JP4566308B2 - 表示装置 - Google Patents

表示装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4566308B2
JP4566308B2 JP35088799A JP35088799A JP4566308B2 JP 4566308 B2 JP4566308 B2 JP 4566308B2 JP 35088799 A JP35088799 A JP 35088799A JP 35088799 A JP35088799 A JP 35088799A JP 4566308 B2 JP4566308 B2 JP 4566308B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
repair
wiring
wirings
repair wiring
bus line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP35088799A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001166704A (ja
Inventor
嘉昭 丸山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP35088799A priority Critical patent/JP4566308B2/ja
Publication of JP2001166704A publication Critical patent/JP2001166704A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4566308B2 publication Critical patent/JP4566308B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のバスラインが表示領域内に形成された表示装置に関し、特に、表示装置の製造工程において発生した断線や層間短絡などの欠陥を修復(リペア)可能な表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4はアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成の一例を示している。液晶パネルは、TFT(薄膜トランジスタ)等が形成されたTFT基板200とカラーフィルタ(CF)等が形成されたCF基板202の2枚のガラス基板を対向させてその間に液晶204を封止して貼り合わせた構造を有している。
【0003】
図5はTFT基板200上に形成された素子の等価回路を示している。TFT基板200上には、図中左右に延びるゲートバスライン218が平行に複数形成され、それらに交差して図中上下に延びるドレインバスライン220が平行に複数形成されている。複数のゲートバスライン218とドレインバスライン220とで囲まれた各領域が画素領域となる。画素領域内にはTFT222と透明電極材料からなる表示電極224が形成されている。各TFT222のドレイン電極は隣接するドレインバスライン220に接続され、ゲート電極は隣接するゲートバスライン218に接続され、ソース電極は表示電極224に接続されている。
基板面に対して表示電極224下方にはゲートバスライン218と平行に蓄積容量バスライン226が形成されている。これらのTFT222や各バスライン218、220、226は、フォトリソグラフィ工程で形成され、「成膜→レジスト塗布→露光→現像→エッチング→レジスト剥離」という一連の半導体プロセスを繰り返して形成される。
【0004】
図4に戻り、液晶204を封止してCF基板202と対向配置されたTFT基板200には、複数のゲートバスライン218を駆動するドライバICが実装されたゲート駆動回路206と、複数のドレインバスライン220を駆動するドライバICが実装されたドレイン駆動回路208とが設けられている。これらの駆動回路206、208は、制御回路216から出力された所定の信号に基づいて、走査信号やデータ信号を所定のゲートバスライン218あるいはドレインバスライン220に出力するようになっている。TFT基板200の素子形成面と反対側の基板面には偏光板212が配置され、偏光板212のTFT基板200と反対側の面にはバックライトユニット214が取り付けられている。一方、CF基板202のCF形成面と反対側の面には、偏光板212とクロスニコルに配置された偏光板210が貼り付けられている。
【0005】
TFT222の構造には、基板面に対してゲート電極上部にソース/ドレイン電極が形成された逆スタガ型や、ソース/ドレイン電極上部にゲート電極が形成されたスタガ型あるいはプレーナ型等がある。図6は、代表的な逆スタガ型TFTを備えた画素領域の概略構成を示している。図6(a)は、基板面に向かって見た画素領域を表し、図6(b)は、図6(a)のA−A線で切断したTFT断面を示している。また、図6(c)は、図6(a)のB−B線で切断したゲートバスライン218(又は蓄積容量バスライン226)とドレインバスラインの交差領域の断面を示している。
【0006】
図6に示すように、TFT222は、ゲートバスライン218とドレインバスライン220との交差位置近傍に形成されている。TFT222のドレイン電極230はドレインバスライン220から引き出され、その端部が、ゲートバスライン218上にアモルファスシリコン(a−Si)やポリシリコンで形成された動作半導体層232と、その上に形成されたチャネル保護膜242の一端辺側に位置するように形成されている。
【0007】
一方、ソース電極228は動作半導体層232及びチャネル保護膜242上の他端辺側に位置するように形成されている。このような構成においてチャネル保護膜242直下のゲートバスライン218領域が当該TFT222のゲート電極として機能するようになっている。
【0008】
また、図6(b)に示すように、ゲートバスライン218上にはゲート絶縁膜240が形成され、チャネルを構成する動作半導体層232はゲートバスライン218直上のゲート絶縁膜240上に形成されている。また、画素領域ほぼ中央を左右に延びる補助容量バスライン226が形成されている。補助容量バスライン226の上層には絶縁膜240を介して画素毎に蓄積容量電極236が形成されている。ソース電極228および蓄積容量電極236の上層には透明電極からなる画素電極224が形成されている。画素電極224は、その下方に形成した保護膜244に設けられたコンタクトホール234を介してソース電極228と電気的に接続されている。また画素電極224は、コンタクトホール238を介して蓄積容量電極236と電気的に接続されている。
【0009】
以上説明したTFT構造は逆スタガ型であるが、例えばスタガ型やプレーナ型では最下層にドレイン電極があり、ゲート電極はその上部にあるという逆の構造になっている。いずれの構造にせよここで留意すべきは各メタル層が絶縁膜を介して積層されて交差している点である。
【0010】
図7はメタル層間が何らかの原因で短絡した場合の従来のリペア方法を示している。図7(a)は、基板面に向かって見た画素領域を表し、図7(b)は、図7(a)のA−A線で切断した断面を示している。また、図8は、TFT基板200に形成されたリペア配線を示している。ここで、図4乃至図6を用いて説明した構成要素と同一の機能作用を有するものには同一の符号を付してその説明は省略する。
【0011】
図7(a)、(b)は、蓄積容量バスライン226とドレインバスライン220とがゲート絶縁膜240を貫通して層間短絡290を生じている状態を示している。層間短絡290があると当該ドレインバスライン220に所定の電圧が印加されなくなるため線状の表示欠陥が発生する。この表示欠陥を修復するためにレーザを用いたリペアが行われる。
【0012】
このリペア方法は、第1に、欠陥画素のドレイン電極230と層間短絡290との間の切断位置300のドレインバスライン220をレーザ光の照射により切断する。第2に、層間短絡290と次の画素のドレイン電極230との間の切断位置301のドレインバスライン220をレーザ光の照射により切断する。これにより層間短絡290の短絡箇所を孤立させる。
