JP4545896B2 - ヒータユニット及びその製造方法 - Google Patents
ヒータユニット及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4545896B2 JP4545896B2 JP2000218377A JP2000218377A JP4545896B2 JP 4545896 B2 JP4545896 B2 JP 4545896B2 JP 2000218377 A JP2000218377 A JP 2000218377A JP 2000218377 A JP2000218377 A JP 2000218377A JP 4545896 B2 JP4545896 B2 JP 4545896B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base member
- heater
- heater wire
- cover
- wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造過程に於ける成膜装置やエッチング装置等に用いられ、ワークを加熱するためのヒータユニット及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、例えば半導体製造過程でCVD装置、PVD装置等の成膜装置やエッチング装置にてウエハを加熱するためのヒータユニットが用いられている。このヒータユニットのひとつとしてセラミックスヒータがある。これは、セラミックス原料粉にタングステンやモリブデン等の高融点金属の薄い金属箔を所望のパターンに加工したものを埋め込み、例えば円盤状に焼結したものである。
【0003】
上記したようなセラミックスヒータにあっては、その内部に金属からなるヒータ線が埋設されているが、これはタングステンあるいはモリブデン等の高融点金属の薄い金属箔を所要のパターンに加工したものである。適切な発熱量(抵抗値)を得るために、一般的なヒータ線は厚さ20μm〜50μm、幅は2mm〜5mm、長さは1m〜3mとなっている。例えば、8インチウエハ加熱用の2ゾーンヒータでは、ヒータ線の厚さは25μm、幅は2.5mm、長さはインナーが2m、アウターが2.7m程度である。このヒータ線を中子としてこれが内部に埋め込まれるように、セラミックス原料粉を固め、焼結することでヒータプレート(ヒータユニット)が製造される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したような金属箔からなるヒータ線の表面積は所要の発熱量に対して小さく、負荷密度(=発熱量/ヒータ線の総表面積)が高くなりがちである。負荷密度が過大になるとヒータ線が焼き切れることがあるため、ヒータ線の総表面積を大きくすると良いが、ヒータ線の寸法、即ち断面積が発熱量により制限されるため、上記寸法は大きく変更できない。
【0005】
また、箔の埋め込み時の位置決めは面倒であり、かつ上記したように箔からなるヒータ線はその幅が細いため、ヒータ線の位置ずれはヒータ線の配置パターンのずれはそのままヒータユニット表面の温度分布に影響し、これによってヒータユニット表面温度の均一性を大きく劣化させる。更に、ヒータ線(箔)の厚さ、または幅にばらつきがあった場合、寸法自体が小さいためにその断面積に比較的大きく影響して電気抵抗値の大きなばらつきとなり、ヒータユニット表面温度の均一性を大きく劣化させる。
【0006】
これらの問題はセラミックスヒータのみならず、金属箔からなるヒータ線を用いる以上共通の問題である。
【0007】
一方、上記したようにヒータ線の寸法、即ち断面積が発熱量により制限されるため、即ち薄く、かつ細い箔からなるため、その強度が低く、特にセラミックスヒータの場合、焼結する際にヒータ線が切れてしまういう不具合が多発し、製造歩留まりを低下させていた。また、例えば一対の円盤を張り合わせ、その間にヒータ線を挟むような構造にあっても、その強度の低さからヒータ線が切れてしまう不具合がある。
【0008】
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑みなされたものであり、加熱時に早期に昇温し、かつ全面に亘り熱を均一化でき、加えて耐久性が向上し、更に製造歩留まりが改善されたヒータユニット及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記した目的は、本発明によれば、内部にヒータ線を埋設してなるヒータユニットであって、前記ヒータ線が、ベース部材の表面に成膜手段により成膜された金属膜からなり、前記ヒータ線を覆うように前記ベース部材にカバー部材を被せることにより前記ヒータ線をその内部に埋設し、前記ベース部材がセラミックス焼結体からなり、前記カバー部材が、前記ベース部材の表面を覆うようにセラミックス原料粉を被せて固め、焼結することにより形成されていることを特徴とするヒータユニット、または内部にヒータ線を埋設してなるヒータユニットの製造方法であって、ベース部材をセラミックス焼結体により形成し、前記ベース部材の表面に金属からなるヒータ線を成膜手段により成膜し、前記ベース部材の表面を覆うようにセラミックス原料粉を被せて固め、焼結することにより、前記ヒータ線を覆うように前記ベース部材の表面に被せるカバー部材を形成し、前記ヒータ線を前記カバー部材の内部に埋設することを特徴とするヒータユニットの製造方法を提供することにより達成される。特に前記成膜手段が溶射手段からなると良い。成膜されたヒータ線、特に溶射により成膜されたヒータ線は多孔質であるので緻密な膜に比較してその表面積が大きくなり、その分負荷密度が低くなる。また、緻密な箔と同じ断面積を得るのに幅及び/または厚さの寸法を大きくとれ、成膜することで高い位置精度も得られる。更に成膜後はヒータ線がベース部材に密着していることから断線の心配もなくその取り扱いも容易になる。
【0010】
また、必要に応じて前記ベース部材の裏面に前記ヒータ線とは別用途の電極線をも成膜手段により成膜し、それらを成膜した前記ベース部材に、セラミックス原料粉を被せて固め、焼結することにより前記カバー部材を形成すると良い。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に、添付の図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【0012】
図1及び図2に本発明が適用された第1の実施形態に於けるセラミックスヒータユニット1の概略構造を示す。本ヒータユニット1は8インチウエハ加熱用の2ゾーンヒータであり、その外形は円盤状をなし、内部にヒータ線2が埋設されている。このヒータ線2はモリブデン、タングステン、ニオブ及びタンタルから選択される1種または2種以上の高融点金属の溶射膜からなる。ヒータ線2は窒化アルミニウム、マグネシアまたはアルミナのセラミックス焼結体からなるベース部材1aの表面に溶射により成膜され、上記同様なセラミックス焼結体からなるカバー部材1bにより覆われている。
【0013】
ヒータ線2は、線幅が6.5mmのヒータ線インナ3と、線幅が7.5mmのヒータ線アウタ4とを有し、図2に示すようなパターンで成膜されている。これらヒータ線インナ3及びヒータ線アウタ4の電極3a、4aは、ベース部材1aに埋め込まれた金属端子5に、電極3b、4bはベース部材1aに埋め込まれた金属端子6に各々接続され、これら金属端子5、6はヒータユニット1の裏面側に突出し、図示されない外部電源に接続されることとなる。
【0014】
ここで、ヒータ線2(ヒータ線インナ3、ヒータ線アウタ4)は、溶射により成膜されているため、箔などと比較して多孔質な金属膜となっている。従って、その表面積が緻密な膜に比較して大きく、負荷密度(=発熱量/ヒータ線の総表面積)が、例えば箔からなる膜に比較して1/3〜1/4に小さくなっており、熱の拡散が速やかに行われ、過熱時に焼き切れ難くなっている。また、多孔質であるため、所望の発熱量を得るための断面積に対する寸法(厚さ、または幅)を大きくとれることから、ヒータ線2の厚さ、または幅にばらつきがあった場合でも、寸法自体が大きいためにその影響は小さくなり、ヒータ線2の各部の温度が均一性が向上し、即ちヒータユニット1の表面温度の均一性が向上している。更に、同様な理由で幅広にできることから、かつ溶射による膜のためにその位置精度が高いことから、ヒータ線2のない部分の面積を箔の場合に比較して小さくでき、これによってもヒータユニット1の表面温度の均一性が向上している。
【0015】
以下に、本ヒータユニット1の製造手順について図3(a)〜図3(c)を参照して説明する。まず、窒化アルミニウム、マグネシアまたはアルミナのセラミックス原料紛を円盤状に固めて焼結し、ベース部材1aを得る(図3(a))。次に、このベース部材1aの表面に溶射により図2に示すようなパターンでヒータ線2(ヒータ線インナ3、ヒータ線アウタ4)を成膜する(図3(b))。そして、ヒータ線2を覆うように上記同様なセラミックス原料粉を被せて固め、焼結することによりカバー部材1bを形成し(図3(c))、孔を穿設して金属端子5、6を取り付け、表面を必要に応じて研磨する等してヒータユニット1を得る。これを半導体製造過程に於ける成膜装置やエッチング装置等に用いることとなる。
【0016】
図4は、本発明が適用された第2の実施形態に於けるセラミックスヒータユニット11の概略構造を示す図1と同様な図である。本ヒータユニット11は、プラズマCVD装置等のプラズマ処理装置に用いるものであり、ヒータ線12の材質、寸法、成膜パターン等は第1の実施形態と同様であるが、ヒータ線12に加えてこれと離間して他の電極線としてのRFグランド用電極17が設けられている。ヒータ線12はベース部材11aの裏面に溶射により成膜され、RFグランド用電極17はベース部材11aの表面に上記同様に溶射により成膜されている。これらヒータ線12及びRFグランド用電極17は上記同様なセラミックス焼結体からなるカバー部材11bにより覆われている。
【0017】
尚、ヒータ線12及びRFグランド用電極17は、ベース部材11aに埋め込まれた金属端子15、16に接続され、RFグランド用電極17は、カバー部材11bに埋め込まれた金属端子18に接続され、これら金属端子15、16、18はヒータユニット11の裏面側に突出し、図示されない外部電源に接続され、またはアースされることとなる。
【0018】
以下に、本ヒータユニット11の製造手順について図5(a)〜図5(c)を参照して説明する。まず、窒化アルミニウム、マグネシアまたはアルミナのセラミックス原料紛を円盤状に固めて焼結し、ベース部材11aを得る(図5(a))。次に、このベース部材11aの裏面に溶射により図2と同様なパターンでヒータ線12を成膜する(図5(b))。更にベース部材11aの表面に溶射により適宜なパターンでRFグランド用電極17を成膜する(図5(c))。そして、ヒータ線12及びRFグランド用電極17を覆うように、即ちベース部材11aの表裏を覆うように上記同様なセラミックス原料粉を被せて固め、焼結することによりカバー部材11bを形成し(図5(d))、孔を穿設して金属端子15、16、18を取り付け、そのワーク搭載側表面を必要に応じて研磨する等してヒータユニット11を得る。これを半導体製造過程に於ける成膜装置やエッチング装置等に用いることとなる。
【0019】
ここで、本実施形態では他の電極線としてRFグランド用電極17を設けたが、これに限定されず、例えば静電チャック用の電極等、埋め込み電極であれば同様にこの構造を適用できる。
【0020】
尚、上記各実施形態では、ベース部材を中子としてカバー部材を焼結により形成したが、これらを別々に焼成し、ヒータ線を挟むように張り合わせて接合しても良い。これを半導体処理装置に用いる場合、ヒータ線が側面から露出しないようにシールしたり、ベース部材またはカバー部材にヒータ線のパターンと同様な凹部を形成してこの凹部にヒータ線が収まるようにし、ベース部材とカバー部材とを密着させると良い。
【0021】
また、上記各実施形態では、ヒータ線及び他の電極線を溶射により成膜したが、他の成膜法、例えばスクリーン印刷や各種化学蒸着法、物理蒸着法により成膜しても良い。その場合、成膜条件を適宜設定して多孔質の膜となるように成膜することが望ましい。
【0022】
【発明の効果】
上記した説明により明らかなように、本発明によるヒータユニット及びその製造方法によれば、ベース部材の表面に、溶射等の成膜手段により金属膜からなるヒータ線を成膜し、このヒータ線を覆うようにベース部材にカバー部材を被せることによりヒータ線をその内部に埋設したことにより、成膜されたヒータ線、特に溶射により成膜されたヒータ線は多孔質であるので緻密な膜に比較してその表面積が大きくなり、その分負荷密度が低くなり、発熱量が過大になっても焼き切れ難くなり、即ち耐久性が向上する。また、ヒータ線がベース部材に密着していることから接触面積が大きくなり、熱伝達効率が向上し、温度差による熱応力が低減すると共に物理的な断線の心配もなくその取り扱いも容易になる。
【0023】
また、多孔質の膜は所望の発熱量を得るための断面積に対する寸法(厚さ、または幅)を大きくとれることから、ヒータ線の厚さ、または幅にばらつきがあった場合でも、寸法自体が大きくこのばらつきの影響は小さくなり、ヒータ線各部の温度が均一性が向上し、即ちヒータユニットの表面温度の均一性が向上すると共に緻密な箔と同じ断面積を得るのに幅及び/または厚さの寸法を大きくとれ、成膜することで高い位置精度も得られるため、ヒータ線のない部分の面積を箔の場合に比較して小さくでき、これによってもヒータユニットの表面温度の均一性が向上する。
【0024】
一方、必要に応じて前記ベース部材の裏面にヒータ線とは別用途の電極線をも成膜手段により成膜し、それらを成膜したベース部材に、セラミックス原料粉を被せて固め、焼結することにより前記カバー部材を形成することで、焼成時にヒータ線及び他の電極線の位置ずれ、断線の心配がなく、製造歩留まりが改善される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に於けるセラミックスヒータユニット概略構造を示す部分断面斜視図。
【図2】図1のII−II線について見たヒータユニットのヒータ線のパターンを示す平面図。
【図3】(a)〜(c)は、図1のヒータユニットの製造手順を示す断面図。
【図4】本発明の第2の実施形態に於けるセラミックスヒータユニット概略構造を示す部分断面斜視図。
【図5】(a)〜(d)は、図4のヒータユニットの製造手順を示す断面図。
【符号の説明】
1 セラミックスヒータユニット
1a ベース部材
1b カバー部材
2 ヒータ線
3 ヒータ線インナ
4 ヒータ線アウタ
3a、3b、4a、4b 電極
5、6 金属端子
11 セラミックスヒータユニット
11aベース部材
11b カバー部材
12 ヒータ線
15、16、18 金属端子
17 RFグランド用電極
Claims (8)
- 内部にヒータ線を埋設してなるヒータユニットであって、
前記ヒータ線が、ベース部材の表面に成膜手段により成膜された金属膜からなり、
前記ヒータ線を覆うように前記ベース部材にカバー部材を被せることにより前記ヒータ線をその内部に埋設し、
前記ベース部材がセラミックス焼結体からなり、
前記カバー部材が、前記ベース部材の表面を覆うようにセラミックス原料粉を被せて固め、焼結することにより形成されていることを特徴とするヒータユニット。 - 前記成膜手段が溶射手段からなることを特徴とする請求項1に記載のヒータユニット。
- 前記ベース部材の裏面に成膜手段により成膜された金属膜からなる前記ヒータ線とは別用途の電極線を有し、
前記電極線を覆うように前記ベース部材の裏面にカバー部材を被せることにより前記電極線をその内部に埋設し、
前記ベース部材の裏面に被せた前記カバー部材が、前記ベース部材の裏面を覆うようにセラミックス原料粉を被せて固め、焼結することにより形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のヒータユニット。 - 前記ヒータ線及び前記電極線が、モリブデン、タングステン、ニオブ及びタンタルから選択される1種または2種以上の金属からなることを特徴とする請求項3に記載のヒータユニット。
- 前記ベース部材及び前記カバー部材が、窒化アルミニウム、マグネシア及びアルミナから選択されるセラミックス焼結体からなることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のヒータユニット。
- 内部にヒータ線を埋設してなるヒータユニットの製造方法であって、
ベース部材をセラミックス焼結体により形成し、
前記ベース部材の表面に金属からなるヒータ線を成膜手段により成膜し、
前記ベース部材の表面を覆うようにセラミックス原料粉を被せて固め、焼結することにより、前記ヒータ線を覆うように前記ベース部材の表面に被せるカバー部材を形成し、
前記ヒータ線を前記カバー部材の内部に埋設することを特徴とするヒータユニットの製造方法。 - 前記ヒータ線を溶射により成膜することを特徴とする請求項6に記載のヒータユニットの製造方法。
- 前記ベース部材の裏面に前記ヒータ線とは別用途の電極線をも成膜手段により成膜し、
前記ベース部材の裏面を覆うようにセラミックス原料粉を被せて固め、焼結することにより、前記電極線を覆うように前記ベース部材の裏面に被せるカバー部材を形成し、
前記電極線を前記ベース部材の裏面に被せた前記カバー部材の内部に埋設することを特徴とする請求項6または請求項7に記載のヒータユニットの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000218377A JP4545896B2 (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | ヒータユニット及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000218377A JP4545896B2 (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | ヒータユニット及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002043033A JP2002043033A (ja) | 2002-02-08 |
JP4545896B2 true JP4545896B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=18713339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000218377A Expired - Fee Related JP4545896B2 (ja) | 2000-07-19 | 2000-07-19 | ヒータユニット及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4545896B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004162147A (ja) * | 2002-11-15 | 2004-06-10 | Plasma Giken Kogyo Kk | 溶射被膜を有する窒化アルミニウム焼結体 |
JP2005327846A (ja) * | 2004-05-13 | 2005-11-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 基板加熱装置 |
JP2008108703A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-05-08 | Covalent Materials Corp | 面状ヒータ及びこのヒータを備えた半導体熱処理装置 |
JP5524782B2 (ja) * | 2010-09-16 | 2014-06-18 | 株式会社ブリヂストン | ヒータユニット、及び半導体ウエハ製造方法 |
CN103898477A (zh) * | 2012-12-26 | 2014-07-02 | 光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 | 一种衬底支承座 |
CN109315021A (zh) | 2016-06-17 | 2019-02-05 | 东华隆株式会社 | 发热部件 |
JP6858656B2 (ja) * | 2017-06-26 | 2021-04-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 給電部材及び基板処理装置 |
CN108968152B (zh) * | 2018-05-02 | 2021-05-28 | 深圳市新宜康科技股份有限公司 | 发热片的制作方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08227933A (ja) * | 1995-02-20 | 1996-09-03 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 静電吸着機能を有するウエハ加熱装置 |
JPH1154245A (ja) * | 1997-08-07 | 1999-02-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミックスヒーター |
JP2000049217A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62170185A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-27 | 凸版印刷株式会社 | セラミツクヒ−タ |
JP3447495B2 (ja) * | 1996-12-26 | 2003-09-16 | 京セラ株式会社 | ウエハ保持装置の給電構造 |
JP3608185B2 (ja) * | 1997-08-26 | 2005-01-05 | 東芝セラミックス株式会社 | プレートヒータ及びその製造方法 |
-
2000
- 2000-07-19 JP JP2000218377A patent/JP4545896B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08227933A (ja) * | 1995-02-20 | 1996-09-03 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 静電吸着機能を有するウエハ加熱装置 |
JPH1154245A (ja) * | 1997-08-07 | 1999-02-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミックスヒーター |
JP2000049217A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002043033A (ja) | 2002-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100281953B1 (ko) | 가열 장치 및 그 제조 방법 | |
KR100497016B1 (ko) | 가열 장치 | |
KR100672802B1 (ko) | 기판 가열 장치 및 그 제조 방법 | |
KR100645349B1 (ko) | 금속부재 내장 소결체의 제조 방법 | |
KR101099891B1 (ko) | 접합 구조체 및 그 제조 방법 | |
KR20010076378A (ko) | 반도체 제조 장치용 웨이퍼 지지체와 그 제조 방법 및반도체 제조 장치 | |
JP2006128603A (ja) | セラミックス部材及びその製造方法 | |
JP2001274230A (ja) | 半導体製造装置用ウェハ保持体 | |
JPH0982786A (ja) | 半導体処理装置およびその製造方法 | |
KR100634182B1 (ko) | 기판 가열 장치와 그 제조 방법 | |
EP1187511A1 (en) | Hot plate and method of producing the same | |
JP4545896B2 (ja) | ヒータユニット及びその製造方法 | |
JP4482535B2 (ja) | 加熱装置 | |
KR20190142384A (ko) | 웨이퍼 지지대 | |
US10626501B2 (en) | Heating device | |
JPH11339939A (ja) | セラミックヒータ | |
JP3924524B2 (ja) | ウエハ加熱装置およびその製造方法 | |
JP4566213B2 (ja) | 加熱装置およびその製造方法 | |
CN113056961A (zh) | 陶瓷加热器 | |
JP2003045765A (ja) | ウェハ支持部材 | |
JPH11162620A (ja) | セラミックヒーター及びその均熱化方法 | |
JP3844408B2 (ja) | 複層セラミックスヒータ | |
JP2003017377A (ja) | セラミックヒータ | |
JP2003100580A (ja) | 半導体処理装置 | |
JP2002176096A (ja) | 半導体処理装置用セラミックス部材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070416 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100615 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100701 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4545896 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |