JP4560016B2 - 電子部品の調整検査装置 - Google Patents
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
B・・・キャリア
1・・・Gセンサー
2・・・治具基板
3・・・ソケット
4・・・スロット治具
4a・・・スロット治具底面
4b・・・スロット治具側面
4c・・・スロット治具底上面
4d・・・スロット治具側面
4e・・・スロット
5・・・計測器
6・・・ケーブル
7・・・テーブル
8・・・恒温槽
9・・・ステッピングモーター
10・・・ハーモニックギア
11・・・カップリング
12・・・軸受け
13・・・垂直回転軸
14・・・温度調節プレート
15・・・ペルチェ素子
16・・・冷却ユニット
17・・・プローブ上下シリンダー
18・・・プローブプレート
19・・・コンタクトプローブ
20・・・回転側ホース
21・・・固定側ホース
22・・・ロータリー継ぎ手外周側
23・・・ロータリー継ぎ手内周側
24・・・軸受け
25・・・冷却液通路
26・・・上ユニットベース
27・・・下ユニットベース
28・・・防振ゴム
29・・・低温調整検査部
30・・・常温調整検査部
31・・・高温調整検査部
32・・・回転測定ユニット
33・・・入口コンベア
34・・・出口コンベア
35・・・予備温度調節ユニト
36・・・搬送ユニット
37・・・密閉容器
38・・・乾燥ガス導入口
39・・・シャッター
40・・・センタリング爪逃げ溝
41・・・センタリング爪
42・・・位置決めピ
43・・・角度センサー
44・・・常温プレート
45・・・ソケット
Claims (8)
- 傾斜角度又は回転を検知する電子部品の姿勢を所定角度に傾斜した状態で該電子部品の特性を調整検査する電子部品の調整検査装置において、前記電子部品の姿勢を垂直方向に回転する角度制御ユニットにて傾斜させ、
前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転する温度調節ユニットが配されており、該温度調節ユニットの表面が前記電子部品と直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触し、該電子部品の温度を所定温度に維持する構造となっており、
前記温度調節ユニットが、ペルチェ素子を冷却源又は加熱源とした冷加熱プレート方式であり、前記冷加熱プレートの表面に前記電子部品が直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触する構造となっており、
前記角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転するコンタクトユニットが配されており、該コンタクトユニットが有する導電接触子を介して前記電子部品と計測器との間の電気的な接続を確保し、該電子部品の姿勢に対応する電気特性を測定する構造となっており、
前記温度調節ユニット及び前記コンタクトユニットを配した前記角度制御ユニットが複数の温度条件に対応して温度条件の数だけ配されて、該複数の角度制御ユニットが互いに独立して角度制御するようになっており、前記電子部品が搬送ユニットによって各温度条件間を順番に移動して調整検査される
ことを特徴とする電子部品の調整検査装置。 - 前記角度制御ユニットは、前記電子部品の姿勢を垂直方向に回転させる垂直回転軸を備えており、前記垂直回転軸には該垂直回転軸と同芯で回転するロータリー継ぎ手が連結されており、該ロータリー継ぎ手を介して前記温度調節ユニットの発熱を放熱するための冷却液を外部から供給、回収する構造となっていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の調整検査装置。
- 前記温度調節ユニットを配した前記角度制御ユニットが密閉容器内に配されており、該密閉容器内に乾燥ガスが充填可能となっていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の調整検査装置。
- 前記温度調節ユニットを配した前記角度制御ユニットの前工程には予備温度調節ユニットが配されており、該予備温度調節ユニットの表面が前記電子部品と直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触し、該電子部品の温度を前記温度調節ユニットの温度に近づける構造となっていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
- 前記電子部品の搬送をキャリアにて行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
- 前記キャリアが、複数の前記電子部品をまとめて搬送することで、単位キャリア毎に複数個まとめて調整検査を行う構造となっていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の電子部品の調整検査装置。
- 前記角度制御ユニットは、前記電子部品の姿勢を垂直方向に回転させる垂直回転軸を備えており、該垂直回転軸を任意の角度に回転することにより、前記角度制御ユニット上に載置された前記電子部品の姿勢を任意の角度に傾斜する構造となっていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか記載の電子部品の調整検査装置。
- 前記導電接触子は、バネ性を有する導電体を有して構成されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか記載の電子部品の調整検査装置。
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