JP4472403B2 - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
露光装置及び露光方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4472403B2 JP4472403B2 JP2004096564A JP2004096564A JP4472403B2 JP 4472403 B2 JP4472403 B2 JP 4472403B2 JP 2004096564 A JP2004096564 A JP 2004096564A JP 2004096564 A JP2004096564 A JP 2004096564A JP 4472403 B2 JP4472403 B2 JP 4472403B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- exposure
- stage
- recording medium
- timing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 88
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 37
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 33
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 20
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 6
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K35/00—Means to prevent accidental or unauthorised actuation
- F16K35/10—Means to prevent accidental or unauthorised actuation with locking caps or locking bars
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N1/053—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position in main scanning direction, e.g. synchronisation of line start or picture elements in a line
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
- F16K31/60—Handles
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70358—Scanning exposure, i.e. relative movement of patterned beam and workpiece during imaging
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70383—Direct write, i.e. pattern is written directly without the use of a mask by one or multiple beams
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/00002—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/00002—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for
- H04N1/00007—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for relating to particular apparatus or devices
- H04N1/00018—Scanning arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/00002—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for
- H04N1/00026—Methods therefor
- H04N1/0005—Methods therefor in service, i.e. during normal operation
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/00002—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for
- H04N1/00071—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for characterised by the action taken
- H04N1/00082—Adjusting or controlling
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/00002—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for
- H04N1/00071—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for characterised by the action taken
- H04N1/00082—Adjusting or controlling
- H04N1/00087—Setting or calibrating
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/00002—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for
- H04N1/00071—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for characterised by the action taken
- H04N1/0009—Storage
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/00002—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for
- H04N1/00092—Diagnosis, testing or measuring; Detecting, analysing or monitoring not otherwise provided for relating to the original or to the reproducing medium, e.g. imperfections or dirt
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/10—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using flat picture-bearing surfaces
- H04N1/1013—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using flat picture-bearing surfaces with sub-scanning by translatory movement of at least a part of the main-scanning components
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
- H04N2201/04—Scanning arrangements
- H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
- H04N2201/04734—Detecting at frequent intervals, e.g. once per line for sub-scan control
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
- H04N2201/04—Scanning arrangements
- H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N2201/04701—Detection of scanning velocity or position
- H04N2201/04739—Detection of scanning velocity or position by detecting the scanning head or scanning carriage
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
- H04N2201/04—Scanning arrangements
- H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N2201/04753—Control or error compensation of scanning position or velocity
- H04N2201/04755—Control or error compensation of scanning position or velocity by controlling the position or movement of a scanning element or carriage, e.g. of a polygonal mirror, of a drive motor
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N2201/00—Indexing scheme relating to scanning, transmission or reproduction of documents or the like, and to details thereof
- H04N2201/04—Scanning arrangements
- H04N2201/047—Detection, control or error compensation of scanning velocity or position
- H04N2201/04753—Control or error compensation of scanning position or velocity
- H04N2201/04758—Control or error compensation of scanning position or velocity by controlling the position of the scanned image area
- H04N2201/04767—Control or error compensation of scanning position or velocity by controlling the position of the scanned image area by controlling the timing of the signals, e.g. by controlling the frequency o phase of the pixel clock
- H04N2201/04768—Controlling the frequency of the signals
- H04N2201/04774—Controlling the frequency of the signals using a reference clock or oscillator
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Atmospheric Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
また、請求項9に記載の発明は、光ビームを照射する照射部が一方向に沿って設けられ、当該一方向の領域を同時に露光する記録ヘッドから光ビームを照射しつつ、当該記録ヘッドと記録媒体が載置された記録ステージとを一方向に対する交差方向に相対的に移動させて前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光方法であって、前記記録ステージの移動に伴って発生する前記交差方向の位置ずれ量を検出し、前記位置ずれ量データを記憶し、記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正し、補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御することを特徴とする。
また、請求項10に記載の発明は、一方向に沿って直線状に配列され、当該一方向の領域を同時に露光する複数の記録ヘッドから光ビームを照射しつつ、当該複数の記録ヘッドと記録媒体が載置された記録ステージとを一方向に対する交差方向に相対的に移動させて前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光方法であって、前記記録ステージの移動に伴って発生する前記交差方向の位置ずれを検出し、検出された位置ずれ量データを記憶し、記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正し、補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御することを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、請求項1乃至請求項7の何れか1項記載の発明において、パルス信号を出力するパルス出力手段と、前記パルス出力手段から出力されるパルス信号のパルス数を所定数カウントする毎に光ビームを照射するタイミングを生成する生成手段とをさらに備え、前記補正手段が、前記所定数を増減させることで前記タイミングを補正することを特徴とする。
図1(A)及び図2には、第1の実施の形態に係るフラッドベッドタイプの露光装置10が示されている。
(パルス補正数データ作成の流れ)
露光装置10では、CCDカメラ34が露光ステージ16のマーキング24を撮像可能な位置へレール35に沿って移動し、露光ステージ16を移動させながらマーキング24を撮像してパルス補正数データの作成処理が行われる。なお、露光ステージ16にマーキング24が複数列ある場合、パルス補正数データの作成処理が各列毎に複数回行われて各マーキング24の位置(CCDカメラ34のX方向の位置)毎にパルス補正数が求められ、パルス補正数記憶メモリ106へ記憶される。
(露光処理の流れ)
次に、パルス補正数に基づき補正が行われる露光処理について説明する。
ステップ206では、リセットタイミング演算部122(図7参照)が露光ステージ16の移動によって発生するリニアエンコーダ27を検出し、パルス数から露光ステージ16の搬送方向の位置を求め、パルス補正数記憶メモリ106から該当する区間のパルス補正数を読み込み、ステップ208へ移行する
ステップ208では、リセットタイミング演算部122が読み込んだパルス補正数に基づき補間処理を行って各ヘッドアッセンブリ28Aの位置に応じたパルス補正数を求める。また、リセットタイミング演算部122では、リニアエンコーダ27から発生するパルスを40パルス分をカウントしてリセットタイミングを求めるが、ヘッドアッセンブリ28A毎にパルス補正数に応じて補正したパルス数のリセットタイミングを出力してステップ210へ移行する。
(第2の実施の形態)
次に、第2実施形態について説明する。第2実施の形態の特徴は、露光装置10が位置データ取得用パターン画像を露光し、露光されたパターン画像を測長してピッチング振動による位置ずれ量を検出し、パルス補正数記憶メモリ106へパルス補正数に関するテーブルを登録する点にある。
ステップ256では、露光されたパターン画像の各列毎にマーキング24から位置ずれ量を測定し、区間毎のパルス補正数を求めてステップ258へ移行する。
12 枠体
12A 筐体部
12B ステージ部
14 開閉蓋
16 露光ステージ(記録ステージ)
18 定盤
22 記録媒体
22P プリント配線基板
24 マーキング
26 リニアモータ
27 リニアエンコーダ
28 露光ヘッドユニット
28A ヘッドアッセンブリ(記録ヘッド)
28B 露光エリア
31 光源ユニット
32 アライメントユニット
34 CCDカメラ(撮像手段)
35 レール
40 測長部
42 レーザ測長器
100 撮像制御部
102 画像記憶メモリ
104 位置ずれ検出部(位置ずれ検出手段、第1の検出手段、第2の検出手段)
106 パルス補正数記憶メモリ(記憶手段)
112 データ入力部
114 ドットパターン変換部
116 露光制御部(制御手段)
122 リセットタイミング演算部(補正手段)
130 DMDドライバ
132 DMD
136 光源ドライバ
138 LD
138 LD
140 パターン入力部(位置パターン露光手段)
142 パルス補正数登録部(登録手段)
Claims (10)
- 光ビームを照射する照射部が一方向に沿って設けられ、当該一方向の領域を同時に露光する記録ヘッドから光ビームを照射しつつ、当該記録ヘッドと記録媒体が載置された記録ステージとを一方向に対する交差方向に相対的に移動させて前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生する前記交差方向の位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、
前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 一方向に沿って直線状に配列され、当該一方向の領域を同時に露光する複数の記録ヘッドから光ビームを照射しつつ、当該複数の記録ヘッドと記録媒体が載置された記録ステージとを一方向に対する交差方向に相対的に移動させて前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光装置であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生する前記交差方向の位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、
前記位置ずれ検出手段により検出された位置ずれ量データを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正する補正手段と、
前記補正手段により補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 前記記録ステージ上に、前記交差方向に沿って一定の間隔のマーキングが1列あるいは複数列なされ、
前記位置ずれ検出手段が、前記記録ステージ上の前記マーキングの列を所定のタイミング毎に撮像する少なくとも一個の撮像手段と、
前記撮像手段を前記一方向へ移動させて前記マーキングの各列をそれぞれ撮像可能とさせる第1の移動手段と、
前記撮像手段により撮像された画像内での前記マーキングの位置に基づき前記記録ステージのピッチング振動による前記位置ずれを検出する第1の検出手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の露光装置。 - 前記位置ずれ検出手段が、前記記録ステージに対して前記交差方向に配置され、前記記録ステージとの距離を所定のタイミング毎に測長するレーザ測長器と、
前記レーザ測長器を前記一方向へ前記距離が測長可能な範囲内で移動させる第2の移動手段と、
前記レーザ測長器により測長された前記記録ステージとの前記距離が前記所定のタイミング毎に変化する間隔に基づき前記記録ステージのピッチング振動による前記位置ずれを検出する第2の検出手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の露光装置。 - 前記位置ずれ検出手段が、前記記録媒体へ所定の位置データ取得用パターンを露光する位置パターン露光手段と、
前記位置パターン露光手段により露光された前記位置データ取得用パターンより求まる前記位置ずれ量データを前記記憶手段へ登録する登録手段と、
で構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の露光装置。 - マーキングされたチャートを前記記録ステージ上へ載置することにより前記記録ステージ上に前記マーキングがされることを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 前記位置ずれ検出手段が、全ての記録ヘッドそれぞれに対応する位置での前記位置ずれを検出することを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか1項記載の露光装置。
- パルス信号を出力するパルス出力手段と、
前記パルス出力手段から出力されるパルス信号のパルス数を所定数カウントする毎に光ビームを照射するタイミングを生成する生成手段とをさらに備え、
前記補正手段は、前記所定数を増減させることで前記タイミングを補正することを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項記載の露光装置。 - 光ビームを照射する照射部が一方向に沿って設けられ、当該一方向の領域を同時に露光する記録ヘッドから光ビームを照射しつつ、当該記録ヘッドと記録媒体が載置された記録ステージとを一方向に対する交差方向に相対的に移動させて前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光方法であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生する前記交差方向の位置ずれ量を検出し、
前記位置ずれ量データを記憶し、
記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッドから前記光ビームを照射するタイミングを補正し、
補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する、
ことを特徴とする露光方法。 - 一方向に沿って直線状に配列され、当該一方向の領域を同時に露光する複数の記録ヘッドから光ビームを照射しつつ、当該複数の記録ヘッドと記録媒体が載置された記録ステージとを一方向に対する交差方向に相対的に移動させて前記記録媒体へ所定の画像を露光する露光方法であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生する前記交差方向の位置ずれを検出し、
検出された位置ずれ量データを記憶し、
記憶された前記位置ずれ量データに基づき、前記記録ヘッド毎に前記光ビームを照射するタイミングをそれぞれ補正し、
補正された前記タイミングに基づき、前記記録媒体への露光を制御する、
ことを特徴とする露光方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096564A JP4472403B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 露光装置及び露光方法 |
US11/090,070 US20050225788A1 (en) | 2004-03-29 | 2005-03-28 | Exposure apparatus and exposure method |
KR1020050025427A KR100696968B1 (ko) | 2004-03-29 | 2005-03-28 | 노광 장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096564A JP4472403B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 露光装置及び露光方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005283896A JP2005283896A (ja) | 2005-10-13 |
JP2005283896A5 JP2005283896A5 (ja) | 2007-02-01 |
JP4472403B2 true JP4472403B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=35060218
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004096564A Expired - Lifetime JP4472403B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 露光装置及び露光方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050225788A1 (ja) |
JP (1) | JP4472403B2 (ja) |
KR (1) | KR100696968B1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4752286B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-08-17 | 株式会社ニコン | 位置調整装置の制御方法、位置調整装置、及び露光装置 |
JP4606992B2 (ja) * | 2005-10-20 | 2011-01-05 | 富士フイルム株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
US8482732B2 (en) * | 2007-10-01 | 2013-07-09 | Maskless Lithography, Inc. | Alignment system for various materials and material flows |
US7847938B2 (en) * | 2007-10-01 | 2010-12-07 | Maskless Lithography, Inc. | Alignment system for optical lithography |
US8335999B2 (en) | 2010-06-11 | 2012-12-18 | Orbotech Ltd. | System and method for optical shearing |
JP5424271B2 (ja) | 2010-11-08 | 2014-02-26 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
JP5685756B2 (ja) | 2010-11-10 | 2015-03-18 | 株式会社ブイ・テクノロジー | フィルム露光方法 |
CN115380249A (zh) * | 2020-04-29 | 2022-11-22 | 应用材料公司 | 用于数字光刻的图像稳定化 |
WO2021232038A1 (en) * | 2020-05-13 | 2021-11-18 | Kateeva, Inc. | Droplet measurement using strobed led source |
TWI765567B (zh) | 2021-02-08 | 2022-05-21 | 上銀科技股份有限公司 | 量測進給系統的位置誤差的方法 |
CN113960890B (zh) * | 2021-10-22 | 2023-12-15 | 深圳市先地图像科技有限公司 | 一种激光成像设备中的运动组件控制方法及相关设备 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5002364A (en) * | 1986-03-04 | 1991-03-26 | Georgia Tech Research Corp. | Stereoscopic process and apparatus using different deviations of different colors |
JPH07302748A (ja) * | 1994-05-02 | 1995-11-14 | Canon Inc | 半導体露光装置 |
JP2004012903A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 露光装置 |
-
2004
- 2004-03-29 JP JP2004096564A patent/JP4472403B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-03-28 US US11/090,070 patent/US20050225788A1/en not_active Abandoned
- 2005-03-28 KR KR1020050025427A patent/KR100696968B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005283896A (ja) | 2005-10-13 |
KR100696968B1 (ko) | 2007-03-20 |
US20050225788A1 (en) | 2005-10-13 |
KR20060044837A (ko) | 2006-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100696968B1 (ko) | 노광 장치 및 방법 | |
JP4328301B2 (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
KR101485437B1 (ko) | 기준 위치 측정 장치 및 방법, 및 패턴 형성 장치 | |
KR100763431B1 (ko) | 노광 장치 및 노광 방법 | |
JP4450739B2 (ja) | 露光装置 | |
JP2005266779A (ja) | 露光装置及び方法 | |
US20090035669A1 (en) | Work position information obtaining method and apparatus | |
KR20080042668A (ko) | 위치 검출 방법, 위치 검출 장치, 패턴 묘화 장치 및피검출물 | |
JP4533785B2 (ja) | アライメントセンサの位置校正方法、基準パターン校正方法、露光位置補正方法、校正用パターン及びアライメント装置 | |
JP4351694B2 (ja) | アライメントユニット及びこれを用いた画像記録装置 | |
JP2007304546A5 (ja) | ||
JP2008251797A (ja) | 基準位置計測装置及び方法、並びに描画装置 | |
KR101261353B1 (ko) | 묘화점 데이터 취득 방법 및 장치, 묘화 방법 및 장치 | |
JP2006337873A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2006259153A (ja) | アラインメント精度評価方法及び装置 | |
JP2006337878A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
KR20080032213A (ko) | 묘화 방법 및 장치 | |
US20090033952A1 (en) | Image plotting apparatus and image plotting method | |
WO2006090823A1 (ja) | 位置合わせ機能の校正方法 | |
JP2007041244A (ja) | ステージ位置変動情報取得方法および装置 | |
JP4533777B2 (ja) | シート***置検出方法及び装置並びにそれを用いた描画装置 | |
JP2008242218A (ja) | 描画装置及び描画方法 | |
JP4583827B2 (ja) | 画像形成装置および画像形成方法 | |
JP2007058207A (ja) | 描画方法および装置 | |
JP2007271796A (ja) | 露光装置、描画方法及び描画装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061006 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061006 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090917 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100223 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100303 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4472403 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |