JP4581786B2

JP4581786B2 - 電気泳動表示装置、その製造方法及び電子機器

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Publication number: JP4581786B2
Application number: JP2005092568A
Authority: JP
Inventors: 貞男神戸
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-03-28
Filing date: 2005-03-28
Publication date: 2010-11-17
Anticipated expiration: 2025-03-28
Also published as: JP2006276251A; US7262901B2; US20060215253A1

Description

本発明は、媒体中の荷電粒子が電圧の印加によって移動する電気泳動を画像形成に利用した電気泳動表示装置に関する。

電気泳動表示装置は、例えば、ガラスの表面にＩＴＯ膜（錫がドープされた酸化インジウム膜）を形成した２つの透明電極基板間に電気泳動表示用分散液が封止されて構成される。電気泳動表示分散液は一つ又は複数種類の色調の電気泳動粒子と電気泳動分散媒を含む。２つの電極間への電圧の印加によって電気泳動粒子が電気泳動分散媒中を移動してその存在位置が変わることによって情報の表示を行っている。このような、電気泳動表示装置の例が、例えば、特開２００３−２９５２３５号公報に記載されている。
特開２００３−２９５２３５号公報

しかしながら、特定の色調の電気泳動粒子を所望の駆動電極上に正確に配置することは困難である。また、電気泳動分散媒中に電気泳動粒子を配置した場合には、電気泳動表示装置の姿勢によって電気泳動粒子の片寄りが生じ得る。

これを防止するために、例えば、基板上に格子状に隔壁を作り、隔壁により形成される微小な桝目（小部屋）の中に、例えば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）に対応した電気泳動用分散液を充填する。また、例えば、電気泳動表示分散液をマイクロカプセルに封入し、マイクロカプセルを基板上に塗工する。

しかし、前者の方法では、各色の分散液を混色を避けて各桝目に充填することは困難である。後者の方法でも正確に色分けしてマイクロカプセルを所望位置に塗工することは困難である。

よって、本発明は、複数種類の色調の電気泳動粒子を含む電気泳動用分散液の配置及び充填を容易にした電気泳動表示装置及びその製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため本発明の電気泳動表示装置は、第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に形成された複数の隔壁と、を有し、前記複数の隔壁のうち第１の隔壁と第２の隔壁との間には、前記第１の隔壁と前記第２の隔壁とを隔離する第１の空間が少なくともひとつ形成され、前記第１の空間に少なくとも１種の帯電粒子を含んだ液体材料が配置されていることを特徴とする。また、前記第１の隔壁と前記第２の隔壁との間には前記第１の空間と連通する第２の空間が形成され、前記第２の空間には前記分散液が配置されていてもよい。

さらに、本発明の電気泳動表示装置は、第１の基板と、第２の基板と、前記第１の基板と前記第２の基板との間に形成された隔壁層と、を有し、前記隔壁層には隔壁に囲まれた複数の空間が形成され、前記複数の空間のうち少なくとも第１の空間と第２の空間とが連通され、前記第１の空間と前記第２の空間とに少なくとも１種の帯電粒子を含んだ液体材料が配置されていることを特徴とする。

かかる構成とすることによって、第１の空間の一箇所から例えば有色粒子（白、黒、緑、赤、青等の表示に使用可能な色調を有する電気泳動粒子）をこの分散媒と共に当該色画素領域へ導入することが可能となり、有色粒子の導入が容易な電気泳動表示装置を得ることが可能となる。

好ましくは、前記第１の基板は、トランジスタに接続された画素電極が形成され、前記第２の基板は、対向電極が形成され、前記対向電極は前記画素電極との間に電界を生じさせ前記帯電粒子を移動させることができる。このような駆動構造をとることにより、帯電粒子が電気泳動表示装置の画面に対し垂直方向に移動することができる。

好ましくは、前記第１の基板は、トランジスタに接続された画素電極と、前記画素電極との間に電界を生じさせ前記帯電粒子を移動させる対向電極と、が形成されている。このような駆動構造をとることにより、帯電粒子が電気泳動表示装置の画面に対し水平方向に移動することができる。

好ましくは、前記第１の基板と前記第２の基板との間には複数の前記空間が配置され、前記複数の空間はマトリクス状に配列されている。これにより、駆動電極群をマトリクス状に形成することができ、画像形成のための電極駆動が容易となる。

