JP4581764B2 - 薄膜半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は以下の構成からなる。
02 酸化シリコン膜(SiO2膜)
03 非晶質シリコン膜(シリコンを主成分とする膜)
03a 多結晶シリコン膜
04 レーザ光強度の弱い領域
05 レーザ光強度の強い領域
06 レーザ光強度の弱い領域
07 レーザ光強度の強い領域
08 異種基板
09 酸化シリコン膜(SiO2膜)
10 タングステン膜
11 非晶質シリコン膜(シリコンを主成分とする膜)
12 レーザ光
13 レーザ光強度の弱い領域
14 レーザ光強度の強い領域
15 レーザ光源
Claims (5)
- 異種基板上に形成されたシリコンを主成分とする膜に連続発振するレーザ光を走査させることにより熱処理を行い、該シリコンを主成分とする膜を融解、結晶化を行う薄膜半導体装置の製造方法において、
上記異種基板は上記レーザ光に対して透明なガラス基板からなり、上記シリコンを主成分とする膜は250nm以上に形成され、上記レーザ光は、レーザ光強度の強い領域と、レーザ光強度の弱い領域とからなり、該レーザ光強度の強い領域は、該レーザ光強度の弱い領域よりも走査方向の長さが短く、且つレーザ光を走査させる際、上記レーザ光強度の弱い領域を上記シリコンを主成分とする膜に照射し、上記シリコンを主成分とする膜からの伝熱により上記透明なガラス基板の温度を300℃を超えて上昇させ、600℃以下の温度まで加熱した後、レーザ光強度の強い領域を上記シリコンを主成分とする膜に照射し融解、結晶化を行うことを特徴とする薄膜半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の薄膜半導体装置の製造方法において、
レーザ光強度の弱い領域の照射による加熱では、上記透明なガラス基板の温度は450℃を超えないことを特徴とする薄膜半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の薄膜半導体装置の製造方法において、
上記透明なガラス基板とシリコンを主成分とする膜の間には、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、またはこれらを積層させた熱緩衝層が形成されていることを特徴とする薄膜半導体装置の製造方法。 - 請求項3に記載の薄膜半導体装置の製造方法において、
熱緩衝層とシリコンを主成分とする膜の間にはタングステンもしくはモリブデンからなる電極層が形成されていることを特徴とする薄膜半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の薄膜半導体装置の製造方法において、
上記レーザ光の走査方向に垂直な方向のレーザ光強度が均一になるようホモジナイザを取り付け、上記レーザ光走査を行うことを特徴とする薄膜半導体装置の製造方法。
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