KR101218400B1 - 진공흡착장치 - Google Patents

진공흡착장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101218400B1
KR101218400B1 KR1020100059575A KR20100059575A KR101218400B1 KR 101218400 B1 KR101218400 B1 KR 101218400B1 KR 1020100059575 A KR1020100059575 A KR 1020100059575A KR 20100059575 A KR20100059575 A KR 20100059575A KR 101218400 B1 KR101218400 B1 KR 101218400B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air
adsorption
block
supply
airflow
Prior art date
Application number
KR1020100059575A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110139461A (ko
Inventor
고영추
김용현
김두호
Original Assignee
(주)쏠백
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)쏠백 filed Critical (주)쏠백
Priority to KR1020100059575A priority Critical patent/KR101218400B1/ko
Publication of KR20110139461A publication Critical patent/KR20110139461A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101218400B1 publication Critical patent/KR101218400B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • B25J15/0683—Details of suction cup structure, e.g. grooves or ridges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/918—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with at least two picking-up heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

진공흡착장치가 개시된다. 본 발명의 진공흡착장치는, 진공흡착장치로서,
제품과의 비접촉 흡착을 위한 기류가 형성되도록 공기를 공급하기 위한 비접촉 기류 형성용 공기 공급부 및 비접촉 흡착상태를 파기하기 위한 파기용 공기 공급부를 갖는 공기 제어기; 공급된 공기를 방사상으로 분출하여 비접촉 기류를 형성하기 위한 다수개의 분출공을 갖는 노즐이 저면으로 돌출되도록 설치되고, 저면에는 연결공을 갖는 파기용 유로가 형성되며, 상기 비접촉 기류 형성용 공기 공급부와 상기 노즐이 연통되고, 상기 파기용 공기 공급부와 상기 연결공이 연통되도록 상기 공기 제어기와 결합되는 공기분배블럭; 상기 분출공들이 저면에 위치하도록 상기 노즐이 관통되어 배치되고, 다수개의 공급공이 직하방으로 관통 형성되며, 저면에는 중앙에 배치된 노즐을 중심으로 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 기류 형성면이 형성되고, 상기 파기용 유로와 상기 공급공이 연통되도록 상기 공기분배블럭과 결합되는 기류형성블럭; 및 다수개의 흡입공이 균일하게 배치되고, 상기 공급공과 연결되는 다수개의 파기공이 형성되며, 다수개의 간격유지구가 구비되어 상기 기류 형성면과 소정의 간격을 유지하도록 상기 기류형성블럭과 결합되는 흡착블럭을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

진공흡착장치{VACUUM STICKING APPARATUS}
본 발명은 진공흡착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 공기의 소모량을 감소시킬 수 있고 비접촉은 물론, 진공흡착 및 파기가 가능한 진공흡착장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판디스플레이(TFT-LCD, PDP, OLED 등) 및 쏠라셀(SOLAR CELL)은 세정, 증착, 에칭, 스트립등 반복적이고 복잡한 제조공정을 수없이 거쳐서 생산되며, 평판디스플레이 모재인 글라스기판은 이와 동시에 제조 공정라인에서 이송, 반송, 회전, 경사 등 운송공정을 순차적으로 거치게 된다.
또한 대면적 평판디스플레이는 TFT-LCD 와 PDP 로 크게 나누어지며, 제품의 사용용도로 구분하면 모니터용과 TV용으로 나누어지고, 이러한 TFT-LCD 와 PDP 디스플레이는 모재인 글라스 기판을 사용하여 제조 되며, 갈수록 대형화하는 추세에 따라 디스플레이 제조사는 대면적 글라스를 사용하여야 한다. 그리고 평판디스플레이를 생산하는 공정라인에서는 이송과 반송을 수없이 반복하여야 한다.
그리고 직접 접촉으로 인한 진공흡착방식으로 이루어진 기존 글라스 기판용 이송장치는 진공흡착시에 흡착 패드에 반복적인 접촉 등으로 인하여 오염물이 글라스에 전이되어 제품품질에 수율이 저하되는 문제점과, 공기 소모량이 많은 문제점 및 중앙영역에서만 진공흡착이 이루어지는 문제점 등을 가지고 있으며, 이로 인하여 흡착 성능이 우수하고, 글라스 기판의 이송속도가 빠른 비 접촉식 흡착플레이트 이송장치가 절실하게 요구되고 있는 실정이다.
또한, 파손된 미세한 기판도 균일한 흡인력으로 흡착하여 이송시킬 수 있는 진공흡착장치가 요구된다.
본 발명의 기술적 과제는, 공기분사를 통한 진공흡착을 사용하여 글라스기판과 같은 물체를 안정되게 흡착하여 고정시킬 수 있고, 흡착의 파기가 신속하고 용이하게 이루어질 수 있는 수단을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 기술적 과제는 비접촉방식 흡착이 가능하도록 하여 기판의 오염을 최소화실 수 있고, 안정된 이송이 가능한 수단을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제는, 본 발명에 따라,
진공흡착장치로서,
제품의 진공흡착을 위한 기류가 형성되도록 공기를 공급하기 위한 기류 형성용 공기 공급부 및 흡착상태를 파기하기 위한 파기용 공기 공급부를 갖는 공기 제어기;
공급된 공기를 방사상으로 분출하여 접촉 기류를 형성하기 위한 다수개의 분출공을 갖는 노즐이 저면으로 돌출되도록 설치되고, 저면에는 연결공을 갖는 파기용 유로가 형성되며, 상기 기류 형성용 공기 공급부와 상기 노즐이 연통되고, 상기 파기용 공기 공급부와 상기 연결공이 연통되도록 상기 공기 제어기와 결합되는 공기분배블럭;
상기 분출공들이 저면에 위치하도록 상기 노즐이 관통되어 배치되고, 다수개의 공급공이 직하방으로 관통 형성되며, 저면에는 중앙에 배치된 노즐을 중심으로 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 기류 형성면이 형성되고, 상기 파기용 유로와 상기 공급공이 연통되도록 상기 공기분배블럭과 결합되는 기류형성블럭; 및
다수개의 흡입공이 균일하게 배치되고, 상기 공급공과 연결되는 다수개의 파기공이 형성되며, 저면에는 제품이 저면에 직접 접촉되지 않도록 다수개의 간격유지구가 구비되고, 상기 기류 형성면과 소정의 간격을 유지하도록 상기 기류형성블럭과 결합되는 흡착블럭을 포함하고,
상기 공급공과 상기 파기공 사이에는, 상기 공급공으로부터 파기용 공기가 공급될 때, 파기용 공기가 상기 파기공으로 공급되도록 상기 공급공과 상기 파기공을 연결하고, 상기 기류형성블럭과 상기 흡착블럭이 소정의 간격을 유지하도록 하기 위한 연결관이 배치되고,
상기 흡착블럭의 상면 가장자리에는 상기 기류 형성면을 따라 흐르면서 흡착기류를 형성한 공기가 상향 배출되도록 하기 위한 배출안내곡면을 갖는 간섭방지부가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치를 제공함에 따라 달성된다.
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
또한, 진공흡착장치로서,
제품의 흡착을 위한 기류가 형성되도록 공기를 공급하기 위한 기류 형성용 공기 공급부 및 흡착상태를 파기하기 위한 파기용 공기 공급부를 갖는 공기 제어기;
공급된 공기를 방사상으로 분출하기 위한 다수개의 분출공을 갖는 노즐이 저면 중앙으로 돌출되도록 설치되고, 다수개의 공급공들이 형성되며, 저면에는 중앙에 배치된 노즐을 중심으로 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 기류 형성면이 형성되고, 상기 기류 형성용 공기 공급부와 노즐이 연통되고 상기 파기용 공기 공급부와 상기 공급공들이 연통되도록 상기 공기 제어기와 결합되는 기류형성블럭; 및
다수개의 흡입공이 균일하게 배치되고, 상기 공급공과 연결되는 다수개의 파기공이 형성되며, 저면에는 제품이 저면에 직접 접촉되지 않도록 다수개의 간격유지구가 구비되고, 상기 기류 형성면과 소정의 간격을 유지하도록 상기 기류형성블럭과 결합되는 흡착블럭을 포함하고,
상기 공급공과 상기 파기공 사이에는, 상기 공급공으로부터 파기용 공기가 공급될 때, 파기용 공기가 상기 파기공으로 공급되도록 상기 공급공과 상기 파기공을 연결하고, 상기 기류형성블럭과 상기 흡착블럭이 소정의 간격을 유지하도록 하기 위한 연결관이 배치되고,
상기 흡착블럭의 상면 가장자리에는 상기 기류 형성면을 따라 흐르면서 흡착기류를 형성한 공기가 상향 배출되도록 하기 위한 배출안내곡면을 갖는 간섭방지부가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.를 제공함에 따라 달성된다.
삭제
삭제
삭제
또한, 진공흡착장치로서,
제품과의 비접촉 흡착을 위한 기류가 형성되도록 공기를 공급하기 위한 비접촉 기류 형성용 공기 공급부 및 비접촉 흡착상태를 파기하기 위한 파기용 공기 공급부를 갖는 공기 제어기;
공급된 공기를 방사상으로 분출하여 비접촉 기류를 형성하기 위한 다수개의 분출공을 갖는 노즐이 저면으로 돌출되도록 설치되고, 저면에는 연결공을 갖는 파기용 유로가 형성되며, 상기 비접촉 기류 형성용 공기 공급부와 상기 노즐이 연통되고, 상기 파기용 공기 공급부와 상기 연결공이 연통되도록 상기 공기 제어기와 결합되는 공기분배블럭; 및
상기 분출공들이 저면에 위치하도록 상기 노즐이 관통되어 배치되고, 다수개의 공급공이 직하방으로 관통 형성되며, 저면에는 중앙에 배치된 노즐을 중심으로 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 기류 형성면이 형성되고, 상기 파기용 유로와 상기 공급공이 연통되도록 상기 공기분배블럭과 결합되는 기류형성블럭을 포함하고,
상기 기류 형성면에서 비접촉 기류가 발생될 때, 제품이 상기 기류 형성면과 간격을 유지하여 비접촉 상태로 흡착되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치를 제공함에 따라 달성된다.
삭제
삭제
그리고, 상기 공기 제어기, 상기 공기분배블럭, 상기 기류형성블럭 및 상기 흡착블럭은 금속재 또는 합성수지재로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 중량물인 글라스기판 등을 접촉식 또는 비접촉식으로 흡착하므로 오염이 발생되지 않고, 안정된 흡착력으로 흡착하여 이송할 수 있으며, 파손된 미세한 기판도 이송할 수 있는 효과가 제공된다. 또한, 하나의 장치로 비접촉 흡착, 접촉 흡착 및 흡착 파기가 가능하므로 파기를 위한 장치가 불필요하게 되는 효과가 제공되는 것이다.
또한, 흡착블럭 전체의 넓은 면적에서 흡착이 이루어지게 되므로 흡착이 안정적이며, 또한 파기용 공기가 상향으로 배출되므로 다수의 흡착장치를 인접하여 배치 후 사용할 경우 주변장치와의 간섭을 방지할 수 있고, 공기가 적게 소모되는 효과가 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1 실시 예에 따른 진공흡착장치를 도시한 분해 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 진공흡착장치를 도시한 결합상태 사시도.
도 3a,3b는 도 1에 도시된 진공흡착장치의 비접촉식 흡착 및 흡착 파기를 설명하기 위한 작동상태 단면도.
도 4는 본 발명의 바람직한 제2 실시 예에 따른 진공흡착장치를 도시한 결합상태 단면도.
도 5는 본 발명의 바람직한 제3 실시 예에 따른 진공흡착장치를 도시한 결합상태 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1 실시 예에 따른 진공흡착장치를 도시한 분해 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 진공흡착장치를 도시한 결합상태 사시도이며, 도 3a 도 1에 도시된 진공흡착장치의 흡착상태를 설명하기 위한 작동상대 단면도이고, 도 3b는 도 1에 도시된 진공흡착장치의 흡착 파기 상태를 설명하기 위한 작동상태 단면도이다.
첨부된 도면 중에서 도 1 내지 도 3a,3b에 도시된 바와 같이 본 실시 예에 따른 진공흡착장치는 기류 형성용 공기와 흡착상태 파기용 공기를 제어하여 공급하기 위한 공기 제어기(100)와, 기류를 형성하기 위한 노즐(210)과 파기용 공기를 유도하기 위한 유로(220)를 갖는 공기분배블럭(200)과, 노즐(210)로부터 분출되는 공기의 흐름을 유도하여 기류를 형성하기 위한 유선형의 단면으로 된 기류 형성면(310)이 저면에 형성되고 파기용 공기를 통과시키기 위한 공급공(320)이 형성된 기류형성블럭(300)과, 다수개의 흡입공(410)이 균일하게 배치되고 공급공(320)과 연결되는 다수개의 파기공(420)이 형성되어 기류 형성면(310)과 소정의 간격을 유지하도록 기류형성블럭(300)과 결합되는 흡착블럭(400)을 포함하여 구성되는 것이다.
이를 보다 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
공기 제어기(100)는 제품의 흡착을 위한 기류가 형성되도록 공기를 공급하기 위한 기류 형성용 공기 공급부(110)가 중앙에 형성되고, 흡착상태를 파기하기 위한 파기용 공기 공급부(120)가 파기용 공기를 후술할 파기용 유로(220)와 연결되는 파기용 공기 공급공을 구비하여 도 3a에 도시된 바와 같이 기류 형성용 공기 공급부(110)의 주변에 형성된 것으로, 이러한 공기 제어기(100)는 별도의 고정수단에 의해 이송장치 등에 결합된다. 그리고, 기류 형성용 공기 및 파기용 공기를 공급하기 위한 공급파이프와 각각 연결되어 있다. 또한, 저면에는 공기분배블럭(200)과 기밀을 유지하여 결합되도록 그 결합면 사이에 패킹이 설치된다. 이러한 공기 제어기(100)는 기류 형성용 공기와 흡착 파기용 공기를 공기분배블럭(200)으로 공급하는 기능을 갖는다.
공기분배블럭(200)은 공기 제어기(100)로부터 기류 형성용 공기가 공급되면 노즐(210)로 안내하고, 흡착 파기용 공기는 파기용 유로(220)로 안내하는 것으로, 공급된 공기를 방사상으로 분출하여 비접촉 기류를 형성하기 위한 다수개의 분출공(212)을 갖는 노즐(220)이 저면으로 돌출되도록 설치되고, 저면에는 파기용 공기 공급부(120)와 연결되도록 형성되는 연결공(230)을 적어도 하나 이상 갖는 파기용 유로(220)가 형성된다. 이때, 노즐(220)은 중앙을 관통하여 설치되며, 파기용 유로(220)는 도 1에 도시된 바와 같이 노즐(220) 설치공 주변에 다양한 형태로 함몰 형성된다. 즉, 기류형성블럭(300)에 형성된 여러개의 파기용 공기 공급공(320)에 파기용 공기 공급부(120)로부터 공급되는 파기용 공기가 동시에 공급되도록 각 공급공(320)을 연결하는 형태로 형성되는 것이다. 이와 같은 공기분배블럭(200)의 저면과 기류형성블럭(300) 사이에는 기밀을 유지하기 위한 패킹이 설치되는 것은 당연하다.
기류형성블럭(300)은 노즐(210)을 통하여 분출되는 공기의 흐름을 제어하여 기류를 형성하고, 파기용 공기를 흡착블럭(40)으로 안내하기 위한 것으로, 중앙에 노즐용 관통공이 형성되고 이 노즐용 관통공을 중심으로 그 저면에는 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 기류 형성면(310)이 형성된다. 기류 형성면(310)은 도 3a에 도시된 바와 같이 중앙영역은 함몰되고 외측으로 갈수록 점차 만곡지게 돌출되어 유선형을 이루는 것이다. 이러한 곡률은 노즐(210)로부터 분출되는 공기가 기류 형성면(310)을 따라 빠르게 흘러 기류형성블럭(300)과 흡착블럭(400) 사이에 진공공간(V)이 형성되도록 하기 위한 것이다. 즉, 노즐(210)으로부터 분출되는 공기가 유선형으로 이루어진 기류 형성면(310)을 따라 흐를 때 유선형 곡면의 기류 형성면(310)이 길게 형성되어 있으므로 공기의 속도는 빠르게 되고, 이에 따라 그 영역의 압력은 낮아지게 되어 흡착블럭(400) 하부의 공기는 흡입공(410)을 통하여 진공공간(V)으로 빠르게 이동하면서 흡착력이 발생되는 것이다.
그리고, 기류 형성면(310)의 끝부분 즉, 기류형성블럭(300)의 가장자리는 상부로 만곡지게 형성되어 유도곡면(312)이 형성된다. 이 유도곡면(312)은 후술할 흡착블럭(400)의 배출안내곡면(432)과 더불어 흡착을 위한 기류를 형성한 공기를 상향으로 배출하기 위한 기능을 갖는다.
한편, 기류형성블럭(300)에는 파기용 유로(220)와 연결되는 공급공(320)이 다수개 형성된다. 이 공급공(320)은 파기용 유로(220)와 후술할 흡착블럭(400)의 파기공(420)을 연통시키기 위한 것으로, 외곽측에 다수개가 관통 형성된다.
흡착블럭(400)은 제품을 비접촉 흡착하도록 구성된 것으로, 다수개의 흡입공(410)이 간격을 유지하여 균일하게 천공되고, 저면에는 제품과 흡착블럭(400)이 직접 접촉되지 않도록 미세한 소정의 간격을 유지하기 위한 간격유지구(440)가 다수개 설치된다. 이 간격유지구(440)는 제품과 흡착블럭(400)의 저면이 직접 접촉되지 않도록 제품과 접촉되는 것으로, 이 간격유지구(440)에 의해 제품은 흡착블럭(400)에 직접 접촉되지 않은 상태에서 진공공간(V)에서 발생하는 흡인력에 의해 흡착블럭(400)에 비접촉식으로 흡착될 수 있는 것이다. 이러한 간격유지구(440)는 합성수지재로 구성되며, 정전기가 발생되지 않는 재질로 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 흡착블럭(400)의 상면 가장자리에는 비접촉 기류 형성면(310)을 따라 흐르면서 흡착기류를 형성한 공기가 흡착블럭(400)의 측면으로 배출되지 않고 상방향으로 배출되도록 하기 위한 배출안내곡면(432)을 갖는 간섭방지부(430)가 형성된다. 이 배출안내곡면(432)은 기류 형성면(310)의 끝부분에 상부로 만곡지게 형성된 유도곡면(312)과 더불어 흡착기류를 형성한 공기가 흡착블럭(400)의 측면으로 배출되지 않고, 상부로 배출되도록 공기를 상향으로 배출안내하는 것이다. 이러한 간섭방지부(430)는 근접한 각종 장치와 같은 기구물에 영향을 주지 않도록 하기 위한 것이다.
또한, 흡착블럭(400)에는 기류형성블럭(300)의 공급공(320)으로부터 공급되는 공기를 흡착블럭(400) 저면으로 분출하여 흡착 파기를 행하기 위한 파기공(420)이 다수개 형성된다. 이 파기공(420)을 통하여 파기용 공기가 공급되면 제품의 흡착이 파기될 수 있는 것이다. 이러한 파기공(420)의 크기는 0.3mm이하로 미세하게 형성된다.
한편, 흡착블럭(400)과 기류형성블럭(300)은 간격을 유지하여 결합되기 때문에 공급공(320)과 파기공(420)을 연통시키기 위한 중공의 연결관(450)이 구비된다. 즉, 흡착블럭(400)의 상면에서 파기공(420)에 연결관(450)이 결합되고, 이 연결관(450)의 상단이 기류형성블럭(300)의 공급공(320)에 끼움 결합되어 공급공(320)과 파기공(420)이 연통되는 것이다. 이를 위해서 공급공(320)의 저부에는 연결관(450)이 끼워지기 위한 확장부가 형성될 수 있다.
그리고, 전술한 공기 제어기(100), 공기분배블럭(200), 기류형성블럭(300) 및 흡착블럭(400)은 금속 또는 합성수지재로 형성될 수 있다. 즉, 알루미늄과 같은 금속으로 형성될 수도 있으나, 가공성 및 성형성, 원가절감의 차원에서 경질의 합성수지재로 제작될 수 있는 것이다.
이와 같이 구성된 본 실시 예의 작용을 설명한다.
먼저, 흡착블럭(400)과 기류형성블럭(300)을 결합하되, 흡착블럭(400)의 상면에 다수개의 보스를 돌출 형성하여 흡착블럭(400)과 기류형성블럭(300) 사이에 소정의 간격이 형성되도록 한다. 이때, 흡착블럭(400)에 고정된 연결관(450)의 상부는 공급공(320)에 끼워져 공급공(320)과 파기공(420)이 연통되는 상태가 되고, 흡착블럭(400)과 기류형성블럭(300) 사이에는 진공공간(V)이 형성되며, 배출안내곡면(432)과 유도곡면(312) 사이에는 진공흡착을 위한 기류를 형성한 공기가 상부로 배출되는 배출통로가 형성된다.
이어서, 기류형성블럭(300)의 상면에 공기분배블럭(200)를 결합시킨다. 이 결합으로 파기용 유로(220)와 공급공(320)이 연통되고, 노즐(210)은 분출공(212)이 기류형성블럭(300)의 저부에 위치하여 분출되는 공기가 기류 형성면(310)으로 따라 흐르도록 된다.
그리고, 공기분배블럭(200)의 상면에 공기 제어기(100)를 결합한다. 이 결합으로 파기용 유로(220)의 연결공(230)과 파기용 공기 공급부(120)는 연통되고, 기류 형성용 공기 공급부(110)과 노즐(210)은 연통되는 상태가 된다.
이러한 결합상태에서 도 3a에 도시된 바와 같이 기류 형성용 공기 공급부(110)로 공기가 공급되면, 공급된 공기는 노즐(210)의 분출공(212)를 통하여 분출된다.
분출된 공기는 기류 형성면(310)를 따라 빠른 속도로 흘러 유도곡면(312)과 간섭방지부(430) 내측면에 형성된 배출안내곡면(432)에 안내되어 흡착블럭(400)의 상부로 배출된다. 이와 동시에 기류 형성면(310)과 흡착블럭(400)의 상면 사이에는 흡착블럭(400)의 하부의 공기가 흡입공(410)을 통하여 흡입되는 진공공간(V)이 형성된다. 따라서, 공기가 기류 형성면(310)를 따라 빠른 속도로 흐를 때 진공공간(V)의 압력이 낮아지게 되고, 이로 인하여 흡착블럭(400) 하부의 공기는 진공공간(V)으로 흡입되어 기류 형성용 공기와 함께 배출되며, 이 과정에서 제품은 간격유지구(440)에 지지된 상태로 흡착블럭(400)의 저면에 흡착된 상태가 된다. 즉, 제품은 압력이 낮아진 진공공간(V)으로 이동하여 흡착블럭(400)의 저면에 흡착되는 것이다.
이와 같이 제품이 흡착블럭(400)의 저면에 직접 접촉되지 않고 미세한 크기의 간격유지구(440)들에만 지지되어 흡착되므로 흡착블럭(400)과의 접촉으로 인한 손상 및 이물질로 인한 오염 등이 방지될 수 있는 것이다. 만약, 간격유지구(440)들이 없을 경우 제품은 흡착블럭(400)의 저면에 흡착된다. 이때, 제품에 손상이 있더라도 흡착블럭(400)의 저면이 넓게 형성되고 다수의 흡입공(410)이 형성되므로 제품의 흡착이 용이하게 이루어질 수 있다.
한편, 첨부된 도면 중에서 도 3b는 제품의 흡착이 파기되는 상태를 도시하고 있다. 도 3a에 도시된 바와 같이 진공흡착이 진행중인 상태에서 흡착용 공기의 공급을 차단하면 흡착용 기류가 형성되지 않기 때문에 제품은 흡착력을 잃어 흡착블럭(400)으로부터 이격되나, 기류가 소멸되고 제품이 떨어지는데 다소 시간이 걸린다. 그러나, 도 3b에 도시된 바와 같이 파기용 유로가 형성되면 제품의 흡착 파기는 신속하게 이루어진다.
즉, 기류 형성용 공기 공급부(110)가 폐쇄되고 파기용 공기 공급부(120)이 개방되면서 파기용 공기가 파기용 공기 공급부(120)를 통하여 파기용 유로(220)로 이동한다. 이어서, 파기용 유로(220)으로 유입된 공기는 각각의 공급공(320)과 연결관(450) 및 파기공(420)을 통하여 제품에 분출된다. 따라서, 제품의 흡착 상태가 신속하게 파기될 수 있는 것이다. 다시 설명하면, 흡착용 기류가 소멸됨과 동시에 파기용 공기가 각각의 파기공(420)을 통하여 제품에 분출되므로 제품의 흡착상태가 신속하게 파기될 수 있는 것이다.
이와 같이 제품의 진공흡착은 물론 제품의 흡착 파기가 하나의 장치에서 이루어지므로 신속한 흡착 및 파기 동작으로 제품의 이송이 용이하게 이루어질 수 있는 것이다. 또한, 흡착블럭(400)의 저면 전체에서 흡착기류가 형성되므로 제품의 흡착이 안정적으로 이루어질 수 있으며, 공기를 직접 흡입하여 흡착하는 구조가 아니므로 공기가 적게 소모될 수 있다.
한편, 도 4는 본 발명의 바람직한 제2 실시 예를 도시하고 있다.
도 4에 도시된 바와 같이 기류형성블럭(300)에 공기분배블럭이 일체로 결합된 것을 제외하고는 전술한 실시 예와 같다. 즉, 공급된 공기를 방사상으로 분출하기 위한 다수개의 분출공(212)을 갖는 노즐(210)이 저면 중앙으로 돌출되도록 설치되고, 다수개의 공급공(320)들이 천공되어 형성되며, 저면에는 중앙에 배치된 노즐(210)을 중심으로 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 기류 형성면(310)이 형성되고, 기류 형성용 공기 공급부(10)와 노즐(210)이 연통되고 파기용 공기 공급부(120)와 공급공(320)들이 연통되도록 공기 제어기(100)와 결합되고, 하부로는 흡착블럭(400)과 결합되는 것이다.
이와 같이 공기분배블럭의 기능을 기류형성블럭(300)이 수행함으로써 공기분배블럭이 삭제될 수 있고, 이로 인하여 제조비용이 절감될 수 있고, 조립작업 등이 용이하게 이루어질 수 있는 것이다.
한편, 도 5는 본 발명에 따른 바람직한 제3 실시 예를 도시하고 있다.
도 5에 도시된 바와 같이 제 3실시 예에 따른 진공흡착장치는 제품과의 비접촉 흡착을 위한 기류가 형성되도록 공기를 공급하기 위한 비접촉 기류 형성용 공기 공급부(110) 및 비접촉 흡착상태를 파기하기 위한 파기용 공기 공급부(120)를 갖는 공기 제어기(100)와, 공급된 공기를 방사상으로 분출하여 비접촉 기류를 형성하기 위한 다수개의 분출공(212)을 갖는 노즐(210)이 저면으로 돌출되도록 설치되고, 저면에는 연결공(230)을 갖는 파기용 유로(220)가 형성되며, 비접촉 기류 형성용 공기 공급부(110)와 노즐(210)이 연통되고, 파기용 공기 공급부(120)와 연결공(230)이 연통되도록 공기 제어기(100)와 결합되는 공기분배블럭(200)과, 분출공(212)들이 저면에 위치하도록 노즐(210)이 관통되어 배치되고, 다수개의 공급공(320)이 직하방으로 관통 형성되며, 저면에는 중앙에 배치된 노즐을 중심으로 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 비접촉 흡착을 위한 기류 형성면(310)이 형성되고, 파기용 유로(220)와 공급공(320)이 연통되도록 공기분배블럭(200)과 결합되는 기류형성블럭(300)을 포함하여 구성되는 것이다. 즉, 흡착블럭(400)을 제거함으로써 비접촉을 위한 흡착장치가 완성될 수 있는 것이다.
이러한 흡착장치는 기류 형성용 공기 공급부(110)로 공기가 공급되면, 공급된 공기는 노즐(210)의 분출공(212)를 통하여 분출된다. 분출된 공기는 비접촉 흡착을 위한 기류 형성면(310)를 따라 빠른 속도로 흘러 유도곡면(312)을 따라 외부로 배출된다. 이와 동시에 기류 형성면(310)과 제품의 상면 사이에는 제품의 상면 주변의 공기가 기류 형성면(310)을 통하여 흐르는 공기(기류)를 따라 외부로 배출되므로 진공공간(V)이 형성된다. 따라서, 공기가 기류 형성면(310)를 따라 빠른 속도로 흐를 때 진공공간(V)의 압력이 낮아지게 되고, 이로 인하여 제품의 상부 주변의 공기는 진공공간(V)으로 이동하여 기류 형성용 공기와 함께 배출되며, 이 과정에서 제품은 기류형성블럭(300)의 저면과 소정의 간격을 유지한 상태로 비접촉 흡착을 하게 되는 것이다.
이와 같이 제품이 기류형성블럭(300)의 저면에 직접 접촉되지 않게 되므로 진공 흡착시 접촉으로 인한 손상 및 이물질로 인한 오염 등이 방지될 수 있는 것이다.
한편, 흡착 파기시에는 기류 형성용 공기 공급부(110)가 폐쇄되고 파기용 공기 공급부(120)이 개방되면서 파기용 공기가 파기용 공기 공급부(120)를 통하여 파기용 유로(220)로 이동한다. 이어서, 파기용 유로(220)으로 유입된 공기는 각각의 공급공(320)을 통하여 제품에 분출된다. 따라서, 제품의 흡착 상태가 신속하게 파기될 수 있는 것이다. 즉, 흡착용 기류가 소멸됨과 동시에 파기용 공기가 각각의 파기공(420)을 통하여 제품에 분출되므로 제품의 흡착상태가 신속하게 파기될 수 있는 것이다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 공기 제어기 110 : 비접촉 기류 형성용 공기 공급부
120 : 파기용 공기 공급부 200 : 공기분배블럭
210 : 노즐 212 : 분출공
220 : 파기용 유로 230 : 연결공
300 : 기류형성블럭 310 : 기류 형성면
320 : 공급공 312 : 유도곡면
400 : 흡착블럭 410 : 흡입공
420 : 파기공 430 : 간섭방지부
432 : 배출안내곡면 440 : 간격유지구
450 : 연결관

Claims (6)

  1. 진공흡착장치로서,
    제품의 진공흡착을 위한 기류가 형성되도록 공기를 공급하기 위한 기류 형성용 공기 공급부 및 흡착상태를 파기하기 위한 파기용 공기 공급부를 갖는 공기 제어기;
    공급된 공기를 방사상으로 분출하여 접촉 기류를 형성하기 위한 다수개의 분출공을 갖는 노즐이 저면으로 돌출되도록 설치되고, 저면에는 연결공을 갖는 파기용 유로가 형성되며, 상기 기류 형성용 공기 공급부와 상기 노즐이 연통되고, 상기 파기용 공기 공급부와 상기 연결공이 연통되도록 상기 공기 제어기와 결합되는 공기분배블럭;
    상기 분출공들이 저면에 위치하도록 상기 노즐이 관통되어 배치되고, 다수개의 공급공이 직하방으로 관통 형성되며, 저면에는 중앙에 배치된 노즐을 중심으로 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 기류 형성면이 형성되고, 상기 파기용 유로와 상기 공급공이 연통되도록 상기 공기분배블럭과 결합되는 기류형성블럭; 및
    다수개의 흡입공이 균일하게 배치되고, 상기 공급공과 연결되는 다수개의 파기공이 형성되며, 저면에는 제품이 저면에 직접 접촉되지 않도록 다수개의 간격유지구가 구비되고, 상기 기류 형성면과 소정의 간격을 유지하도록 상기 기류형성블럭과 결합되는 흡착블럭을 포함하고,
    상기 공급공과 상기 파기공 사이에는, 상기 공급공으로부터 파기용 공기가 공급될 때, 파기용 공기가 상기 파기공으로 공급되도록 상기 공급공과 상기 파기공을 연결하고, 상기 기류형성블럭과 상기 흡착블럭이 소정의 간격을 유지하도록 하기 위한 연결관이 배치되고,
    상기 흡착블럭의 상면 가장자리에는 상기 기류 형성면을 따라 흐르면서 흡착기류를 형성한 공기가 상향 배출되도록 하기 위한 배출안내곡면을 갖는 간섭방지부가 형성되는 것을 특징으로 하는,
    진공흡착장치.
  2. 진공흡착장치로서,
    제품의 흡착을 위한 기류가 형성되도록 공기를 공급하기 위한 기류 형성용 공기 공급부 및 흡착상태를 파기하기 위한 파기용 공기 공급부를 갖는 공기 제어기;
    공급된 공기를 방사상으로 분출하기 위한 다수개의 분출공을 갖는 노즐이 저면 중앙으로 돌출되도록 설치되고, 다수개의 공급공들이 형성되며, 저면에는 중앙에 배치된 노즐을 중심으로 그 면적이 점점 확대되는 유선형 단면을 갖는 기류 형성면이 형성되고, 상기 기류 형성용 공기 공급부와 노즐이 연통되고 상기 파기용 공기 공급부와 상기 공급공들이 연통되도록 상기 공기 제어기와 결합되는 기류형성블럭; 및
    다수개의 흡입공이 균일하게 배치되고, 상기 공급공과 연결되는 다수개의 파기공이 형성되며, 저면에는 제품이 저면에 직접 접촉되지 않도록 다수개의 간격유지구가 구비되고, 상기 기류 형성면과 소정의 간격을 유지하도록 상기 기류형성블럭과 결합되는 흡착블럭을 포함하고,
    상기 공급공과 상기 파기공 사이에는, 상기 공급공으로부터 파기용 공기가 공급될 때, 파기용 공기가 상기 파기공으로 공급되도록 상기 공급공과 상기 파기공을 연결하고, 상기 기류형성블럭과 상기 흡착블럭이 소정의 간격을 유지하도록 하기 위한 연결관이 배치되고,
    상기 흡착블럭의 상면 가장자리에는 상기 기류 형성면을 따라 흐르면서 흡착기류를 형성한 공기가 상향 배출되도록 하기 위한 배출안내곡면을 갖는 간섭방지부가 형성되는 것을 특징으로 하는,
    진공흡착장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 공기 제어기, 상기 공기분배블럭, 상기 기류형성블럭 및 상기 흡착블럭은 금속재 또는 합성수지재로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공흡착장치.
KR1020100059575A 2010-06-23 2010-06-23 진공흡착장치 KR101218400B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100059575A KR101218400B1 (ko) 2010-06-23 2010-06-23 진공흡착장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100059575A KR101218400B1 (ko) 2010-06-23 2010-06-23 진공흡착장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110139461A KR20110139461A (ko) 2011-12-29
KR101218400B1 true KR101218400B1 (ko) 2013-01-18

Family

ID=45504943

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100059575A KR101218400B1 (ko) 2010-06-23 2010-06-23 진공흡착장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101218400B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101303706B1 (ko) * 2013-04-19 2013-09-10 (주)메티스 웨이퍼 반송용 로봇핸드
KR20210049275A (ko) 2019-10-25 2021-05-06 박민욱 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템
DE102019134651A1 (de) * 2019-12-17 2021-06-17 Khs Gmbh Etiketthaltevorrichtung für eine Behälteretikettiermaschine und Verfahren zum Halten eines Etikettabschnitts beim Etikettieren eines Behälters

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140011776A (ko) * 2012-07-19 2014-01-29 삼성전기주식회사 비접촉 멀티 이송 장치 및 이를 이용한 이물질 제거 방법
CN103302676B (zh) * 2013-06-18 2015-06-10 辰星（天津）自动化设备有限公司 一种环槽型真空吸盘末端执行器
CN109677499B (zh) * 2019-02-14 2024-01-16 河北工业大学 一种间隙式负压吸附爬壁机器人
JP7236338B2 (ja) 2019-06-28 2023-03-09 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
JP7224246B2 (ja) * 2019-06-28 2023-02-17 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置
KR20210089829A (ko) 2020-01-09 2021-07-19 서울과학기술대학교 산학협력단 비접촉 공기 부상 흡착장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10181879A (ja) * 1996-12-26 1998-07-07 Koganei Corp 搬送装置
JP2006182544A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Koganei Corp 搬送装置
US20100025905A1 (en) * 2008-07-30 2010-02-04 J. Schmalz Gmbh Pneumatically actuated area vacuum gripper

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10181879A (ja) * 1996-12-26 1998-07-07 Koganei Corp 搬送装置
JP2006182544A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Koganei Corp 搬送装置
US20100025905A1 (en) * 2008-07-30 2010-02-04 J. Schmalz Gmbh Pneumatically actuated area vacuum gripper

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101303706B1 (ko) * 2013-04-19 2013-09-10 (주)메티스 웨이퍼 반송용 로봇핸드
KR20210049275A (ko) 2019-10-25 2021-05-06 박민욱 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템
DE102019134651A1 (de) * 2019-12-17 2021-06-17 Khs Gmbh Etiketthaltevorrichtung für eine Behälteretikettiermaschine und Verfahren zum Halten eines Etikettabschnitts beim Etikettieren eines Behälters

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110139461A (ko) 2011-12-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101218400B1 (ko) 진공흡착장치
JP2006222209A (ja) エア浮上ユニット、搬送方法、及びエア浮上搬送装置
KR101177926B1 (ko) 진공흡착장치
JP2017070904A (ja) 除塵ノズル及び除塵装置
JPWO2010058689A1 (ja) 非接触搬送装置
WO2009157647A2 (ko) 흡입력을 갖는 비접촉식 반송 플레이트
WO2016051559A1 (ja) 成膜装置
KR101093675B1 (ko) 글래스 이송장치
EP3591459B1 (en) Cache device and liquid crystal screen production line
JP6086476B2 (ja) 基板浮上装置
JP2007204278A (ja) 基板浮上搬送装置
JP2017205999A (ja) 脆性基板スクライバー用粉塵除去装置
KR20120003627U (ko) 부상 장치 및 부상 반송 장치
JP2007059416A (ja) 基板処理装置
KR20100018613A (ko) 부상 장치 및 부상 반송 장치
JP5740394B2 (ja) 旋回流形成体及び非接触搬送装置
TW201639763A (zh) 用來運送平板構件之輸送載具
KR101261313B1 (ko) 평판 이송물 정렬픽업 이송장치
JP2005268270A (ja) 液晶ガラス基板用載置台およびこれを用いた液晶ガラス基板のクリーニング装置
JP5536516B2 (ja) 非接触搬送装置
KR20120045758A (ko) 비접촉식 이송장치
KR20090129420A (ko) 노즐, 드라이 클리너 및 드라이 클리너 시스템
KR20060109167A (ko) 평판 디스플레이 이송용 공기부상유니트
KR101779081B1 (ko) 퓸 제거 장치
KR20130131924A (ko) 디스플레이 기판 세정장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151228

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180124

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181225

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191227

Year of fee payment: 8