JP6365953B1 - プローバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電性の支持面18aを有するウエハチャック18と、支持面18aに対向する面に複数のプローブ25を有するプローブカード24と、支持面18aに対して平行に形成されると共に支持面18aに電気的に接続された導電性のステージ面50aを有し、ウエハチャック18と一体的に移動するステージ部材50と、ステージ面50aに対向する位置に配置された導電性接触子52と、ステージ面50aと平行かつ近接した位置に配置され、一端が導電性接触子52に電気的に接続され、ウエハチャック18側に向かって延設された平板状配線部材70と、を備える。
【選択図】図4
Description
図1は、ウエハテストシステムの基本構成の一例を示した全体概略図である。
上述したウエハテストシステムにおいては、チップ裏面電極がウエハチャック18、ステージ部材50、及び導電性接触子52を介してテスタ本体31に接続される構成を採用したことにより、上述した各種の作用効果を得ることができる。しかしながら、その一方で、チップ裏面電極と導電性接触子52との距離(水平方向の距離)、すなわち、ウエハWに対してプローブ25が接触する位置(検査するチップの位置)62とステージ部材50に対して導電性接触子52が接触する位置60との間の距離(水平方向の距離)については、その構造上短くすることはできない。そのため、ウエハレベル検査において動的測定や静的測定の大電流測定が行われるとき、上記距離よる浮遊インダクタンスがウエハレベル検査で測定されたチップの測定波形に影響を与えてしまう問題がある。
この式(1)から分かるように、平行平板間の距離dが短いほどインダクタンスLは小さくなる。また、平行平板の幅wが広いほどインダクタンスLは小さくなる。
上述した実施形態では、図2に示したように、ステージ部材50のステージ面50aは、ウエハチャック18の支持面18aと同形状かつ同面積であるが、少なくともウエハチャック18の移動可能範囲において導電性接触子52が常に接触可能なステージ面50aを有するものであれば異なる形状または面積であってもよい。例えば、ステージ部材50のステージ面50aは、ウエハチャック18の支持面18aと同じ平面形状(円形状)であって、その支持面18aよりも大きな面積を有する態様でもよい。この場合、平板状配線部材70の幅は、ステージ部材50のステージ面50aの平面形状に応じて適宜設定されることが好ましい。
上述した実施形態では、ステージ部材50のステージ面50aに接触可能な導電性接触子52としてスプリングピンを用いたが、これに限らず、例えばカンチレバータイプや垂直針タイプなどのプローブカード状の接触子を用いてもよい。
Claims (6)
- 導電性の支持面を有するウエハチャックと、
前記支持面に対向する面に複数のプローブを有するプローブカードと、
前記支持面に対して平行に形成されると共に前記支持面に電気的に接続された導電性のステージ面を有し、前記ウエハチャックと一体的に移動するステージ部材と、
前記ステージ面に対向する位置に配置された導電性接触子と、
前記ステージ面と平行かつ近接した位置に配置され、一端が前記導電性接触子に電気的に接続され、前記ウエハチャック側に向かって延設された平板状配線部材と、
を備え、
前記ステージ部材と前記平板状配線部材とで形成された略平行平板構造を有する、
プローバ。 - 前記プローブカードを保持するヘッドステージを有し、
前記平板状配線部材は、前記ヘッドステージの前記ステージ面に対向する面に沿って配設される、
請求項1に記載のプローバ。 - 前記ヘッドステージと前記平板状配線部材との間にはスペーサ部材が設けられる、
請求項2に記載のプローバ。 - 前記ステージ部材は、前記ウエハチャックとは分離して構成され、前記ステージ面と前記支持面とはステージ接続用配線部材を介して電気的に接続される、
請求項1から3のいずれか1項に記載のプローバ。 - 前記ステージ接続用配線部材は、平板状の可撓性配線部材により構成される、
請求項4に記載のプローバ。 - 前記ステージ部材は、前記ウエハチャックと一体的に構成される、
請求項1から3のいずれか1項に記載のプローバ。
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