JP4584417B2 - 磁気情報再生用プローブ及びそのプローブの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気情報再生用プローブ及びそのプローブの製造方法に関し、更に詳しくは、光アシスト磁気記録の再生に使用する磁気ヘッドと熱源を一体化した磁気情報再生用プローブ及びそのプローブの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
新しい磁気情報記録方式として、例えば特開平4−176034号公報で公開されているような、フェリ磁性体の補償温度における特性を利用して高密度化を図る光アシスト磁気情報記録方式がある。これは、記録層として図14のように室温近傍に磁気補償点温度を有するTbFeCo等のフェリ磁性体を用い、レーザ光の照射により記録層を加熱して記録と再生を行う方式である。この方式では、記録用ヘッド13により記録層に記録磁界を印加しながらレーザ光を照射すると、照射された部分12は温度が上昇して保磁力10が低下し、磁化方向が記録磁界に応じて容易に変化して記録が行われるが、照射されていない部分は保磁力10が高いままであるために磁化方向が変化せず記録が行われない。このためにヘッドの幅に関わらず、照射された部分12だけ選択的に磁気情報の記録が行える。
【0003】
また、再生用ヘッド13を作動させながら、再生領域にレーザ光を照射すると、照射された部分12は温度が上昇して残留磁化11が増加し、記録された情報の検出が容易となるが、照射されていない部分は温度が上昇せず残留磁化11が低いままであるために記録済みの情報があっても信号が読み出されない。このためにヘッドの幅に関わらず、照射された部分12だけ選択的に磁気情報の再生が行える。
【0004】
以上のように、レーザ光が照射された部分だけの記録と再生が行えるため、レーザ光の直径に応じた昇温領域幅で決まる、磁気ヘッド幅よりも狭いトラック幅の磁気記録が可能となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来提案されていた光アシスト磁気情報記録方式では、光ヘッド(ピックアップ)は磁気ヘッドと分離され、記録媒体を挟んだ反対側に位置しており、記録媒体面内方向において磁気ヘッドとの位置を合わせることが難しかった。また、記録媒体の両面使用が不可能なので、記録容量の増大を図る上で足枷となっていた。更に、記録媒体の昇温を最小限にするためにも、記録媒体上の昇温領域と磁界印加領域または磁界検出領域の距離をなるべく小さくすることにより、位置合わせが不要で記録媒体の両面使用を可能にし、昇温を最小限にする方法が望まれていた。
【0006】
その方法として磁気ヘッドと光ヘッドの複合化があり、光磁気記録や熱磁気記録の分野で幾つか提案されてきた。例えば、特開平1−273252号公報で公開されているような、空隙を有する磁気回路内部にレーザと光学系が組み込まれた光磁気用ピックアップがある。これは、空隙に組み込むことでレーザ発光部と磁気ヘッドギャップを一致させ、理想的な複合ヘッドを実現可能にしようとするものである。しかし、近年の高密度記録に対応した磁気回路ではこの様な空隙を有するものは廃れてきており、積層薄膜ヘッドが使用されているために、あまり採用されていないのが現状である。
【0007】
本発明はこのような課題を克服すべくなされたものであり、具体的には昇温を担うレーザ光が照射される位置と磁気ヘッドの位置が記録媒体表面において、その相対的位置関係が変わらないプローブタイプのヘッドを提供することを主目的の一つとしている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、コアとクラッドを有すると共に、前記クラッドの一方端の端面から突出するように前記コアの一方端に形成された円錐状の先鋭部を有し、記録媒体にレーザ光を供給するための光ファイバと、この光ファイバの前記クラッドの一方端の端面に膜形成され、記録媒体の磁界を検出するための磁界検出素子と、光ファイバの側面に膜形成された、前記磁界検出素子に対する薄膜電極とを備えた磁気情報再生用プローブを提供する。
【0009】
すなわち、本発明は、先鋭化された光ファイバの端面に磁界検出素子、つまり磁気ヘッドを膜形成してプローブとし、そのプローブにレーザ光を通して記録媒体を加熱すると同時に、磁気ヘッドで磁気情報の再生を行うことを特徴としている。
このプローブを光アシスト磁気記録方式に用いると、光ファイバと磁気ヘッドとが一体化されているので、レーザ光の位置と磁気ヘッドの位置は一定で、かつプローブの直径内に収まり、それによって正確な磁気情報の再生が可能となる。
【0010】
本発明において、光ファイバの先鋭化された方の端面には磁界検出素子が形成される。
この磁界検出素子としては、絶縁性半導体化合物層と、この半導体化合物層を挟む少なくとも2つの強磁性体層とで構成され、前記半導体化合物層を流れる電流を前記2つの強磁性体層の磁化方向により変化させることができる、いわゆる“トンネル型巨大磁気抵抗効果”を発現できる“磁気トンネル接合素子”が好ましいものとして挙げられる。
【0011】
ここで2つの強磁性体層は、その一方が非磁性金属層部分と、この非磁性金属部分で隔てられ反強磁性的に結合する2つの強磁性体層部分とからなり、他方の強磁性体層が1層もしくは多層の強磁性体層からなるのが好ましい。なお、強磁性体層部分には、Fe,Co,Ni又はこれらの合金が使用できる。
また2つの強磁性体層部分の一方が、Mnを含む合金、例えばFeMnからなる反強磁性体層と接していると、交換相互作用により一方向異方性が与えられる効果が得られるので好ましい。
【0012】
絶縁性半導体化合物層は、具体的には、Al,Siのいずれか一方と、B,C,N,O,P,Sのいずれかとの化合物の層を採用でき、非磁性金属層としては、Cu,Ag,又はAuの層を採用できる。
磁界検出素子の他の例としては、磁性体層と導電体層とを交互に積層して構成され、導電体層を流れる電流を磁性体層の磁化方向により変化させることができる、いわゆる“巨大磁気抵抗効果”を発現できる“人工格子磁性体膜”の使用も可能である。
ここで、磁性体層は、Fe,Co,Ni又はこれらの化合物の層であり、導電体層は、Cu,Ag又はAuの層である。
【0013】
一方、本発明に係る磁気情報再生用プローブは、光ファイバの側面に、上述した磁界検出素子に対する薄膜電極を備えている。この薄膜電極は、具体的には、膜厚1〜5μmのCu、Ag又はAuの膜を、スパッタリング法、熱蒸着法、めっき法など、通常この分野で電極形成で採用される方法で形成することによって得られる。
【0014】
本発明は、別の観点によれば、コアとクラッドを有する光ファイバの一端部をエッチング処理することにより、前記クラッドの一方端を除去し、かつエッチング処理されたクラッドの端面から突出するように前記コアの一方端に円錐状先鋭部を突出形成させる第1工程と;第1工程後の光ファイバーの先鋭部、クラッドの前記端面および側面に下部電極用薄膜を被せる第2工程と;光ファイバーの先鋭部およびクラッドの前記端面に被せられた前記下部電極用薄膜に多層薄膜を被せる第3工程と;前記多層薄膜と、光ファイバの側面に被せられた前記下部電極用薄膜とに絶縁体層を積層させる第4工程と;前記多層薄膜に被せられた前記絶縁体層を、光ファイバの半径より小さい半径を持つ同心円内の範囲で除去する第5工程と;露出した前記多層薄膜と絶縁体層とに上部電極用薄膜を被せる第6工程と;光ファイバの側面に積層された前記下部電極用薄膜、絶縁体層及び上部電極用薄膜を光ファイバの長軸に沿う一つの帯状部分を残して除去する第7工程と;光ファイバの先鋭部の先端部分に積層された前記下部電極用薄膜、多層薄膜及び上部電極用薄膜を除去する第8工程と;前記帯状部分の上部電極用薄膜の一部を除去して前記絶縁体層を露出させる第9工程と;露出された前記絶縁体層の一部を除去して前記下部電極用薄膜を露出させることにより、記録媒体にレーザ光を供給するための前記円錐状先鋭部を有する光ファイバと、この光ファイバのクラッドの一方端の端面に膜形成されて、記録媒体の磁界を検出するための磁界検出素子と、光ファイバの側面に上・下部電極用薄膜として形成された前記磁界検出素子に対する薄膜電極とを備えた磁気情報再生用プローブを得る第10工程と;を含む磁気情報再生用プローブの製造方法を提供できる。