好ましくは、前記第１の基板と前記第２の基板との間には第３の空間が配置され、前記第１の空間と前記第３の空間とは連通せず、前記第１の空間に配置された液体材料と前記第３の空間に配置された液体材料とは異なるものである。これにより、たとえば色調の異なる有色粒子の混入が防止され、カラー電気泳動表示装置を得ることが可能となる。
これにより、同じ色調のカラー画素の列（カラーストライプ）を容易に形成することができる。

好ましくは、前記第１の空間に配置された液体材料に含まれる帯電粒子と前記第３の空間に配置された液体材料に含まれる帯電粒子とは色が異なる。これにより、色調の異なる有色粒子によるカラー電気泳動表示装置を得ることが可能となる。

好ましくは、前記第１の空間に配置された液体材料に含まれる溶媒と前記第３の空間に配置された液体材料に含まれる溶媒とは色が異なる。これにより、色調の異なる溶媒によるカラー電気泳動表示装置を得ることが可能となる。

好ましくは、上記隔壁がフォトレジストによって構成されている。フォトレジストレジストを使用することによって複数の微細な空間を容易に形成することが可能となる。

また、本発明の電子機器は、上述した構成の電気泳動表示装置を情報の表示部として使用している。ここで、電子機器には、例えば商取引で譲渡されうる形態を備えた製品であり、例えばビデオカメラ、テレビ、大型スクリーン、携帯電話、パーソナルコンピュータ、携帯型情報機器（いわゆるＰＤＡ）、その他各種のものが含まれる。

本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、第１の基板上にフォトレジストを成膜する工程と、上記フォトレジストをパターニングして、連通する複数の空間を複数列有する隔壁層を形成する工程と、上記隔壁層を間に介して上記第１の基板を第２の基板に貼り合せる工程と、上記隔壁層の連通する複数の空間に少なくとも１種の帯電粒子を含んだ液体材料を導入する工程と、を含む。

かかる構成とすることによって、１つの空間から連通する各空間に液体材料を導入することができる。連通する複数の小部屋を複数列有する電気泳動表示装置を得ることが可能となる。液体材料の導入には、例えば、減圧雰囲気下での毛細管現象（キャピラリーアクション）による導入を利用することが可能である。

また、本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、第１の基板上にフォトレジストを成膜する工程と、上記フォトレジストをパターニングして、連通する複数の空間を複数列有する隔壁層を形成する工程と、上記隔壁層の連通する複数の空間に少なくとも１種の帯電粒子を含んだ液体材料を導入する工程と、上記隔壁層を間に介して上記第１の基板を第２の基板に貼り合せる工程と、を含む。

かかる構成によっても液体材料が導入される、連通する複数の空間を複数列有する電気泳動表示装置を得ることが可能となる。第１の基板と第２の基板とを貼り合せる前に液体材料が隔壁層の空間に導入されるので液体材料の導入が容易である。また、液体材料が隔壁層の１つの空間に導入されると連通する空間列に次々に充填される。導入には、シリンジや液滴吐出法（インクジェット）を使用することができる。

好ましくは、上記連通する複数の空間の各列毎に当該列に割り当てられた色調の有色粒子が導入される。これによって、各列をカラー化することが可能となり、カラー表示の電気泳動表示装置を構成することが可能となる。

以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。

（実施例１）
本発明の実施例の電気泳動表示装置の第１の実施例を図１に示す。同図に示されるように、電気泳動表示装置１は、大別して可撓性の半導体回路基板１０、電気泳動表示層２０及び可撓性の透明電極基板３０によって構成される。

この実施例では、半導体回路基板１０及び透明電極基板３０間に配置される電気泳動表示層２０は隔壁２６によってマトリクス状に配列された複数の小部屋（空間）に仕切られている。そして、後述するように、一方向において同じ色調の電気泳動粒子が配置されるべき小部屋同士が連通するように形成されている。電気泳動粒子の色調は、白、黒、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）等の他、シアン、マゼンタ、イエロー等であってもよい。色調は電気泳動粒子の材料自体の色の他着色したものであってもよい。このほか、電気泳動粒子を分散させる分散媒（溶媒）の色によるものであってもよい。

半導体回路基板１０は、回路を形成する絶縁性下地基板としての可撓性基板１１と薄膜の半導体回路層１３とを含む。可撓性基板１１は、例えば、膜厚２００μｍのポリカーボネート基板である。この可撓性基板１１上にＵＶ（紫外線）硬化型接着剤１２を介して半導体回路層１３が積層（接着）されている。このような可撓性基板（樹脂基板）上に、薄膜半導体回路を形成する場合には、例えば、特開平１０−１２５９３１号公報、特開平１１−２６７３３号公報、特開２００４−３２７８３６号公報等で紹介されている、耐熱基板（ガラス基板）上で薄膜半導体回路を形成してこの薄膜半導体回路を樹脂基板上に全体的にあるいは部分的に転写する薄膜回路の転写手法（以下、「薄膜回路転写法」という。）を使用することができる。

なお、電気泳動表示装置１が可撓性を必要としない場合には基板１１はガラス基板であってもよい。

半導体回路層１３には、行方向及び列方向にそれぞれ複数配列された配線群、画素電極（駆動電極）群、画素駆動回路等が形成されている（図示せず）。駆動回路にはＴＦＴ(薄膜トランジスタ)が使用されている。また、半導体回路基板１０には、駆動画素を選択する行デコーダ及び列デコーダ等も形成されている（図示せず）。マトリクス状に配列された画素電極群は画像（２次元情報）を表示する表示領域部１４を形成している。また、半導体回路層１３の外周部には透明電極基板３０の透明電極３２との接続用の接続電極１５が形成されている。半導体回路基板１０の膜厚は、例えば、薄膜回路形成の際の基板の物理的強度の点から２５μｍ以上あることが望ましく、基板の可撓性（フレキシビリティ）確保の点からは２００μｍ以下であることが望ましい。

半導体回路基板１０と透明電極基板３０との間には電気泳動表示層２０が配置されている。電気泳動表示層２０は、隔壁（あるいは仕切）層２６と電気泳動分散液２７とで構成されている。電気泳動表示層２０は隔壁層２６によって格子状に細かく画定されており、画定された各領域（小部屋）に電気泳動分散液（液体材料）２７が充填されている。電気泳動分散液２７は電気泳動分散媒中に多数の電気泳動粒子を含んでいる。電気泳動粒子は印加電圧に応じて電気泳動分散媒中を移動する性質を有し、一種類（一色）以上の電気泳動粒子が使用される。電気泳動表示層２０の膜厚は、例えば、５０〜７５μｍである。隔壁層２６は、電気泳動粒子が表示領域の一部に片寄ることを防止している。実施例では、隔壁２６は、例えば、フォトレジストによって形成されている。

図２及び図３は、隔壁層２６の構成を説明する説明図であり、図２は隔壁層２６部分の平面図、図３は隔壁２６部分の斜視図である。

両図に示すように、隔壁層２６は格子状に形成されており、半導体基板１０と透明基板間３０間に多数の小部屋２６ａがマトリクス状に配置されている。一方向において、（例えば、左右方向、上下方向、斜め方向など）隣接している小部屋同士は隔壁層２６に設けられた入口部（連通口）２６ｂで全て連通している。各小部屋２６ａには電気泳動分散液２７が充填されるが、小部屋間を連通する入口部２６ｂは電気泳動分散液２７の移動を妨げるように設けることが好ましい。図示の例では、入口部２６ｂの配置は連通した画素列の延在方向に対して直交する方向において交互にシフトする「ジグザグ配置」状となっている。

隔壁層２６の外周部には小部屋２６ａの入口部２６ｂが開口しているが、ここから電気泳動分散液２７の充填が行われた後に該入口部２６ｂ部分は接着剤やシール材などによって閉塞される。

なお、小部屋２６ａ内に電気泳動分散液２７に代えて内部に電気泳動分散媒及び電気泳動粒子を含むマイクロカプセルを充填してもよい。

上述した電気泳動表示層２０及び隔壁層２６上を透明電極基板３０が覆っている。透明電極基板３０は下面に透明電極３２が形成された薄膜フィルム（透明な絶縁性合成樹脂基材）３１で構成されている。薄膜フィルム３１は電気泳動表示層２０の封止及び保護の役割を担っている。例えば、透明電極基板３０の下地となる薄膜フィルムはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムであり、例えば、透明電極基板３０の膜厚は１００μｍである。

透明電極層３２は、例えば、錫がドープされた酸化インジウム膜（ＩＴＯ膜）である。透明電極層３２は薄膜フィルム３１の外周部で半導体回路層１３の接続電極１５と導電材料２４を介して接続されている。例えば、導電材料２４としてはカーボン微粒子と結合材を含むカーボンペーストが用いられる。

（比較例）
図９は、上述した実施例との比較例を示している。同図において、図３と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。

比較例のように隔壁層２６に連通口のない格子状とした場合は、各桝目の独立した各小部屋２６ａに、例えば、Ｒ、Ｇ及びＢの各色分けをして電気泳動分散液２７を導入する必要がある。従って、色の異なる電気泳動分散液２７が混入するなどの不具合が生じ得る。また、電気泳動分散液２７の導入に時間が掛かり、生産効率が悪い。

一方、図３に示すように、本発明の実施例の構成とすれば、同一色（色調）の小部屋２６ａは入口部２６ｂによって連通しているので、各列について一箇所から一連の小部屋２６ａに電気泳動分散液２７を導入することができる。

例えば、隔壁層２６を介して半導体基板１０及び透明電極層３０を貼り合せた後に隔壁層２６の側面の入口から浸漬及び毛管現象によって電気泳動分散液２７を供給することが可能である。

また、半導体基板１０及び透明電極層３０を貼り合せる前に、隔壁層２６の上方からシリンジや液滴吐出法（インクジェット法）によって電気泳動分散液２７を供給することが可能である。この場合には、供給位置が隣接の小部屋にずれても同一色の領域であるので問題がない。

なお、上方から電気泳動分散液２７を供給する場合には隔壁層２６の側面の入口は閉じられる。また、電気泳動分散液２７は、電気泳動粒子及び分散媒を含むマイクロカプセルを含むものであってもよい。

（実施例２）
図６は、隔壁層２６の他の構成例を示している。この実施例では、同一列上にＲ、Ｇ及びＢの画素を交互に配置することができる。このため、マトリクス状に配列された複数の小部屋２６ａのうち、同じ色（色調）の電気泳動分散液２７を導入すべきものが千鳥状（ジクザグ）に配置され、隣接する小部屋２６ａ同士が連通している。

（実施例３）
図７は、隔壁層２６の更に他の構成例を示している。この実施例も、同一列上にＲ、Ｇ及びＢの画素を交互に配置することができる。このため、マトリクス状に配列された複数の小部屋２６ａのうち、同じ色（色調）の電気泳動分散液２７を導入すべきものが斜めに配置され、隣接する小部屋２６ａ同士が連通している。

（実施例４）
図８（Ａ）及び同図（Ｂ）は、隔壁層２６の更に他の構成例を示している。この実施例は、複数の小部屋２６ａが堅牢なハニカム構造の隔壁２６で画定されて配列されており、一定方向においてＲ、Ｇ及びＢの画素を交互に配置することができる。また、同じ色（色調）の電気泳動分散液２７を導入すべきものが一列に配置され、隣接する小部屋２６ａ同士が連通路２６ｃ（同図（Ａ））あるいは入口２６ｂ（同図（Ｂ））を介して連通している。同図（Ａ）の構成では、いずれの場所でも隣接する３画素がＲ、Ｇ及びＢの画素になるように構成することができる利点がある。

（製造方法１）
次に、上述した電気泳動表示装置の製造方法について図４を参照して説明する。同図において、図１と対応する部分には同一符号を付している。

図４（Ａ）に示されるように、例えば、既述した薄膜回路転写法によって、別途ガラス基板上に形成された薄膜半導体回路層１３をポリカーボネートフィルム１１上に転写し、薄膜半導体回路基板１０を作製する。

次に、半導体回路層１３の上にフォトレジストを塗布し、隔壁層２６の部屋パターンで露光し、現像を行って隔壁層２６を形成する（図２及び図３参照）。なお、オフセット印刷などによってポリイミド等による格子状の隔壁層２６を形成してもよい。

次に、図４（Ｂ）に示されるように、接続部材であるカーボンペースト２４をディスペンサーで電極１５上に配置する。透明電極基板であるＩＴＯ付きＰＥＴフィルム（ＩＴＯ側に接着層あり）３０を半導体回路基板１０に対向して配置して位置合せを行う。図示しない真空ラミネータを用いて、例えば、温度９０℃、気圧０．８ＭＰａの雰囲気下にてラミネートして隔壁層２６を間に介して薄膜半導体回路基板１０と透明電極基板３０とを貼り合わせ、電気泳動表示装置１を組み立てる。