【0013】
第3に、図8に示すように予めTFT基板200上にリペア用に設けられている予備配線(リペア配線)302、303を用いて、切断されたドレインバスライン220にドレイン駆動回路208からの所定の電圧が印加されるようにする。
【0014】
図8に示す表示領域(a)内で平行且つ等間隔に形成された複数のドレインバスライン220は引き出し配線部(b)で収束し、端子部(c)においてTAB(Tape Automated Bonding)実装によりドライバICがFPC(Flexible Printed Circuit)に搭載されたTCP(Tape Carrier Package)に接続されている。
【0015】
リペア配線302は、表示領域(a)のドレイン駆動回路208側端部で複数のドレインバスライン220と絶縁膜を介して交差するように形成され、複数のドレインバスライン220と共に引き出し配線部(b)を通って端子部(c)においてTCPに接続されている。リペア配線302はゲートバスライン218形成用メタルを用いて形成され、通常は絶縁膜240によりドレインバスライン220と絶縁されている。
【0016】
あるドレインバスライン220に層間短絡290による欠陥が発生したら、当該ドレインバスライン220とリペア配線302との交差領域304にレーザ光を照射して両配線メタルを溶融して接続し導通をとる。
【0017】
リペア配線302はプリント基板250を通ってゲート駆動回路206側から駆動回路の非実装側のリペア配線303と接続されている。駆動回路の非実装側のリペア配線303もゲートバスライン218形成用メタルを用いて形成され、絶縁膜240を介して複数のドレインバスライン220に交差して形成されている。リペア時には、層間短絡290を生じているドレインバスライン220とリペア配線302との交差領域304にレーザ光を照射すると共に、当該ドレインバスライン220とリペア配線303との交差領域305にもレーザ光を照射することで両者を溶融して接続し導通をとる。このようにして、層間短絡290の短絡個所を切断したドレインバスライン220に対してドレイン駆動回路208の反対側からも所定の電圧を印加して線状の表示欠陥の発生を防止するリペアが行われる。
【0018】
図9は、パネル全体でn本のリペア配線R1〜Rnを有する従来の液晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnの配置関係の一例を示す模式図である。TFT基板200上には複数本のゲートバスライン(図示せず)が相互に平行に配置されており、ゲートバスラインに直交してドレインバスライン220が絶縁膜を介して配置されている。ドレインバスライン220は、TAB接続されるグループ毎に束ねられてm個のグループ5−1〜5−mに分割されている。
【0019】
表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)には、n(=2×m)本の第1のリペア配線6R1〜6Rnが絶縁膜を介してドレインバスライン220と直交するように配置されている。例えばグループ5−1では、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)でほぼ平行に並んだ2本の第1のリペア配線6R1、6R2が絶縁膜を介してドレインバスライン220と直交するように配置されている。同様にして、各グループ5−1〜5−mのそれぞれにおいて、2本の第1のリペア配線6R(2i−1)、6R2i(iは整数、1≦i≦m)が絶縁膜を介してドレインバスライン220と直交するように配置されている。
【0020】
一方、表示領域(a)について引き出し配線部(b)と反対側のリペア部(d)には、n(=2×m)本の第2のリペア配線7R1〜7Rnが絶縁膜を介してドレインバスライン220と直交するように配置されている。第2のリペア配線7R1〜7Rnは、2本毎にグループ5−1〜5−mのいずれかのドレインバスライン220と直交するように配置されている。
【0021】
次に、図10は、パネル全体でn本のリペア配線R1〜Rnを有する従来の液晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnの他の配置関係を示している。図9に示した従来例と異なるのは第1に、各グループ5−1〜5−mの引き出し配線部(b)にそれぞれ2本形成された第1のリペア配線6R(例えば、グループ5−1の6R1と6R2)は、ドレインバスライン220と直交する一直線上に配置され、各グループ5−1〜5−mのほぼ中央で2本の第1のリペア配線6R端部同士が向き合うように、各グループ5−1〜5−mの中央で切断されて分離されていることにある。
【0022】
また、各グループ5−1〜5−mのリペア部(d)にそれぞれ2本形成された第2のリペア配線7R1〜7Rn(n=2×m)も、ドレインバスライン220と直交する一直線上に配置され、各グループ5−1〜5−mのほぼ中央で2本の第2のリペア配線端部同士が向き合うように、各グループ5−1〜5−mの中央で切断されて分離されている。
【0023】
第2に、第2のリペア配線7R1〜7Rnは図9に示した従来例のようにTFT基板200端の端子部まで達しておらず、絶縁膜を介してリペア部(d)に配置された第3のリペア配線8R1〜8Rm(m=n/2)と直交して配置されている点が異なっている。第3のリペア配線8R1〜8Rmは、1本毎にグループ5−1〜5−mのいずれかの2本の第2のリペア配線7R1〜7Rnと直交するように配置されている。
【0024】
次に、図11は、パネル全体でn本のリペア配線R1〜Rnを有する従来の液晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnのさらに他の配置関係を示す模式図である。第1のリペア配線6R1〜6Rnは図9に示す従来例と同一で、第2のリペア配線7R1〜7Rn及び第3のリペア配線8R1〜8Rnが図10に示す従来例と同一の構造になっている。但し、第2のリペア配線7R1〜7Rnは中央部で分離されておらず、第1のリペア配線6R1〜6Rnと同様に、グループ5−1〜5−mのそれぞれの一端から他端まで貫通している。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】
図9に示す従来のリペア構造によれば、グループ5−1〜5−m毎に2本のリペアが可能である。例えば現状よく用いられるグループ数としてm=8の場合、第2のリペア配線7R1〜7Rnの本数はn=2×m=16本となる。ところが、これだけ多数のリペア配線を形成するにはリペア部(d)のパターン面積の増大が避けられず、パネルの狭額緑化が要求されている現状において好ましくない。
【0026】
これに対し、第2のリペア配線7R1〜7Rn全てをリペア部(d)端部まで貫通させれば、第2のリペア配線7R1〜7Rnの合計本数を減らしてリペア部(d)の面積を減らすことが可能になるが、こうすると第2のリペア配線7R1〜7Rnとドレインバスライン220との交差部が増加して付加容量の増加によるドレイン駆動回路208にかかる負荷が増大してしまう点や表示品質の劣化の原因になることから実現は困難である。
【0027】
図10に示した従来例は、図9に示した従来例の欠点である付加容量の増加を抑えるために、図9における第2のリペア配線7R1〜7Rnを、別の第2のリペア配線7R1〜Rnと第3のリペア配線8R1〜8Rmに分割しているが、グループ5−1〜5−mのそれぞれに対して1本のリペアを可能にしようとすると、第3のリペア配線8の数はグループ数m分必要となり、やはりリペア部(d)のパターン面積が増大してしまう。
【0028】
図11に示す従来例は、図10に示す従来例の欠点であるリペア可能数を改善したものであり、グループ5−1〜5−mのうち隣り合う2グループ同士で2本までのリペアが可能となっている。グループ数mをm=8とすると、合計のリペア可能本数は図10に示した表示装置と同じ8本であるが、一部制約はあるものの1グループ内で2本までリペア可能となる。
【0029】
しかしながら、上述のいずれのリペア配線構造にしても、同一グループ内に断線欠陥が集中した場合には、それらを救済することは不可能である。なお、ここでの断線には、バスラインの断線欠陥のみではなく、ドレインバスラインとゲートバスラインの短絡及びドレインバスラインと蓄積容量バスラインの短絡等、層間短絡のリペア処理でドレインバスの断線処理を伴うものも含まれる。
【0030】
本発明の目的は、表示装置の製造工程において発生した断線や層間短絡などの欠陥を容易に修復して良品化することができる表示装置を提供することにある。
【0031】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、m個のグループに分割された複数のバスラインが表示領域内に形成された表示装置において、前記グループ毎にn本形成され、前記バスラインと前記表示領域外で絶縁膜を介して交差する第1のリペア配線と、前記表示領域について前記第1のリペア配線の反対側に前記グループ毎にn本形成され、前記バスラインと前記表示領域外で前記絶縁膜を介して交差する第2のリペア配線と、前記第2のリペア配線全て(m×n本)と前記絶縁膜を介して交差する2×n本の第3のリペア配線とを有することを特徴とする表示装置によって達成される。
【0032】
上記本発明の表示装置において、前記グループ毎に、前記第1のリペア配線と前記絶縁膜を介して交差する2×2×n本の第4のリペア配線を有することを特徴とする。
【0033】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態による表示装置を図1乃至図3を用いて説明する。まず、本実施の形態による表示装置の概略の構成を図1を用いて説明する。なお、本実施の形態において、従来の技術で説明した図4乃至図11に示した構成と同一の機能作用を有する構成要素には同一の符号を付してその説明は省略する。
【0034】
図1は、本実施の形態における液晶表示装置のリペア配線の配置関係を示す模式図である。TFT基板200上には複数本のゲートバスライン(図示せず)が相互に平行に配置されており、ゲートバスラインに直交してドレインバスライン220が絶縁膜を介して配置されている。ドレインバスライン220は、TAB接続されるグループ毎に束ねられてm個のグループ5−1〜5−mに分割されている。
【0035】
また、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)には、グループ5−1〜5−m毎にn本配置され、グループ5−1〜5−m全体でx本の第1のリペア配線6R1〜6Rx(x=n×m)が配置されている。図1では、第1のリペア配線6Rがグループ5−1〜5−m毎に3本(n=3)配置されている場合を例示しており、例えばグループ5−1では、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)でほぼ平行に並んだ3本の第1のリペア配線6R1、6R2、6R3が絶縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライン220と直交するように配置されている。同様にして、グループ5−2〜5−mのそれぞれにおいて、3本の第1のリペア配線6R(3i−2)、6R(3i−1)、6R3i(iは整数、1≦i≦m)が絶縁膜を介してグループ内のドレインバスライン220と直交するように配置されている。
【0036】
各グループに配置された3本の第1のリペア配線6Rは、それぞれ「コの字」形状に形成され、「コの字」形状の両端部から引き出し配線部(b)を通って端子部(c)に接続配線6Rxa、6Rxbが引き出されて、グループ内のドレインバスライン220と共にTAB接続されるように形成されている。
【0037】
TAB接続において、グループ5−1〜5−mのm本の各第1のリペア配線6R(3i−2)の接続配線6R(3i−2)a同士は共通接続されて後述の第3のリペア配線8R1に接続され、接続配線6R(3i−2)b同士は共通接続されて第3のリペア配線8R6に接続されている。同様にして、グループ5−1〜5−mのm本の各第1のリペア配線6R(3i−1)の接続配線6R(3i−1)a同士は共通接続されて第3のリペア配線8R2に接続され、接続配線6R(3i−1)b同士は共通接続されて第3のリペア配線8R5に接続されている。
さらに同様にして、グループ5−1〜5−mのm本の各第1のリペア配線6R3iの接続配線6R3ia同士は共通接続されて第3のリペア配線8R3に接続され、接続配線6R3ib同士は共通接続されて第3のリペア配線8R4に接続されている。
【0038】
一方、表示領域(a)について引き出し配線部(b)と反対側のリペア部(d)には、グループ5−1〜5−m毎にn本配置され、グループ5−1〜5−m全体でx本の第2のリペア配線7R1〜7Rx(x=n×m)が配置されている。
図1では、第1のリペア配線6Rに対応させて、グループ5−1〜5−m毎に3本(n=3)配置されている場合を例示しており、例えばグループ5−1では、リペア部(d)でほぼ平行に並んだ3本の第2のリペア配線7R1、7R2、7R3が絶縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライン220と直交するように配置されている。
【0039】
同様にして、グループ5−2〜5−mのそれぞれにおいて、3本の第2のリペア配線7R(3i−2)、7R(3i−1)、7R3i(iは整数、1≦i≦m)が絶縁膜を介して各グループ内のドレインバスライン220と直交するように配置されている。各グループに配置された3本の第2のリペア配線7Rのそれぞれは、第1のリペア配線6Rとは逆向きの「コの字」形状に形成されている。
【0040】
各第2のリペア配線7Rの「コの字」の腕部7a、7bには、絶縁膜を介して2×n本の第3のリペア配線8R1〜8R2nが配置されている。図1では第1及び第2のリペア配線6R、7Rの本数n=3に対応して6本の第3のリペア配線8R1〜8R6が示されている。6本の第3のリペア配線8R1〜8R6は、いずれのドレインバスライン220と交差することなく第2のリペア配線7R1〜7Rxの全腕部7a、7bと絶縁膜を介して交差するように配置されている。
【0041】
次に、以上のようなリペア配線構造を有する本実施の形態による表示装置におけるリペア動作について、図2を用いて説明する。説明を簡略にするため、図2では、n=2の場合について説明する。すなわち、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)には、グループ5−1〜5−m毎に2本配置され、グループ5−1〜5−m全体で2m本の第1のリペア配線6R1〜6R2mが配置されている。グループ5−1を例にとると、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)でほぼ平行に並んだ2本の第1のリペア配線6R1、6R2が絶縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライン220と直交するように配置されている。
【0042】
グループ5−1に配置された第1のリペア配線6R1は「コの字」形状に形成され、「コの字」形状の両端部から引き出し配線部(b)を通って端子部(c)に接続配線6R1a、6R1bが引き出されて、グループ内のドレインバスライン220と共にTAB接続されるように形成されている。第1のリペア配線6R2は第1のリペア配線6R1の内方で「コの字」形状に形成され、「コの字」形状の両端部から引き出し配線部(b)を通って端子部(c)に接続配線6R2a、6R2bが引き出されて、グループ内のドレインバスライン220と共にTAB接続されるように形成されている。
【0043】
グループ5−1の第1のリペア配線6R1の接続配線6R1aは第3のリペア配線8R1に接続され、接続配線6R1bは第3のリペア配線8R4に接続されるようになっている。同様にして、第1のリペア配線6R2の接続配線6R2aは第3のリペア配線8R2に接続され、接続配線6R2bは第3のリペア配線8R3に接続されるようになっている。
【0044】