ここで、第1工程のエッチング処理としては、NH4 FとHFの混合水溶液による選択化学エッチングが好ましい処理として挙げられる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図1〜13に示す実施の形態に基づいて説明する。
図1は、本発明に係る磁気情報再生用プローブを用いた光アシスト磁気記録方式の概要を示す図である。
【0017】
図1において、磁気情報再生用プローブ1は、光ファイバ2と、この光ファイバの先鋭化された方の端面に形成された磁界検出素子14と、光ファイバ2の側面に形成された薄膜電極15とから主としてなる。
光ファイバ2は、中心部分を構成するコア1bと、その周りのクラッド1aとからなり、端面部のコア1bが円錐状に先鋭化され(先鋭部:2a)、その周りのクラッド1aが除去されている。
【0018】
磁界検出素子14は、後述する多層薄膜9からなり、いわゆる磁気ヘッドを構成する。
薄膜電極15は、多層薄膜9に導通する上部電極(層)5と下部電極(層)3とからなる。なお、4は両電極(層)3・5の絶縁層であり、6・6は両電極(層)3・5の導線である。
【0019】
かくして、図示されていない手段によりプローブ先鋭部2aを記録媒体8に近づけ、レーザ光7を通して記録媒体8を熱しながら、プローブ端面に堆積された磁気ヘッドの多層薄膜9により記録媒体8に記録されていた磁気情報の再生を行うものである。なお、16はレーザ光を光ファイバ2に供給するレーザ、17は記録媒体8を移動可能に支持する支持部(手段)である。
【0020】
次に、図2〜13を参照しながら図1に示したプローブの製作方法について詳細に説明する。
図2は工程の全体の流れを示したフローチャート図である。図3〜13はプローブの製作工程を説明する工程説明図であり、各図の(a)は光ファイバの側面を、(b)は光ファイバの端面の様子を示す。
【0021】
まず、図2において、磁気情報再生用プローブの製造方法はほぼ次の各工程(1〜10)からなる。すなわち、
(1)光ファイバの先端を先鋭化(第1工程)
(2)光ファイバに下部電極層を堆積(第2工程)
(3)光ファイバの先端部に磁気ヘッド用薄膜を堆積(第3工程)(4)光ファイバに絶縁層を堆積(第4工程)
(5)光ファイバの端面部の絶縁層を一部エッチング(第5工程)(6)光ファイバに上部電極槽を堆積(第6工程)
(7)光ファイバ側面に堆積された膜を一部残してエッチング(第7工程)
(8)光ファイバ端面でコアの周囲をエッチング(第8工程)
(9)光ファイバ側面に残った膜を一部エッチングして絶縁層を露出させる(第9工程)
(10)光ファイバ側面に露出した絶縁膜を一部エッチングして下部電極槽を露出させる(第10工程)
【0022】
次に、図3に示す第1工程で、光ファイバの先端を先鋭化する。これには、例えば「大津元一:応用物理 第65巻第1号『フォトン走査トンネル顕微鏡技術』」などに記載されているような、NH4FとHFの混合水溶液による選択化学エッチングを用いる。つまり、HFとH2Oの体積比を等しくしたNH4FとHFの混合水溶液の中に光ファイバの先端部分Sを約1時間浸すと、図3に破線で区切られて示されている光ファイバの中心部分であるコア1b(材質:石英(高屈折率))が選択的に先鋭化されて、その周りのクラッド1a(材質:石英(低屈折率))の端面が除去される。この水溶液においてNH4FのHFに対する体積比が5倍を超える場合は、コア1bの先端角はその体積比に依らずコア1b中のGeO2の濃度に依って決まる。
【0023】
次に、図4に示す第2工程で、光ファイバの先鋭化された方の端面(先鋭部2aを含む)と側面に、導電に十分な厚さ(例えば、1〜5μm)の電極用薄膜をスパッタリング法により堆積する。これは磁気ヘッドの下部電極層3になるもので、代表的な材料としてはCuやAg、Au等が挙げられる。また、この実施の形態では堆積する方法としてスパッタリング法を用いているが、熱蒸着法やめっき法などの、他の堆積方法を用いてもよい。
【0024】
次に、図5に示す第3工程で、光ファイバの先鋭化された方の端面に磁界を検出するヘッドを構成する多層薄膜9をスパッタリング法により堆積する。
