JP2004039187A - 垂直磁気記録用ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】垂直磁気記録用ヘッドにおいて磁極の残留磁化による磁気情報の劣化を防止する。
【解決手段】ヘッドの媒体対向面に略平行に記録電流を流す導体を形成し、これが作る磁力によって、磁性体を用いず直接、磁気記録動作を行わせる。
【効果】磁性体を用いない構造のため従来の磁性体の残留磁化による影響を無くすことが出来、記録媒体上の磁気情報を劣化させる心配が無く、かつ構造が簡単で容易に製造が可能である。
【選択図】 図1
【解決手段】ヘッドの媒体対向面に略平行に記録電流を流す導体を形成し、これが作る磁力によって、磁性体を用いず直接、磁気記録動作を行わせる。
【効果】磁性体を用いない構造のため従来の磁性体の残留磁化による影響を無くすことが出来、記録媒体上の磁気情報を劣化させる心配が無く、かつ構造が簡単で容易に製造が可能である。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気記憶装置に用いられる磁気記録ヘッド、特に垂直磁気記録用の磁気記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気ディスク装置を代表とする磁気記憶装置では、記憶容量を増加するために記録密度の向上が追求され続けている。このような要求に対し、これまでの長手磁気記録に比べ原理的に高密度記録が可能な方式として垂直磁気記録方式が提案されている。
【0003】
この垂直磁気記録で用いる磁気記録媒体や磁気ヘッドの構造は、従来の長手磁気記録方式用のそれとは異なった構造が適しているとされており、さまざまな記録媒体や磁気ヘッドが提案されている。
【0004】
特開平6−236526号公報に2層媒体と組み合わせて用いる磁気ヘッドの一構造例が開示されている。この従来技術においては、情報の記録および再生に用いる主磁極と磁路の磁気抵抗を低めるために補助磁極を設けて、記録ヘッドおよび再生ヘッドの効率を高めている。
【0005】
このような構造の記録ヘッドでは、主磁極はトラック幅に相当する横幅(一般的には1μm以下)で数μmオーダーの長さの磁性薄膜で形成されているため、記録電流が流れていない状態でも主磁極には記録媒体方向への残留磁化が発生している可能性がある。
【0006】
特に補助磁極を持った磁気ヘッドと2層媒体とを組み合わせて用いる場合には、近似的に閉磁路が形成されているため、主磁極の残留磁化により記録媒体上の磁気情報が消去もしくは信号品質が劣化してしまうという懸念がある
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、記録電流が流れていない状態でも記録媒体上の磁気情報を劣化する懸念の無い構造が簡単で容易に製造できる垂直磁気記録用の磁気記録ヘッドを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
磁気記録媒体に磁気的情報を記録するヘッドの磁気記録媒体の対向面に略平行に記録電流を流すコイルを形成し、このコイルの作る磁界により、直接磁気記録を行わせる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について、図1、図2および図3を用いて説明する。
【0010】
図2は本発明の実施形態による記録ヘッドを形成・配置する前の、再生ヘッドの形成および記録ヘッドに用いる接続用導体を成膜した状態の、ヘッド断面を示す図である。
【0011】
非磁性基板1上にAl2O3等の非磁性絶縁材料2よりなる約4μm厚の下地層2を設け、その上に再生ヘッド3を配置している。
【0012】
再生ヘッド3は第1の強磁性層、巨大磁気抵抗効果を示す素子部、第2の強磁性層および絶縁薄膜層等から形成されている。
【0013】
この上にAl2O3などによる10μm厚の絶縁層4を形成する。絶縁層4の上端面9はヘッド完成時に記録媒体流出端側、いわゆるトレーリングエッジ側の端面となる。絶縁層4中には記録ヘッド用の接続用導体5を介在させている。接続用導体5は記録ヘッドに記録電流を流す際に用いるもので2本1組(5A、5B)で形成する。
【0014】
この後、切断加工、研磨等により媒体対向面7を形成する。媒体対向面7には再生ヘッド3および接続用導体5の先端部が露出している。
【0015】
さらにこの後、図3の点線で示した記録用導体形成部8をホトエッチング技術等で掘り下げる。この記録用導体形成部8は図1に示したループ状の記録用導体部10を形成し、かつ接続用導体5(5A、5B)と接続させるエリアである。
【0016】
このエリアは前述した媒体対向面7の一部(絶縁層4と接続用導体5を積層した部分)を掘り下げるため記録用導体部10は接続用導体5の断面部と接続させることになる。
【0017】
記録用導体部10を形成(詳細は後述)した後に再生ヘッド3の先端部と略同一面とするため、後述する記録用導体部10の厚みを考慮して記録用導体形成部8は媒体対向面7から約0.6μmの深さとなるようにエッチングを施している。
【0018】
図1は図3の記録用導体形成部8に形成した記録用導体部10を媒体対向面7側から見た平面図である。
【0019】
記録用導体形成部8に厚さ0.2μmの第1の導体11、その上を覆うように記録用媒体形成部8全体に厚さ0.5μmの絶縁層(図示せず)、を順に形成した。絶縁層としてはAl2O3や有機性絶縁材料を用いても良い。
【0020】
この絶縁層形成後に記録用導体形成部8に平坦化加工を施し、第2の導体12の形成予定部を略平面とする。但し、第2の導体12と接続用導体5Bの接続部15Bと接続領域13上の絶縁材は第2の導体12を形成する前に取り除いておく。ちなみにもう一つの接続用導体5Aは導体11の形成時に接続されている。
【0021】
接続領域13は第1の導体11と第2の導体12を電気的に接続し、記録電流を流すためのものである。平坦化加工後の導体11上の絶縁層膜厚は約0.2μmである。
【0022】
この後、厚さ0.3μmの第2の導体12を形成する。導体11、12は金または銅などの導電性材料を用いることができる。また、第2の導体12のU字状の端部14は磁気ヘッドのトレーリングエッジ側のスライダ端面9側に位置するよう配置する。
【0023】
導体11、12にリング状に囲まれたリング中央部16は、導体11、12に記録電流が流れたとき記録磁界が発生する領域である。
【0024】
ここで発生した磁界は記録媒体に印可され磁気情報を記録することになる。この際、リング中央部16と記録媒体の間隔(スペーシング)が狭いほど記録磁界は強く印可されることから、導体11よりも記録媒体に近い導体12を記録が行なわれるトレーリングエッジ側に配置した。
【0025】
記録媒体が2層媒体であるとさらに磁界が強まることを期待できる。また、リング中央部16の横幅Twはトラック幅に対応するので精度良く形成することが望ましい。本実施形態では導体12のパターニング時にリング中央部16の部分をFIB(Focused Ion Beam)装置を用いて導体11、12の余分な部分を取り除き整形した。本実施形態においてはTwは0.35μmである。
【0026】
このような手順の後、記録用導体形成部8の導体11、12などによる段差を埋めるようにAl2O3等の絶縁材料で覆い、さらに媒体対向面7と略同一の面となるよう平坦化加工した。
【0027】
この工程での平坦化加工は再生ヘッド3の先端部にダメージを与えない加工法で行ない、同一面で第2の導体12の上部が露出するようにエッチング量や導体11,12の膜厚を選択した。加工後の第2の導体12の残厚は約0.2μmである。
【0028】
平坦化加工後、約6nm厚のDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を媒体対向面7に形成し保護膜とした。
【0029】
前述した従来例でも示されているように、磁気ヘッドは記録用ヘッドと再生用ヘッドの部分から構成されているのが一般的である。また記録媒体との間隔が狭くなるよう記録ヘッドも再生ヘッドもスライダ後部に配設される。記録用ヘッドは面内磁気記録用ヘッドも垂直磁気記録用ヘッドも記録媒体に向かって磁界を出すための磁性体と磁性体を励磁するための記録電流を流すコイルから構成されている。これまでの記録ヘッドでは性能上の理由により磁性体の先端部(一般に記録媒体に近い部分を先端部と表現されている)の位置形状・構造・磁気特性が重視されてきた。一方コイルは磁性体の中に磁束を効率良く発生できれば良いため記録媒体との位置関係は磁性体先端部ほど精度を必要としなかった。
本発明の記録ヘッドでは従来の記録ヘッドでは必須だった磁性体を用いることなく記録媒体に磁界を出すことができる。このためにはコイルの位置形状に対して従来以上の精度が必要となるが、従来の記録ヘッドの磁性体に要求されていた以上のものではない。むしろ磁性体を必要としない構造のため製造工程全体としては容易になっている。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、記録ヘッドに磁性体を用いていないため、磁性体の残留磁化で記録媒体上の磁気情報を劣化させる心配が無く、かつ構造が簡単で容易に製造が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態による記録用導体部を示す平面図である。
【図2】本発明の実施形態によるヘッドの構成を示す断面図である。
【図3】図2に記録用導体形成部8を追加した断面図である。
【符号の説明】
1・・・・・基板、
2・・・・・下地層、
3・・・・・再生ヘッド、
4・・・・・絶縁体、
5A、5B・・・・・接続用導体、
7・・・・・記録媒体対向面、
8・・・・・記録用導体形成部、
9・・・・・スライダ端面、
10・・・・記録用導体部、
11・・・・第1の導体、
12・・・・第2の導体、
13・・・・接続領域、
14・・・・端部、
15A、15B・・・・導体接続部
16・・・・リング中央部、
Tw・・・・トラック幅。
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気記憶装置に用いられる磁気記録ヘッド、特に垂直磁気記録用の磁気記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気ディスク装置を代表とする磁気記憶装置では、記憶容量を増加するために記録密度の向上が追求され続けている。このような要求に対し、これまでの長手磁気記録に比べ原理的に高密度記録が可能な方式として垂直磁気記録方式が提案されている。
【0003】