一方、リペア部(d)には、グループ5−1〜5−m毎に2本配置され、グループ5−1〜5−m全体で2m本の第2のリペア配線7R1〜7R2mが配置されている。グループ5−1では、リペア部(d)でほぼ平行に並んだ2本の第2のリペア配線7R1、7R2が絶縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライン220と直交するように配置されている。各グループに配置された2本の第2のリペア配線7R1、7R2のそれぞれは、第1のリペア配線6Rとは逆向きの「コの字」形状に形成されている。
【0045】
各第2のリペア配線7Rの「コの字」の腕部7a、7bには、絶縁膜を介して2×n本の第3のリペア配線8R1〜8R2nが配置されている。図2では第1及び第2のリペア配線6R、7Rの本数n=2に対応して4本の第3のリペア配線8R1〜8R4が示されている。4本の第3のリペア配線8R1〜8R4は、いずれのドレインバスライン220と交差することなく第2のリペア配線7R1〜7Rxの全腕部7a、7bと絶縁膜を介して交差するように配置されている。
【0046】
このように図2に示すリペア配線構造では、第1のリペア配線6Rと第2のリペア配線7Rはそれぞれ各グループ5に2本づつあり、第3のリペア配線8Rは4本あるので、全表示領域(a)において4本の断線リペア処理が可能となる。
【0047】
図2では、グループ5−1の表示領域(a)内の左側で連続して4本のドレインバスライン220a〜200dがそれぞれ断線箇所10、11、12、13で断線している状態を示している。このような状況でのリペア処理の手順を以下に示す。なお、図2において、リペア配線上白丸は切断箇所を表し、黒丸は接続箇所を表している。
【0048】
A.第1のリペア配線6Rにおいて、
(1)一番左側のドレインバスライン220aと第1のリペア配線6R1との交差部(短絡部)15にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバスライン220aと第1のリペア配線6R1とを短絡して電気的に接続する。
(2)左から2番目のドレインバスライン220bと第1のリペア配線6R1との交差部16にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバスライン220bと第1のリペア配線6R1とを短絡して電気的に接続する。
(3)左から3番目のドレインバスライン220cと第1のリペア配線6R2との交差部17にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバスライン220cと第1のリペア配線6R2とを短絡して電気的に接続する。
(4)左から4番目のドレインバスライン220dと第1のリペア配線6R2との交差部18にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバスライン220dと第1のリペア配線6R2とを短絡して電気的に接続する。
(5)第1のリペア配線6R1の交差部15、16間の切断部20にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R1の接続配線6R1a側と6R1b側とを切断して電気的に分離する。
(6)第1のリペア配線6R2の交差部17、18間の切断部21にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R2の接続配線6R2a側と6R2b側とを切断して電気的に分離する。
【0049】
B.第2のリペア配線7Rにおいて、
(1)一番左側のドレインバスライン220aと第2のリペア配線7R1との交差部(短絡部)22にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバスライン220aと第2のリペア配線7R1とを短絡して電気的に接続する。
(2)左から2番目のドレインバスライン220bと第2のリペア配線7R1との交差部23にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバスライン220aと第2のリペア配線7R1とを短絡して電気的に接続する。
(3)左から3番目のドレインバスライン220cと第2のリペア配線7R2との交差部24にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバスライン220cと第2のリペア配線7R2とを短絡して電気的に接続する。
(4)左から4番目のドレインバスライン220dと第2のリペア配線7R2との交差部25にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバスライン220dと第2のリペア配線7R2とを短絡して電気的に接続する。
(5)第2のリペア配線7R1の交差部22、23間の切断部26にレーザ光を照射して、第2のリペア配線7R1の腕部7a側と7b側とを切断して電気的に分離する。
(6)第2のリペア配線7R2の交差部24、25間の切断部27にレーザ光を照射して、第2のリペア配線7R2の腕部7a側と7b側とを切断して電気的に分離する。
【0050】
C.第3のリペア配線8Rにおいて、
(1)第3のリペア配線8R1と第2のリペア配線7R1との交差部(短絡部)28にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていた第3のリペア配線8R1と第2のリペア配線7R1の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。
(2)第3のリペア配線8R2と第2のリペア配線7R2との交差部29にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていた第3のリペア配線8R2と第2のリペア配線7R2の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。
(3)第3のリペア配線8R3と第2のリペア配線7R1との交差部30にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていた第3のリペア配線8R3と第2のリペア配線7R1の腕部7b側とを短絡して電気的に接続する。
(4)第3のリペア配線8R4と第2のリペア配線7R2との交差部31にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていた第3のリペア配線8R4と第2のリペア配線7R2の腕部7b側とを短絡して電気的に接続する。
【0051】
D.最終的な接続
図示されていないが、TAB実装及びプリント基板250の実装が完了すると、図2における第1のリペア配線6Rの接続配線6R1a、6R1b、...は、対応する第3のリペア配線8R1〜8R4に電気的に接続される。
このようにして、パネル全体で4本のドレインバスライン220に断線が生じてもリペアすることができる。
【0052】
以上説明したように本実施の形態による表示装置のリペア配線構造によれば、グループ5のそれぞれに1本ずつの第1及び第2のリペア配線6R、7Rが配置され、2本の第3のリペア配線8Rが配置されて最大2本のドレインバスラインのリペアが可能になる。従って、各グループ5に第1及び第2のリペア配線6R、7Rがn本ずつ配置され、2×n本の第3のリペア配線8Rを配置することにより、全パネル表示領域において2×n本のドレインバスラインのリペアが可能になる。この構成を採用することにより、付加容量を増大させることなく、表示領域(a)の全ての領域において2×n本のリペアが可能となる。
【0053】
次に、図2に示した本実施の形態による表示装置の製造歩留まりについて、図9及び図10に示した従来の表示装置と比較しつつ説明する。バスラインの断線欠陥をもたらすパターンの欠陥密度Dpに基づく表示装置の歩留まりYpは次式で表すことができる。
【0054】
【数1】
Figure 0004566308
【0055】
ここで、Aは表示領域(a)の面積を表し、F(i)は欠陥の位置に依存する係数を表している。
表示領域(a)全体で最大4本までリペアが可能な場合における、欠陥の位置に依存する係数F(i)の値を表1に示す。表示領域(a)全体で最大4本までリペア可能であるとすると、図9に示す従来の表示装置では1グループ当たり最大2本で、全体で2グループのリペアが可能であり、表1に示すようにi=2まではF(i)の値が1であり、i=3以上では1より小さい値になる。
