JP4484400B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、大電流の制御に好適な半導体装置に関し、特に、スイッチング素子の制御電極の電位に現れる発振現象を抑制するための改良に関する。
【0002】
【従来の技術】
図28は、この発明の背景となる従来の半導体装置のベース部分の平面断面図である。この半導体装置150は、複数のパワー半導体素子を備えるパワーモジュールとして形成されている。図28が示すように、半導体装置150は、その底部に基板62を備えている。基板62の主面の上には、互いに孤立した複数の配線パターン81〜85が島状に配設されている。配線パターン81の上には、上アーム70に属する2個のIGBT63および2個のダイオード64が配置されており、配線パターン82の上には、下アーム71に属する2個のIGBT63および2個のダイオード64が配置されている。
【0003】
4個のIGBT63および4個のダイオード64は、いずれもベアチップとして形成されている。それにより、上アーム70に属する2個のIGBT63のコレクタ電極および2個のダイオード64のカソード電極は、配線パターン81を通じて電気的に互いに接続されている。同様に、下アーム71に属する2個のIGBT63のコレクタ電極および2個のダイオード64のカソード電極は、配線パターン82を通じて電気的に互いに接続されている。
【0004】
上アーム70に属する2個のIGBT63のエミッタ電極と配線パターン82とが、多数の導体ワイヤ75によって互いに接続されている。また、上アーム70に属する2個のダイオード64のアノード電極と配線パターン82とが、多数の導体ワイヤ76によって互いに接続されている。同様に、下アーム71に属する2個のIGBT63のエミッタ電極と配線パターン83とが、多数の導体ワイヤ75によって互いに接続されている。また、下アーム71に属する2個のダイオード64のアノード電極と配線パターン83とが、多数の導体ワイヤ76によって互いに接続されている。
【0005】
なお、図28においては、煩雑を避けるために、上アーム70については、導体ワイヤ75の図示を略し、下アーム71については、導体ワイヤ76の図示を略している。
【0006】
配線パターン84と上アーム70に属する2個のIGBT63のゲート電極とは、導体ワイヤ77によって接続されている。同様に、配線パターン85と下アーム71に属する2個のIGBT63のゲート電極とは、導体ワイヤ77によって接続されている。
【0007】
配線パターン81〜85には、高電源電位が供給される外部端子CC、低電源電位が供給される外部端子EE、負荷が接続される外部端子OUT、および駆動回路が接続される外部端子G1,G2,S1,S2が接続されている。なお、図28では、各配線パターンと外部端子との接続部を、ハッチングを付して示している。
【0008】
以上のように、半導体装置150では、直列に接続された上アーム70と下アーム71とが、高電源電位と低電源電位との間に介挿され、外部端子G1(およびG2)へ入力される駆動信号に応答して、上アーム70(および下アーム71)に属する2個のIGBT63がオン・オフする。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
半導体装置150の例が示すように、定格電流が大きい(例えば、100A以上の)パワーモジュールでは、大きな電流を分担するように複数のパワースイッチング素子が並列に接続される。しかしながら、パワーモジュールでは、負荷に不測の短絡が生じたときには、定格電流の約5倍〜約10倍の大きさの短絡電流が流れる。複数のパワースイッチング素子を備えるパワーモジュールでは、短絡電流が流れるときに、各スイッチング素子の制御電極(IGBTではゲート電極)の電位が発振する場合がある。パワーモジュールの定格電流が大きいほど発振が生じ易いという傾向が認められる。
【0010】
また、上アームおよび下アームのそれぞれに、1個のスイッチング素子のみが配設されている場合であっても、スイッチング素子の主電極が、互いに仕切られた複数のボンディングパッド(図28において、IGBT63の中に描かれる複数の帯状部分)を有する場合には、短絡電流が流れたときに同様の発振が生じる場合がある。
【0011】
発振が生じると、パワーモジュールを利用した応用機器の通常動作へ影響が現れる場合も想定され、また、ノイズの発生要因ともなり得る。さらに、スイッチング素子がIGBTであれば、ゲート絶縁膜への影響も想定される。
【0012】
この発明は、従来の装置における上記した問題点を解消するためになされたもので、スイッチング素子の制御電極の電位に現れる発振現象を抑制することのできる半導体装置を得ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
第1の発明の装置は、半導体装置であって、主面を有する基板と、互いに電気的に絶縁されて前記主面の上に配設された第1配線パターン及び第2配線パターンと、前記第1配線パターンの上に配置されることにより、一方主電極どうしが互いに電気的に接続された複数のスイッチング素子と、前記複数のスイッチング素子の他方主電極に一端が接続され、前記第2配線パターンへ他端が接続された複数の第1導体ワイヤと、前記第2配線パターンに接続され、前記複数のスイッチング素子の前記他方主電極と外部とを、前記第2配線パターンを通じて電気的に接続する外部端子と、前記複数のスイッチング素子の前記他方主電極どうしを、前記第2配線パターンを中継することなく電気的に接続する導電体と、を備える。
【0014】
さらに、第1の発明の装置において、前記導電体が、前記第1配線パターン及び前記第2配線パターンから孤立し、前記第1配線パターン及び前記第2配線パターンに対して電気的に絶縁されて前記主面の上に配設された第3配線パターンと、前記複数のスイッチング素子の前記他方主電極に一端が接続され、前記第3配線パターンへ他端が接続された複数の第2導体ワイヤと、を備える。
【0015】
さらに、第1の発明の装置において、前記第2配線パターンが、前記複数のスイッチング素子の配列方向に沿って延在しており、前記第3配線パターンが、前記複数のスイッチング素子を挟んで前記第2配線パターンとは反対側に、前記複数のスイッチング素子の配列方向に沿って延在している。
【0016】
さらに、第1の発明の装置において、前記第3配線パターンが、他の配線パターンを挟むことなく前記複数のスイッチング素子に隣接している。
【0017】
第2の発明の装置では、第1の発明の半導体装置において、前記第3配線パターンが反復する屈曲部を有する。
【0021】
第3の発明の装置は、第1又は第2の発明の半導体装置において、前記主面の上に配設された第4配線パターンと、前記複数のスイッチング素子の制御電極に一端が接続され、前記第4配線パターンへ他端が接続された複数の第4導体ワイヤと、前記第3配線パターンに一端が接続され、前記4配線パターンに他端が接続された電圧クランプ素子と、をさらに備える。
【0027】
第4の発明の装置では、第1ないし第3のいずれかの発明の半導体装置において、前記複数のスイッチング素子の各々が、絶縁ゲート型のスイッチング素子である。
【0043】
【発明の実施の形態】
実施の形態の概略.