この垂直磁気記録で用いる磁気記録媒体や磁気ヘッドの構造は、従来の長手磁気記録方式用のそれとは異なった構造が適しているとされており、さまざまな記録媒体や磁気ヘッドが提案されている。
【0004】
特開平6−236526号公報に2層媒体と組み合わせて用いる磁気ヘッドの一構造例が開示されている。この従来技術においては、情報の記録および再生に用いる主磁極と磁路の磁気抵抗を低めるために補助磁極を設けて、記録ヘッドおよび再生ヘッドの効率を高めている。
【0005】
このような構造の記録ヘッドでは、主磁極はトラック幅に相当する横幅(一般的には1μm以下)で数μmオーダーの長さの磁性薄膜で形成されているため、記録電流が流れていない状態でも主磁極には記録媒体方向への残留磁化が発生している可能性がある。
【0006】
特に補助磁極を持った磁気ヘッドと2層媒体とを組み合わせて用いる場合には、近似的に閉磁路が形成されているため、主磁極の残留磁化により記録媒体上の磁気情報が消去もしくは信号品質が劣化してしまうという懸念がある
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、記録電流が流れていない状態でも記録媒体上の磁気情報を劣化する懸念の無い構造が簡単で容易に製造できる垂直磁気記録用の磁気記録ヘッドを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
磁気記録媒体に磁気的情報を記録するヘッドの磁気記録媒体の対向面に略平行に記録電流を流すコイルを形成し、このコイルの作る磁界により、直接磁気記録を行わせる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について、図1、図2および図3を用いて説明する。
【0010】
図2は本発明の実施形態による記録ヘッドを形成・配置する前の、再生ヘッドの形成および記録ヘッドに用いる接続用導体を成膜した状態の、ヘッド断面を示す図である。
【0011】
非磁性基板1上にAl2O3等の非磁性絶縁材料2よりなる約4μm厚の下地層2を設け、その上に再生ヘッド3を配置している。
【0012】
再生ヘッド3は第1の強磁性層、巨大磁気抵抗効果を示す素子部、第2の強磁性層および絶縁薄膜層等から形成されている。
【0013】
この上にAl2O3などによる10μm厚の絶縁層4を形成する。絶縁層4の上端面9はヘッド完成時に記録媒体流出端側、いわゆるトレーリングエッジ側の端面となる。絶縁層4中には記録ヘッド用の接続用導体5を介在させている。接続用導体5は記録ヘッドに記録電流を流す際に用いるもので2本1組(5A、5B)で形成する。
【0014】
この後、切断加工、研磨等により媒体対向面7を形成する。媒体対向面7には再生ヘッド3および接続用導体5の先端部が露出している。
【0015】
さらにこの後、図3の点線で示した記録用導体形成部8をホトエッチング技術等で掘り下げる。この記録用導体形成部8は図1に示したループ状の記録用導体部10を形成し、かつ接続用導体5(5A、5B)と接続させるエリアである。
【0016】
このエリアは前述した媒体対向面7の一部(絶縁層4と接続用導体5を積層した部分)を掘り下げるため記録用導体部10は接続用導体5の断面部と接続させることになる。
【0017】
記録用導体部10を形成(詳細は後述)した後に再生ヘッド3の先端部と略同一面とするため、後述する記録用導体部10の厚みを考慮して記録用導体形成部8は媒体対向面7から約0.6μmの深さとなるようにエッチングを施している。
【0018】
図1は図3の記録用導体形成部8に形成した記録用導体部10を媒体対向面7側から見た平面図である。
【0019】
記録用導体形成部8に厚さ0.2μmの第1の導体11、その上を覆うように記録用媒体形成部8全体に厚さ0.5μmの絶縁層(図示せず)、を順に形成した。絶縁層としてはAl2O3や有機性絶縁材料を用いても良い。
【0020】
この絶縁層形成後に記録用導体形成部8に平坦化加工を施し、第2の導体12の形成予定部を略平面とする。但し、第2の導体12と接続用導体5Bの接続部15Bと接続領域13上の絶縁材は第2の導体12を形成する前に取り除いておく。ちなみにもう一つの接続用導体5Aは導体11の形成時に接続されている。
【0021】
接続領域13は第1の導体11と第2の導体12を電気的に接続し、記録電流を流すためのものである。平坦化加工後の導体11上の絶縁層膜厚は約0.2μmである。
【0022】
この後、厚さ0.3μmの第2の導体12を形成する。導体11、12は金または銅などの導電性材料を用いることができる。また、第2の導体12のU字状の端部14は磁気ヘッドのトレーリングエッジ側のスライダ端面9側に位置するよう配置する。
【0023】
導体11、12にリング状に囲まれたリング中央部16は、導体11、12に記録電流が流れたとき記録磁界が発生する領域である。
【0024】
ここで発生した磁界は記録媒体に印可され磁気情報を記録することになる。この際、リング中央部16と記録媒体の間隔(スペーシング)が狭いほど記録磁界は強く印可されることから、導体11よりも記録媒体に近い導体12を記録が行なわれるトレーリングエッジ側に配置した。
【0025】
記録媒体が2層媒体であるとさらに磁界が強まることを期待できる。また、リング中央部16の横幅Twはトラック幅に対応するので精度良く形成することが望ましい。本実施形態では導体12のパターニング時にリング中央部16の部分をFIB(Focused Ion Beam)装置を用いて導体11、12の余分な部分を取り除き整形した。本実施形態においてはTwは0.35μmである。
【0026】
このような手順の後、記録用導体形成部8の導体11、12などによる段差を埋めるようにAl2O3等の絶縁材料で覆い、さらに媒体対向面7と略同一の面となるよう平坦化加工した。
【0027】
この工程での平坦化加工は再生ヘッド3の先端部にダメージを与えない加工法で行ない、同一面で第2の導体12の上部が露出するようにエッチング量や導体11,12の膜厚を選択した。加工後の第2の導体12の残厚は約0.2μmである。
【0028】
平坦化加工後、約6nm厚のDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を媒体対向面7に形成し保護膜とした。
【0029】
前述した従来例でも示されているように、磁気ヘッドは記録用ヘッドと再生用ヘッドの部分から構成されているのが一般的である。また記録媒体との間隔が狭くなるよう記録ヘッドも再生ヘッドもスライダ後部に配設される。記録用ヘッドは面内磁気記録用ヘッドも垂直磁気記録用ヘッドも記録媒体に向かって磁界を出すための磁性体と磁性体を励磁するための記録電流を流すコイルから構成されている。これまでの記録ヘッドでは性能上の理由により磁性体の先端部(一般に記録媒体に近い部分を先端部と表現されている)の位置形状・構造・磁気特性が重視されてきた。一方コイルは磁性体の中に磁束を効率良く発生できれば良いため記録媒体との位置関係は磁性体先端部ほど精度を必要としなかった。
本発明の記録ヘッドでは従来の記録ヘッドでは必須だった磁性体を用いることなく記録媒体に磁界を出すことができる。このためにはコイルの位置形状に対して従来以上の精度が必要となるが、従来の記録ヘッドの磁性体に要求されていた以上のものではない。むしろ磁性体を必要としない構造のため製造工程全体としては容易になっている。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、記録ヘッドに磁性体を用いていないため、磁性体の残留磁化で記録媒体上の磁気情報を劣化させる心配が無く、かつ構造が簡単で容易に製造が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態による記録用導体部を示す平面図である。
【図2】本発明の実施形態によるヘッドの構成を示す断面図である。
【図3】図2に記録用導体形成部8を追加した断面図である。
【符号の説明】
1・・・・・基板、
2・・・・・下地層、
3・・・・・再生ヘッド、
4・・・・・絶縁体、
5A、5B・・・・・接続用導体、
7・・・・・記録媒体対向面、
8・・・・・記録用導体形成部、
9・・・・・スライダ端面、
10・・・・記録用導体部、
11・・・・第1の導体、
12・・・・第2の導体、
13・・・・接続領域、
14・・・・端部、
15A、15B・・・・導体接続部
16・・・・リング中央部、
Tw・・・・トラック幅。
Claims (2)
- 磁気記録媒体に磁気的情報を記録する磁気記録ヘッドにおいて、前記磁気記録ヘッドの前記磁気記録媒体の対向面に略平行に、前記磁気的情報を記録するための記録電流を流すコイルを形成し、磁性体を介在せずに、前記コイルの作る磁力を直接前記磁気記録媒体への情報記録に用いたことを特徴とした垂直磁気記録用ヘッド。
- 導体を積層してループ状のコイルを形成する際に、前記磁気記録媒体に近い側の導体をトレーリングエッジ側とすることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録用ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002198503A JP2004039187A (ja) | 2002-07-08 | 2002-07-08 | 垂直磁気記録用ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002198503A JP2004039187A (ja) | 2002-07-08 | 2002-07-08 | 垂直磁気記録用ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004039187A true JP2004039187A (ja) | 2004-02-05 |
Family
ID=31705932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002198503A Pending JP2004039187A (ja) | 2002-07-08 | 2002-07-08 | 垂直磁気記録用ヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004039187A (ja) |
-
2002
- 2002-07-08 JP JP2002198503A patent/JP2004039187A/ja active Pending
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