【0056】
図10に示す従来の表示装置では1グループ当たり最大1本で、全体で4グループのリペアが可能であり、表1に示すようにi=1まではF(i)の値が1であり、i=2以上では1より小さい値になる。
【0057】
それに対して図2に示す本実施の形態による表示装置では、1グループ当たり4本で、全体で1グループのリペアが可能であり、表1に示すようにi=4まではF(i)の値が1となっている。
【0058】
表1の「参考」は、表示領域(a)全体で最大8本までリペアが可能な場合において、1グループ当たり2本で、全体で4グループのリペアが可能な場合の欠陥の位置に依存する係数F(i)を示している。最大リペア数が大きい「参考」においても、表1に示すようにF(i)の値が1であるのはi=2までである。
このように、本実施の形態による図2に示すリペア配線構造によれば、数1に示した歩留まりYpを求める式においてiの値が増加しても他のリペア配線構造と比較して係数F(i)の値が1を長く維持するため、高い歩留まりYpを得られることが分かる。
【0059】
【表1】
Figure 0004566308
【0060】
以上の説明から明らかなように本実施の形態によれば、より少ないリペア配線数で、断線欠陥の発生場所によらずにリペア配線数分のリペアが可能となると共に、リペア配線の配置による付加容量の増加も抑えることができる。
【0061】
次に、本実施の形態による表示装置の変形例について図3を用いて説明する。
図3に示す例も図2に示したのと同様にn=2の場合について説明する。表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)には、グループ5−1〜5−m毎に2本配置され、グループ5−1〜5−m全体で2×m本の第1のリペア配線6R1〜6R2mが配置されている。グループ5−1を例にとると、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)でほぼ平行に並んだ2本の第1のリペア配線6R1、6R2が絶縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライン220と直交するように配置されている。第1のリペア配線6R1は「コの字」形状に形成され、第1のリペア配線6R2は第1のリペア配線6R1の内方で「コの字」形状に形成されている。
【0062】
「コの字」形状の第1のリペア配線6R1、6R2の両腕部には、絶縁膜を介して交差する第4のリペア配線9Rが形成されている。図中、第1のリペア配線6R1、6R2の左腕部には、2×n=4本の第4のリペア配線9R1a〜9R4aが絶縁膜を介して交差している。第4のリペア配線9R1a〜9R4aは端子部(c)に形成された接続配線6R1a〜6R4aにそれぞれ接続されている。接続配線6R1a〜6R4aはグループ内のドレインバスライン220と共にTAB接続されるように形成されている。
【0063】
同様に、第1のリペア配線6R1、6R2の右腕部には、2×n=4本の第4のリペア配線9R1b〜9R4bが配置されている。第4のリペア配線9R1b〜9R4bは端子部(c)に形成された接続配線6R1b〜6R4bにそれぞれ接続されている。接続配線6R1b〜6R4bはグループ内のドレインバスライン220と共にTAB接続されるように形成されている。グループ5−1の例において、接続配線6R1a〜6R4aは第3のリペア配線8R1〜8R4にそれぞれ接続されるようになっており、接続配線6R1b〜6R4bも第3のリペア配線8R1〜8R4にそれぞれ接続されるようになっている。
【0064】
なお、リペア部(d)に形成される第2のリペア配線7R1〜7R2m及び第3のリペア配線8R1〜8R4は図2に示した配置構成と同一であるので説明は省略する。
【0065】
このように図3に示すリペア配線構造では、第1のリペア配線6Rと第2のリペア配線7Rはそれぞれ各グループ5に2本づつあり、第3のリペア配線8Rは4本あるので、全表示領域(a)において4本の断線リペア処理が可能となる。
また、第1のリペア配線6RがTAB端子部まで延びておらず、第4のリペア配線9Rと絶縁膜を介して交差している。また、第1のリペア配線6Rは2本/グループであるのに対し、第4のリペア配線9Rは4×2本/グループとなっている。
【0066】
このようなリペア配線構造にすることにより、配線の交差部の付加容量をより小さくすることができる。例えば図3では、グループ5−1の表示領域(a)内の左側で連続して2本のドレインバスライン220a、200bがそれぞれ断線箇所10、11で断線し、グループ5−2の表示領域(a)内の左側で連続して2本のドレインバスライン220c、200dがそれぞれ断線箇所12、13で断線している状態を示している。このような状況でのリペア処理の手順を以下に示す。なお、図3において、リペア配線上白丸は切断箇所を表し、黒丸は接続箇所を表している。
【0067】
A.第1のリペア配線6Rにおいて、
(1)ドレインバスライン220aと第1のリペア配線6R1との交差部(短絡部)15にレーザ光を照射して、ドレインバスライン220aと第1のリペア配線6R1とを短絡して電気的に接続する。
(2)ドレインバスライン220bと第1のリペア配線6R2との交差部16にレーザ光を照射して、ドレインバスライン220bと第1のリペア配線6R1とを短絡して電気的に接続する。
(3)ドレインバスライン220cとグループ5−2の第1のリペア配線6R1との交差部33にレーザ光を照射して、ドレインバスライン220cと第1のリペア配線6R1とを短絡して電気的に接続する。
(4)ドレインバスライン220dとグループ5−2の第1のリペア配線6R2との交差部34にレーザ光を照射して、ドレインバスライン220dと第1のリペア配線6R2とを短絡して電気的に接続する。
(5)グループ5−1の第1のリペア配線6R1との第4のリペア配線9R1aとの交差部35にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R1と第4のリペア配線9R1aとを短絡して電気的に接続する。
(6)グループ5−1の第1のリペア配線6R2との第4のリペア配線9R2aとの交差部36にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R12第4のリペア配線9R2aとを短絡して電気的に接続する。
(7)グループ5−2の第1のリペア配線6R1との第4のリペア配線9R3aとの交差部37にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R1と第4のリペア配線9R3aとを短絡して電気的に接続する。
(8)グループ5−2の第1のリペア配線6R2との第4のリペア配線9R4aとの交差部38にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R2と第4のリペア配線9R4aとを短絡して電気的に接続する。
(9)グループ5−1の第1のリペア配線6R1の交差部15近傍右側の切断部20にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R1を2つに切断して電気的に分離する。
(10)グループ5−1の第1のリペア配線6R2の交差部16近傍右側の切断部21にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R2を2つに切断して電気的に分離する。
(11)グループ5−2の第1のリペア配線6R1の交差部33近傍右側の切断部39にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R1を2つに切断して電気的に分離する。
(12)グループ5−2の第1のリペア配線6R2の交差部34近傍右側の切断部40にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6R2を2つに切断して電気的に分離する。
【0068】
B.第2のリペア配線7Rにおいて、