次に、図４（Ｃ）に示されるように、電気泳動表示装置１に電気泳動分散液（分散媒と電気泳動粒子）２７を充填する。

例えば、図２及び図３に示すように、隔壁層２６の側面に開口した複数の入口部２６ｂのうち、Ｒ（赤）の画素領域以外のものの入口をテープなどでを閉じ、電気泳動表示装置１を赤の電気泳動粒子を含む電気泳動分散液に浸漬して毛管現象によって電気泳動表示装置１内に導入する。Ｒ（赤）の画素領域の入口を接着剤などの封止部材にて閉塞する。

次に、Ｇ（緑）の画素領域のものの入口のテープを外して、電気泳動表示装置１を青の電気泳動粒子を含む電気泳動分散液に浸漬して毛管現象によって電気泳動表示装置１内に導入する。Ｇの画素領域の入口を接着剤などの封止部材にて閉塞する。

次に、Ｂ（青）の画素領域のものの入口のテープを外して、電気泳動表示装置１を青の電気泳動粒子を含む電気泳動分散液に浸漬して毛管現象によって電気泳動表示装置１内に導入する。Ｂの画素領域の入口を接着剤などの封止部材にて閉塞する。

このようにして複数種類の色調の電気泳動分散液を電気泳動表示装置１内に導入して電気泳動表示装置１の組立を完了する。

（製造方法２）
図５は、電気泳動表示装置の他の製造方法の例を説明する説明図である。同図において図４と対応する部分には同一符号を付している。

この実施例では、隔壁層２６の上方から電気泳動分散液２７を供給している。

図５（Ａ）に示されるように、例えば、既述した薄膜回路転写法によって、別途ガラス基板上に形成された薄膜半導体回路層１３をポリカーボネートフィルム１１上に転写し、薄膜半導体回路基板１０を作製する。

次に、半導体回路層１３の上にフォトレジストを塗布し、隔壁層２６の部屋パターンで露光し、現像を行って隔壁層２６を形成する。なお、オフセット印刷などによってポリイミド等による格子状の隔壁層２６を形成してもよい。

次に、図５（Ｂ）に示されるように、電気泳動分散液２７を液滴吐出法（インクジェット法）で注入する。このとき、例えば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各画素列毎に３色を打ち分けることにより、カラー化がなされる。

次に、図４（Ｃ）に示されるように、接続部材であるカーボンペースト２４をディスペンサーで電極１５上に配置する。透明電極基板であるＩＴＯ付きＰＥＴフィルム（ＩＴＯ側に接着層あり）３０を半導体回路基板１０に対向して配置して位置合せを行う。図示しない真空ラミネータを用いて、例えば、温度９０℃、気圧０．８ＭＰａの雰囲気下にてラミネートして隔壁層２６を間に介して薄膜半導体回路基板１０と透明電極基板３０とを貼り合わせ、電気泳動表示装置１を組み立てる。

（電子機器）
本発明の電気泳動表示装置は各種の電子機器の表示部に適用可能である。図１０は、電気泳動表示装置を表示部に使用した電子機器の例を示している。

同図は携帯電話への適用例であり、携帯電話５３０は、アンテナ部５３１、音声出力部５３２、音声入力部５３３、操作部５３４、及び本発明の電気泳動表示装置１００を備えている。このように本発明の電気泳動表示装置１０を携帯電話２３０の表示部として利用可能である。

上記例に限らず本発明の電気泳動表示装置は、画像表示や文字表示を行う種々の電子機器に適用可能である。例えば、電子ペーパー、ＰＤＡ、電子手帳、電光掲示盤、宣伝公告用ディスプレイなどにも活用することができる。
また、上記のような装置例の他、電界を印加可能に構成された壁面等の不動産に属するもの、車両、飛行体、船舶等の移動体に属するものにも適用可能である。

（その他変形例）
また、表示装置の駆動構造についても限定は無い。例えば、上記実施形態では、表示面に垂直な方向に電界を印加して当該垂直な方向に荷電粒子を移動させて色調を変化させ画像を表示する、いわゆる垂直移動型の電気泳動装置であったが、表示面に水平（平行）な方向に変化する電界によって当該水平な方向に荷電粒子を移動させて色調を変化させ画像を表示する、いわゆる水平移動型の電気泳動装置にも適用可能である。

