JP4585434B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
上記プローブピンを支持する基体と、
上記基体に支持された、上記プローブピンが上記ウエハ上の1つのチップの磁気センサ端子に接触したときにその1つのチップと同一のチップの磁界センシング部に磁力を与える電磁石とを備えたことを特徴とする。
2、61 鉄心
3、62 コイル
4、55 プローブピン
5a、5b、5c、5d、5e 配線
6a、6b、6c、6d 端子
7、53 ウエハ
8、63 電磁石
10、10_2、54 プローブカード
11、11_2 基体
12、64 電磁石駆動電源
13 計測部
131 計測用電源
132 電圧計
133 電流計
14a、14b 支持部
15a、15b 部材
20、51 プローバ
21、52 載置台
22 駆動装置
60 磁界発生装置
65 計測部
66 配線
71 チップ
72 磁気センシング部
73 電気的配線
74 磁気センサ端子
Claims (1)
- 磁力を受けて該磁力に応じた出力を生成する磁界センシング部と、該磁界センシング部で生成された出力を外部からセンシングするための磁気センサ端子とを有する磁気センサが形成されたチップが配備されたウエハ上の、各チップ上の磁気センサの特性を試験する試験装置に固定されて用いられる、各チップの磁気センサ端子に接触して該磁気センサ端子に表れる出力をセンシングするプローブピンを備えたプローブカードにおいて、
前記プローブピンを支持する基体と、
前記基体に支持された、前記プローブピンが前記ウエハ上の1つのチップの磁気センサ端子に接触したときに該1つのチップと同一のチップの磁界センシング部に磁力を与える電磁石とを備え、
前記電磁石が、前記プローブピンが前記磁気センサ端子に接触したときに該ウエハにより該ウエハに接した状態で持ち上げられているように、前記基体に上下動自在に支持されたものであることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005346124A JP4585434B2 (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | プローブカード |
US11/374,023 US7183763B1 (en) | 2005-11-30 | 2006-03-14 | Probe card |
US11/656,518 US7352175B2 (en) | 2005-11-30 | 2007-01-23 | Probe card method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005346124A JP4585434B2 (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007147568A JP2007147568A (ja) | 2007-06-14 |
JP4585434B2 true JP4585434B2 (ja) | 2010-11-24 |
Family
ID=37769612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005346124A Expired - Fee Related JP4585434B2 (ja) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | プローブカード |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7183763B1 (ja) |
JP (1) | JP4585434B2 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006057385B4 (de) * | 2006-12-04 | 2012-11-29 | Micronas Gmbh | Verfahren zur Überprüfung der Messgenauigkeit mindestens eines Magnetfeld-Sensors |
US7800381B2 (en) * | 2007-09-26 | 2010-09-21 | Infineon Technologies Ag | Test structures, systems, and methods for semiconductor devices |
KR100996925B1 (ko) | 2008-06-24 | 2010-11-26 | 윌테크놀러지(주) | 센싱 프로브 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
JP2011002239A (ja) * | 2009-06-16 | 2011-01-06 | Fujikura Ltd | 磁界プローバ |
WO2011070394A1 (en) * | 2009-12-08 | 2011-06-16 | Nxp B.V. | Magnetic steering application for singulated (x)mr sensors |
US9035671B2 (en) | 2011-07-06 | 2015-05-19 | Everspin Technologies, Inc. | Probe card and method for testing magnetic sensors |
CN102331273B (zh) * | 2011-08-04 | 2013-07-31 | 江苏茶花电气有限公司 | 接近传感器多功能测试装置 |
CN103365101B (zh) | 2012-04-01 | 2015-04-08 | 中国科学院物理研究所 | 一种纳米图形化***及其磁场施加装置 |
US9196334B2 (en) | 2012-04-19 | 2015-11-24 | Qualcomm Incorporated | Hierarchical memory magnetoresistive random-access memory (MRAM) architecture |
US20140139209A1 (en) * | 2012-11-19 | 2014-05-22 | Qualcomm Incorporated | Magnetic automatic testing equipment (ate) memory tester |
US9368232B2 (en) | 2013-03-07 | 2016-06-14 | Qualcomm Incorporated | Magnetic automatic test equipment (ATE) memory tester device and method employing temperature control |
KR102030189B1 (ko) * | 2013-07-29 | 2019-11-11 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치 및 방법 |
KR101552922B1 (ko) * | 2013-08-08 | 2015-09-15 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 자기 센서 테스트 장치 및 방법 |
US9678169B2 (en) * | 2014-07-09 | 2017-06-13 | Voltafield Technology Corp. | Testing assembly for testing magnetic sensor and method for testing magnetic sensor |
EP3286573B1 (en) * | 2015-04-24 | 2023-06-07 | Telefonaktiebolaget LM Ericsson (publ) | Probing apparatus for tapping electric signals |
US9933459B1 (en) * | 2016-11-11 | 2018-04-03 | Fluke Corporation | Magnetically coupled ground reference probe |
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JP7323127B2 (ja) * | 2020-02-10 | 2023-08-08 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置 |
JP7389434B2 (ja) | 2020-02-10 | 2023-11-30 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2004151056A (ja) * | 2002-11-01 | 2004-05-27 | Hitachi Metals Ltd | 弱磁界発生装置および磁界センサの検査方法 |
-
2005
- 2005-11-30 JP JP2005346124A patent/JP4585434B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-03-14 US US11/374,023 patent/US7183763B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-01-23 US US11/656,518 patent/US7352175B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7352175B2 (en) | 2008-04-01 |
US20070120558A1 (en) | 2007-05-31 |
JP2007147568A (ja) | 2007-06-14 |
US7183763B1 (en) | 2007-02-27 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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