(1)ドレインバスライン220aと第2のリペア配線7R1との交差部(短絡部)22にレーザ光を照射して、ドレインバスライン220aと第2のリペア配線7R1とを短絡して電気的に接続する。
(2)ドレインバスライン220bと第2のリペア配線7R2との交差部41にレーザ光を照射して、ドレインバスライン220bと第2のリペア配線7R2とを短絡して電気的に接続する。
(3)ドレインバスライン220cと第2のリペア配線7R1との交差部(短絡部)42にレーザ光を照射して、ドレインバスライン220cと第2のリペア配線7R1とを短絡して電気的に接続する。
(4)ドレインバスライン220dと第2のリペア配線7R2との交差部43にレーザ光を照射して、ドレインバスライン220dと第2のリペア配線7R2とを短絡して電気的に接続する。
(5)グループ5−1の第2のリペア配線7R1の交差部22近傍右側の切断部26にレーザ光を照射して、第2のリペア配線7R1を2つに切断して電気的に分離する。
(6)グループ5−1の第2のリペア配線7R2の交差部41近傍右側の切断部44にレーザ光を照射して、第2のリペア配線7R2を2つに切断して電気的に分離する。
(7)グループ5−2の第2のリペア配線7R1の交差部42近傍右側の切断部45にレーザ光を照射して、第2のリペア配線7R1を2つに切断して電気的に分離する。
(8)グループ5−2の第2のリペア配線7R2の交差部43近傍右側の切断部46にレーザ光を照射して、第2のリペア配線7R2を2つに切断して電気的に分離する。
【0069】
C.第3のリペア配線8Rにおいて、
(1)第3のリペア配線8R1とグループ5−1の第2のリペア配線7R1との交差部(短絡部)28にレーザ光を照射して、第3のリペア配線8R1と第2のリペア配線7R1の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。
(2)第3のリペア配線8R2とグループ5−1の第2のリペア配線7R2との交差部29にレーザ光を照射して、第3のリペア配線8R2と第2のリペア配線7R2の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。
(3)第3のリペア配線8R3とグループ5−2の第2のリペア配線7R1との交差部30にレーザ光を照射して、第3のリペア配線8R3と第2のリペア配線7R1の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。
(4)第3のリペア配線8R4とグループ5−2の第2のリペア配線7R2との交差部31にレーザ光を照射して、第3のリペア配線8R4と第2のリペア配線7R2の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。
【0070】
D.最終的な接続
図示されていないが、TAB実装及びプリント基板250の実装が完了すると、図2における第1のリペア配線6Rの接続配線6R1a、6R1b、...は、対応する第3のリペア配線8R1〜8R4に電気的に接続される。このようにして、パネル全体で4本のドレインバスライン220に断線が生じてもリペアすることができる。
【0071】
このリペア処理において、図3に示すようにグループ5−1、5−2のそれぞれ左側の2本のドレインバスライン220a〜220dに断線がある場合、図2に示すリペア配線構造では、グループ5−1で第1のリペア配線6R1と6R2に対して接続配線6R1aと6R2aを使ってしまうと、グループ5−2では、接続配線6R1bと6R2bを使わなければならなくなる。接続配線6R1b、6R2bにそれぞれ接続された第1のリペア配線6R1、6R2は図中グループ内で最右方から延びているので、複数のドレインバスライン220との交差部が多くなり付加容量が増してしまう。
【0072】
これに対し、本変形例の図3に示すリペア配線構造であれば、グループ5−2においても、断線箇所に近い第1のリペア配線6R1、6R2の左側を使用して第4のリペア配線9R3a、9R4aを介して接続配線6R3a、6R4aに接続することができる。従って、複数のドレインバスライン220との交差部を少なくすることができ、付加容量の増加を抑制することができるようになる。
【0073】
以上説明したように、本実施の形態による表示装置によれば、第1のリペア配線及び第2のリペア配線をリペア処理時に途中で切断し、結果的に2倍の配線数として利用することができるので、より少ない配線数でより多くのリペア処理を可能にすることができ、表示装置の歩留まりを向上せることができるようになる。
【0074】
本発明は、上記実施の形態に限らず種々の変形が可能である。
例えば上記実施の形態では、TFTをスイッチング素子に用いたアクティブマトリクス型の液晶表示装置を例にとって説明したが、本発明はこれに限らず、他の表示装置、例えば、ダイオード素子(MIM)等の非線型素子を用いたアクティブマトリクス型の液晶表示装置、あるいはSTN方式等のパッシブ型の液晶表示装置、あるいはEL(エレクトロルミネッセンス)表示装置やPDP(プラズマディスプレイ装置)等種々の表示装置に適用することが可能である。
【0075】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によれば、表示装置の製造工程において発生した断線や層間短絡などの欠陥を容易に修復して良品化することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態による表示装置におけるリペア配線R1〜Rnの配置関係を示す模式図である。
【図2】本発明の一実施の形態による表示装置におけるリペア配線R1〜Rnを用いたリペア方法を説明する図である。
【図3】本発明の一実施の形態による表示装置におけるリペア配線R1〜Rnの他の配置関係及びリペア方法を示す模式図である。
【図4】液晶表示装置の概略の構成を示す図である。
【図5】液晶表示装置の素子部の等価回路を示す図である。
【図6】液晶表示装置の素子部の概略の構成を示す図である。
【図7】液晶表示装置における従来のリペア方法を示す図である。
【図8】液晶表示装置における従来のリペア方法を示す図である。
【図9】n本のリペア配線R1〜Rnを有する従来の液晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnの配置関係を示す模式図である。
【図10】n本のリペア配線R1〜Rnを有する従来の液晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnの他の配置関係を示す模式図である。
【図11】n本のリペア配線R1〜Rnを有する従来の液晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnのさらに他の配置関係を示す模式図である。
【符号の説明】
5−1〜5−m m個に分割されたドレインバスライン220のグループ
6R 第1のリペア配線
7R 第2のリペア配線
8R 第3のリペア配線
9R 第4のリペア配線
10〜13 ドレインバスライン220の断線箇所
15〜18 ドレインバスライン220と第1のリペア配線6Rとの交差部(短絡部)
20、21 第1のリペア配線6Rの切断部
22〜25 ドレインバスライン220と第2のリペア配線7Rとの交差部(短絡部)
26、27 第2のリペア配線7Rの切断部
28〜31 第2のリペア配線7Rと第3のリペア配線8Rとの交差部(短絡部)
33、34 ドレインバスライン220とグループ5−2の第1のリペア配線6Rとの交差部(短絡部)
35、36、37、38 第1のリペア配線6Rと第4のリペア配線9Rとの交差部(短絡部)
200 TFT基板
202 CF基板
204 液晶
206 ゲート駆動回路
208 ドレイン駆動回路
210、212 偏光板
214 バックライトユニット
216 制御回路
218 ゲートバスライン
220 ドレインバスライン
224 画素電極
226 蓄積容量バスライン
228 ソース電極
230 ドレイン電極
232 動作半導体層
234、238 コンタクトホール
236 蓄積容量電極
240 ゲート絶縁膜
242 チャネル保護膜
244 保護膜
290 層間短絡
300、301 切断位置
302、303 リペア配線
304、305 交差領域

Claims (2)

  1. m個のグループに分割された複数のバスラインが表示領域内に形成された表示装置において、
    前記グループ毎にn本形成され、前記バスラインと前記表示領域外で絶縁膜を介して交差する第1のリペア配線と、
    前記表示領域について前記第1のリペア配線の反対側に前記グループ毎にn本形成され、前記バスラインと前記表示領域外で前記絶縁膜を介して交差する第2のリペア配線と、
    前記第2のリペア配線全ての両端(m×2×n本)と前記絶縁膜を介して交差するとともに、前記グループ毎の前記第1のリペア配線の両端(2×n本)に前記表示領域外でそれぞれ接続された2×n本の第3のリペア配線と
    を有することを特徴とする表示装置。
  2. m個のグループに分割された複数のバスラインが表示領域内に形成された表示装置において、
    前記グループ毎にn本形成され、前記バスラインと前記表示領域外で絶縁膜を介して交差する第1のリペア配線と、
    前記表示領域について前記第1のリペア配線の反対側に前記グループ毎にn本形成され、前記バスラインと前記表示領域外で前記絶縁膜を介して交差する第2のリペア配線と、
    前記第2のリペア配線全ての両端(m×2×n本)と前記絶縁膜を介して交差する2×n本の第3のリペア配線と、
    前記第1のリペア配線の一端と前記絶縁膜を介して交差して前記グループ毎に2×n本形成され、前記第3のリペア配線に前記表示領域外でそれぞれ接続された第4のリペア配線と、
    前記第1のリペア配線の他端と前記絶縁膜を介して交差して前記グループ毎に2×n本形成され、前記第3のリペア配線に前記表示領域外でそれぞれ接続された別の第4のリペア配線と
    を有することを特徴とする表示装置。
JP35088799A 1999-12-09 1999-12-09 表示装置 Expired - Fee Related JP4566308B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35088799A JP4566308B2 (ja) 1999-12-09 1999-12-09 表示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35088799A JP4566308B2 (ja) 1999-12-09 1999-12-09 表示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001166704A JP2001166704A (ja) 2001-06-22
JP4566308B2 true JP4566308B2 (ja) 2010-10-20

