JP4565520B1 - 板状体の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 板状体を上方から吸着保持する保持部材10と、保持部材10を移動可能に支持する支持部材20とを備える板状体の搬送装置1であって、中空部13は、導入孔11bから導入された圧縮気体の流れを分岐させて各噴射口12aに案内する分岐流路14を備え、分岐流路14は、各分岐点に流入した圧縮気体を2方向に分岐して流出するように形成されており、分岐点への流入方向に対して2つの流出方向が対称である。
【選択図】図1
Description
10 保持部材
11 保持部本体
11a 凹部
11b 導入孔
11c 側壁
11d 大気孔
113a 当接部材
12 底蓋体
12a 噴射口
12b 大気孔
13 中空部
14 分岐流路
20 支持部材
Claims (5)
- 板状体を上方から吸着保持する保持部材と、前記保持部材を移動可能に支持する支持部材とを備える板状体の搬送装置であって、
前記保持部材は、上面側と下面側との間に中空部を有し、上面側には、圧縮気体が導入される導入孔が形成され、下面側には、圧縮空気を噴射する噴射口が前記導入孔を取り囲むように等間隔で複数形成されており、
前記中空部は、前記導入孔から導入された圧縮気体の流れを分岐させて前記各噴射口に案内する分岐流路を備え、
前記分岐流路は、各分岐点に流入した圧縮気体を2方向に分岐して流出するように形成されており、分岐点への流入方向に対して2つの流出方向が対称であり、
前記保持部材は、板状体の外縁を保持する当接部材を更に備える板状体の搬送装置。 - 前記噴射口は前記導入孔を中心とする仮想円に沿って配置されており、前記分岐流路の各分岐点への流入方向が前記仮想円の径方向に一致する請求項1に記載の板状体の搬送装置。
- 前記保持部材は、下面側に凹部が形成された保持部本体と、前記凹部を覆うように前記保持部本体に取り付けられた円板状の底蓋体とを備え、
前記分岐流路は、前記底蓋体の上面に形成されており、
前記噴射口は、前記底蓋体の外縁に沿って形成されている請求項1または2に記載の板状体の搬送装置。 - 前記保持部本体に形成された前記凹部は、側壁が傾斜面とされている請求項3に記載の板状体の搬送装置。
- 前記保持部材は、上面から下面に貫通し、前記分岐流路と隔離された大気孔を有する請求項1から4のいずれかに記載の板状体の搬送装置。
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