基板搬送手段の基板載置面のX軸周りの傾きとの差と、処理ユニットの基板載置面のY軸周りの傾きと基板搬送手段の基板載置面のY軸周りの傾きとの差と、を求め、各傾きの差を表示すると共に各傾きの差が許容値に収まっているか否かを判断してその判断結果を表示する工程と、
(6)これら表示結果及び判断結果に基づいて、処理ユニットの傾きを調整する工程と、を含み、
前記(1)〜(5)の各工程は制御部により自動で行われ、
前記傾斜検出部は、固定部及び錘部を備え、当該錘部の周囲に沿って間隔を置いて配置されると共に前記固定部からX軸方向、Y軸方向に夫々伸びる橋部を介して錘部が設けられ、X軸周りの傾き及びY軸周りの傾きに応じて錘部から橋部に力が作用し、この力に応じて電気信号を出力するものであることを特徴とする。
なお第3の実施形態を適用する場合、例えば2枚のアーム部87各々について既述のように各処理ユニット85に対向する位置における傾きを検出し、検出結果に基づいて調整を行うことが好ましい。
T テスト用ウエハ
11 支持枠体
18 搬送手段
18a アーム部
2 加熱ユニット
24 熱板
25,26 昇降ピン
4,40 傾斜検出部
5,50,59 制御部
S2 処理ブロック
Claims (3)
- 傾きを調整可能な支持枠体に対して各々独立して着脱自在にかつその傾きを調整可能に装着されると共に複数段に積層され、基板に対して処理する処理ユニットと、これら処理ユニットに対して基板の受け渡しを行う進退自在なアーム部を有すると共に基板載置面の傾きを調整可能な共通の基板搬送手段と、を備えた基板処理装置について処理ユニットの傾きを調整する方法において、
(1)前記基板搬送手段を用いて各処理ユニットの基板載置面に共通の治具を順次搬送し、治具に設けられた傾斜検出部を用いて、複数段に積層された処理ユニットの各々の基板載置面について、水平面上の2軸であるX軸及びY軸周りの各傾きを検出する工程と、
(2)基板搬送手段のアーム部が処理ユニットの搬送口に対向する位置に置かれたときまたは処理ユニット内に進入したときに、アーム部の基板載置面に載置された前記治具に設けられた傾斜検出部により、当該アーム部の基板載置面について水平面上の2軸であるX軸及びY軸周りの各傾きを処理ユニット毎に検出する工程と、
(3)各処理ユニットの基板載置面のX軸周りの傾き及びY軸周りの傾きを各処理ユニット毎に表示させると共に各基板載置面の前記傾きが許容値に収まっているか否かの判断をして判断結果を各処理ユニット毎に表示する工程と、
(4)基板搬送手段のアーム部における基板載置面のX軸周りの傾き及びY軸周りの傾きを各処理ユニットに対応する高さ毎に表示させると共に各基板載置面の前記傾きが許容値に収まっているか否かの判断をして各高さ毎に判断結果を表示する工程と、
(5)各処理ユニット毎に、処理ユニットの基板載置面のX軸周りの傾きと基板搬送手段の基板載置面のX軸周りの傾きとの差と、処理ユニットの基板載置面のY軸周りの傾きと基板搬送手段の基板載置面のY軸周りの傾きとの差と、を求め、各傾きの差を表示すると共に各傾きの差が許容値に収まっているか否かを判断してその判断結果を表示する工程と、
(6)これら表示結果及び判断結果に基づいて、処理ユニットの傾きを調整する工程と、を含み、
前記(1)〜(5)の各工程は制御部により自動で行われ、
前記傾斜検出部は、固定部及び錘部を備え、当該錘部の周囲に沿って間隔を置いて配置されると共に前記固定部からX軸方向、Y軸方向に夫々伸びる橋部を介して錘部が設けられ、X軸周りの傾き及びY軸周りの傾きに応じて錘部から橋部に力が作用し、この力に応じて電気信号を出力するものであることを特徴とする処理ユニットの傾き調整方法。 - 各処理ユニットにおける基板載置面のX軸周りの傾きの平均値及びY軸周りの傾きの平均値を演算して表示する工程を更に備えている請求項1に記載の処理ユニットの傾き調整方法。
- 基板載置面の実際の傾きと傾斜検出部にて検出された傾きとの差は、予め制御部側に記憶されており、制御部はこの差と傾斜検出部からの傾き検出結果とに基づいて基板載置面の傾きを求めることを特徴とする請求項1または2に記載の処理ユニットの傾き調整方法。
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JP2001015575A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-19 | Matsushita Electronics Industry Corp | 基板搬送装置の調整方法とその検査装置 |
JP2001077019A (ja) * | 2000-07-13 | 2001-03-23 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
JP2005286211A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Tokyo Electron Ltd | 真空処理装置及び真空処理方法 |
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JP2001077019A (ja) * | 2000-07-13 | 2001-03-23 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
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