Family

ID=18413579

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35088799A Expired - Fee Related JP4566308B2 (ja) 1999-12-09 1999-12-09 表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4566308B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060065847A (ko) * 2004-12-10 2006-06-14 에스케이씨 주식회사 유기 전계 발광 표시소자
TWI363241B (en) * 2007-07-16 2012-05-01 Au Optronics Corp Lower substrate for an fpd
US9097921B2 (en) * 2011-07-15 2015-08-04 Sharp Kabushiki Kaisha Active matrix display device
WO2013021992A1 (ja) * 2011-08-10 2013-02-14 シャープ株式会社 アクティブマトリクス型表示装置
US9679925B2 (en) 2013-01-10 2017-06-13 Sharper Kabushiki Kaisha Active matrix substrate, display device, defect modification method for display device, and method for manufacturing display device
JP6422672B2 (ja) 2014-05-29 2018-11-14 三菱電機株式会社 表示装置
KR102504134B1 (ko) 2018-02-27 2023-02-28 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0385525A (ja) * 1989-08-29 1991-04-10 Sharp Corp マトリクス型表示装置
JPH08166593A (ja) * 1994-12-15 1996-06-25 Sharp Corp マトリクス型表示装置
JPH10170946A (ja) * 1996-12-16 1998-06-26 Fujitsu Ltd 液晶表示装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2573712B2 (ja) * 1990-03-09 1997-01-22 シャープ株式会社 マトリクス型表示装置
JPH0398023A (ja) * 1989-09-12 1991-04-23 Sharp Corp マトリクス型表示装置
JP3832040B2 (ja) * 1997-08-26 2006-10-11 三菱電機株式会社 マトリックス型表示装置
JP3842884B2 (ja) * 1997-12-01 2006-11-08 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 液晶表示装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0385525A (ja) * 1989-08-29 1991-04-10 Sharp Corp マトリクス型表示装置
JPH08166593A (ja) * 1994-12-15 1996-06-25 Sharp Corp マトリクス型表示装置
JPH10170946A (ja) * 1996-12-16 1998-06-26 Fujitsu Ltd 液晶表示装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001166704A (ja) 2001-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4584387B2 (ja) 表示装置及びその欠陥修復方法
US7830467B2 (en) Electrodes located at storage capacitor wiring in active matrix substrate
JP2006030627A (ja) 表示装置用基板及びそれを用いた液晶表示装置
US7027043B2 (en) Wiring substrate connected structure, and display device
KR20040010118A (ko) 표시 장치 및 표시 장치의 단선 수복 방법
JP2003307748A (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
JPH10123563A (ja) 液晶表示装置およびその欠陥修正方法
US6476881B2 (en) Liquid crystal display device and defect repairing method therefor
JP4566308B2 (ja) 表示装置
KR100610994B1 (ko) 액정 표시 장치
KR100318537B1 (ko) 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 수리 방법
JP3756342B2 (ja) 液晶表示装置
KR100552298B1 (ko) 액정 표시 장치 및 액정 표시 장치용 기판 제조 방법
JPH10123545A (ja) 液晶表示装置の表示パネル
KR100490925B1 (ko) 표시장치 및 그 결함수정방법
JP2000081640A (ja) 液晶表示装置及びその修復方法
KR100520376B1 (ko) 액정 표시 장치
JP5121809B2 (ja) 表示装置用基板及びそれを用いた液晶表示装置
JP2004264726A (ja) 表示装置用基板及びそれを備えた表示装置、並びにその欠陥修復方法及びそれを含む製造方法
JPH04283725A (ja) 薄膜トランジスタマトリクス及びその断線修復方法
JPH10104648A (ja) アクティブマトリクス基板及びその欠陥修正方法
KR100333981B1 (ko) 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 수리 방법
KR100277501B1 (ko) 액정표시장치및그제조방법
JP2005331977A (ja) 液晶表示装置
JP2005326562A (ja) 液晶パネル及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20050712

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20050713

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20050722

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060810

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090721

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090929

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091111

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100803

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100804

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4566308

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130813

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees