JP4805228B2

JP4805228B2 - バーンイン装置

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Publication number: JP4805228B2
Application number: JP2007216749A
Authority: JP
Inventors: 和成菅
Original assignee: JAPAN ENGINEERING CORPORATION
Current assignee: JAPAN ENGINEERING CORPORATION
Priority date: 2007-08-23
Filing date: 2007-08-23
Publication date: 2011-11-02
Anticipated expiration: 2027-08-23
Also published as: JP2009047669A

Description

本発明は、バーンイン装置に関し、特に、恒温槽内部の温度の均一化を図ったバーンイン装置に関する。

電子部品等の半導体装置の初期不良を顕在化し、初期故障品の除去を行うためのスクリーニング試験の一種であるバーンイン（Burn-In）試験を行う装置として、バーンイン装置が知られている。このバーンイン装置は半導体テスト装置の一種であり、被試験デバイス（Device Under Test）である半導体装置を複数装着したバーンインボードをバーンイン装置内の恒温槽に収納し、被試験デバイスに、電圧を印加して電気的ストレスを与えるとともに、恒温槽内部の空気を加熱したり冷却したりして所定の温度の熱ストレスを与えることにより、初期不良を顕在化させる。また、このバーンイン試験においては、被試験デイバスに動作用の電源や信号を供給して、被試験デバイスの動作テストを行い、被試験デイバスが正常に動作しているかどうかを試す試験を行う。

このようなバーンイン装置では、数時間から数十時間に亘る長時間のバーンイン試験が行われることから、試験効率を向上させるために、複数の被試験デバイスを１枚のバーンインボードに挿入するとともに、このバーンインボードを複数毎、バーンイン装置の恒温槽に収納して、バーンイン試験を行うのが一般的である（例えば、特許文献１：特開２００５−２６５６６５号公報参照）。

図１は、従来のバーンイン装置１０の内部構成を説明するためのブロックレイアウト図である。この図１に示すように、バーンイン装置１０の恒温槽２０の内部には、複数のバーンインボードＢＩＢが収納されている。また、恒温槽２０の内部には、空気を強制的に循環させるためのファン３０が設けられており、ファン３０から送り出された空気は、図の右側からバーンインボードＢＩＢが収納された空間に入り込み、バーンインボードＢＩＢの間を通って、冷却器４０、加熱器５０を通り、再びファン３０に戻る。

このように恒温槽２０の内部の空気を循環させるのは、複数のバーンインボードＢＩＢに装着されている被試験デバイスの試験条件を揃えるためである。すなわち、恒温槽２０の内部の空気を循環させることにより、各被試験デバイスの温度条件が同じになるようにしている。このため、恒温槽２０内部の温度分布は、できるだけ均一であることが望ましい。

しかしながら、循環する空気の上流側にあるバーンインボードＢＩＢ（Ｒ）と、下流側にあるバーンインボードＢＩＢ（Ｌ）とでは、空気の温度が変化してしまっている可能性がある。すなわち、循環する空気の上流側にあるバーンインボードＢＩＢ（Ｒ）で空気が暖まってしまっていたり、冷却されてしまっていたりする可能性があり、バーンインボードＢＩＢ（Ｌ）の間を流れる空気の温度が、バーンインボードＢＩＢ（Ｒ）の間を流れたときの空気の温度と、異なっている恐れがある。

一般的には、上流側にあたるバーンインボードＢＩＢ（Ｒ）の間を流れる空気の温度と、下流側にあたるバーンインボードＢＩＢ（Ｌ）の間を流れる空気の温度との温度差ΔＴは、次のような関係式で表される。
ΔＴ＝Ｋ×ＩＣの総発熱量÷（空気循環量×空気比熱）
ここで、Ｋは比例定数であり、ここではＫ＝０．０１２であり、空気比熱は０．２４ｋｃａｌ／℃・ｋｇである。この関係式によれば、ＩＣの総発熱量が６ＫＷであり、空気循環量が７０ｍ^３／ｍｉｎの場合、ΔＴ＝０．０１２×６０００÷（７０×０．２４）≒４．２９℃となり、この温度差は無視できない大きさになっている。

また、近年においては、被試験デバイスである半導体装置の微細化が進み、被試験デバイス内のリーク電流が増加して、バーンイン試験における被試験デバイスの発熱が増大してきており、各被試験デバイス間の温度差が大きくなってきている。このため、恒温槽２０内部の温度を適切に制御することが難しくなり、従来のバーンイン装置１０では、循環する空気の上流側にあるバーンインボードＢＩＢ（Ｒ）に装着された被試験デバイスの温度条件と、下流側にあるバーンインボードＢＩＢ（Ｌ）に装着された被試験デバイスの温度条件とが、同じにならない可能性がある。
特開２００５−２６５６６５号公報

そこで本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、恒温槽内部の温度を可能な限り均一にできるバーンイン装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明に係るバーンイン装置は、
バーンインボードが挿入される１又は複数の第１のバーンインボード挿入スロットと、
バーンインボードが挿入される１又は複数の第２のバーンインボード挿入スロットと、
前記第１のバーンインボード挿入スロットに対して第１の空気の循環を形成するための第１のファンであって、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後に、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間に流れ込むことなく空気を循環させる、第１のファンと、
前記第２のバーンインボード挿入スロットに対して第２の空気の循環を形成するための第２のファンであって、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後に、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間に流れ込むことなく空気を循環させる、第２のファンと、
前記第１の空気の循環における空気の流路に設けられた第１の冷却器と、
前記第２の空気の循環における空気の流路に設けられた第２の冷却器と、
前記第１の空気の循環における空気の流路に設けられた第１の加熱器と、
前記第２の空気の循環における空気の流路に設けられた第２の加熱器と、
を備えており、
前記第１の冷却器と前記第１の加熱器は、前記第１の空気の循環において、空気が、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後、前記第１のファンに到達する前の位置に設けられており、
前記第２の冷却器と前記第２の加熱器は、前記第２の空気の循環において、空気が、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後、前記第２のファンに到達する前の位置に設けられている、
ことを特徴とする。

また、前記第１の空気の循環における空気と、前記第２の空気の循環における空気とが、ともに流れる共通流通路が形成されているようにしてもよい。

この場合、前記共通流通路は、前記第１の空気の循環と前記第２の空気の循環とが形成される恒温槽の中央部分に設けられているようにしてもよい。

この場合、前記共通流通路には、前記第１の空気の循環において、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後の空気と、前記第２の空気の循環において、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後の空気とが、流れ込むようにしてもよい。

或いは、前記共通流通路には、前記第１の空気の循環において、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過する前の空気と、前記第２の空気の循環において、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過する前の空気とが、流れ込むようにしてもよい。

また、前記第１の冷却器と前記第２の冷却器に冷媒を送出するための冷却コンプレッサが、前記第１の冷却器と前記第２の冷却器に共通で設けられているようにしてもよい。

発明を実施するための形態

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

〔第１実施形態〕
図２は、本発明の第１実施形態に係るバーンイン装置１０の全体的な正面図である。図３は、本実施形態に係るバーンイン装置１０の内部構成を説明するためのブロックレイアウト図であり、バーンインボードＢＩＢが収納された状態を示している。

これら図２及び図３に示すように、本実施形態に係るバーンイン装置１０は、温度調整ユニット１００と、試験本体ユニット２００と、制御ユニット３００とにより、構成されている。これら温度調整ユニット１００と、試験本体ユニット２００と、制御ユニット３００は、それぞれ、分離して搬送することが可能であり、これら３つのユニットを組み立てることにより、本実施形態に係るバーンイン装置１０が形成される。

試験本体ユニット２００の内部には、断熱壁２１０で区画された空間により、恒温槽２０が形成されている。この恒温槽２０の図中右側には、バーンインボードＢＩＢが挿入される１又は複数の第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）が設けられており、恒温槽２０の図中左側には、バーンインボードＢＩＢが挿入される１又は複数の第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）が設けられている。

本実施形態では、例えば、第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）は、縦方向に３０段のバーンインボード挿入用のスロットが並ぶように形成されており、第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）も、縦方向に３０段のバーンインボード挿入用のスロットが並ぶように形成されている。但し、第１及び第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）、２２０（Ｌ）を、何段にするかは、任意である。

また、このバーンイン装置１０には、２枚のドア２３０（Ｒ）、２３０（Ｌ）が設けられている。すなわち、バーンイン装置１０の図中右側に設けられた第１のドア２３０（Ｒ）を開状態にすることにより、第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）に対してバーンインボードＢＩＢを挿抜することができるようになり、バーンイン装置１０の図中左側に設けられた第２のドア２３０（Ｌ）を開状態にすることにより、第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）に対してバーンインボードＢＩＢを挿抜することができるようになる。

これらのドア２３０（Ｒ）、２３０（Ｌ）にも断熱材が組み込まれており、ドア２３０（Ｒ）、２３０（Ｌ）を閉状態にすることにより、周囲から熱的に遮断された空間である恒温槽２０が構成される。

第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）の上方には、第１のファン２４０（Ｒ）が設けられており、この第１のファン２４０（Ｒ）により、第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）に挿入されたバーンインボードＢＩＢの周囲の空気を加熱したり冷却したりするための空気の循環が形成される。

具体的には、第１のファン２４０（Ｒ）から送出された空気は、恒温槽２０内部を上下方向に延びる流通路２４２（Ｒ）を下方に向かって流れ込み、第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）に挿入されたバーンインボードＢＩＢの隙間に流れ込む。このバーンインボードＢＩＢの隙間を流れた空気は、第１の冷却器２５０（Ｒ）を通過し、恒温槽２０内部を上下方向に延びる流通路２４４に流れ込む。流通路２４４に流れ込んだ空気は、上方に移動し、恒温槽２０の天井に衝突し、その一部が第１の加熱器２５２（Ｒ）を通過し、再び、第１のファン２４０（Ｒ）から送出されていく。

このように、第１のファン２４０（Ｒ）から送出された空気は、図中時計回りに回る空気の循環を形成する。この空気の循環を、以下では、第１の空気の循環と称することとする。この第１の空気の循環によれば、加熱器２５２（Ｒ）を通過するときに空気は加熱され、冷却器２５０（Ｒ）を通過するときに空気は冷却されることになる。このように、冷却器２５０（Ｒ）と加熱器２５２（Ｒ）と通過した後に、第１のファン２４０（Ｒ）から空気が送出されるので、送出される空気中の温度の均一化を図ることができる。

第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）の上方にも、第２のファン２４０（Ｌ）が設けられており、この第２のファン２４０（Ｌ）により、第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）に挿入されたバーンインボードＢＩＢの周囲の空気を加熱したり冷却したりするための空気の循環が形成される。

具体的には、第２のファン２４０（Ｌ）から送出された空気は、恒温槽２０内部を上下方向に延びる流通路２４２（Ｌ）を下方に向かって流れ込み、第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）に挿入されたバーンインボードＢＩＢの隙間に流れ込む。このバーンインボードＢＩＢの隙間を流れた空気は、第２の冷却器２５０（Ｌ）を通過し、上述した流通路２４４に流れ込む。流通路２４４に流れ込んだ空気は、上方に移動し、恒温槽２０の天井に衝突し、その一部が第２の加熱器２５２（Ｌ）を通過し、再び、第２のファン２４０（Ｌ）から送出されていく。

このように、第２のファン２４０（Ｌ）から送出された空気は、図中反時計回りに回る空気の循環を形成する。この空気の循環を、以下では、第２の空気の循環と称することとする。この第２の空気の循環によれば、加熱器２５２（Ｌ）を通過するときに空気は加熱され、冷却器２５０（Ｌ）を通過するときに空気は冷却されることになる。このように、冷却器２５０（Ｌ）と加熱器２５２（Ｌ）と通過した後に、第２のファン２４０（Ｌ）から空気が送出されるので、送出される空気中の温度の均一化を図ることができる。

冷却器２５０（Ｒ）、２５０（Ｌ）は、温度調整ユニット１００に設けられた冷却コンプレッサ１１０から送出された冷媒により、冷却される。すなわち、冷却コンプレッサ１１０は、配管１２０（Ｒ）により、冷却器２５０（Ｒ）と接続されており、冷却コンプレッサ１１０から送出された冷媒が、冷却器２５０（Ｒ）内を循環して、再び、冷却コンプレッサ１１０に戻ってくるように構成されている。同様に、冷却コンプレッサ１１０は、配管１２０（Ｌ）により、冷却器２５０（Ｌ）と接続されており、冷却コンプレッサ１１０から送出された冷媒が、冷却器２５０（Ｌ）内を循環して、再び、冷却コンプレッサ１１０に戻ってくるように構成されている。

図４は、本実施形態に係る冷却器２５０（Ｒ）の構造を説明するための冷却器２５０（Ｒ）の正面図であり、図５は、その右側面図である。なお、冷却器２５０（Ｌ）も冷却器２５０（Ｒ）と同等の構成であるので、ここでは説明を省略する。

これら図４及び図５に示すように、冷却器２５０（Ｒ）は、従来の冷却器２５０よりも薄型で構成されている。冷却コンプレッサ１１０から送出された冷媒は、例えば、図中上側の配管１２０（Ｒ）から冷却器２５０（Ｒ）内に入り込み、図中下側の配管１２０（Ｒ）から排出されて、冷却コンプレッサ１１０に戻るように構成されている。

再び図２及び図３に戻って説明すると、上述した冷却コンプレッサ１１０と加熱器２５２（Ｒ）、２５２（Ｌ）とは、制御ユニット３００により制御される。すなわち、制御ユニット３００は、恒温槽２０内部の温度を下げる必要がある場合には、冷却コンプレッサ１１０を稼働して、冷却器２５０（Ｒ）、２５０（Ｌ）を通過する通気の温度を下げるようにする。一方、恒温槽２０内部の温度を上げる必要がある場合には、加熱器２５２（Ｒ）、２５２（Ｌ）を稼働して、加熱器２５２（Ｒ）、２５２（Ｌ）を通過する空気の温度を上げるようにする。本実施形態では、加熱器２５２（Ｒ）、２５２（Ｌ）は、電熱線ヒータにより構成されており、制御ユニット３００は、この加熱器２５２（Ｒ）、２５２（Ｌ）に電力を供給することにより、加熱器２５２（Ｒ）、２５２（Ｌ）は発熱する。

制御ユニット３００は、恒温槽２０内部の温度を上げるべきか、下げるべきかを、恒温槽２０の各所に設けられた温度検出器２６０で検出された温度に基づいて判断する。恒温槽２０内部のどのような箇所に温度検出器２６０を設置すべきかは任意であり、その設置個数も任意である。温度検出器２６０で検出された温度は、制御ユニット３００で集計され、恒温槽２０内部の温度制御をする上で必要な温度計算処理がなされることとなる。

なお、恒温槽２０内部の温度制御にあたっては、制御ユニット３００は、２つの加熱器２５２（Ｒ）、２５２（Ｌ）の稼働停止を個別に制御できるようにしてもよいし、或いは、２つまとめて制御するようにしてもよい。同様に、制御ユニット３００は、２つの冷却器２５０（Ｒ）、２５０（Ｌ）の稼働停止を個別に制御できるようにしてもよいし、或いは、２つまとめて制御するようにしてもよい。

以上のように、本実施形態に係るバーンイン装置１０によれば、第１及び第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）、２２０（Ｌ）のそれぞれに、第１及び第２のファン２４０（Ｒ）、２４０（Ｌ）を設けて、それぞれ、第１の空気の循環と第２の空気の循環を生成するようにした。そして、第１の空気の循環で流れる空気を冷却する第１の冷却器２５０（Ｒ）と、第１の空気の循環で流れる空気を加熱する第１の加熱器２５２（Ｒ）とを設けるとともに、第２の空気の循環で流れる空気を冷却する第２の冷却器２５０（Ｌ）と、第２の空気の循環で流れる空気を加熱する第２の加熱器２５２（Ｌ）とを設けることとした。

このため、第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）のバーンインボードＢＩＢの間を通過した空気が、第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）のバーンインボードＢＩＢの間に流れ込んだり、逆に、第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）のバーンインボードＢＩＢの間を通過した空気が、第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）のバーンインボードＢＩＢの間に流れ込んだりすることがなくなる。この結果、第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）のバーンインボードＢＩＢの間を流れる空気の温度と、第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）のバーンインボードＢＩＢの間を流れる空気の温度とが、同じになるように制御することができ、恒温槽２０内部の温度分布の均一化を図ることができる。

また、恒温槽２０の中央部に設けた流通路２４４は、第１の空気の循環で流れる空気と、第２の空気の循環で流れる空気の双方が通過するようにしているので、第１の空気の循環で流れる空気と、第２の空気の循環で流れる空気とが、この流通路２４４で混合され、第１の空気の循環で流れる空気の温度条件と、第２の空気の循環で流れる空気の温度条件とを揃えるのが容易になる。

さらに、本実施形態に係るバーンイン装置１０においては、２つの冷却器２５０（Ｒ）、２５０（Ｌ）を設けたが、冷却コンプレッサ１１０は１台であるので、温度調整ユニット１００が大型化するのを回避することができる。

〔第２実施形態〕
本発明の第２実施形態は、上述した第１実施形態を変形して、第１及び第２の空気の循環の向きが、それぞれ第１実施形態の逆回りになるようにしたものである。以下、第１実施形態と異なる部分を説明する。

図６は、本発明の第２実施形態に係るバーンイン装置１０の内部構成を説明するためのブロックレイアウト図であり、バーンインボードＢＩＢが収納された状態を示している。また、この図６は、上述した第１実施形態における図３に対応している。第２実施形態に係るバーンイン装置１０の全体的な正面図は、上述した図２と同様である。

この図６に示すように、本実施形態では、第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）に対して形成される第１の空気の循環が、反時計回りに形成され、第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）に対して形成される第２の空気の循環が、時計回りに形成される。

具体的には、第１のファン２４０（Ｒ）から送出された空気は、恒温槽２０内部の中央を上下方向に延びる流通路２４４を下方に向かって流れ込み、その一部が第１のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）に挿入されたバーンインボードＢＩＢの隙間に流れ込む。このバーンインボードＢＩＢの隙間を流れた空気は、冷却器２５０（Ｒ）を通過して、流通路２４２（Ｒ）に流れ込んで上方に移動する。そして、第１の加熱器２５２（Ｒ）を通過し、再び、第１のファン２４０（Ｒ）から送出されていく。

このように、第１のファン２４０（Ｒ）から送出された空気は、図中反時計回りに回る空気の循環を形成する。この空気の循環が、上述した第１実施形態における第１の空気の循環に相当する。この第１の空気の循環によれば、第１の加熱器２５２（Ｒ）を通過するときに空気は加熱され、第１の冷却器２５０（Ｒ）を通過するときに空気は冷却されることになる。このように、冷却器２５０（Ｒ）と加熱器２５２（Ｒ）と通過した後に、第１のファン２４０（Ｒ）から空気が送出されるので、送出される空気の温度の均一化を図ることができる。

同様に、第２のファン２４０（Ｌ）から送出された空気は、上述した流通路２４４を下方に向かって流れ込み、その一部が第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｌ）に挿入されたバーンインボードＢＩＢの隙間に流れ込む。このバーンインボードＢＩＢの隙間を流れた空気は、第２の冷却器２５０（Ｌ）を通過して、流通路２４２（Ｌ）に流れ込んで上方に移動する。そして、第２の加熱器２５２（Ｒ）を通過し、再び、第２のファン２４０（Ｌ）から送出されていく。

このように、第２のファン２４０（Ｌ）から送出された空気は、図中時計回りに回る空気の循環を形成する。この空気の循環が、上述した第１実施形態における第２の空気の循環に相当する。この第２の空気の循環によれば、第２の加熱器２５２（Ｌ）を通過するときに空気は加熱され、第２の冷却器２５０（Ｌ）を通過するときに空気は冷却されることになる。このように、冷却器２５０（Ｌ）と加熱器２５２（Ｌ）と通過した後に、第２のファン２４０（Ｌ）から空気が送出されるので、送出される空気の温度の均一化を図ることができる。

以上のように、本実施形態に係るバーンイン装置１０によっても、恒温槽２０内部の温度分布の均一化を図ることができる。すなわち、第２実施形態においても、第１及び第２のバーンインボード挿入スロット２２０（Ｒ）、２２０（Ｌ）のそれぞれに、第１及び第２のファン２４０（Ｒ）、２４０（Ｌ）を設けて、それぞれ、第１の空気の循環と第２の空気の循環を生成するようにした。そして、第１の空気の循環で流れる空気を冷却する第１の冷却器２５０（Ｒ）と、第１の空気の循環で流れる空気を加熱する第１の加熱器２５２（Ｒ）とを設けるとともに、第２の空気の循環で流れる空気を冷却する第２の冷却器２５０（Ｌ）と、第２の空気の循環で流れる空気を加熱する第２の加熱器２５２（Ｌ）を設けることとした。

なお、本発明は上記実施形態に限定されず種々に変形可能である。例えば、上述した実施形態におけるファン２５０（Ｒ）、２５０（Ｌ）、冷却器２５０（Ｒ）、２５０（Ｌ）、及び、加熱器２５２（Ｒ）、２５２（Ｌ）の配置は一例に過ぎず、これらの配置を適宜変更しても本発明を実現することができる。

また、上述した実施形態では、２つの冷却器２５０（Ｒ）、２５０（Ｌ）に対して共通に１台の冷却コンプレッサ１１０を設けることしたが、各冷却器２５０（Ｒ）、２５０（Ｌ）にそれぞれ独立して冷却コンプレッサを設けるようにしてもよい。

図１は、従来のバーンイン装置の内部構成の一例を説明するブロックレイアウト図である。図２は、本発明の第１実施形態に係るバーンイン装置の一例を説明する正面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係るバーンイン装置の内部構成の一例を説明するブロックレイアウト図である。図４は、図３のバーンイン装置における冷却器の構成の一例を説明するための正面図である。図５は、図４の冷却器の右側面図である。図６は、本発明の第２実施形態に係るバーンイン装置の内部構成の一例を説明するブロックレイアウト図である。

符号の説明

１０バーンイン装置
２０恒温槽
１００温度調整ユニット
２００試験本体ユニット
２１０断熱壁
２２０（Ｒ）第１のバーンインボード挿入スロット
２２０（Ｌ）第２のバーンインボード挿入スロット
２４０（Ｒ）第１のファン
２４０（Ｌ）第２のファン
２５０（Ｒ）第１の冷却器
２５０（Ｌ）第２の冷却器
２５２（Ｒ）第１の加熱器
２５２（Ｌ）第２の加熱器
３００制御ユニット
ＢＩＢバーンインボード

Claims

バーンインボードが挿入される１又は複数の第１のバーンインボード挿入スロットと、
バーンインボードが挿入される１又は複数の第２のバーンインボード挿入スロットと、
前記第１のバーンインボード挿入スロットに対して第１の空気の循環を形成するための第１のファンであって、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後に、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間に流れ込むことなく空気を循環させる、第１のファンと、
前記第２のバーンインボード挿入スロットに対して第２の空気の循環を形成するための第２のファンであって、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後に、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間に流れ込むことなく空気を循環させる、第２のファンと、
前記第１の空気の循環における空気の流路に設けられた第１の冷却器と、
前記第２の空気の循環における空気の流路に設けられた第２の冷却器と、
前記第１の空気の循環における空気の流路に設けられた第１の加熱器と、
前記第２の空気の循環における空気の流路に設けられた第２の加熱器と、
を備えており、
前記第１の冷却器と前記第１の加熱器は、前記第１の空気の循環において、空気が、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後、前記第１のファンに到達する前の位置に設けられており、
前記第２の冷却器と前記第２の加熱器は、前記第２の空気の循環において、空気が、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後、前記第２のファンに到達する前の位置に設けられている、
ことを特徴とするバーンイン装置。
前記第１の空気の循環における空気と、前記第２の空気の循環における空気とが、ともに流れる共通流通路が形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載のバーンイン装置。
前記共通流通路は、前記第１の空気の循環と前記第２の空気の循環とが形成される恒温槽の中央部分に設けられている、ことを特徴とする請求項２に記載のバーンイン装置。
前記共通流通路には、前記第１の空気の循環において、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後の空気と、前記第２の空気の循環において、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過した後の空気とが、流れ込む、ことを特徴とする請求項３に記載のバーンイン装置。
前記共通流通路には、前記第１の空気の循環において、前記第１のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過する前の空気と、前記第２の空気の循環において、前記第２のバーンインボード挿入スロットに挿入されたバーンインボードの間を通過する前の空気とが、流れ込む、ことを特徴とする請求項３に記載のバーンイン装置。
前記第１の冷却器と前記第２の冷却器に冷媒を送出するための冷却コンプレッサが、前記第１の冷却器と前記第２の冷却器に共通で設けられている、ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のバーンイン装置。