JP4511117B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Description
P=α0+α1T1 β 1+α2T2 β 2+α3T3 β 3…αnTn β n
Pは瞬時のモータ出力であり、T1からTnはそのつど測定されるステータ側温度センサ32−38及びロータ温度センサ40の温度である。係数α0からαn及びβ1からβnは、実験により測定されたポンプロータとポンプステータの温度の評価により求められた定数である。測定されたロータ温度の変わりに最高許容ロータ温度をこの多項式に代入すると、この多項式により最大許容モータ出力Pmaxが求まる。
Claims (7)
- ポンプステータ(12,18)と、ポンプロータ(20)と、該ポンプロータ(20)を駆動するためのモータ(28)と、該モータ(28)を制御するための制御装置(42)とを備えたターボ分子ポンプであって、
モータ出力が最大許容モータ出力を超えないように、前記制御装置(42)がモータ出力を調整し、
ステータ側にステータ温度を測定するための温度センサ(32−38)が配置されており、
前記制御装置(42)が、測定されたステータ温度の変動に依存して可変の最大許容モータ出力を決定する最大出力算出装置(50)を有している形式のターボ分子ポンプにおいて、
複数の温度センサ(32−38)が前記ポンプステータ(12,18)の様々な位置に設けられており、
前記温度センサ(32−38)により測定されたステータ温度からロータ温度を求めるロータ温度算出装置が、前記最大出力算出装置(50)を有しており、
前記最大出力算出装置(50)は、すべての温度センサ(32−38)の測定温度と前記ロータ温度算出装置によって求められたその時その時のロータ温度とに依存して、多項式を用いて最大許容モータ出力を決定し、その際、前記多項式は
P=α 0 +α 1 T 1 β 1 +α 2 T 2 β 2 +α 3 T 3 β 3 …α n T n β n
の形をしており、ここで、係数α 0 からα n 及びβ 1 からβ n は、実験により測定された前記ポンプロータ及び前記ポンプステータの温度の評価により求められた定数であり、T 1 からT n は前記複数の温度センサ(32−38)及びロータ温度センサ(40)により測定されたその時その時の測定温度であり、前記最大出力算出装置(50)は前記ロータ温度センサ(40)による測定温度の代わりに最高許容ロータ温度を前記多項式に代入することにより、その時その時の最大許容モータ出力を決定する
ことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 第1の温度センサ(32)がポンプハウジング(12)に設けられている、請求項1記載のターボ分子ポンプ。
- 第2の温度センサ(34)がポンプステータ(18)に設けられている、請求項1または2記載のターボ分子ポンプ。
- 第3の温度センサ(36)が前記モータ(28)のステータ側部品に設けられている、請求項1から3のいずれか1項記載のターボ分子ポンプ。
- 前記モータ(28)はハウジング(30)を有しており、
第4の温度センサ(38)が前記モータハウジングに設けられている、請求項1または2記載のターボ分子ポンプ。 - 前記ポンプハウジング(12)又は前記ポンプステータ部材(18)は冷却水路(13)を有しており、
第5の温度センサが前記冷却水路のコース内に配置されている、請求項1から5のいずれか1項記載のターボ分子ポンプ。 - ポンプステータ(12,18)内に配置されたポンプロータ(20)を駆動する、ターボ分子ポンプ(10)内のモータの最大許容モータ出力を制限するための方法において、
前記ポンプステータ(12,18)の様々な位置でポンプステータ温度を測定するステップと、
測定されたポンプステータ温度から最大許容モータ出力を求めるステップと、ただし、ここで、最大許容モータ出力は測定されたポンプステータ温度の変動により可変であり、
モータ出力を求められた最大許容モータ出力に制限するステップとを有し、
最大許容モータ出力を求めるステップは、
求められたポンプステータ温度からポンプロータ温度が計算するステップと、
すべての温度センサ(32−38)の測定温度と計算されたその時その時のロータ温度とに依存して、多項式を用いて最大許容モータ出力を決定するステップから成っており
前記多項式は
P=α 0 +α 1 T 1 β 1 +α 2 T 2 β 2 +α 3 T 3 β 3 …α n T n β n
の形をしており、ここで、係数α 0 からα n 及びβ 1 からβ n は、実験により測定された前記ポンプロータ及び前記ポンプステータの温度の評価により求められた定数であり、T 1 からT n は前記複数の温度センサ(32−38)及びロータ温度センサ(40)により測定されたその時その時の測定温度であり、前記ロータ温度センサ(40)による測定温度の代わりに最高許容ロータ温度を前記多項式に代入することにより、その時その時の最大許容モータ出力が決定される
ことを特徴とする方法。
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