JP4573308B2 - 表面検査装置及び方法 - Google Patents
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Description
本発明は、前述したような問題を解決するためになされたもので、構造を複雑にすることなく、効率的により精度良く欠陥の検出ができるようにした表面検査装置及び方法を提供するものである。
本発明の実施の一形態に係る表面検査装置の基本的な構成は図1に示すようになっている。この表面検査装置は、半導体ウエハを検査対象の試料としてその表面の欠陥を検出するものである。
図2において、この処理系は、前述した検査処理装置500、前記試料搬入ロボット機構300及び試料搬出ロボット機構400の駆動制御を行うロボット制御装置600、前記ターンテーブル20の駆動制御を行うターンテーブル駆動制御装置700(駆動制御手段に対応)及び統括制御装置800を有している。統括制御部800は、検査処理装置500、ロボット制御装置600及びターンテーブル駆動制御装置700に対するタイミング制御などの統括的な制御を行う。
20 ターンテーブル
30 撮像カメラ
35 カメラ取付け部材
36 固定具
40 シェード
41、43 前方支柱
42、44 後方支柱
45、46 張出し腕部材
47 連結部材
48 第一の光源取付けプレート
49 第二の光源取付けプレート
50 光源ユニット
51a、51b、52a、52b 光源
60 反射ミラー
65 支持具
100 アライナ
200 カセット
300 試料搬入ロボット機構
400 試料搬出ロボット機構
500 検査処理装置
501 画像処理部
502 入力処理部
503 メモリユニット
504 モニタユニット
600 ロボット制御装置
700 ターンテーブル駆動制御装置
701 ステッピングモータ
702 駆動回路
800 統括制御装置
Claims (2)
- 板状の試料をその表面を所定方向に向けた状態で回転させる試料回転機構と、
前記試料回転機構の駆動制御を行う駆動制御手段と、
前記試料の表面に対して所定の位置関係にて設置され、前記試料表面を撮影する撮像装置と、
検査光を前記試料表面に照射する光源と、
前記駆動制御手段の制御のもと前記試料回転機構により回転される前記試料の表面を前記撮像装置にて撮影して得られる複数の試料画像から前記試料表面の欠陥を検出する欠陥検出手段とを備え、
前記欠陥検出手段は、回転される前記試料の表面を前記撮像装置にて撮影して得られる複数の角度位置での試料画像のそれぞれから所定の基準画像を差し引いて差分画像を生成する差分画像生成手段と、
前記差分画像生成手段にて得られた前記複数の角度位置での差分画像を角度位置の補正を行いつつ合成して合成差分画像を生成する画像合成手段とを有する表面検査装置。 - 板状の試料をその表面を所定の方向に向けた状態で回転させ、
前記試料表面に検査光が照射された状態で当該試料表面を撮像装置にて撮影し、
回転される前記試料の表面を前記撮像装置にて撮影して得られる複数の試料画像から前記試料表面の欠陥を検出する表面検査方法であって、
回転される前記試料の表面を前記撮像装置にて撮影して得られる複数の角度位置での試料画像のそれぞれから所定の基準画像を差し引いて差分画像を生成する差分画像生成ステップと、
前記差分画像生成ステップにて得られた前記複数の角度位置での差分画像を角度位置の補正を行いつつ合成して合成差分画像を生成する画像合成ステップとを有し、
該合成差分画像から前記試料表面の欠陥を検出するようにした表面検査方法。
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