図28の半導体装置150を例とする複数のスイッチング素子を備えるパワーモジュールが、短絡電流に起因して発振を引き起こす現象を防止する技術、あるいは発振現象を緩和する技術として、本願発明者は、つぎの3通りのアプローチを想定した。(1)並列接続されたスイッチング素子の間の制御電極(IGBTの例では、ゲート電極)の電位の基準電位、すなわち一方主電極(IGBTの例では、エミッタ電極)の電位を均一化させる。(2)発振が生じたときに、その発振を吸収する素子を設ける。(3)短絡電流を低減する。
【0044】
短絡電流が流れるときには主電流(IGBTの例ではエミッタ電流)Iの増加率(=dI/dt)が、通常のスイッチング動作の下での主電流Iの増加率よりも高くなる。この主電流の変化により、パワーモジュールの内部に寄生的に存在する内部インダクタンスLにより誘導起電力V(=−L×dI/dt)が発生し、この誘導起電力Vが制御電極の電位に重畳される。この誘導起電力Vは、制御電極の電位を持ち上げる方向、すなわち主電流を増大させる方向に印加される。制御電極の電位の上昇率が、ある限度を超えると、制御電極の電位に振動が発生する。
【0045】
誘導起電力Vは、並列接続された複数のスイッチング素子の各々に印加されるが、各スイッチング素子は過渡状態においては独立に動作する。このため、複数のスイッチング素子の間にわずかに存在する特性上の差異のために、複数のスイッチング素子の間で、振動のやりとりが引き起こされ、それが発振を拡大する方向に作用する。したがって、発振の拡大を抑えるためには、複数のスイッチング素子の間で、基準電位が均一となるようにすることが有効となる。
【0046】
複数のスイッチング素子の間で、基準電位を均一化するためには、複数のスイッチング素子の半導体チップに形成されている一方主電極どうしを、できるだけ近接した位置で、かつ、主電流の影響を受けない導電体で接続することが有効な手段となる。このような手段が施されたパワーモジュールでは、短絡電流が流れたときの主電流の増加率(=dI/dt)により各スイッチング素子の間に作用する誘導起動力Vが自動的にバランシングされ、その結果、発振現象を抑制ないし防止することが可能となる。これが第1のアプローチである。
【0047】
第2のアプローチでは、並列接続されている複数のスイッチング素子の制御電極と一方主電極との間に、電圧クランプ素子が介挿される。それによって、発振が生じても、制御電極の電位を、ある限度以下に抑えることができる。すなわち、発振現象の強度を緩和することができる。スイッチング素子がIGBT等の絶縁ゲート型のスイッチング素子である場合には、発振現象の強度が緩和されることによって、ゲート絶縁膜への影響を防止することが可能となる。
【0048】
発振現象を抑制するには、制御電極に印加される誘導起動力Vを低減することが有効である。しかしながら、パワーモジュール内に寄生的に存在する内部インダクタンスLは、図28の半導体装置150を含めて現在の技術においては、すでに限界レベルまで低減されている。したがって、誘導起動力Vを低減するには、電流の増加率(=dI/dt)を抑えることが必要となる。電流の増加率(=dI/dt)は、複数のスイッチング素子の制御電極の電位を低く抑えることで、低減することが可能である。
【0049】
負荷が短絡したときには、主電流が流れる配線パターンには、大きな短絡電流が流れる。このとき、配線パターンには、その部分に固有のインダクタンスによる誘導起動力が発生する。この誘導起電力によって、一方主電極の電位が持ち上げられ、その結果、一方主電極を基準とした制御電極の電位が引き下げられ、各スイッチング素子の主電流の増加が抑制される。これが、第3のアプローチである。
【0050】
また、すでに述べたように、上アームおよび下アームのそれぞれに、1個のスイッチング素子のみが配設されている場合であっても、スイッチング素子の主電極が、互いに仕切られた複数のボンディングパッドを有する場合には、短絡電流が流れたときに発振が生じる場合がある。この発振を抑制する上でも、複数のボンディングパッドを複数のスイッチング素子の主電極と見立てて、上記した第1ないし第3のアプローチを想定することができる。
【0051】
以下において、これら3通りのアプローチにもとづく好ましい実施の形態を詳細に説明する。実施の形態1〜4,8〜15は、第1のアプローチにもとづいており、実施の形態5は第1および第2のアプローチにもとづき、さらに、実施の形態6,7は第1および第3のアプローチにもとづいている。また、実施の形態16,17は第3のアプローチにもとづいている。
【0052】
実施の形態1.
図1は、実施の形態1による半導体装置の回路図である。図2は、図1の半導体装置101の外観斜視図であり、図3は、図2のX−X切断線に沿った半導体装置101の断面図である。
【0053】
図1が示すように、半導体装置101は、2個のIGBT3および2個のダイオード4を有する上アーム10と、同様に2個のIGBT3および2個のダイオード4を有する下アーム11とを備えている。IGBT3として、パワーIGBTが用いられ、ダイオード4としてパワーダイオードが用いられている。すなわち、半導体装置101は、複数のパワー半導体素子を備えるパワーモジュールとして形成されている。
【0054】
上アーム10および下アームのいずれにおいても、2個のIGBT3の間では、エミッタ電極どうし、コレクタ電極どうし、およびゲート電極どうしが接続されている。すなわち、2個のIGBT3はあたかも1個のIGBTとして機能するように、互いに並列に接続されている。2個のダイオード4は、フリーホイールダイオードとして機能するように、2個のIGBT3とは、順電流が還流する向きに並列接続されている。すなわち、ダイオード4のアノード電極はIGBT3のエミッタ電極に接続され、カソード電極はIGBT3のコレクタ電極に接続されている。
【0055】
上アーム10と下アーム11とは、互いに直列に接続されている。上アーム10の2個のIGBT3のコレクタ電極は外部端子CCに接続され、ゲート電極は外部端子G1に接続され、エミッタ電極は外部端子OUTおよび外部端子S1に接続されている。下アーム11の2個のIGBT3のコレクタ電極は外部端子OUTに接続され、ゲート電極は外部端子G2に接続され、エミッタ電極は外部端子EEおよび外部端子S2に接続されている。
【0056】
図2が示すように、これらの外部端子は、ケース1の上面から外部へ突出しており、それによって図示しない外部装置への接続が可能となっている。図1へ戻って、外部端子CCには高電源電位(図1の例では、正の電源電位)が供給され、外部端子EEには低電源電位(図1の例では、接地電位)が供給される。外部端子OUTには負荷93が接続される。
【0057】
外部端子G1および外部端子S1には、駆動回路90が接続される。駆動回路90は、外部端子S1の電位を基準とした駆動信号を外部端子G1へ供給する。上アーム10のIGBT3は、外部端子G1を通じて入力される駆動信号に応答してオン・オフする。同様に、外部端子G2および外部端子S2には、駆動回路91が接続される。駆動回路91は、外部端子S2の電位を基準とした駆動信号を外部端子G2へ供給する。下アーム11のIGBT3は、外部端子G2を通じて入力される駆動信号に応答してオン・オフする。
【0058】
図3が示すように、半導体装置101は、その底部に基板2を備えている。基板2の主面の上には、互いに孤立した複数の配線パターン21〜27が島状に配設されている。複数の配線パターン21〜27は互いに電気的に絶縁されている。そのためには、例えば基板2の主面が絶縁体であればよい。あるいは、各配線パターン21〜27と基板2の間に絶縁体が介挿されていてもよい。配線パターン21の上には、上アーム10に属する2個のIGBT3および2個のダイオード4が配置されており、配線パターン22の上には、下アーム11に属する2個のIGBT3および2個のダイオード4が配置されている。
【0059】
4個のIGBT3および4個のダイオード4は、いずれもベアチップとして形成されている。それにより、上アーム10に属する2個のIGBT3のコレクタ電極および2個のダイオード4のカソード電極は、配線パターン21を通じて電気的に互いに接続されている。同様に、下アーム11に属する2個のIGBT3のコレクタ電極および2個のダイオード4のカソード電極は、配線パターン22を通じて電気的に互いに接続されている。
【0060】
互いに並列接続される2個のダイオード4と2個のIGBT3とは、一対一の関係をもって互いに隣接するように配置されている。すなわち、1個のIGBT3に1個のダイオード4が隣接するように配置がなされている。それによって、ダイオード4とIGBT3との間の抵抗およびインダクタンスが低減され、フリーホイールダイオードとしてのダイオード4のIGBT3に対する保護機能が高められる。
【0061】
配線パターン21には外部端子CCが接続されている。すなわち、外部端子CCは配線パターン21を通じて、上アーム10に属する2個のIGBT3のコレクタ電極および2個のダイオード4のカソード電極に電気的に接続されている。同様に、配線パターン22には外部端子OUTが接続されている。すなわち、外部端子OUTは配線パターン22を通じて、下アーム10に属する2個のIGBT3のコレクタ電極および2個のダイオード4のカソード電極に電気的に接続されている。なお、図3(および、以下の各図)では、各配線パターンと外部端子との接続部を、ハッチングを付して示している。
【0062】
上アーム10に属する2個のIGBT3のエミッタ電極と配線パターン22とは、多数の導体ワイヤ15によって互いに接続されている。また、上アーム10に属する2個のダイオード4のアノード電極と配線パターン22とが、多数の導体ワイヤ16によって互いに接続されている。同様に、下アーム11に属する2個のIGBT3のエミッタ電極と配線パターン23とが、多数の導体ワイヤ15によって互いに接続されている。また、下アーム11に属する2個のダイオード4のアノード電極と配線パターン23とが、多数の導体ワイヤ16によって互いに接続されている。導体ワイヤ15,16、および以下に述べる各導体ワイヤとして、例えばアルミニウムワイヤが用いられる。
【0063】
なお、図3(および、以下の各図)においては、煩雑を避けるために、上アーム10については導体ワイヤ15の図示を略し、下アーム11については導体ワイヤ16の図示を略する。
【0064】
さらに、配線パターン22は、上アーム10に属する2個のIGBT3の配列方向に沿って延在し、配線パターン23は、下アーム11に属する2個のIGBT3の配列方向に沿って延在している。そして、上アーム10および下アーム11の各々において、並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極と配線パターン22(または23)とを接続する導体ワイヤ15は、最短となるように2個のIGBT3の配列方向に略直交する方向に配設されている。
【0065】
同様に、並列接続される2個のダイオード4のアノード電極と配線パターン22(または23)とを接続する導体ワイヤ16は、最短となるように2個のIGBT3の配列方向に略直交する方向に配設されている。その結果、並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極と2個のダイオード4のアノード電極とが、低い抵抗および低いインダクタンスを通じて、配線パターン22(または23)へ接続される。
【0066】
配線パターン22には、外部端子OUTに加えて、外部端子S1が接続されており、配線パターン23には、外部端子EEおよび外部端子S2が接続されている。それにより、上アーム10に属する2個のIGBT3のエミッタ電極および2個のダイオード4のアノード電極は、導体ワイヤ15,16および配線パターン22を通じて、外部端子OUTと外部端子S1との双方に電気的に接続されている。同様に、下アーム11に属する2個のIGBT3のエミッタ電極および2個のダイオード4のアノード電極は、導体ワイヤ15,16および配線パターン23を通じて、外部端子EEと外部端子S2との双方に電気的に接続されている。
【0067】
配線パターン24には外部端子G1が接続されており、配線パターン24と上アーム10に属する2個のIGBT3のゲート電極とは、導体ワイヤ17によって接続されている。すなわち、外部端子G1とこれらのIGBT3のゲート電極とは、導体ワイヤ17および配線パターン24を通じて互いに電気的に接続されている。同様に、配線パターン25には外部端子G2が接続されており、配線パターン25と下アーム11に属する2個のIGBT3のゲート電極とは、導体ワイヤ17によって接続されている。すなわち、外部端子G2とこれらのIGBT3のゲート電極とは、導体ワイヤ17および配線パターン25を通じて互いに電気的に接続されている。
【0068】
配線パターン26と上アーム10に属する2個のIGBT3のエミッタ電極とは、導体ワイヤW1,W2によって接続されている。これによって、上アーム10に属する2個のIGBT3のエミッタ電極どうしは、配線パターン22を中継しない経路であり、外部端子OUTを通じて流れるエミッタ電流が流れない経路である、導体ワイヤW1,W2および配線パターン26によって、互いに電気的に接続される。その結果、上アーム10に属する2個のIGBT3のエミッタ電位が均一化されるので、負荷93が短絡したときにおいても、2個のIGBT3のゲート電極の電位における発振現象が抑制される。
【0069】
同様に、配線パターン27と下アーム11に属する2個のIGBT3のエミッタ電極とは、導体ワイヤW3,W4によって接続されている。これによって、下アーム11に属する2個のIGBT3のエミッタ電極どうしは、配線パターン23を中継しない経路であり、外部端子EEを通じて流れるエミッタ電流が流れない経路である、導体ワイヤW3,W4および配線パターン27によって、互いに電気的に接続される。その結果、下アーム11に属する2個のIGBT3のエミッタ電位が均一化されるので、負荷93が短絡したときにおいても、2個のIGBT3のゲート電極の電位における発振現象が抑制される。
【0070】
また、エミッタ電位を均一化させるための2個のIGBT3のエミッタ電極どうしの接続が、各エミッタ電極と配線パターン26(または27)とを導体ワイヤW1,W2(またはW3,W4)で接続することによって、簡単に実現する。すなわち、製造工程が容易であるという利点が得られる。しかも、導体ワイヤW1,W2(またはW3,W4)の一端は、配線パターン26(または27)に接続されるので、導体ワイヤW1,W2(またはW3,W4)を配設する工程において、ワイヤカットをIGBT3の上で行う必要がない。このため、IGBT3の損傷を防止するための特別の手だてを要することなく、容易に導体ワイヤW1,W2(またはW3,W4)を配設することが可能である。
【0071】
さらに、配線パターン22が、上アーム10に属する2個のIGBT3の配列方向に沿って延在し、配線パターン26は、これらのIGBT3を挟んで配線パターン22とは反対側に、同じくIGBT3の配列方向に沿って延在している。このため、導体ワイヤ15と干渉することなく、導体ワイヤW1,W2を容易に配設することが可能である。さらに、導体ワイヤ15と、導体ワイヤW1,W2との間の誘導結合を低減させることができるので、発振を抑制する効果を高めることができる。
【0072】
同様に、配線パターン23が、下アーム11に属する2個のIGBT3の配列方向に沿って延在し、配線パターン27は、これらのIGBT3を挟んで配線パターン23とは反対側に、同じくIGBT3の配列方向に沿って延在している。したがって、下アーム11についても、上アームに関する上記と同様の効果が得られる。
【0073】
さらに、上アーム10および下アーム11の各々において、2個のダイオード4が2個のIGBT3と配線パターン22(または23)との間に配置されているので、2個のダイオード4のアノード電極と配線パターン22(または23)とを接続する導体ワイヤ16とも干渉することなく、導体ワイヤW1,W2(またはW3,W4)を容易に配設することが可能である。
【0074】
また、配線パターン26が、他の配線パターンを挟むことなく、上アーム10に属する2個のIGBT3に隣接している。このため、導体ワイヤW1,W2を短く設定することが可能である。それにより、上アーム10に属する2個のIGBT3のエミッタ電極どうしを電気的に接続する経路のインダクタンスが低減されるので、エミッタ電極の電位を均一化する効果をさらに高めることができる。同様に、配線パターン27が、他の配線パターンを挟むことなく、下アーム11に属する2個のIGBT3に隣接している。したがって、下アーム11についても、上アームに関する上記と同様の効果が得られる。
【0075】
なお、図1〜図3には、並列接続されるIGBT3およびダイオード4がそれぞれ2個である例を示したが、3個以上のIGBT3およびダイオード4が並列接続されても良い。
【0076】
実施の形態2.
図4は、実施の形態2による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置102の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図4は図2の半導体装置101を半導体装置102としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。なお、以下の各図において、図1〜図3に示した半導体装置101と同一部分または相当部分(同一の機能をもつ部分)については、同一符号を付してその詳細な説明を略する。
【0077】
半導体装置102は、配線パターン26,27の各々が、反復する屈曲部を有する点において、図3の半導体装置101とは特徴的に異なっている。互いに並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極どうしを、配線パターン22(または23)を中継することなく接続する経路のインダクタンスには、発振を抑制する上で最適値が存在することが、実験により確認されている。半導体装置102では、配線パターン26,27の各々が、反復する屈曲部を有するので、導体ワイヤW1〜W4の接続位置を変更することによって、並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極どうしを電気的に接続する経路のインダクタンスを、自在に調節することができる。それにより、半導体装置102の製造工程の最終段階で、配線パターン26,27の各々のインダクタンスを、最適な値へと微調整することが可能となる。
【0078】
なお、図4には、並列接続されるIGBT3およびダイオード4がそれぞれ2個である例を示したが、3個以上のIGBT3およびダイオード4が並列接続されても良い。
【0079】
実施の形態3.
図5は、実施の形態3による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置103の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図5は図2の半導体装置101を半導体装置103としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0080】
半導体装置103は、配線パターン26,27および導体ワイヤW1〜W4が設けられず、代わりに、並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極どうしが、導体ワイヤW5(またはW6)によって直接に接続される点において、図3の半導体装置101とは特徴的に異なっている。配線パターン26,27を必要としないので、製造工程が容易化されるとともに、基板2の面積を縮小化し、半導体装置103を小型化することができる。
【0081】
また、図5が示すように、上アーム10および下アーム11の各々において、導体ワイヤW5(またはW6)は、並列接続される2個のIGBT3の配列方向に沿って配設されている。その結果、導体ワイヤW5(またはW6)は、並列接続される2個のIGBT3と配線パターン22(または23)とを接続する導体ワイヤ15とは、おおよそ直交する。それにより、導体ワイヤ15と導体ワイヤW5(またはW6)の間の誘導結合が低く抑えられ、発振を抑制する効果がさらに高められる。
【0082】
さらに、上アーム10および下アーム11の各々において、導体ワイヤW5(またはW6)は、導体ワイヤ15の一端よりも配線パターン22(または23)から遠い部分において、2個のIGBT3のエミッタ電極に接続されている。このため、導体ワイヤ15と導体ワイヤW5(またはW6)との間の誘導結合がさらに低く抑えられ、それにより発振を抑制する効果がさらに高められる。また、導体ワイヤ15と導体ワイヤW5(またはW6)とを、互いに干渉することなく、容易に配設することができる。
【0083】
なお、図5には、並列接続されるIGBT3およびダイオード4がそれぞれ2個である例を示したが、3個以上のIGBT3およびダイオード4が並列接続されても良い。このとき、並列接続される複数のIGBT3のうち、隣接する2個の間でエミッタ電極どうしが導体ワイヤで個別に接続されてもよく、導体ワイヤの中間部を含む3箇所以上をエミッタ電極に接続することにより、3個以上のIGBT3のエミッタ電極が単一の導体ワイヤで接続されてもよい。
【0084】
実施の形態4.
図6は、実施の形態4による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置104の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図6は図2の半導体装置101を半導体装置104としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0085】
半導体装置104は、配線パターン26,27および導体ワイヤW1〜W4が設けられず、代わりに、並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極が、導体ワイヤW7,W8(またはW9,W10)によって、2個のダイオード4の一方のアノード電極、および配線パターン22(または23)へ接続される点において、図3の半導体装置101とは特徴的に異なっている。すなわち、導体ワイヤW7,W8(またはW9,W10)の一端は、並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極にそれぞれ接続され、中間部は2個のダイオード4の一方のアノード電極に接続され、他端は配線パターン22(または23)に接続されている。
【0086】
したがって、並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極どうしが、エミッタ電流が流れる配線パターン22(または23)を経由することなく、導体ワイヤW7(またはW9)、ダイオード4のアノード電極、および導体ワイヤW8(またはW10)を通じて、互いに電気的に接続される。その結果、半導体装置101(図3)と同様に、並列接続される2個のIGBT3のエミッタ電極の電位が均一化されるので、発振現象を抑制する効果が得られる。
【0087】
さらに、導体ワイヤW7,W8(またはW9,W10)の他端は第2配線パターンに接続されるので、導体ワイヤW7,W8(またはW9,W10)を配設する工程で、ワイヤカットをIGBT3およびダイオード4のいずれの上で行う必要もない。したがって、製造工程の中で、IGBT3およびダイオード4の損傷を防止するための手だてを必要としない。すなわち、製造工程を簡素化することができるという利点が得られる。
【0088】
なお、図6には、並列接続されるIGBT3およびダイオード4がそれぞれ2個である例を示したが、3個以上のIGBT3およびダイオード4が並列接続されても良い。このとき、すべてのIGBT3のエミッタ電極どうしが、配線パターン22(または23)を経由することなく、単一ないし複数のダイオード4のアノード電極および複数の導体ワイヤを通じて電気的に接続されるように、複数の導体ワイヤが配設される。この場合においても、各導体ワイヤの一端がIGBT3のエミッタ電極に接続され、中間部がダイオード4のアノード電極に接続され、他端が配線パターン22(または23)に接続される。複数のIGBT3のすべてに対して、少なくとも1本の導体ワイヤの一端が接続されるが、複数のダイオード4にはその一部にのみ導体ワイヤの中間部が接続される形態を採ることも可能である。
【0089】
実施の形態5.
図7は、実施の形態5による半導体装置の平面断面図である。図8は、この半導体装置105の一部を示す回路図である。半導体装置105の外観斜視図は、実施の形態1の図2と同一であり、図7は図2の半導体装置101を半導体装置105としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0090】
半導体装置105は、配線パターン24(または25)と配線パターン26(または27)との間に、順電流の向きが逆となるように互いに直列に接続された2個のツェナーダイオード9が介挿されている点において、図3の半導体装置101とは特徴的に異なっている。2個のツェナーダイオード9は、基板2の上に配設された配線パターン31を介して互いに接続されている。直列接続された2個のツェナーダイオード9は、電圧クランプ素子30を形成する。
【0091】
電圧クランプ素子30は、並列接続される2個のIGBT3のゲート電極とエミッタ電極の間の電位差が一定限度を超えて大きくなることを防止する。したがって、万一に発振が生じても、その振幅が一定限度を超えないように抑制される。
【0092】
なお、図7には、並列接続されるIGBT3およびダイオード4がそれぞれ2個である例を示したが、3個以上のIGBT3およびダイオード4が並列接続されても良い。また、図7では、図3の半導体装置101にクランプ素子30が設けられた例を示したが、図4の半導体装置102にクランプ素子30を設けることも可能である。
【0093】
また、図7において、配線パターン26(または27)および導体ワイヤW1,W2(またはW3,W4)を設けることなく、並列接続される複数のIGBT3のエミッタ電極とゲート電極との間に、クランプ素子30を電気的に接続してもよい。例えば、配線パターン22(または23)と配線パターン24(または25)の間に、クランプ素子30を接続しても良い。この形態では、発振現象の発生を抑制することはできないが、発生した発振の振幅を一定限度以下に抑えることは可能である。
【0094】
実施の形態6.
図9は、実施の形態6による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置106の外観斜視図は、実施の形態1の図2と同一であり、図9は図2の半導体装置101を半導体装置106としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0095】
半導体装置106は、並列接続される2個のIGBT3の配列方向に沿って延在する配線パターン22(または23)に、スリット40(または41)が形成されている点において、図7の半導体装置105とは特徴的に異なっている。スリット40(または41)は、上記配列方向の一端側に連結部を残し他端側に連結部を残さないように上記配列方向に沿って延びている。すなわち、スリット40(または41)は、一端側に連結部を残すように、上記他端側から上記一端側へ向かって延びている。
【0096】
図10に配線パターン23の例を模式的に示すように、導体ワイヤ15(および16)は、配線パターン22(または23)の中で、スリット40(または41)よりも2個のIGBT3に近い第1部分23aに接続されている。外部端子OUT(またはEE)は、配線パターン22(または23)の中の上記一端側の連結部に接続されている。さらに、外部端子S1(またはS2)は、配線パターン22(または23)の中で、スリット40(または41)よりも2個のIGBT3から遠い第2部分23bの上記他端側に接続されている。したがって、並列接続される2個のIGBT3、外部端子OUT(またはEE)、および外部端子S1(またはS2)の間の関係は、図11の回路図で表される。
【0097】
エミッタ電流は第1部分23aを通過して外部端子OUT(またはEE)へ流れるので、負荷93の短絡等によりエミッタ電流が急激に増加すると、第1部分23aのインダクタンスL1に起因して、IGBT3のエミッタ電極と外部端子OUT(またはEE)との間には逆起電力が発生する。すなわち、外部端子OUT(またはEE)の電位を基準としたIGBT3のエミッタ電極の電位が上昇する。しかしながら、外部端子S1(またはS2)の電位は、外部端子OUT(またはEE)の電位と同等の高さを保持するので、IGBT3のゲート電極とエミッタ電極との間に印加されるゲート電圧は、エミッタ電極の電位が上昇した分だけ引き下げられる。その結果、エミッタ電流の増加が抑制され、発振現象の抑制効果がさらに高められる。
【0098】
なお、図9には、並列接続されるIGBT3およびダイオード4がそれぞれ2個である例を示したが、3個以上のIGBT3およびダイオード4が並列接続されても良い。また、図9には、図7の半導体装置105にスリット40,41が形成された例を示したが、半導体装置101〜104に対しても、スリット40,41を設けることが可能であり、同様に発振現象の抑制効果を高めることができる。
【0099】
また、配線パターン26(または27)および導体ワイヤW1,W2(またはW3,W4)を設けることなく、また、導体ワイヤW5,W6を設けることもなく、配線パターン22(または23)にスリット40(または41)を設けてもよい。この形態においても、発振現象の発生を抑制する効果は、相応に得られる。
【0100】
実施の形態7.
図12は、実施の形態7による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置107の外観斜視図は、実施の形態1の図2と同一であり、図12は図2の半導体装置101を半導体装置107としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0101】
半導体装置107は、配線パターン22(または23)に形成されたスリット40(または41)を挟んで対向する第1部分23aおよび第2部分23bとが、導体ワイヤ50(または51)で接続されている点において、図9の半導体装置106とは特徴的に異なっている。図13に配線パターン23の例を模式的に示すように、スリット41の開口端から距離aの位置に導体ワイヤ51が配設されることは、外部端子EEの電位と外部端子S2の電位との間の関係において、スリット41の深さbが、図14に示すように距離aと同一の深さaへと変更されたことと略同等である。同様のことは、配線パターン22に設置される導体ワイヤ50についても云える。したがって、導体ワイヤ50(または51)が配設されるときには、並列接続される2個のIGBT3、外部端子OUT(またはEE)、および外部端子S1(またはS2)の間の関係は、図15の回路図で表される。
【0102】
すなわち、導体ワイヤ50(または51)を配設する位置を変えることによって、外部端子S1(またはS2)の電位を、IGBT3のエミッタ電極の電位から外部端子OUT(またはEE)の電位の間で、自在に調節することができるという利点が得られる。それにより、量産される半導体装置107の個体間で、特性が均一となるように、製造工程の最終段階で微調整することが可能となる。
【0103】
各実施の形態におけるIGBTの構造.
図16は、上記した実施の形態1〜7による半導体装置101〜107、および以下に述べる実施の形態8〜17による半導体装置108〜117の各々が備えるIGBT3の平面図である。IGBT3は、その上面に、ゲート配線32、ゲートパッド33、および複数のエミッタパッド34を備えている。ゲート配線32はゲートパッド33に接続されている。ゲートパッド33には、例えば図3に示した導体ワイヤ17が接続される。すなわちゲートパッド33は、ゲート電極のボンディングパッドである。複数のエミッタパッド34は、IGBT3の上面の大半部を覆うエミッタ電極のうち、導体ワイヤを接続可能な部分である。すなわちエミッタパッド34は、エミッタ電極のボンディングパッドである。
【0104】
IGBT3の内部(図示を略する)には、多数(例えば約10万個)のユニットセルと称される基本単位(それ自体がIGBTとして機能する最小単位)が、互いに並列接続されている。各ユニットセルのゲート電極は、ゲート配線32を通じてゲートパッド33へ接続されており、IGBT3の上面の大半部を覆うエミッタ電極は、すべてのユニットセルに共通に接続されている。IGBT3では、これら多数のユニットセルをできるだけ均等に動作させるために、導体ワイヤ17(図3)を通じてゲート電圧を受信するゲートパッド33から分岐した形態で、ゲート配線32が配設されている。ゲート配線32は、その形状からゲートフィンガーとも称される。このため、IGBT3の上面の大半部を覆うエミッタ電極は、ゲート配線32によって複数の領域、すなわち複数のエミッタパッド34に仕切られている。
【0105】
複数のエミッタパッド34は、エミッタ電極のうち、ゲート配線32の隙間に相当する架橋部分35を通じて、互いに一体的に連結されている。架橋部分35は、導体ワイヤを接続できないほどに狭い部分である点において、導体ワイヤを接続可能なエミッタパッド34からは区別される。IGBT3の通常動作においては、IGBT3のエミッタ電流が各エミッタパッド34を個別に流れ、架橋部分35をほとんど流れないように、各エミッタパッド34には導体ワイヤが均等に接続される。その結果、架橋部分35が十分に狭いにもかかわらず、通常動作においては複数のエミッタパッド34の間で、電位が均等に保たれる。
【0106】
しかしながら、短絡電流が流れるときには、架橋部分35を流れる電流の大きさが無視できず、複数のエミッタパッド34の間で、電位の不均一が発生する場合がある。その結果、上アーム10および下アーム11(図1)のそれぞれに、1個のIGBT3のみが設けられる半導体装置においても、IGBT3に発振現象が現れる場合がある。以下の実施の形態8〜17では、複数のエミッタパッド34の間での電位の不均一に由来する発振現象を抑制することのできる半導体装置について説明する。
【0107】
実施の形態8.
図17は、実施の形態8による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置108の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図17は図2の半導体装置101を半導体装置108としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0108】
配線パターン26,27が、対応するIGBT3ごとに分割されており、各IGBT3の複数のエミッタパッド34のすべてと、対応する配線パターン26または27とが、各々が複数本である導体ワイヤW1〜W4のいずれかによって接続されている点において、半導体装置108は、実施の形態1による半導体装置101とは特徴的に異なっている。例えば、上アーム10に属する2個のIGBT3のうちの1個(図17の左端に位置するIGBT3)に設けられた6個のエミッタパッド34のすべてに、6本の導体ワイヤW1の一端が個別に接続され、それらの導体ワイヤW1の他端は配線パターン26に接続されている。
【0109】
各IGBT3のエミッタ電極と配線パターン22または23とを接続する複数の導体ワイヤ15は、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のすべてに接続されている。このため、すでに述べたように半導体装置108の通常動作においては、図16の架橋部分35には電流がほとんど流れない。図17の例では、各IGBT3の複数のエミッタパッド34の各々には、2本の導体ワイヤ15の一端が接続され、それらの他端は配線パターン22または23に接続されている。各IGBT3の複数のエミッタパッド34の各々が、2本の導体ワイヤ15を通じて配線パターン22または23に接続されている点は、実施の形態1〜7による半導体装置101〜107を例示した各図においても同様であり、実施の形態16および17を除く、以下の実施の形態9〜15による半導体装置109〜115を例示する各図においても同様である。
【0110】
半導体装置108では上記のように、各IGBT3の複数のエミッタパッド34のすべてが、配線パターン22,23を中継しない導電体、すなわちエミッタ電流が流れない導電体である、導体ワイヤW1〜W4のいずれかと配線パターン26,27のいずれかとを通じて、互いに電気的に接続されている。このため、複数のエミッタパッド34の間で電位が均一化される。その結果、半導体装置108の負荷が短絡したとき、すなわち各IGBT3に過大な短絡電流が流れるときにおいても、各IGBT3のゲート電極の電位における発振現象が抑制される。
【0111】
図17の例では、各IGBT3の各エミッタパッド34には、導体ワイヤW1〜W4のいずれかが、1本ずつ接続されているが、一般には1本以上ずつが接続されておればよい。ただし、1本ずつ接続された図17の形態では、導体ワイヤW1〜W4の本数を最小にし、かつ導体ワイヤW1〜W4の接続を容易にすると同時に、各IGBT3の発振を効果的に抑制できるという利点が得られる。
【0112】
半導体装置108ではさらに、各IGBT3のエミッタパッド34が一方向に沿って配列しており、対応する配線パターン22または23と、配線パターン26または27とは、対応するIGBT3を挟んで互いに配設され、しかもエミッタパッド34の配列方向に沿って延在している。このため、導体ワイヤ15と導体ワイヤW1〜W4とを、互いに干渉することなく、容易に配設することができる。さらに、導体ワイヤ15と導体ワイヤW1〜W4との間の誘導結合を低減させ、それにより発振を抑制する効果を高めることができる。
【0113】
半導体装置108では、また、配線パターン26および27の各々が、他の配線パターンを挟むことなく、対応するIGBT3に隣接している。このため、導体ワイヤW1〜W4を短く設定することが可能である。それにより、エミッタパッド34どうしを電気的に接続する導電体のインダクタンスが低減されるので、エミッタパッド34の間で、さらに効果的に電位を均一化することができる。また、配線パターン26および27の各々が、対応するIGBT3ごとに、分割されているので、IGBT3のレイアウトに関する制約が少ないという利点がある。
【0114】
なお、半導体装置108として、上アーム10および下アーム11の各々が、互いに並列に接続された2個のIGBT3を備えた例を示したが、互いに並列に接続された3個以上のIGBT3を備えていてもよく、また単一のIGBT3のみを備えてもよい。いずれの場合においても、各IGBT3の複数のエミッタパッド34のすべてが、配線パターン22,23を中継しない導電体を通じて、互いに電気的に接続されるので、IGBT3の発振を抑制することができる。
【0115】
実施の形態9.
図18は、実施の形態9による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置109の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図18は図2の半導体装置101を半導体装置109としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0116】
各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34の一部であって、2個以上(図18の例では4個)のエミッタパッド34にのみ、導体ワイヤW1〜W4が接続されている点において、半導体装置109は、実施の形態8による半導体装置108とは特徴的に異なっている。例えば、上アーム10に属する2個のIGBT3のうちの1個(図17の左端に位置するIGBT3)に設けられた6個のエミッタパッド34のうち、4個のエミッタパッド34にのみ、4本の導体ワイヤW1の一端が個別に接続され、それらの導体ワイヤW1の他端は配線パターン26に接続されている。
【0117】
半導体装置109では、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34の一部(ただし2個以上)のエミッタパッド34どうしが、配線パターン22,23を中継しない導電体(すなわち、導体ワイヤW1〜W4のいずれか、および配線パターン26,27のいずれか)によって互いに電気的に接続されるので、IGBT3の短絡時の発振を抑制する効果が、相応に得られる。また、導体ワイヤW1〜W4どうしの間隔を広く確保することができるので、これらの導体ワイヤW1〜W4の接続が容易であるという利点が得られる。
【0118】
各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のうち、導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続されるエミッタパッド34が占める比率は、1/2以上(図18のIGBT3の例では、3個以上)であることが望ましい。これは、上記比率が1/2以上であれば、発振を抑制する効果が、相当顕著に現れることによる。
【0119】
実施の形態10.
図19は、実施の形態10による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置110の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図19は図2の半導体装置101を半導体装置110としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0120】
上アーム10および下アーム11の各々において、並列接続された2個以上(図19の例では2個)のIGBT3に対応する配線パターン26または27が、対応するIGBT3ごとに分割されず、一体的に連結している点において、半導体装置110は、実施の形態8による半導体装置108とは特徴的に異なっている。このため、各IGBT3の中で、エミッタパッド34どうしが、導体ワイヤW1〜W4のいずれか、および配線パターン26,27のいずれかを通じて接続されるだけでなく、並列接続されるIGBT3の間でも、エミッタパッド34どうしが、それらの導電体を通じて互いに接続される。その結果、各IGBT3の発振を抑制する効果が、実施の形態8の半導体装置108に比べて、さらに高められる。
【0121】
また、半導体装置110では、互いに並列接続されるIGBT3のエミッタパッド34が一方向に沿って配列するように、各IGBT3が配置されており、配線パターン26および27は、対応するエミッタパッド34の配列方向に沿って延在している。このため、導体ワイヤW1〜W4を、容易に配設することができる。
【0122】
実施の形態11.
図20は、実施の形態11による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置111の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図20は図2の半導体装置101を半導体装置111としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0123】
上アーム10および下アーム11の各々において、並列接続された2個以上(図19の例では2個)のIGBT3に対応する配線パターン26または27が、対応するIGBT3ごとに分割されず、一体的に連結している点において、半導体装置111は、実施の形態9による半導体装置109とは特徴的に異なっている。このため、各IGBT3の中で、一部のエミッタパッド34どうしが、導体ワイヤW1〜W4のいずれか、および配線パターン26,27のいずれかを通じて接続されるだけでなく、並列接続されるIGBT3の間でも、一部のエミッタパッド34どうしが、それらの導電体を通じて互いに接続される。このため、各IGBT3の発振を抑制する効果が、実施の形態9の半導体装置109に比べて、さらに高められる。また、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のうち、導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続されるエミッタパッド34が占める比率が、1/2以上であることがより望ましい点については、実施の形態9の半導体装置109と同様である。
【0124】
半導体装置111では、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のうちで、導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続される2個の以上のエミッタパッド34は、比較的均等に割り当てられている。図20の例では、導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続される4個のエミッタパッド34は、両端部と中央部とに割り当てられている。半導体装置109(図18)についても同様である。それによって、各IGBT3に属する複数のエミッタパッド34の間で、電位の均一化がより効果的に達成されるので、発振がより効果的に抑制される。
【0125】
これに対して、図21が示す半導体装置111aのように、互いに並列接続され、互いに隣接し合うIGBT3の間で、互いに最近接するエミッタパッド34に、導体ワイヤW1〜W4のいずれかを接続してもよい。図21の例では、各IGBT3ごとに、3個のエミッタパッド34に導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続されているが、一般には1個のエミッタパッド34に導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続されていても良い。3個以上のIGBT3が互いに並列接続される場合には、両端に位置するIGBT3を除くIGBT3については、その両端に位置するエミッタパッド34を含む少なくとも2個のエミッタパッド34に、導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続される。
【0126】
半導体装置111aにおいても、各IGBT3の中で、一部のエミッタパッド34どうしが、導体ワイヤW1〜W4のいずれか、および配線パターン26,27のいずれかを通じて接続されるだけでなく、並列接続されるIGBT3の間でも、一部のエミッタパッド34どうしが、それらの導電体を通じて互いに接続される。このため、IGBT3の発振を抑制する効果は、相応に得られる。特に、互いに並列接続される複数のIGBT3の配列方向に沿った配線パターン26または27の長さを小さく抑えることができる。このことは、半導体装置111aの小型化に寄与する。
【0127】
なお、半導体装置111aにおいても、半導体装置109,111と同様に、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のうち、導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続されるエミッタパッド34が占める比率は、1/2以上であることがより望ましい。図21の例では、上記比率は1/2に設定されている。
【0128】
実施の形態12.
図22は、実施の形態12による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置112の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図22は図2の半導体装置101を半導体装置112としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0129】
配線パターン26,27が設けられず、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34の一部であって、2個以上(図22の例では4個)のエミッタパッド34どうしが、導体ワイヤW1〜W4のいずれかによって直接に接続される点において、半導体装置112は実施の形態9による半導体装置109とは特徴的に異なっている。半導体装置112においても、半導体装置109と同様に、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34の一部(ただし2個以上)のエミッタパッド34どうしが、配線パターン22,23を中継しない導電体(すなわち、導体ワイヤW1〜W4のいずれか)によって互いに電気的に接続されるので、IGBT3の短絡時の発振を抑制する効果が、相応に得られる。実施の形態9の半導体装置109と同様に、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のうち、導体ワイヤW1〜W4のいずれかが接続されるエミッタパッド34が占める比率は、1/2以上であることがより望ましい。
【0130】
半導体装置112では、配線パターン26,27を必要としないので、製造工程が容易化されるとともに、基板2の面積を縮小化し、半導体装置112を小型化することができる。さらに、導体ワイヤW1〜W4の各々は、各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のうちの一部にのみ接続されるので、各エミッタパッド34の幅が狭い場合でも、導体ワイヤW1〜W4をエミッタパッド34に容易に接続することができる。
【0131】
また、図22が示すように、導体ワイヤW1〜W4の各々は、各IGBT3の複数のエミッタパッド34の配列方向に沿って配設されている。その結果、導体ワイヤW1〜W4は、導体ワイヤ15とは、おおよそ直交する。それにより、導体ワイヤ15と導体ワイヤW1〜W4の間の誘導結合が低く抑えられ、発振を抑制する効果がさらに高められる。
【0132】
さらに、各IGBT3に関して、導体ワイヤW1〜W4は、導体ワイヤ15の一端よりも配線パターン22または23から遠い部分において、2個以上のエミッタパッド34に接続されている。このため、導体ワイヤ15と導体ワイヤW1〜W4との間の誘導結合がさらに低く抑えられ、それにより発振を抑制する効果がさらに高められる。さらに、導体ワイヤ15と導体ワイヤW1〜W4とを、互いに干渉することなく、容易に配設することができる。
【0133】
なお図22には、2個のIGBT3が並列接続される例を示したが、3個以上のIGBT3が並列接続されても良い。また、上アーム10および下アーム11の各々が、単一のIGBT3のみを備えてもよい。いずれの場合においても、各IGBT3の複数のエミッタパッド34の一部が、配線パターン22,23を中継しない導電体を通じて、互いに電気的に接続されるので、IGBT3の発振を抑制する効果が相応に得られる。
【0134】
実施の形態13.
図23は、実施の形態13による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置113の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図23は図2の半導体装置101を半導体装置113としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0135】
各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のすべてが、導体ワイヤW1〜W4のいずれかによって互いに接続されている点において、半導体装置113は実施の形態12による半導体装置112とは特徴的に異なっている。このため、半導体装置113では、各IGBT3の発振がより効果的に抑制される。
【0136】
実施の形態14.
図24は、実施の形態14による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置114の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図24は図2の半導体装置101を半導体装置114としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0137】
各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34のすべてが、導体ワイヤW1またはW3によって互いに接続されるだけでなく、互いに並列接続される2個以上(図25の例では2個)のIGBT3の間でも、エミッタパッド34が導体ワイヤW1またはW3で互いに接続されている点において、半導体装置114は、実施の形態13による半導体装置113とは特徴的に異なっている。このため、半導体装置114では、各IGBT3の発振を抑制する効果が、実施の形態13の半導体装置113に比べて、さらに高められる。また、互いに並列接続される2個以上のIGBT3の間で、すべてのエミッタパッド34が一方向に配列するので、導体ワイヤW1およびW3を、当該一方向に沿って容易に配設することができる。
【0138】
実施の形態15.
図25は、実施の形態15による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置115の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図25は図2の半導体装置101を半導体装置115としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0139】
各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34の一部どうしが、導体ワイヤW1またはW3によって接続されるだけでなく、互いに並列接続される2個以上(図25の例では2個)のIGBT3の間でも、エミッタパッド34が導体ワイヤW1またはW3で互いに接続されている点において、半導体装置115は、実施の形態12による半導体装置112とは特徴的に異なっている。このため、各IGBT3の発振を抑制する効果が、実施の形態12の半導体装置112に比べて、さらに高められる。
【0140】
実施の形態16.
図26は、実施の形態16による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置116の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図26は図2の半導体装置101を半導体装置116としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0141】
各IGBT3が有する複数のエミッタパッド34の各々が、1本の導体ワイヤ15のみを通じて配線パターン22または23へ接続されている点において、半導体装置116は従来技術による半導体装置150とは特徴的に異なっている。このため、半導体装置116の負荷が短絡することにより、各IGBT3に過大な短絡電流が流れたときにおいても、各IGBT3を流れるエミッタ電流の大きさが、導体ワイヤ15の抵抗によって制限されるので、各IGBT3のゲート電極の電位における発振現象が抑制される。また、各IGBT3の複数のエミッタパッド34が一方向に沿って配列しており、対応する配線パターン22または23が、上記一方向に沿って延在しているので、複数の導体ワイヤ15を互いに干渉することなく、容易に配設することができる。
【0142】
実施の形態17.
図27は、実施の形態17による半導体装置の平面断面図である。この半導体装置117の回路図および外観斜視図は、実施の形態1の図1および図2と同一であり、図27は図2の半導体装置101を半導体装置117としたときのX−X切断線に沿った断面図に相当する。
【0143】
各IGBT3に接続される各導体ワイヤ15の中間部が、対応するダイオード4のアノード電極に接続されている点において、半導体装置117は実施の形態16による半導体装置116とは、特徴的に異なっている。このため、半導体装置117では、対応するIGBT3とダイオード4との間を接続するための導体ワイヤを別途に配設する必要がない。すなわち、半導体装置117の全体における導体ワイヤの本数を低減して、製造工程数および製造コストを節減することができる。
【0144】
変形例.
(1)以上の各実施の形態では、半導体装置がIGBT3を備える例を示したが、本発明は、主電流(例えばエミッタ電流、ドレイン電流など)が流れる一対の主電極、および駆動信号を受信しそれに応答して主電流を制御する制御電極を有するスイッチング素子を備える半導体装置に広く適用可能である。スイッチング素子は、例えば、MOSFETあるいはバイポーラトランジスタであってもよい。一般のスイッチング素子では、ゲート配線32は、制御電極配線へ拡張され、ゲートパッド33は、制御電極のボンディングパッドへ拡張され、エミッタパッド34は、主電極のボンディグパッドへ拡張される。
【0145】
ただし、各実施の形態による半導体装置101〜117は、本来において発振を起こし易い絶縁ゲート型のスイッチング素子であるIGBT3を用いているにも関わらず、その発振を抑制することができ、制御が容易であるという絶縁ゲート型のスイッチング素子の利点を生かして、大電流を制御する応用装置への利用に幅広く供することができる。また、絶縁ゲート型のスイッチング素子では、ゲート絶縁膜の保護の必要性が高いため、その意味でも本発明が特に有用である。
【0146】
(2)一般に、複数のIGBT3(一般には複数のスイッチング素子)のエミッタ電極(一般には主電極)どうしを、エミッタ電流(一般には主電流)が流れる配線パターン22(または23)を中継することなく電気的に接続する何らかの導電体が設けられておれば、半導体装置101〜107と同様に、エミッタ電極(一般には主電極)の電位の均一性を高めることができ、それによって発振現象を抑制することができる。半導体装置101,102では、配線パターン26(または27)および導体ワイヤW1,W2(またはW3,W4)が導電体に相当し、半導体装置103では、導体ワイヤW5(またはW6)が導電体に相当する。
【0147】
【発明の効果】
第1の発明の装置では、互いに並列接続された複数のスイッチング素子の他方主電極どうしが、第2配線パターンを中継しない導電体、すなわち主電流が流れない導電体を通じて、互いに電気的に接続されているので、複数のスイッチング素子の間で他方主電極の電位が均一化される。その結果、複数のスイッチング素子の負荷が短絡したときにおいても、複数のスイッチング素子の制御電極の電位における発振現象が抑制される。
【0148】
さらに、第1の発明の装置では、複数のスイッチング素子の他方主電極どうしの電気的接続が、第3配線パターンと第2導体ワイヤとを通じて簡単に実現する。しかも、第2導体ワイヤを配設する工程で、ワイヤカットをスイッチング素子の上で行う必要がないので、スイッチング素子の損傷を防止するための手だてを必要としない。
【0149】
さらに、第1の発明の装置では、第2および第3配線パターンが、複数のスイッチング素子を挟んで互いに反対側に配設され、かつ複数のスイッチング素子の配列方向に沿って延在しているので、第1導体ワイヤと第2導体ワイヤとを互いに干渉することなく、容易に配設することができる。さらに、第1導体ワイヤと第2導体ワイヤとの間の誘導結合を低減させ、それにより発振を抑制する効果を高めることができる。
【0150】
さらに、第1の発明の装置では、第3配線パターンが、他の配線パターンを挟むことなく複数のスイッチング素子に隣接しているので、第2導体ワイヤを短く設定することが可能である。それにより、複数のスイッチング素子の他方主電極どうしを電気的に接続する導電体のインダクタンスが低減されるので、他方主電極の電位を均一化する効果を高めることができる。
【0151】
第2の発明の装置では、第3配線パターンが反復する屈曲部を有するので、複数のスイッチング素子の他方主電極どうしを電気的に接続する導電体のインダクタンスを、発振を抑制する上で最適な値に調整することができる。
【0155】
第3の発明の装置では、複数のスイッチング素子の制御電極と第3配線パターンとの間に電圧クランプ素子が介挿されるので、制御電極の電位の発振現象が仮に生じても、その振幅が低く抑えられる。
【0161】
第4の発明の装置では、複数のスイッチング素子の各々が、本来において発振を起こし易い絶縁ゲート型のスイッチング素子であるにも関わらず、その発振が抑制されるので、制御が容易であるという絶縁ゲート型のスイッチング素子の利点を生かして、大電流を制御する応用装置への利用に幅広く供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1の装置の回路図である。
【図2】 実施の形態1の装置の外観斜視図である。
【図3】 実施の形態1の装置の平面断面図である。
【図4】 実施の形態2の装置の平面断面図である。
【図5】 実施の形態3の装置の平面断面図である。
【図6】 実施の形態4の装置の平面断面図である。
【図7】 実施の形態5の装置の平面断面図である。
【図8】 実施の形態5の装置の一部の回路図である。
【図9】 実施の形態6の装置の平面断面図である。
【図10】 実施の形態6の装置の一部の模式図である。
【図11】 実施の形態6の装置の一部の回路図である。
【図12】 実施の形態7の装置の平面断面図である。
【図13】 実施の形態7の装置の一部の模式図である。
【図14】 実施の形態7の装置の一部の模式図である。
【図15】 実施の形態7の装置の一部の回路図である。
【図16】 各実施の形態のIGBTの平面図である。
【図17】 実施の形態8の装置の平面断面図である。
【図18】 実施の形態9の装置の平面断面図である。
【図19】 実施の形態10の装置の平面断面図である。
【図20】 実施の形態11の装置の平面断面図である。
【図21】 実施の形態11の別の例による装置の平面断面図である。
【図22】 実施の形態12の装置の平面断面図である。
【図23】 実施の形態13の装置の平面断面図である。
【図24】 実施の形態14の装置の平面断面図である。
【図25】 実施の形態15の装置の平面断面図である。
【図26】 実施の形態16の装置の平面断面図である。
【図27】 実施の形態17の装置の平面断面図である。
【図28】 従来の装置の平面断面図である。
【符号の説明】
2 基板、3 IGBT(スイッチング素子)、4 ダイオード、15 導体ワイヤ(第1導体ワイヤ)、17 導体ワイヤ(第4導体ワイヤ)、21 配線パターン(第1配線パターン)、22 配線パターン(第1配線パターン,第2配線パターン)、23 配線パターン(第2配線パターン)、23a 第1部分、23b 第2部分、24,25 配線パターン(第4配線パターン)、26,27 配線パターン(第3配線パターン)、30 電圧クランプ素子、32 ゲート配線(制御電極配線)、34 エミッタパッド(ボンディングパッド)、40,41 スリット、50,51 導体ワイヤ(第5導体ワイヤ)、EE,OUT 外部端子、S1,S2 外部端子、W1〜W4 導体ワイヤ(第2導体ワイヤ)、W5〜W10 導体ワイヤ(第3導体ワイヤ)。
Claims (4)
- 主面を有する基板と、
互いに電気的に絶縁されて前記主面の上に配設された第1配線パターン及び第2配線パターンと、
前記第1配線パターンの上に配置されることにより、一方主電極どうしが互いに電気的に接続された複数のスイッチング素子と、
前記複数のスイッチング素子の他方主電極に一端が接続され、前記第2配線パターンへ他端が接続された複数の第1導体ワイヤと、
前記第2配線パターンに接続され、前記複数のスイッチング素子の前記他方主電極と外部とを、前記第2配線パターンを通じて電気的に接続する外部端子と、
前記複数のスイッチング素子の前記他方主電極どうしを、前記第2配線パターンを中継することなく電気的に接続する導電体と、を備える半導体装置であって、
前記導電体が、
前記第1配線パターン及び前記第2配線パターンから孤立し、前記第1配線パターン及び前記第2配線パターンに対して電気的に絶縁されて前記主面の上に配設された第3配線パターンと、
前記複数のスイッチング素子の前記他方主電極に一端が接続され、前記第3配線パターンへ他端が接続された複数の第2導体ワイヤと、を備え、
前記第2配線パターンが、前記複数のスイッチング素子の配列方向に沿って延在しており、
前記第3配線パターンが、前記複数のスイッチング素子を挟んで前記第2配線パターンとは反対側に、前記複数のスイッチング素子の配列方向に沿って延在しており、
さらに、前記第3配線パターンが、他の配線パターンを挟むことなく前記複数のスイッチング素子に隣接している、半導体装置。 - 前記第3配線パターンが反復する屈曲部を有する、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1配線パターン、前記第2配線パターン及び前記第3配線パターンに対して電気的に絶縁されて前記主面の上に配設された第4配線パターンと、
前記複数のスイッチング素子の制御電極に一端が接続され、前記第4配線パターンへ他端が接続された複数の第4導体ワイヤと、
前記第3配線パターンに一端が接続され、前記4配線パターンに他端が接続された電圧クランプ素子と、をさらに備える請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。 - 前記複数のスイッチング素子の各々が、絶縁ゲート型のスイッチング素子である、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体装置。
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