JP4580982B2 - 荷電粒子ビーム装置、コンタミネーションの除去方法及び試料の観察方法 - Google Patents
荷電粒子ビーム装置、コンタミネーションの除去方法及び試料の観察方法 Download PDFInfo
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Description
これに対し、真空グリスを使用しない装置も開発されているが、そのような装置は非常に高価になってしまう。
(荷電粒子ビーム装置の構成)
図2は、本実施形態に係る荷電粒子ビーム装置の構成図である。
(コンタミネーションの発生を抑制する処理の説明)
上記の処理を行うことにより、試料上にコンタミネーションが付着することが抑制される。これは、以下に示す理由によるものと考えられる。
(コンタミネーションの除去方法及び試料の観察方法)
次に、本実施形態の荷電粒子ビーム装置を用いて試料の観察をする方法について図4のフローチャートを用いて説明する。
(実施例)
以下、本実施形態の荷電粒子ビーム装置を用いて、試料に付着するコンタミネーションが減少した結果について説明する。ここで、形成したパターンは、ライン&スペースでパターンの幅は250nmとし、ラインとスペースの幅の比率を1:1とした。
Claims (6)
- 電子ビームを試料の表面に照射する電子銃と、
試料を載置するウエハステージと、
ウエハステージを移動するウエハステージ移動手段と、
前記ウエハステージが収納されている試料室内に、直接、オゾンガスを注入するオゾンガス注入手段と、
前記試料室内に、直接、紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前記電子銃が収納されているコラムと前記試料室との間の開閉可能な遮蔽手段と、
前記オゾンガスの注入及び紫外線の照射と同時に、前記ウエハステージを連続して移動させる制御手段と
を有することを特徴とする荷電粒子ビーム装置。 - 前記制御手段は、前記オゾンガスの注入及び紫外線の照射を前記オゾンガス注入手段及び紫外線照射手段に所定の時間継続して同時に行わせることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 荷電粒子ビーム装置のコラムとウエハステージが収納されている試料室との間を閉じるステップと、
前記試料室内にオゾンガスを注入するステップと、
前記試料室内に紫外線を照射するステップと、
前記オゾンガスの注入と前記紫外線の照射をしているときに前記ウエハステージを連続して移動させるステップと、
前記紫外線の照射を停止するステップと、
前記オゾンガスの注入を停止するステップと、
前記ウエハステージの移動を停止するステップと
を含むことを特徴とするコンタミネーションの除去方法。 - 前記オゾンガスの注入と紫外線の照射は同時に所定の時間行うことを特徴とする請求項3に記載のコンタミネーションの除去方法。
- 試料室内のウエハステージに載置された試料の表面を観察する試料観察方法であって、
コラムと前記試料室との間を閉じるステップと、
前記試料室内にオゾンガスを注入するステップと、
前記試料室内に紫外線を照射するステップと、
前記オゾンガスの注入と前記紫外線の照射をしているときに前記ウエハステージを連続して移動させるステップと、
前記紫外線の照射を停止するステップと、
前記オゾンガスの注入を停止するステップと、
前記ウエハステージの移動を停止するステップと、
前記コラムと試料室との間を開くステップと、
前記試料上に電子ビームを照射して前記試料上の表面の画像を生成するステップと
を含むことを特徴とする試料観察方法。 - 前記オゾンガスの注入と紫外線の照射は同時に所定の時間行うことを特徴とする請求項5に記載の試料観察方法。
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