図１は本発明の第１の実施例を示す電気泳動表示装置の断面図である。図２は第１の実施例の隔壁層のパターン例を説明する平面図である。図３は第１の実施例の隔壁層のパターン例を説明する斜視図である。図４は第１の実施例の製造工程を説明する工程図である。図５は第１の実施例の他の製造工程を説明する工程図である。図６は他の実施例の隔壁層のパターン例を説明する平面図である。図７は他の実施例の隔壁層のパターン例を説明する平面図である。図８は他の実施例の隔壁層のパターン例を説明する平面図である。図９は比較例の隔壁層のパターン例を説明する斜視図である。図１０は本発明の電気泳動表示装置を表示部に使用した電子機器の例を説明する説明図である。

符号の説明

１０半導体回路基板、１１可撓性基板、１２接着剤層、１３薄膜半導体回路層２０電気泳動表示層、２１マイクロカプセル、２２バインダ、３０透明電極基板、３１透明基板、３２透明電極層

Claims

互いに対向して配置される第１及び第２の基板と、
前記第１及び第２の基板間に存在する電気泳動表示層と、を含み、
前記電気泳動表示層は、隔壁によって仕切られてマトリクス状配置で形成された複数の小部屋を有し、
前記複数の小部屋の各々が一つの画素領域となり、隣接する小部屋同士のうち同一色の一画素となるべき小部屋同士が連通するものであり、
前記同一色の一画素となるべき小部屋同士は前記マトリクス状配置における縦方向、横方向、及び斜め方向のいずれかの一方向において存在する複数の小部屋が同方向において全て連通し、該連通する複数の小部屋には同色の帯電粒子を含む電気泳動分散液が充填される、電気泳動表示装置。
請求項１に記載の電気泳動表示装置において、
前記第１の基板には、トランジスタに接続された画素電極が形成され、
前記第２の基板には、対向電極が形成され、
前記対向電極は前記画素電極との間に電界を生じさせ前記帯電粒子を移動させることを特徴とする電気泳動表示装置。
請求項１に記載の電気泳動表示装置において、
前記第１の基板には、トランジスタに接続された画素電極と、前記画素電極との間に電界を生じさせ前記帯電粒子を移動させる対向電極と、が形成されていることを特徴とする電気泳動表示装置。
請求項１乃至３のいずれかに記載の電気泳動表示装置において、
前記隔壁がフォトレジストによって構成されて、該隔壁の一部に形成された連通口で前記一方向において存在する複数の小部屋が全て連通することを特徴とする電気泳動表示装置。
請求項１乃至４のいずれかに記載の電気泳動表示装置を情報の表示部として使用する電子機器。
第１の基板上にフォトレジストを成膜する工程と、
前記フォトレジストをパターニングして、隔壁によって仕切られたマトリクス状に配置された複数の小部屋と隣接する小部屋同士のうち同一色の一画素となるべき小部屋同士を連通する連通口とを含む隔壁層を形成する工程と、
前記隔壁層を間に介して前記第１の基板を第２の基板に貼り合せる工程と、
前記隔壁層の連通する複数の小部屋に少なくとも１種の帯電粒子を含んだ液体材料を導入する工程と、を含み、
前記隔壁層を形成する工程は、前記同一色の一画素となるべき小部屋同士を前記マトリクス状配置における縦方向、横方向、及び斜め方向のいずれかの一方向において存在する複数の小部屋を同方向において前記連通口によって全て連通するものである、電気泳動表示装置の製造方法。
第１の基板上にフォトレジストを成膜する工程と、
前記フォトレジストをパターニングして、隔壁によって仕切られたマトリクス状に配置された複数の小部屋と隣接する小部屋同士のうち同一色の一画素となるべき小部屋同士を連通する連通口とを含む隔壁層を形成する工程と、
前記隔壁層の連通する複数の小部屋に少なくとも１種の帯電粒子を含んだ液体材料を導入する工程と、
前記隔壁層を間に介して前記第１の基板を第２の基板に貼り合せる工程と、を含み、
前記隔壁層を形成する工程は、前記同一色の一画素となるべき小部屋同士を前記マトリクス状配置における縦方向、横方向、及び斜め方向のいずれかの一方向において存在する複数の小部屋を同方向において前記連通口によって全て連通するものである、電気泳動表示装置の製造方法。
前記液体材料を導入する工程は、前記一方向において連通する複数の小部屋の各列毎に当該列に割り当てられた色調の有色の帯電粒子を導入する請求項６又は７に記載の電気泳動表示装置の製造方法。