KR102030189B1 - 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다축 자기 센서를 웨이퍼 상태로 테스트하는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 다축 성분의 자기장을 검출하는 자기 센서를 포함한 웨이퍼 상에 자기장을 발생시키는 코일을 배치하는 단계; 상기 자기 센서에 상기 코일을 이용하여 자기장을 인가시키는 단계; 및 상기 자기 센서에 인가된 자기장을 검출하는 단계를 포함하며, 상기 코일의 단면적은 상기 웨이퍼의 단면적 보다 작고, 상기 자기 센서는 상기 코일의 영역 안에 배치하되, 상기 코일의 중심점으로부터 일정거리 떨어진 지점에 위치할 수 있다. 따라서, 코일의 크기 및 개수를 줄일 수 있고, 자기장을 발생시키는데 필요한 전류를 줄일 수 있으므로 테스트 비용 및 소요 시간을 줄일 수 있다.

Description

웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치 및 방법{TEST METHOD FOR A MULTI MAGNETIC SENSOR ON THE WAFER}

본 발명은 자기 센서 테스트 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다축 자기 센서를 웨이퍼 상태로 테스트하는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다.

다축(이하, 2축 또는 3축을 포함한다) 자기 센서란 X축, Y축 또는 Z축 방향의 자기장을 검출하여 방위각을 인식하는 센서이다.

이와 같은 다축 자기 센서를 테스트하려면 센서가 감지해야 하는 각각의 X축, Y축 또는 Z축에 직접 자기장을 인가해야 한다. 자기장을 인가하기 위해서는 인덕터와 같은 코일이 필요하고, 이 코일에 전류를 흘려 원하는 자기장 세기로 가변하면서 자기 센서를 테스트하게 된다.

일 예로, 대한민국 공개특허공보 제10-2006-0060666호에는 3축 나침반 문제해결을 위한 2축 자기 센서를 이용한 장치가 개시되어 있다.

상기와 같은 다축 자기 센서를 테스트하는 방법으로, 웨이퍼 상태로 테스트하는 방법과 패키지 상태로 테스트하는 방법이 있다.

먼저, 웨이퍼 상태로 자기 센서를 테스트할 경우에는 웨이퍼의 다축 방향으로 균일한 자기장을 인가해야 하기 때문에 X,Y,Z-축 방향의 각각의 코일이 필요하다. 특히, Z축 방향을 테스트하기 위해서는 웨이퍼의 크기보다 큰 코일이 필요하며 자기 센서의 자기장 감지 범위가 넓을수록 더 큰 자기장을 인가해야 하므로 더 큰 전류를 코일에 인가하여 하는 문제점이 있다.

한편, 패키지 상태로 센서를 테스트할 경우에는 통상 소켓을 이용하게 되는데, 역시 X,Y,Z축 방향의 각각의 코일이 필요하나 웨이퍼 상태일 때보다 작은 크기의 코일로 테스트가 가능하다. 하지만, 패키지 상태의 자기 센서를 소켓에 담아 테스트하기 위한 별도의 장치가 필요하고, 복수 개의 자기 센서 칩을 순차적으로 테스트해야 하기 때문에 테스트 시간이 많이 소요되고 비용이 증가하는 문제점이 있었다.

대한민국 공개특허공보 제10-2006-0060666호(2006년06월05일)

본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 웨이퍼 상태로 다축 자기 센서를 웨이퍼의 단면적 보다 작은 크기의 코일로 테스트하되, 다축 자기 센서에 대하여 어느 일측 방향의 코일 하나만으로 3축 방향의 자기장을 모두 검출할 수 있도록 하는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치 및 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법은, 다축 성분의 자기장을 검출하는 자기 센서를 포함한 웨이퍼 상에 자기장을 발생시키는 코일을 배치하는 단계; 상기 자기 센서에 상기 코일을 이용하여 자기장을 인가시키는 단계; 및 상기 자기 센서에 인가된 자기장을 검출하는 단계를 포함한다.

상기 코일의 단면적은 상기 웨이퍼의 단면적 보다 작은 것이 바람직하다.

상기 자기 센서는 상기 코일의 영역 안에 배치하되, 상기 코일의 중심점으로부터 일정거리 떨어진 지점에 위치할 수 있다.

상기 자기장에 의해 발생되는 자기력선과 상기 자기 센서 표면 사이의 입사각이 90도 미만이 되게 할 수 있다.

상기 자기 센서에 인가되는 자기장을 X, Y, Z-축 성분으로 분해할 경우, X, Y, Z-축 모두 유사한 값을 가질 수 있다.

상기 코일이 프로브 카드에 형성될 수 있다.

상기 프로브 카드에 연결된 니들(needle)은 상기 코일의 중심점에서 상기 코일의 어느 한쪽으로 치우쳐 배치할 수 있다.

상기 자기장을 측정하려고 하는 상기 자기 센서를 상기 코일의 영역을 벗어난 위치에 배치할 수 있다.

상기 자기 센서를 배치하는 단계는; 상기 자기 센서의 위치는 상기 코일의 중심점을 제외한 상기 코일의 영역 내의 사분면의 서로 다른 어느 한 위치에 배치될 수 있다.

상기 코일의 영역 내에 복수개의 상기 자기 센서가 배치되도록 할 수 있다.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치는, 자기 센서를 포함한 웨이퍼; 상기 자기 센서에 자기장을 발생시키는 링형 코일을 포함하는 프로브 카드; 및 상기 프로브 카드에 연결된 니들;을 포함하되, 상기 프로브 카드에 연결된 니들(needle)은 상기 코일의 중심점에서 상기 코일의 어느 한쪽으로 치우쳐 배치한다.

상기 자기 센서는 상기 코일의 중심점으로부터 일측으로 치우친 위치에 배치할 수 있다.

상기 코일의 단면적은 상기 웨이퍼의 단면적 보다 작은 것이 바람직하다.

상기 자기장에 의해 발생되는 자기력선과 상기 자기 센서 표면 사이의 입사각이 90도 미만인 것이 더욱 바람직하다.

상기 자기 센서에 인가되는 자기장을 X, Y, Z-축 성분으로 분해할 경우, X, Y, Z-축 모두 유사한 값을 가질 수 있다.

상기 코일과 상기 웨이퍼는 서로 평행한 것이 바람직하다.

상기 자기 센서의 위치는 상기 코일의 중심점을 제외한 상기 코일의 영역 내의 사분면의 서로 다른 어느 한 위치에 배치될 수 있다.

상기 코일의 영역 내에 복수개의 상기 자기 센서가 배치되도록 할 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 다축 자기 센서를 웨이퍼 상태로 테스트하는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치 및 방법에 의하면, 웨이퍼 상태로 다축 자기 센서를 테스트하되, 웨이퍼의 단면적 보다 작은 크기의 코일을 이용하여 다축 자기 센서에 대하여 어느 일측 방향, 예로서 수직 방향(Z축)의 코일 하나만으로도 다른 축(X 또는 Y축)을 포함하는 3축 방향의 자기장을 검출함으로써 코일의 크기 및 개수를 줄일 수 있고, 자기장을 발생시키는데 필요한 전류를 줄일 수 있으므로 테스트 비용 및 소요 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.

도 1a 내지 1c는 수직 방향의 자기장만 인가되는 웨이퍼 상의 자기센서와 코일의 배치를 묘사하는 도면으로서,
도 1a는 평면도, 도 1b는 수직단면도와 도 1c는 자기력선에 대한 축 성분을 나타낸 그래프이다.
도 2a 내지 도 2e는 본 발명에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법의 일 실시예를 설명하기 위하여 3축의 자기장이 인가되는 웨이퍼 상의 자기센서와 코일의 배치를 묘사하는 도면으로서,
도 2a는 평면도, 도 2b는 수직단면도, 도 2c는 도 2b의 자기센서 부분을 확대한 도면, 도 2d는 X, Y 좌표계에서 자기력선의 축 성분을 나타낸 그래프, 도 2e는 Z, XY평면 좌표계에서 자기력선의 축 성분을 나타낸 그래프이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 장치의 일 실시예를 설명하기 위하여 웨이퍼와 코일 및 프로브 카드 니들(probe card needle)의 배치를 나타낸 도면으로서, 도 3a는 평면도, 도 3b는 단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법의 다른 실시예를 설명하기 위한 웨이퍼 평면도이다.

본 발명은 다양한 변형 및 여러 가지 실시예를 가질 수 있는바, 그 중 특정 실시예를 상세한 설명과 도면의 예시를 통하여 보다 상세하게 설명하고자 한다. 아울러, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 주지 관용 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 설명을 생략한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 1a 내지 1c는 수직 방향의 자기장만 인가되는 웨이퍼 상의 자기센서와 코일의 배치를 묘사하는 도면으로서, 도 1a는 평면도이다. 도 1b는 도 1a의 X축 방향(22)으로 자른 수직단면도이다. 도 1c는 자기력선(magnetic lines of force)에 대한 축 성분을 나타낸 그래프이다.

도 1a에 도시된 바와 같이 웨이퍼 중에서 테스트하고자 하는 특정 웨이퍼(Wafer)(10) 위에 링(ring) 형의 코일(30)이 배치되어 있어서 상기 코일(coil)(30)에 전류가 흐를 때 웨이퍼(10)의 수직 방향 (Z축)을 포함한 여러 각도를 가지고 있는 자기장이 발생한다. 여기서 코일(30)의 크기는 웨이퍼(10)의 크기보다 작다. 또는 코일(30)이 차지하는 단면적이 웨이퍼(10)의 단면적 보다 작다. 측정하고자 하는 자기 센서(20)에 보다 많은 자기장을 가하기 위함이다. 웨이퍼 상태로 다축 자기장 센서를 테스트하는 방법 중에 IC 내부에 셀프 테스트(self-test) 목적의 코일을 장착하는 기술도 공개되어 있으나, IC 내부에 장착된 코일에서는 전류의 세기에 제한이 있으므로 발생시킬 수 있는 자기장의 세기가 제한되어 IC의 기능을 제대로 평가하기 어려운 점이 있다. 본 발명은 IC 내부가 아닌 테스트 장비에서 코일을 장착하므로 충분한 양의 자기장을 발생시켜 IC의 기능을 정확히 테스트할 수 있는 장점이 있다.

여기서 자기장은 B와 H 두 개가 있다. 이 중 B는 자기 선속 밀도(磁氣線束密度, magnetic flux density)라 불리고, H는 자기장 세기(magnetic field strength)라고 부른다. 본 발명에서 자기장은 B를 말한다. 그리고 웨이퍼(10)에는 측정하고자 하는 자기 센서(20)가 반복적으로 무수히 나열되어 있다. 도 1a에서는 그 중에 대표적으로 한 개의 자기 센서(20)가 형성된 웨이퍼(10)에 대해서만 예시를 하였다. 여기서 자기 센서(20)는 자기장 세기를 감지하는 홀 센서(Hall Sensor)를 말한다. 홀 센서는 외부의 자기장을 홀 효과(Hall effect)를 이용해서 측정가능 하도록 설계된다.

도 1a에 도시된 바와 같이 테스트하고자 하는 자기 센서(20)에 Z-축 방향으로 인가되는 자기장의 세기가 가장 크기 때문에 링형 코일(30)의 중심점(100)에 자기 센서(20)를 배치한다.

그래서 도 1b에 도시된 바와 같이 자기장이 뿜어 나오는 모습을 형상화한 일련의 선들, 즉 자기력선(35a, 35b, 37)이 형성된다. 여기서 자기장의 방향은 자기력선의 접선의 방향과 같고, 자기장의 세기는 자기력선의 밀도에 비례한다. 이럴 경우 웨이퍼(10)에 있는 자기 센서(20)는 웨이퍼(10)의 윗면(10a) 또는 자기 센서(20) 표면과 수직인 Z축 성분의 자기력선(37)들이 주로 접촉을 한다. 나머지 자기력선 35a 또는 35b는 자기 센서와 접촉하지 않는다.

이에 따라 도 1c에 도시된 바와 같이, Z축 성분을 가진 자기장(37)만 자기 센서(20)에 인가되는 것이다. 반면 자기 센서(20)의 수평 방향(22)(24)(X축 또는 Y축) 자기장 성분은 별도의 다른 코일(미도시)을 통해 인가해야만 다축 자기 센서(20)의 성능을 테스트할 수 있게 된다.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법의 일 실시예를 설명하기 위하여 3축의 자기장이 인가되는 웨이퍼(10) 상의 자기 센서(20)와 코일(30)의 배치를 묘사하는 도면으로서, 도 2a는 평면도, 도 2b는 수직단면도, 도 2c는 X, Y 좌표계에서 자기력선의 축 성분을 나타낸 그래프, 도 2d는 Z, XY평면 좌표계에서 자기력선의 축 성분을 나타낸 그래프이다.

도 2a에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법은, 수평 방향의 자기장을 발생시키기 위한 별도의 코일(미도시) 없이 하나의 코일(30)만으로도 웨이퍼(10)의 수직 방향(Z)과 수평 방향(22, 24)(X와 Y)의 자기장을 발생시킬 수 있는 원리를 보여준다.

측정하고자 하는 자기 센서(20)는 코일(30)의 중심점(100)이 아닌 코일(30)의 중심점(100)을 벗어나게 배치되어 있다. 코일(30)의 중심으로부터 일정거리 떨어진 곳에 자기 센서(20)를 위치하였다. 그래서 자기 센서(20)는 중심점(100)에서 벗어나서, X축을 중심으로 0~360도 범위에서 어느 위치에 있어도 된다.

또는 X축, Y축을 기준으로 X축과 Y축 사이의 1사분면, 2사분면, 3사분면, 혹은 4사분면에 자기 센서(20)를 위치할 수 있다. X축 또는 Y축 상에 배치하는 것이 아니라 X축과 Y축 사이에 배치한다. 자기 센서(20)는 X축을 기준으로 1사분면에 배치되면, 45도, 2사분면에 배치되면 135도, 3사분면에 배치되면 225도, 혹은 4사분면에 배치되면 315도 각도에 위치한다.

도 2a에는 코일 영역 안에 자기센서(20)가 한 개만 그려져 있는데, 실제로 자기 센서(20) 주변에 다른 자기 센서(미도시)가 생략되어 있어서 하나만 보일 뿐이다. 코일(30) 영역 안의 각 사분면에 자기 센서(20)들을 1개씩 배치하면 4개를 배치가능하고, 4개씩 배치하면 16개까지 배치할 수 있다. 많이 배치할수록 측정 시간을 짧게 가져갈 수 있다.

도 2b는 도 2a에서 I-I선을 자른 단면에서 웨이퍼(10) 표면에 형성되는 마그네틱 플럭스(magnetic flux)를 나타낸다. 웨이퍼 표면(10a)과 직각으로 만나는 자기력선(37) 또는 다양한 기울기를 갖는 자기력선(35a)이 존재한다.

도 2c는 자기 센서(20) 주변을 확대한 도면이다. 마그네틱 플럭스와 웨이퍼(10) 또는 자기 센서(20) 표면과 만나는 각 포인트마다 마그네틱 플러스(예: 35a)의 접선 또는 사선을 그었을 때 여러 입사각(α)를 갖는 기울기(39)가 형성된다. 그 기울기(39)는 X-Y평면과 평행하지 않다. 그 기울기는 입사각(α)이 90도 각도일 때 가장 큰 자기장 세기를 줄 수 있으나, 본 발명에서는 도 2b에 도시된 바와 같이, 90도 각도를 갖는 Z축 자기력선(37)이 웨이퍼 윗면(10a)과 만나는 지점으로부터 자기 센서(20)는 일정거리 떨어져 있다. 그래서 90도 각도가 아니고, 90도 이하의 입사각을 갖는 자기력선과 접촉하게 된다.

이것은 코일(30)의 중심점(100)으로부터 일정거리 떨어져서 자기 센서(20)를 배치했기 때문이다. 일정거리는 코일(30)과 웨이퍼(10) 사이의 거리에 따라 달라질 수 있다. 코일(30)과 웨이퍼(10) 사이의 거리가 가까울수록 중심점(100)에서 자기 센서(20)를 되도록 멀리 배치한다. 본 발명에서는 여러 입사각(α) 중에서 45도 각도를 만드는 것이 가장 바람직하다. 즉, 자기 센서(30)와 접촉하는 자기력선(35a, 35b, 37) 중에서 자기력선, 35a가 45도 각도(α)를 가지고 웨이퍼 표면(10a)과 접촉하게 하는 것이다. 그렇게 하면 가장 이상적인 자기장 세기를 가할 수 있는 것이다. X,Y,Z축 방향의 자기장 성분이 모두 거의 유사한 세기를 갖게 된다.

자기력선 번호 37의 경우 90도 입사각을 가지고 있지만 자기 센서(20)와 접촉하고 있지 않게 된다. 중심점(100)에서 벗어난 위치에 자기 센서(20)를 배치했기 때문이다.

도 2d에 도시된 바와 같이 자기 센서(20)에 인가되는 자기장 방향은 X, Y 좌표계에서 45도 각도가 된다. 즉 자기력선(35a)과 웨이퍼(10)와 만나는 지점에서 접선 각도가 45도가 된다. 45도 각도일 경우가 자기장의 X축 Y축 성분이 서로 동일한 값이 된다. 동일한 세기를 갖는 X축 및 Y축 자기장 성분이 자기 센서(20)에 영향을 미친다고 본다.

그리고 도 2e에 도시된 바와 같이 Z 좌표계에서도 45도 입사각을 갖는 기울기(39)를 갖는 자기장 성분이 형성된다. 이 자기장 성분을 X, Y, Z의 축 성분으로 분해하면, X, Y, Z 모두 동일한 값이 된다.

따라서, 수직 방향 성분(Z)은 자기 센서(20)가 중심점에 위치할 때보다 감소된 반면 수평 방향 성분(X, Y)은 크게 증가하여, 하나의 코일(30)을 사용하여 웨이퍼(10) 상의 자기 센서(20)에 X, Y, Z의 3축의 자기장을 인가하는 것이 가능하다.

도 3a 및 도 3b는 웨이퍼와 코일 및 프로브 카드 니들의 배치를 나타낸 도면으로서, 도 3a는 평면도, 도 3b는 단면도이다.

도 3a 및 3b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서를 테스트하는 장치는, 자기 센서(20)가 형성된 상기 웨이퍼(10) 상에 수평 방향으로 위치하되, 중심점으로부터 일측으로 치우친 위치에 상기 자기 센서(20)가 배치되도록 위치하는 링형의 코일(30); 상기 자기 센서(20) 위에 접촉하는 니들(40); 및 상기 코일(30)에 전류를 공급하여 상기 자기 센서(20)에 자기장을 인가시키고, 상기 니들(40)을 통하여 상기 자기 센서(20)에 인가된 자기장을 검출하여 X,Y,Z-축 성분의 자기장을 검출하는 프로브 카드(50)를 포함한다.

도 3a 및 3b에 도시된 바와 같이, 프로브 카드(probe card) (50)에 연결된 니들(40)은 자기 센서(20)와 접촉하여 자기장을 측정한다. 그래서 니들(40)이 자기 센서(20)와 직접 맞닿기 위해서는 코일(30)의 중심점(100)에 배치하면 안되고, 자기 센서(20) 바로 윗면에 정렬(align) 시켜야 하므로 코일(30)의 어느 한 방향으로 치우쳐 있다. 이와 같이, 자기 센서(20)를 코일(30)의 중심점(100)이 아닌 곳(도 3a의 일 실시예에서는 좌상측)에 배치하기 위해선 자기 센서(30)에 연결되는 니들(needle, 40) 또한 X, Y 좌표상에서 자기 센서(20)와 유사한 좌상측의 자기 센서(30) 상부 지점에 배치되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 프로브 카드(50)는 반도체의 동작을 검사하기 위하여 반도체 칩과 테스트 장비를 연결하는 장치로서, 프로브 카드(50)에 장착되어 있는 프로브 니들(40)이 웨이퍼(10)를 접촉하면서 전기를 보내고, 그때 돌아오는 신호에 따라 불량 반도체 칩을 선별한다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법의 다른 실시예를 설명하기 위한 웨이퍼 평면도이다.

도시된 바와 같이, 웨이퍼(10) 상에 테스트하고자 하는 자기 센서(20)의 위치는 코일(30)의 중심점(100)을 제외하고 코일(30) 영역 안에 각 사분면에 1개씩 배치하면 4개(20a, 20b, 20c, 20d)를 배치 가능하고, 또는 4개씩 배치하면 16개까지 배치할 수 있다. 많이 배치할수록 측정 시간을 짧게 가져갈 수 있다.

또는 다른 예로서, 코일(30) 영역을 벗어난 위치에 배치할 수 있다. 도 4b는 코일(30) 영역을 벗어나 우상측의 위치에 배치한 것을 보여 준다. 이와 같이 코일(30) 영역을 벗어난 위치도 측정에 유효하다. 이때, 자기 센서(20)와 접촉하는 자기력선의 방향이 45도 각도를 형성할 수 있는 위치에 있는 것이 바람직하다. 너무 멀리 떨어져 있으면 자기장의 세기가 작아지기 때문에 측정이 곤란하다.

따라서, 본 발명은, 웨이퍼 상태로 다축 자기 센서를 테스트하되, 웨이퍼의 단면적 보다 작은 크기의 코일을 이용하여 다축 자기 센서에 대하여 어느 일측 방향, 예로서 수직 방향(Z축)의 코일 하나만으로도 다른 축(X 또는 Y축)을 포함하는 3축 방향의 자기장을 검출함으로써 코일의 크기 및 개수를 줄일 수 있고, 자기장을 발생시키는데 필요한 전류를 줄일 수 있으므로 테스트 비용 및 소요 시간을 줄일 수 있다.

본 명세서에 기재된 본 발명의 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 관한 것으로, 발명의 기술적 사상을 모두 포괄하는 것은 아니므로, 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 따라서, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 본 발명의 청구범위 기재의 권리범위 내에 있게 된다.

10 : 웨이퍼
20, 20a, 20b, 20c, 20d : 자기 센서
22 : X축 방향
24 : Y축 방향
30 : 코일
35a, 35b, 37: 자기력선
39: 자기력선 기울기
40 : 니들
50 : 프로브 카드

Claims (18)

1. 웨이퍼의 표면에 평행한 방향을 갖는 코일의 자기장 내부에 자기 센서를 배치하는 단계;
   상기 자기 센서에 상기 코일을 이용하여 3축 방향의 자기장을 인가시키는 단계; 및
   상기 자기 센서에 인가된 상기 3축 방향의 자기장을 검출하는 단계;를 포함하되,
   상기 자기 센서는 상기 코일의 중심점으로부터 일정거리 떨어진 지점에 위치하고,
   상기 코일의 단면적은 상기 웨이퍼의 단면적 보다 작으며,
   상기 자기 센서는 상기 3축 방향의 자기장으로부터 발생되는 자기력선과 접촉하며,
   상기 자기력선은 상기 웨이퍼의 표면과 약 45도의 입사각을 가지고 접촉하여, 상기 자기 센서에 인가되는 자기장을 X, Y, Z-축 성분으로 분해할 경우, X, Y, Z-축 모두 유사한 값을 갖는, 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,
   상기 자기 센서는 상기 코일의 영역 안에 배치하되, 상기 코일의 중심점으로부터 일정거리 떨어진 지점에 위치하는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법.
4. 삭제
5. 삭제
6. 제 1항에 있어서,
   상기 코일이 프로브 카드에 형성되는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 프로브 카드에 연결된 니들은 상기 코일의 중심점에서 상기 코일의 어느 한쪽으로 치우쳐 배치하는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법.
8. 제 1항에 있어서,
   상기 자기장을 측정하려고 하는 상기 자기 센서를 상기 코일의 영역을 벗어난 위치에 배치하는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법.
9. 제 1항에 있어서,
   상기 자기 센서의 위치는 상기 코일의 중심점을 제외한 상기 코일의 영역 내의 사분면의 서로 다른 어느 한 위치에 배치되는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법.
10. 제 9항에 있어서,
    상기 코일의 영역 내에 복수개의 상기 자기 센서가 배치되도록 하는 웨이퍼 상의 자기 센서 테스트 방법.
11. 자기 센서를 포함한 웨이퍼; 및
    상기 자기 센서의 표면에 평행한 방향을 갖는 링형 코일;을 포함하되,
    상기 링형 코일의 단면적은 상기 웨이퍼의 단면적 보다 작으며,
    상기 자기 센서는 테스트를 위해 상기 링형 코일의 자기장 내측에 배치되고,
    상기 자기 센서는 상기 링형 코일의 중심점으로부터 일정거리 떨어진 지점에 위치하여 3축 방향의 자기장이 상기 자기 센서에 인가될 수 있도록 배치되며,
    상기 자기 센서는 상기 3축 방향의 자기장으로부터 발생되는 자기력선과 접촉하며,
    상기 자기력선은 상기 웨이퍼의 표면과 약 45도의 입사각을 가지고 접촉하여, 상기 자기 센서에 인가되는 자기장을 X, Y, Z-축 성분으로 분해할 경우, X, Y, Z-축 모두 유사한 값을 갖는, 자기 센서 테스트 장치.
12. 제 11항에 있어서,
    상기 자기 센서는 상기 코일의 중심점으로부터 일측으로 치우친 위치에 배치한 자기 센서 테스트 장치.
13. 삭제
14. 삭제
15. 삭제
16. 제 11항에 있어서,
    상기 코일과 상기 웨이퍼는 서로 평행한 자기 센서 테스트 장치.
17. 제 11항에 있어서,
    상기 자기 센서의 위치는 상기 코일의 중심점을 제외한 상기 코일의 영역 내의 사분면의 서로 다른 어느 한 위치에 배치되는 자기 센서 테스트 장치.
18. 제 11항에 있어서,
    상기 코일의 영역 내에 복수개의 상기 자기 센서가 배치되도록 하는 자기 센서 테스트 장치.
    
    

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