JP4564910B2 - ウェハ欠陥検査方法および装置 - Google Patents
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Description
レーザビーム光源手段は紫外のパルスレーザビームを発射し、照明光学系手段はレーザビーム光源から発射されたパルスレーザビームの各パルスを複数のパルスに分割し、この複数のパルスに分割したパルスレーザビームを整形して試料上の直線状の領域を照明するようにした。
t[s]=L[m]/c[m/s] (数1)
の時間差が生じ,図3に示すように,パルス光を時分割でき,尖頭値を1/2に低減させることができる。
図8はさらに分割数を多くした構成である。図6の構成にさらに図2の構成を追加して3段にする。3段目の偏光ビームスプリッタ22e,22fとミラー23e,23fの間隔を1段目の間隔の4倍にする。これにより,2段構成で説明した作用と同一の作用により,さらにパルス光が分割されて,尖頭値が1/8に低減する。さらに段数を増やすことにより,尖頭値を1/16、1/32,1/64・・・ のように低減させることができる。
上述実施例における制約事項は下記の2点である。1点目は,(数3)のように,1段目の光路差(L)が使用するレーザ光の可干渉距離(Λ)より長いことである。
ここで,λは波長,Δλは波長帯域幅である。2点目は,(数4)に示すように,分割したパルス光列が,レーザの発振間隔内に収まることである。
ここでLは1段目の光路差,nは段数,cは光速,fはレーザの発振周波数である。
Claims (10)
- レーザビーム光源手段と、
該レーザビーム光源手段から発射したレーザビームで試料を斜め方向から照明する照明光学系手段と、
該照明光学系手段で照明された前記試料からの反射光を集光して検出する検出光学系手段と、
該検出光学系手段で前記試料からの反射光を検出して得た信号を処理して前記試料の欠陥を検出する信号処理手段と
を備えた欠陥検査装置であって、
前記レーザビーム光源手段は紫外のパルスレーザビームを発射し、前記照明光学系手段は前記レーザビーム光源から発射されたパルスレーザビームの各パルスを、尖頭値がほぼ同じ複数のパルスに分割し、該複数のパルスに分割したパルスレーザビームを直線偏光にして前記試料を照明することを特徴とする欠陥検査装置。 - レーザビーム光源手段と、
該レーザビーム光源手段から発射したレーザビームを整形して試料上の線状の領域を照明する照明光学系手段と、
該照明光学系手段で照明された前記試料の線状の領域からの反射光による光学像を形成して該形成した光学像を撮像する検出光学系手段と、
該検出光学系手段で前記試料からの反射光による光学像を撮像して得た画像を処理して前記試料の欠陥を検出する信号処理手段と
を備えた欠陥検査装置であって、
前記レーザビーム光源手段は紫外のパルスレーザビームを発射し、前記照明光学系手段は前記レーザビーム光源から発射されたパルスレーザビームの各パルスを、尖頭値がほぼ同じ複数のパルスに分割し、該複数のパルスに分割したパルスレーザビームを整形して前記試料上の直線状の領域を照明することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記照明光学系手段は、前記レーザビーム光源から発射されたパルスレーザビームの各パルスを複数のパルスに分割し、該複数のパルスに分割したパルスレーザビームを複数の直線偏光にし、該複数の直線偏光のパルスレーザビームで前記試料の同じ箇所を照明することを特徴とする請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。
- 前記試料を載置して前記試料を回転させる回転テーブル手段を更に備え、該回転テーブル手段で前記試料を回転させながら該試料を前記複数のパルスに分割したパルスレーザビームで照明することを特徴とする請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。
- 前記試料を載置して少なくとも一方向にテーブル手段を更に備え、該テーブル手段で前記試料を少なくとも一方向に移動させながら該試料を前記複数のパルスに分割したパルスレーザビームで照明することを特徴とする請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。
- 前記検出光学系手段は、前記複数のパルスに分割したパルスレーザビームで照明された前記試料に形成されたパターンからの散乱光を遮光する遮光部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。
- パルスレーザビーム光源から発射したパルスレーザビームを試料に斜め方向から照射し、
該パルスレーザビームを斜め方向から照射された前記試料からの反射光を検出し、
該試料からの反射光を検出して得た信号を処理して前記試料の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、
前記レーザビーム光源から発射されたパルスレーザビームの各パルスを、尖頭値がほぼ同じ複数のパルスに分割し、該複数のパルスに分割したパルスレーザビームを直線偏光にして前記試料に照射することを特徴とする欠陥検査方法。 - 前記複数のパルスに分割したパルスレーザビームを整形して前記試料上の線状の領域に照射し、該パルスレーザビームが照射され線状の領域からの反射光による光学像を検出することを特徴とする請求項7に記載の欠陥検査方法。
- 前記試料を回転させながら該試料に前記複数のパルスに分割したパルスレーザビームを照射することを特徴とする請求項7に記載の欠陥検査方法。
- 前記パルスレーザビームを斜め方向から照射された前記試料からの反射光のうち前記試料に形成されたパターンからの反射光を遮光手段で遮光し、該遮光手段で遮光されなかった前記試料からの反射光を検出することを特徴とする請求項7に記載の欠陥検査方法。
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