JP4490332B2 - Icハンドラー - Google Patents
Icハンドラー Download PDFInfo
- Publication number
- JP4490332B2 JP4490332B2 JP2005158929A JP2005158929A JP4490332B2 JP 4490332 B2 JP4490332 B2 JP 4490332B2 JP 2005158929 A JP2005158929 A JP 2005158929A JP 2005158929 A JP2005158929 A JP 2005158929A JP 4490332 B2 JP4490332 B2 JP 4490332B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- suction nozzle
- handler
- heater
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
この種の従来のICハンドラーでは、吸着ノズルを上下方向の軸線回りに回動させることができるようにすることが要請されている。これは、電子部品は、電子部品用トレイなどの上では電子部品収納用凹陥部の壁とのクリアランス分だけ上下方向の軸線回りの角度が変わる。また、電子部品は、吸着時に吸着ノズルに対して僅かに回った状態で吸着されることがある。すなわち、このような場合、吸着ノズルに吸着された電子部品の前記角度と、検査用ソケットの前記角度とが異なることになり、電子部品を検査用ソケットに正しく装填することができなくなってしまうからである。
請求項3記載の発明によれば、ヒーターの熱により吸着ヘッドの昇降部や回動部に歪みが生じたとしても吸着ノズルの位置を補正することができるから、電子部品をより一層正確に検査用ソケットに装填することができる。
図1は本発明に係るICハンドラーの平面図である。同図においては、トレイ支持装置やストッカーをこれらの上にトレイが載置されていない状態で描いてある。図2は図1におけるII−II線断面図、図3は部品移動装置の構成を説明するための斜視図、図4はヘッドユニットの斜視図、図5は単位ユニットの動作方向を説明するための斜視図で、同図は二つの単位ユニットのみが描いてある。図6は単位ユニットの側面図で、同図においては構成部材の連結部分を破断して示す。この破断位置を図1中にVI−VI線によって示す。図7は要部を拡大して示す断面図である。
このICハンドラー1は、図1および図2に示すように、基台2の後端部(図1においては上端部であって、図2においては右側の端部)に位置する検査領域Aと、前記基台2の前後方向の略中央部に位置する部品領域Bとの間において後述する部品移動装置3,4によって電子部品5(図2および図6参照)を移動させるものである。なお、本明細書中においては、図1において上下方向を装置の前後方向としてY方向といい、図1において左右方向を装置の左右方向としてX方向といい、紙面に直交する方向を単にZ方向という。
前記テストヘッド8には、この検査用ソケット6を所定の温度に加熱するためのヒーター9が設けられている。
前記後側支柱22と前側支柱23は、長方形状のトレイTの四隅を嵌合状態で保持するように位置付けられている。前側支柱23は、図2に示すように、後側支柱22より低くなるように形成されている。
前記トレイ昇降用プレート40は、トレイTの下面を支承するためのもので、平面視においてY方向に長くなる長方形状に形成されており、前記板状支持台32に昇降ガイド41によって昇降自在に支持されている。このトレイ昇降用プレート40は、前記一対のベルトコンベア35,35の間にこれらのベルトコンベア35に対して接触することがないように挿入されている。
前記縦板34は、ベルトコンベア35を前端部から後端部にわたって側方から囲むような長さに形成されている。
前記ベルトコンベア35は、トレイTの両側部を支承しながらトレイTをY方向に搬送し、トレイ支持装置12内へのトレイTの搬入とトレイ支持装置12からのトレイTの搬出とを行うためのものである。このベルトコンベア35の駆動軸42は、3台のトレイ支持装置12をX方向に貫通するように形成され、これらのトレイ支持装置12の全てのベルトコンベア35を同時に駆動する。
これらの移載装置本体55は、前記支持板54の上にY方向に並ぶ状態で固定された第1のシリンダ61および第2のシリンダ62と、これらのシリンダ61,62のX方向の両側において前記支持板54に立設された一対の縦板63,63と、これらの縦板63の内側にそれぞれ設けられた一対のベルトコンベア64,64などによってそれぞれ構成されている。
このように形成されたトレイ支承部材65は、第1のシリンダ61と第2のシリンダ62の駆動により、ベルトコンベア64の搬送面より低くなるような待機位置(図2参照)と、前記搬送面より高い位置であってストッカー11の下端部近傍の後述する上昇位置との間で昇降する。
前記Y方向移動部材71は、図3に示すように、前記固定レール14,14にスライド部材(図示せず)を介して接続された基部71aと、この基部71bの上端部から側方(図3においては右方)に突出する一対の腕部71bとを備えている。これらの腕部71bは、Y方向に間隔をおいて並ぶように設けられており、ガイド部材71cを介して前記支持部材73をX方向に移動自在に支持している。前記ガイド部材71cは、支持部材73に設けられたレール73aを上方から支える構造が採られている。
この支持部材73をX方向に駆動する第1のX方向駆動装置74は、図3に示すように、Y方向移動部材71の上部に設けられたモータブロック81と、このモータブロック81に回転自在に支持されたボールねじ軸82と、このボールねじ軸82に螺合しかつ支持部材73に固着したナット部材82aと、前記ボールねじ軸82の一端部(第1の部品移動装置3においては左側の端部)に接続されたモータ83などによって構成されている。前記ナット部材82aは、支持部材73における開口73bを有する枠状部84とは反対側の端部に取付けられている。
これらの4個の単位ユニット85は、図1に示すように、平面視において前記4個の検査用ソケット6と同様にX方向とY方向とに並べられている。この実施の形態によるヘッドユニット75には、前記検査用ソケット6を上方から撮像するためのヘッド側撮像装置86,87が設けられている。ヘッド側撮像装置86は検査ソケット6の撮像に用いられ、ヘッド側撮像装置87はトレイ支持装置12に搬送されるトレイTの撮像に用いられる。所定のタイミングで撮像されるトレイTの所定の凹陥部あるいはフィデューシャルマークの位置から、ベルトコンベア35の搬送誤差、ボールねじ式駆動装置46の駆動量の補正量が算出される。これら補正量が加味されて、部品領域移動装置31上の各トレイTは、電子部品5の吸着、載置に際して正しい位置に配置される。
これらの撮像装置86,87は、前記枠状部84のY方向の両端部に設けられている。
Z方向駆動装置100は、図6に示すように、Z方向に延びる状態で前記Z方向支持部材98に回転自在に支持された前記ボールねじ軸113と、Z方向支持部材98の上端部に支持されかつ前記ボールねじ軸113の上端部に接続されたモータ114と、前記ボールねじ軸113の途中に螺合しかつ後述する吸着ヘッド99に結合されたナット部材115とから構成されている。
前記基本動作制御手段201は、前記トレイ支持装置12、トレイ移載装置13、基台側撮像装置15、フック用アクチュエータ27、部品領域移動装置31、第1のX方向駆動装置74、第1のY方向駆動装置72、ヘッド側撮像装置86、ヘッド側撮像装置87、検査用ソケット用ヒーター9、ホットプレート30のヒーター30aおよび吸着ヘッド用ヒーター128などの各装置の動作を制御する。
また、この基本動作制御手段201は、前記検査装置本体7内の制御装置と不図示の連係用ケーブルで結ばれ、複数の検査用ソケット6への各電子部品5の各吸着ノズル125による装着が終了した情報を検査装置本体7内の制御装置に伝達し、検査装置本体7内の制御装置は検査が終わったことと検査結果の情報を、前記制御手段へ伝達する。さらに、この基本動作制御手段201は、検査が終わったことと検査結果の情報を受けて、検査済みの電子部品5が良品である場合には良品用トレイT2へ、不良品である場合には不良品用トレイT3にそれぞれ電子部品5を移載するように、ヘッドユニット75を制御する。
この実施の形態によるICハンドラー1では、電子部品5を検査用ソケット6に装填する動作を開始する以前に、各ヒーター9,30a,128に通電し、検査用ソケット6と、ホットプレート30と、吸着ノズル125とを所定の温度に昇温させる。
このICハンドラー1は、自動運転中に何らかの原因により装置が停止したり、予定していた検査が全て終了した場合、ステップS10〜S12に示すように、吸着ノズル125の位置データをリセットした後に再始動処理を行う。
Claims (3)
- 被検査用電子部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルに吸着された電子部品を加熱するヒーターと、
前記吸着ノズルを昇降させる吸着ヘッドと、
この吸着ヘッドを支持するヘッドユニットを部品載置部と検査用ソケットとの間で移動させる部品移動装置とを備えたICハンドラーにおいて、
前記吸着ヘッドは、前記ヘッドユニットに支持され、このヘッドユニットに対して昇降する昇降部と、
前記昇降部に支持され、この昇降部に対して上下方向の軸線回りに回動する回動部とから構成され、
前記吸着ノズルは、前記回動部に一体に回転するように設けられ、
前記ヒーターは、前記昇降部に設けられ、流動性と熱伝導性とを有する充填材を介して前記回動部と対向していることを特徴とするICハンドラー。 - 請求項1記載のICハンドラーにおいて、
ヒーターは、回動部が遊嵌状態で貫通する環状に形成され、
前記ヒーターと回動部との間に形成される環状隙間の軸線方向の両端部をシールするシール部材を備え、
充填材は、前記環状隙間に充填されていることを特徴とするICハンドラー。 - 請求項1または請求項2記載のICハンドラーにおいて、
吸着ノズルを撮像する撮像装置を備え、
ヒーターによって加熱されていない状態の吸着ノズルを前記撮像装置が撮像した画像データと、
ヒーターの通電開始後の吸着ノズルを前記撮像装置が撮像した画像データとを比較することにより吸着ノズルの位置ずれ量を検出する位置ずれ量検出手段と、
この位置ずれ量検出手段が検出した吸着ノズルの位置ずれ量分だけヘッドユニットの位置データを補正する補正手段とを備えていることを特徴とするICハンドラー。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005158929A JP4490332B2 (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | Icハンドラー |
CN2006100877004A CN1873424B (zh) | 2005-05-31 | 2006-05-31 | 电子元件自动移载装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005158929A JP4490332B2 (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | Icハンドラー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006337052A JP2006337052A (ja) | 2006-12-14 |
JP4490332B2 true JP4490332B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=37483952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005158929A Expired - Fee Related JP4490332B2 (ja) | 2005-05-31 | 2005-05-31 | Icハンドラー |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4490332B2 (ja) |
CN (1) | CN1873424B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4846675B2 (ja) * | 2007-08-22 | 2011-12-28 | 株式会社アドバンテスト | 線条体保護装置及び電子部品試験装置 |
DE102007047679B4 (de) * | 2007-10-05 | 2011-03-10 | Multitest Elektronische Systeme Gmbh | Plunger zum Bewegen elektronischer Bauelemente, insbesondere IC's, mit Wärmeleitkörper |
JP5140621B2 (ja) * | 2009-03-16 | 2013-02-06 | 株式会社テセック | ハンドラ |
JP5359801B2 (ja) * | 2009-11-13 | 2013-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品検査装置、および電子部品搬送装置 |
JP5942403B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット |
FR2987575B1 (fr) | 2012-03-02 | 2014-04-18 | Staubli Sa Ets | Structure articulee de robot multi-axes et robot comprenant une telle structure |
CN109406921B (zh) * | 2018-11-07 | 2023-08-29 | 东莞市柏尔电子科技有限公司 | 一种圆柱形电容的圆盘输送检测装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01136470U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5164661A (en) * | 1991-05-31 | 1992-11-17 | Ej Systems, Inc. | Thermal control system for a semi-conductor burn-in |
JP3102193B2 (ja) * | 1993-02-26 | 2000-10-23 | 安藤電気株式会社 | Qfp型icのicソケットへの接触・位置決め装置 |
JPH11333775A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-07 | Advantest Corp | 部品吸着装置、部品ハンドリング装置および部品試験装置 |
CN1240939A (zh) * | 1998-06-09 | 2000-01-12 | 株式会社爱德万测试 | 电子元器件试验装置 |
US6362640B1 (en) * | 2000-06-26 | 2002-03-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | Design of IC package test handler with temperature controller for minimized maintenance |
JP4458447B2 (ja) * | 2000-11-10 | 2010-04-28 | 株式会社アドバンテスト | 電子部品試験用保持装置、電子部品試験装置および電子部品試験方法 |
US6861861B2 (en) * | 2002-07-24 | 2005-03-01 | Lg Electronics Inc. | Device for compensating for a test temperature deviation in a semiconductor device handler |
-
2005
- 2005-05-31 JP JP2005158929A patent/JP4490332B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-05-31 CN CN2006100877004A patent/CN1873424B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01136470U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006337052A (ja) | 2006-12-14 |
CN1873424B (zh) | 2010-10-06 |
CN1873424A (zh) | 2006-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4594167B2 (ja) | Icハンドラー | |
JP4490332B2 (ja) | Icハンドラー | |
JP4033705B2 (ja) | プリント配線板位置誤差取得方法,プログラムおよび電子回路部品装着システム | |
KR101752765B1 (ko) | 전자부품 실장장치 | |
JP2014115115A (ja) | 補正装置、プローブ装置、および試験装置 | |
JP2012094770A (ja) | 検査装置および基板の位置決め方法 | |
KR101175770B1 (ko) | 렌즈 검사 시스템 및 이를 이용한 렌즈 검사 방법 | |
JP2006281712A (ja) | スクリーン印刷機 | |
JP4495033B2 (ja) | Icハンドラー | |
JP4824641B2 (ja) | 部品移載装置 | |
JP4594169B2 (ja) | Icハンドラー | |
JP2007096062A (ja) | 電子部品移載装置 | |
JP4832244B2 (ja) | プリント基板上への所定作業方法及び所定作業装置 | |
JPWO2002063322A1 (ja) | 部材の受け渡し装置、部材の受け渡し装置の制御方法、ic検査方法、icハンドラ及びic検査装置 | |
JP2009016673A5 (ja) | ||
JP4768318B2 (ja) | Icハンドラー | |
JP4594168B2 (ja) | Icハンドラー | |
JP4768319B2 (ja) | Icハンドラー | |
JP2001196799A (ja) | 基板支持状態検査方法 | |
KR101766594B1 (ko) | 어댑터 유닛 내장 로더실 | |
JP4537262B2 (ja) | Icハンドラー | |
JP2007115982A (ja) | 電子部品移載装置 | |
JP2007123668A (ja) | 表面実装機 | |
JP2010156575A (ja) | Icハンドラ | |
JP4938599B2 (ja) | 表面実装機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080528 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100312 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100330 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100401 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140409 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |