JP4578190B2 - バーンイン装置 - Google Patents
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Description
前記バーンインボードには前記送気ダクトから前記排気ダクトの方向が行方向になるように複数個の前記供試被試験物が行間隔を空けて複数行に装着されていて、前記試験室は、前記供試被試験物が装着されている前記バーンインボードが収納される第1空間部と、前記バーンインボードに前記行間隔を空けて複数行に装着されている全ての前記供試被試験物および前記行間隔に亘って対向するように設けられた仕切部材で前記第1空間部と仕切られた第2空間部とで形成されていて、前記仕切部材は、前記第1空間部に収納される前記バーンインボードの全面に対向する平面状の対向面を有し、前記仕切部材の前記対向面には前記行方向の前記供試被試験物に対向する位置と前記行間隔に対向する位置とにそれぞれ送気口及び排気口が空けられていて、前記第2空間部はそれぞれ前記送気口及び前記排気口を含み前記送気ダクトから前記排気ダクトの方向に送気側中間ダクト及び排気側中間ダクトを形成するように中間仕切部材で仕切られていて、前記送気ダクトは前記送気側中間ダクトと導通し前記第1空間部と遮断されていて、前記排気ダクトは前記排気側中間ダクトと導通し前記第1空間部と遮断されていて、前記送気ダクトからの前記バーンイン用の気体を、前記第2空間部の前記送気側中間ダクトを介して前記供試被試験物に対向する位置の前記送気口から前記第1空間部に供給し、該第1空間部からの前記バーンイン用の気体を、前記行間隔に対向する位置の前記排気口から前記第2空間部の前記排気側中間ダクトを介して前記排気ダクトへ排出する、ことを特徴とする。
本例のバーンイン装置は、被試験物としての半導体デバイスであるデバイス1が装着されたバーンインボードであるBIB2を両側に送気ダクト3と排気ダクト4とが配設された試験室5に複数段として図1の装置では上下のZ方向に7段に装着し、試験室5に入れられたデバイス1である供試被試験物DUT1の熱交換部分6に送気ダクト3からバーンイン用の気体としての空気を供給して排気ダクト4から排出し、DUT1のバーンインを可能にした装置である。なお、BIB2は実際には十数段の多段に装着される。又、空気に代えて不活性ガスのような気体が使用されてもよい。
本例の熱交換部分6は熱交換体61を有する。熱交換体61は、BIB2に装着されたDUT1に圧接される圧接部材であるヒートシンク62、深さの深い多列折り曲げ状で頂面63が中央部分としてY方向の長さの中央の1/3程度の部分に切欠き部64を備えていてBIB2が試験室5に装着されたときに後述する図5に示すように切欠き部64が送気口54に対向しX方向に多列折り曲げ状になるように頂面63の反対側の底面65がヒートシンク62に接合された熱交換部材としての放熱フィン66、等を備えている。
DUT1のバーンイン試験をするときには、まず、デバイス1をBIB2のソケット21の凹状に形成された設置部21aに落とし込んで設置し、その上に図2の押圧板23又は図4の熱交換体61のヒートシンク62をそれらの縁部分23b又は凸部62bの圧接面62aがデバイス1の上面1aに接触するように設置し、これらを押し下げて圧接状態にしてラッチ22で固定する。これにより、デバイス1とBIB2との間で確実に電気的接続が図られると共に、押圧板23がヒートシンク23cを有する場合にはデバイス1の上面1aとヒートシンク23cとの間で、又、ヒートシンク62の場合にはこれと上面1aとの間で、熱抵抗の少ない良好な熱通過性が確保される。
バーンイン時の循環空気の温度として、設定温度Tsになるように温度制御される
送風機7から吐出され送気ダクト3で125℃になっている空気は、7段になっている試験室5の上空間53に分流されて入り、その中で更に仕切板52で5列に仕切られたそれぞれの送気側中間ダクト56に入り、送気ダクト3の側からX方向に流れつつ送気口54に流入し、試験室5の下空間51に入り、送気口54に対向してX方向にDUT11 から14 まで4個並んでいるそれぞれのDUT1に吹きつけられる。このとき、送気口54は、通常の設計としてダクト56においてY方向の中心位置に設けられるので、ダクト56内の空気は、偏流することなく送気口54から図3では紙面に直角であり図1では真下の方向に吹き出す。そして、送気口54に対向する位置にあるDUT1の熱交換部分6に直接当たることになる。
1a 上面(熱交換部分)
2 BIB(バーンインボード)
3 送気ダクト
4 排気ダクト
5 試験室
6 熱交換部分
23 押圧板(熱交換部分)
23c ヒートシンク(熱交換部分)
51 下空間(第1空間部)
52 仕切板(仕切部材)
53 上空間(第2空間部)
54 送気口
55 排気口
56 送気側中間ダクト
57 排気側中間ダクト
58 中間仕切板(中間仕切部材)
61 熱交換体(熱交換部分)
62 ヒートシンク(圧接部材、熱交換部分)
63 頂面
64 切欠き部
65 底面
66 放熱フィン(熱交換部材)
d 間隔、ソケット間隔(行間隔)
X 横の方向(送気ダクトから排気ダクトの方向、行方向)
Claims (3)
- 被試験物が装着されたバーンインボードを両側に送気ダクトと排気ダクトとが配設された試験室に複数段に装着し、前記試験室に入れられた前記被試験物である供試被試験物の熱交換部分に前記送気ダクトからバーンイン用の気体を供給して前記排気ダクトから排出し、前記供試被試験物のバーンインを可能にしたバーンイン装置において、
前記バーンインボードには前記送気ダクトから前記排気ダクトの方向が行方向になるように複数個の前記供試被試験物が行間隔を空けて複数行に装着されていて、前記試験室は、前記供試被試験物が装着されている前記バーンインボードが収納される第1空間部と、前記バーンインボードに前記行間隔を空けて複数行に装着されている全ての前記供試被試験物および前記行間隔に亘って対向するように設けられた仕切部材で前記第1空間部と仕切られた第2空間部とで形成されていて、前記仕切部材は、前記第1空間部に収納される前記バーンインボードの全面に対向する平面状の対向面を有し、前記仕切部材の前記対向面には前記行方向の前記供試被試験物に対向する位置と前記行間隔に対向する位置とにそれぞれ送気口及び排気口が空けられていて、前記第2空間部はそれぞれ前記送気口及び前記排気口を含み前記送気ダクトから前記排気ダクトの方向に送気側中間ダクト及び排気側中間ダクトを形成するように中間仕切部材で仕切られていて、前記送気ダクトは前記送気側中間ダクトと導通し前記第1空間部と遮断されていて、前記排気ダクトは前記排気側中間ダクトと導通し前記第1空間部と遮断されていて、前記送気ダクトからの前記バーンイン用の気体を、前記第2空間部の前記送気側中間ダクトを介して前記供試被試験物に対向する位置の前記送気口から前記第1空間部に供給し、該第1空間部からの前記バーンイン用の気体を、前記行間隔に対向する位置の前記排気口から前記第2空間部の前記排気側中間ダクトを介して前記排気ダクトへ排出する、ことを特徴とするバーンイン装置。 - 前記送気側中間ダクトは前記送気ダクトから前記排気ダクトの方向に漸次狭くなり前記排気側中間ダクトは前記送気ダクトから前記排気ダクトの方向に漸次広くなるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載のバーンイン装置。
- 前記送気口が、前記行方向に延びて複数個の前記供試被試験物に対向するスリット状の開口であり、前記排気口が、前記行方向に延びて前記行間隔に対向する開口であり、前記送気口の前記行方向に直交する列方向の開口の幅が、前記排気口の前記列方向の開口の幅よりも狭い、ことを特徴とする請求項1または2に記載のバーンイン装置。
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