磁界を検出する原理としては一般に磁気抵抗効果が用いられてきており、近年ではより検出感度の高い巨大磁気抵抗効果が用いられ始めている。この実施の形態では更に検出感度の高いトンネル型巨大磁気抵抗効果(トンネル磁気抵抗効果)を用い、それを発現させる構造として、強磁性体層/絶縁性半導体化合物層/強磁性体層を含む多層薄膜構造を採用し、その多層薄膜9として例えばNiFe/Co/Al2O3/Co膜(膜厚:17/5/5/75nm)を採っている。
【0025】
次に、図6に示す第4工程で、光ファイバの先鋭化された方の端面と側面に絶縁層4をスパッタリング法により堆積する。これは、第2工程で堆積した下部電極層3とこの後の第6工程で堆積する上部電極層5を絶縁するためのものである。代表的な材料としてはAl2O3等が挙げられ、使用する材料や加わる電圧によって絶縁に必要な厚さは異なってくる。例えば材料:Al2O3、加える電圧:1Vでは、必要な膜厚:0.1μmである。
【0026】
次に、図7に示す第5工程で、光ファイバの先鋭化された方の端面に堆積した層のうち絶縁層4だけを、光ファイバの半径より小さい半径を持つ同心円の範囲でイオンビームエッチング等の異方性ドライエッチングによってエッチングする(以下のエッチングも同様)。これは磁気ヘッド膜9と上部電極層5を導電させるための処理であるが、端面を全てエッチングしてしまわないのは、端面の縁で下部電極層3と上部電極層5が接するのを防ぐためである。エッチングする範囲は、エッチングの加工精度にもよるが、光ファイバの端面の70〜95%が好ましく、おおよそ90%が限界である。
【0027】
次に、図8に示す第6工程で、導電に必要な厚さ(例えば1〜5μm)の上部電極層5を、第2工程と同様の材料と方法(スパッタリング法)により堆積する。
ここで、第3工程で光ファイバの端面に堆積された磁気ヘッド膜9は、磁気情報再生時の作用力を高めるために、なるべく光アシスト磁気記録媒体に近づける必要があるが、それを実現するために必要な3つの条件を以下に示す。
・第2工程で堆積する下部電極層3はなるべく厚くする。
・第4工程で堆積する絶縁層4及び第6工程で堆積する上部電極層5はなるべく薄くする。
・第6工程が終了した時点で光ファイバの端面に堆積された膜の厚さは、端面からのプローブ先鋭部2aの高さより薄い範囲で、かつ、その高さになるべく近づける。
【0028】
次に、図9に示す第7工程で、光ファイバの側面に堆積した全ての層を異方性ドライエッチングによってエッチングする。但しエッチング方向は、光ファイバの端面に堆積した層をエッチングしないように、側面に対して垂直をなす方向よりもX°(0<X<90)だけ長軸方向に傾ける。この角度Xは、使用するエッチングの異方性によって異なってくる。異方性が大きければXは小さくてもよいし、異方性が小さければXを大きくしなければならない。さらに、光ファイバかエッチング方向のいずれか一方を固定した上で、もう一方を回転させながらエッチングしていき、図10に示すように、層5が電極として必要な幅になった時点でエッチングを終了する。
【0029】
次に、図11に示す第8工程で、端面に堆積した層を全て、光ファイバの先端部を中心とする、なるべく小さな同心円の範囲、即ちエッチングの最小分解能の半径を持つ同心円の範囲でエッチングする。
【0030】
次に、図12に示す第9工程で、光ファイバの側面に残った層のうち上部電極層5を、長軸方向に1mm程度(長さ)、かつ短軸方向に光ファイバの直径程度(幅)の範囲でエッチングし、第4工程で堆積した絶縁層4を露出させる。
【0031】
次に、図13に示す第10工程で、第9工程でエッチングした範囲のうち更に絶縁層4を、電極部として十分な広さを持つよう長軸方向に0.5mm程度(長さ、露出絶縁層4の1/2)、かつ短軸方向に光ファイバの直径程度の範囲(幅、露出絶縁層4と同じ幅)でエッチングし、第6工程で堆積した下部電極層3を露出させる。
【0032】
作製したプローブを光アシスト磁気記録再生システムに組み込むには、従来の再生磁気ヘッドと光ピックアップに置き換える、即ち図1のように、今まで再生磁気ヘッドに接続されていた配線を、再生用のプローブ側面の上部電極層5と下部電極層3に接続し、プローブの先鋭化されていない方の端をレーザ16(光源)に接続すればよい。
【0033】
【発明の効果】
本発明によれば光アシスト磁気記録方式において正確な磁気情報の再生ができ、それに伴って、従来安定した再生を行うために必要だった磁気情報同士の間隔を狭められるので、磁気情報の高密度化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明で作製したプローブを用いた光アシスト磁気方式の概要を示す図である。
【図2】プローブの製作工程のフローチャートを示す図である。
【図3】光ファイバの先端を先鋭化する工程を示す図である。
【図4】下部電極層3を堆積する工程を示す図である。
【図5】磁気ヘッド用の多層薄膜9を堆積する工程を示す図である。
【図6】絶縁層4を堆積する工程を示す図である。
【図7】光ファイバの先鋭化された方の断面をエッチングする工程を示す図である。
【図8】上部電極層5を堆積する工程を示す図である。
【図9】光ファイバの側面に堆積した全ての層をエッチングする工程を示す図である。
【図10】光ファイバの側面のエッチングが終了した状態を示す図である。
【図11】光ファイバの先端部をエッチングする工程を示す図である。
【図12】光ファイバの側面の上部電極層5をエッチングする工程を示す図である。
【図13】光ファイバの側面の絶縁層4をエッチングする工程を示す図である。
【図14】光アシスト磁気記録方式の記録と再生原理を示す図である。
【符号の説明】
1 磁気情報再生用プローブ
1a クラッド
1b コア
2 光ファイバ
2a プローブ先鋭部
3 下部電極層
4 絶縁層
5 上部電極層
6 導線
7 レーザ光
8 磁気記録媒体
9 磁気ヘッド
14 磁界検出素子
15 薄膜電極
16 レーザ光源
17 記録媒体の移動支持手段
Claims (12)
- コアとクラッドを有すると共に、前記クラッドの一方端の端面から突出するように前記コアの一方端に形成された円錐状の先鋭部を有し、記録媒体にレーザ光を供給するための光ファイバと、
この光ファイバの前記クラッドの一方端の端面に膜形成され、記録媒体の磁界を検出するための磁界検出素子と、
光ファイバの側面に膜形成された、前記磁界検出素子に対する薄膜電極とを備えた磁気情報再生用プローブ。 - 磁界検出素子が、絶縁性化合物層と、この化合物層を挟む少なくとも2つの強磁性体層とで構成され、前記化合物層を流れる電流を前記2つの強磁性体層の磁化方向により変化させることができる磁気トンネル接合素子からなる請求項1に記載のプローブ。
- 2つの強磁性体層の一方が、非磁性金属層部分と、この非磁性金属層部分で隔てられ、反強磁性的に結合された2つの強磁性体層部分とからなり、
他方の強磁性体層が、1層もしくは多層の強磁性体層部分からなる請求項2に記載のプローブ。 - 強磁性体層部分が、Fe,Co,Ni又はこれらの合金からなる請求項2又は3に記載のプローブ。
- 2つの強磁性体層の少なくとも一方が、Mnを含む合金からなる反強磁性体層と接している請求項2〜4のいずれか1つに記載のプローブ。
- 絶縁性化合物層が、Al,Siのいずれか一方と、B,C,N,O,P,Sのいずれかとの化合物の層からなる請求項2〜5のいずれか1つに記載のプローブ。
- 非磁性金属層部分が、Cu,Ag,又はAuの層からなる請求項3に記載のプローブ。
- 磁界検出素子が、磁性体層と導電体層とを交互に積層して構成され、導電体層を流れる電流を磁性体層の磁化方向により変化させることができる人工格子磁性体膜からなる請求項1に記載のプローブ。
- 磁性体層が、Fe,Co,Ni又はこれらの化合物の層からなる請求項8に記載のプローブ。
- 導電体層が、Cu,Ag又はAuの層からなる請求項8又は9に記載のプローブ。
- コアとクラッドを有する光ファイバの一端部をエッチング処理することにより、前記クラッドの一方端を除去し、かつエッチング処理されたクラッドの端面から突出するように前記コアの一方端に円錐状先鋭部を突出形成させる第1工程と、
第1工程後の光ファイバーの先鋭部、クラッドの前記端面および側面に下部電極用薄膜を被せる第2工程と、
光ファイバーの先鋭部およびクラッドの前記端面に被せられた前記下部電極用薄膜に多層薄膜を被せる第3工程と、
前記多層薄膜と、光ファイバの側面に被せられた前記下部電極用薄膜とに絶縁体層を積層させる第4工程と、
前記多層薄膜に被せられた前記絶縁体層を、光ファイバの半径より小さい半径を持つ同心円内の範囲で除去する第5工程と、
露出した前記多層薄膜と絶縁体層とに上部電極用薄膜を被せる第6工程と、
光ファイバの側面に積層された前記下部電極用薄膜、絶縁体層及び上部電極用薄膜を光ファイバの長軸に沿う一つの帯状部分を残して除去する第7工程と、
光ファイバの先鋭部の先端部分に積層された前記下部電極用薄膜、多層薄膜及び上部電極用薄膜を除去する第8工程と、
前記帯状部分の上部電極用薄膜の一部を除去して前記絶縁体層を露出させる第9工程と、
露出された前記絶縁体層の一部を除去して前記下部電極用薄膜を露出させることにより、記録媒体にレーザ光を供給するための前記円錐状先鋭部を有する光ファイバと、この光ファイバのクラッドの一方端の端面に膜形成されて、記録媒体の磁界を検出するための磁界検出素子と、光ファイバの側面に上・下部電極用薄膜として形成された前記磁界検出素子に対する薄膜電極とを備えた磁気情報再生用プローブを得る第10工程と
を含む磁気情報再生用プローブの製造方法。 - 第1工程のエッチング処理が、NH4 FとHFの混合水溶液による選択化学エッチング処理である請求項11に記載の磁気情報再生用プローブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000178640A JP4584417B2 (ja) | 2000-06-14 | 2000-06-14 | 磁気情報再生用プローブ及びそのプローブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000178640A JP4584417B2 (ja) | 2000-06-14 | 2000-06-14 | 磁気情報再生用プローブ及びそのプローブの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001357572A JP2001357572A (ja) | 2001-12-26 |
JP4584417B2 true JP4584417B2 (ja) | 2010-11-24 |
Family
ID=18680041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000178640A Expired - Fee Related JP4584417B2 (ja) | 2000-06-14 | 2000-06-14 | 磁気情報再生用プローブ及びそのプローブの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4584417B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7791839B2 (en) | 2006-09-14 | 2010-09-07 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Thermally-assisted perpendicular magnetic recording system with write pole surrounding an optical channel and having recessed pole tip |
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-
2000
- 2000-06-14 JP JP2000178640A patent/JP4584417B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP2001357572A (ja) | 2001-12-26 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100616 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100902 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |