TWI765567B - 量測進給系統的位置誤差的方法 - Google Patents
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Abstract
一種量測進給系統的位置誤差的方法,該進給系統包含一軸床、一長軸件和一移動體,該軸床的一工作面上設置至少一個圖形標籤,該移動體裝設有光學感測器,該方法包含:控制該移動體沿該長軸件移動,並在該移動體移動的過程中,控制該光學感測器對該圖形標籤分別進行二次拍攝,以分別獲得一第一影像和一第二影像;從該第一影像中選取一影像特徵,並從該第二影像中搜尋該影像特徵;以及比較該影像特徵於該第一影像和該第二影像中的位置,以推估該位置誤差。藉此,在進給過程中可即時得知是否發生位置誤差。
Description
本發明涉及一種進給系統,特別是指一種量測進給系統的位置誤差的方法。
中華民國專利編號I539143揭露一種線性裝置不平行偵測系統,其在螺桿上設置特徵圖案,並基於特徵圖案所在位置的螺桿變形會導致此特徵圖案變形的特性,利用攝像單元直接量測觀察特徵圖案是否發生變化,從而推測螺桿是否發生變形。由於攝像單元是設置在線性裝置之外的固定位置上,且一個攝像單元對應一個特徵圖案,因此若要觀察螺桿上不同位置是否發生變形時,不僅需要在螺桿上設置多個特徵圖案,還要針對各個特徵圖案設置對應的攝像單元。此外,還需要借助應變規幫助進行不平行度檢測。因此,此系統所需的成本較高,且無法檢測其他類型的誤差。
為此,本發明的主要目的是提供一種量測進給系統的位置誤差的方法,所述方法旨在即時偵測得知多軸向上(不同類型)的位置誤差。
本發明根據一實施例所提供的一種量測進給系統的位置誤差的方法,該進給系統包含一軸床、一長軸件和一移動體,該長軸件固定
於該軸床,該移動體可移動地設置於該長軸件,該軸床的一工作面上設置至少一第一圖形標籤,該方法包含以下步驟:(A)控制該移動體沿該長軸件移動,並在該移動體移動的過程中,控制一第一光學感測器對其中一個該第一圖形標籤分別進行二次拍攝,以分別獲得一第一影像和一第二影像,其中該第一光學感測器裝設於該移動體且對應該其中一個第一圖形標籤;(B)以數位影像相關演算法,從該第一影像和該第二影像中選取一第一影像特徵;以及(C)以該數位影像相關演算法及捲積運算,比較該第一影像特徵於該第一影像和該第二影像中的位置,以推估該位置誤差。
藉此,本發明所提供的量測進給系統的位置誤差的方法藉由將感測器設置於移動體上,並隨著移動體的移動,拍攝移動路徑上的圖形標籤,以即時量測出各個圖形標籤所在位置的位置誤差。此外,本發明也藉由光學感測器搭配影像分析技術(例如數位影像相關(Digital image correlation,DIC)演算法)來達到同時量測多軸向上的位置偏差的目的。
1:軸床
11:座體部
12:凸部
13:工作面
14:側向面
2:工作台
3:線性滑軌
31:滑軌
32:滑塊
4:軸承
5:滾珠螺桿
51:螺桿
52:螺帽
53:法藍
6:聯軸器
7:馬達
8:伺服端
81:處理器
D1,D2,D3:軸方向
FI1,FI2:影像特徵
IM1:灰階的第一影像
IM2:灰階的第二影像
IM3:灰階的第三影像
IM4:灰階的第四影像
OT1,OT2:光學感測器
PI1,PI2:標籤影像
TP1,TP2:圖形標籤
V1,V2:行進方向
在結合以下附圖研究了詳細描述之後,將發現本發明的其他方面及其優點:圖1為根據本發明一實施例的進給系統欲進行量測時的示意圖;圖2為根據本發明一實施例的進給系統欲進行量測時的方塊圖;圖3為圖1的部分進給系統於一視角的示意圖;圖4為根據本發明一實施例的量測進給系統的位置誤差的方法的流程圖;
圖5A為根據本發明一實施例對灰階的第一影像進行影像分析的示意圖,用以呈現圖形標籤的標籤影像的位置及其影像特徵的位置;圖5B為根據本發明一實施例對灰階的第二影像進行影像分析的示意圖,用以呈現圖形標籤的標籤影像的位置及其影像特徵的位置;圖6為根據本發明一實施例的量測進給系統的位置誤差的方法應用於量測滾珠螺桿的背隙的流程圖;圖7A為根據本發明一實施例量測進給系統的位置誤差的示意圖,用以呈現移動體在一方向上從長軸件的前端開始移動,並且光學感測器在移動過程中對圖形標籤進行第一次拍攝的狀態;圖7B為根據本發明一實施例量測進給系統的位置誤差的示意圖,用以呈現移動體移動至長軸件的末端,並且光學感測器在移動過程中已對所有圖形標籤進行第一次拍攝的狀態;圖7C為根據本發明一實施例量測進給系統的位置誤差的示意圖,用以呈現移動體在一相反方向上移動,並且光學感測器在移動過程中對圖形標籤進行第二次拍攝的狀態;圖8為根據本發明一實施例的量測進給系統的位置誤差的方法應用於量測二線性滑軌是否平行的流程圖;圖9A為根據本發明一實施例量測進給系統的位置誤差的示意圖,用以呈現移動體在一方向上移動,並且光學感測器在移動過程中對圖形標籤進行第一次拍攝的狀態;
圖9B為根據本發明一實施例量測進給系統的位置誤差的示意圖,用以呈現移動體在同一方向上移動,並且光學感測器在移動過程中對同一圖形標籤進行第二次拍攝的狀態;圖10為根據本發明另一實施例的進給系統欲進行量測時的示意圖;圖11為根據本發明另一實施例的進給系統欲進行量測時的方塊圖;圖12為根據本發明一實施例的量測進給系統的位置誤差的方法應用於量測各別線性滑軌是否歪斜的流程圖;圖13A為根據本發明一實施例對灰階的第三影像進行影像分析的示意圖,用以呈現圖形標籤的標籤影像的位置及其影像特徵的位置;圖13B為根據本發明一實施例對灰階的第四影像進行影像分析的示意圖,用以呈現圖形標籤的標籤影像的位置及其影像特徵的位置;以及圖14為根據本發明另一實施例的量測進給系統的位置誤差的方法應用於量測各別線性滑軌是否歪斜的流程圖。
本發明所提供的一種量測進給系統的位置誤差的方法是適用於一進給系統(Feed Drive System)。請參考圖1至圖3所示,進給系統包含一軸床1、一工作台2(移動體)、二線性滑軌3、二軸承4、一滾珠螺桿5、一聯軸器6、一馬達7和一伺服端8。軸床1是沿軸方向D1(第一軸方向)延伸且包含一座體部11以及二凸部12。二凸部12是從座體部11沿軸方向D3(第三軸方向)延伸凸出且分別位於座體部11於軸方向D2(第二軸方向)上的相對兩側。軸方向D1、D2和D3彼此垂直。二線性滑軌3分別設置於軸床1的相對兩側,例如但不限於是分別設置在二凸部12上。在本實施例中,每個線性滑
軌3包含一滑軌31(長軸件)和二滑塊32(移動體),滑塊32套設於滑軌31且可沿滑軌31來回移動,然而本發明並不限於此;實際上,滑塊32的數量可隨應用的需要而增減,因此滑塊32的數量可為1個或大於二個。二軸承4是分別組裝於軸床1沿軸方向D1的相對兩端。滾珠螺桿5包含一螺桿51(長軸件)和一螺帽52(移動體)。螺桿51的其中一端連接其中一個軸承4,螺桿51的相對另一端是透過另一個軸承4和聯軸器6連接至馬達7,螺帽52則套設於螺桿51並可沿螺桿51來回移動。工作台2(移動體)則組裝於滑塊32和螺帽52。馬達7連接並受控於伺服端8。當伺服端8控制馬達7旋轉時,馬達7可帶動螺桿51旋轉,從而帶動工作台2沿滑軌31和螺桿51移動。
要量測進給系統的位置誤差時,可在工作台2上安裝一光學感測器OT1(第一光學感測器),並在座體部11的工作面13上沿軸方向D1設置多個圖形標籤TP1(第一圖形標籤),如圖1和圖3所示。光學感測器OT1可例如但不限於為感光耦合元件(Charge Coupled Device,CCD)影像感測器或互補式金氧半導場效電晶體(CMOS)影像感測器。光學感測器OT1的安裝位置可根據需求來選擇,只要光學感測器OT1的感測範圍能涵蓋(或是部分涵蓋)到整個圖形標籤TP1即可,並不限於圖1和圖3中所示的位置。光學感測器OT1可有線或無線連接至伺服端8並受控於伺服端8。
伺服端8可例如為一或多個計算機裝置,且至少包含一處理器81。處理器81用以控制馬達7的運轉及光學感測器OT1的運作,從而執行本發明所提供的量測進給系統的位置誤差的方法。
請一併參考圖4所示的量測進給系統的位置誤差的方法的流程圖。首先,如步驟S10所示,處理器81控制馬達7旋轉,以帶動移動體(例
如工作台2、螺帽52和滑塊32)沿長軸件(例如滑軌31和螺桿51)移動。並且根據馬達7運轉所產生的進程資訊(例如馬達7的編碼器訊號),處理器81可推估出移動體已移動的距離,從而判斷是否要控制光學感測器OT1進行拍攝。接著,如步驟S11所示,在移動體的移動過程中,當光學感測器OT1的感測範圍來到可完全涵蓋(或是部分涵蓋)一圖形標籤TP1的位置時,處理器81會控制光學感測器OT1對此圖形標籤TP1分別進行二次拍攝,以獲得二影像(例如為靜態影像)。
然後,如步驟S12所示,處理器81對第一次拍攝獲得的影像(以下稱第一影像)進行灰階處理,並透過例如但不限於DIC演算法,從灰階的第一影像中選取影像特徵。舉例來說,如圖5A所示,從灰階的第一影像IM1中呈現的圖形標籤TP1的影像(以下稱標籤影像PI1(第一標籤影像))內,找到與一預設範本相符的一影像特徵FI1(第一影像特徵)。同樣地,如步驟S13所示,處理器81也會對第二次拍攝獲得的影像(以下稱第二影像)進行灰階處理,並透過例如但不限於數位影像相關演算法,從灰階的第二影像中搜尋出與第一影像的影像特徵一樣的部分。具體來說,如圖5B所示,從灰階的第二影像IM2中呈現的標籤影像PI1內,找到相同的影像特徵FI1。
最後,如步驟S14所示,處理器81可透過例如但不限於DIC演算法搭配捲積運算,比較上述的影像特徵於二影像中的位置,即計算影像特徵FI1在第一影像IM1和第二影像IM2中的位置於至少一軸方向上的差值,以獲得於該至少一軸方向上的位移量,從而推估長軸件在上述圖形標籤TP1所在位置的位置誤差。具體來說,將灰階的第一影像IM1和第二影像IM2上同一位置的灰階值相乘,然後進行積分,如以下公式(1)所示:
其中,f(τ)和g(t-τ)分別表示第一影像IM1和第二影像IM2上同一位置的灰階值。接著,利用以下公式(2)計算第一影像IM1和第二影像IM2的相關係數γij:
其中是代表第一影像內所有像素的灰階值的平均值;是代表第二影像內所有像素的灰階值的平均值;m是代表個別的像素在影像中所對應的x座標;以及n是代表個別的像素在影像中所對應的y座標。當計算獲得的相關係數γij達到最高時,其對應的位置即為兩影像中相似度最大時的位置,也就是影像特徵FI1的位置。此時,即可利用以下公式(3)來計算一軸方向上的位移量:位移量=移動距離×像素尺寸 (3),其中位移量是指第二影像IM2於該軸方向上相對於第一影像IM1的偏移量;移動距離是指相關係數達到最大度時第二影像IM2相對於第一影像IM1在該軸方向上的距離,單位為像素;像素尺寸是指一個像素的大小,單位例如為微米(μm)。
如此一來,使用者便可透過上述的量測結果來判斷長軸件是否發生彎曲,進而考慮是否維修或更換長軸件。
本發明所提供的量測進給系統的位置誤差的方法可應用於量測多軸向上(不同類型)的位置誤差,例如但不限於二線性滑軌3在水平面(例如由軸方向D1和D2構成)上是否平行、滾珠螺桿5是否有背隙以及各別
線性滑軌3在垂直面(例如軸方向D1和D3構成)上是否歪斜。以下將列舉範例來分別說明這些應用。
請參考圖6和7A至7C所示,來說明在本發明的一實施例中,本發明所提供的量測進給系統的位置誤差的方法應用於量測滾珠螺桿5是否有背隙。一般在對同一個圖形標籤TP1分別進行二次拍攝時,是預定在相同的位置進行拍攝,因此前後拍攝獲得的二影像應該也會差不多。然而,一旦滾珠螺桿5發生背隙,由於回程差的緣故,會導致這二次拍攝的位置相隔一距離,使得前後拍攝的影像中,影像特徵的位置偏移會超出容許範圍。為此,本實施例提供的量測方法首先可執行與步驟S10相同的步驟S20,以控制工作台2沿滑軌31和螺桿51在行進方向V1(第一行進方向)上移動。如圖7A所示,每當光學感測器OT1在行進方向V1上移動至其感測範圍可完全涵蓋(或是部分涵蓋)個別的圖形標籤TP1的位置時,執行步驟S21,以控制光學感測器OT1對此圖形標籤TP1進行第一次拍攝,以獲得此圖形標籤TP1的一第一影像。
接著,如圖7B所示,當已對每個圖形標籤TP1都進行第一次拍攝後,則執行步驟S22,以控制工作台2沿滑軌31和螺桿51在行進方向V2(第二行進方向)上移動。行進方向V2相反於行進方向V1。如圖7C所示,每當光學感測器OT1在行進方向V2上移動至其感測範圍可完全涵蓋(或是部分涵蓋)個別的圖形標籤TP1的位置時,執行步驟S23,以控制光學感測器OT1對此圖形標籤TP1進行第二次拍攝,以獲得此圖形標籤TP1的一第二影像。
當取得各個第一影像後,執行與上述步驟S12相同的步驟S24,以在灰階的第一影像中選取指定的影像特徵。同樣地,當取得各個第二影像後,執行與上述步驟S13相同的步驟S25,以在灰階的第二影像中搜尋指定的影像特徵。對應同一個圖形標籤TP1的第一影像和第二影像中的影像特徵相同。
然後,執行與上述步驟S14相同的步驟S26,以比較上述的影像特徵於上述相對應的第一影像和第二影像中的位置,從而推估此影像特徵於軸方向D1的第一位移量和(或)於軸方向D2的第二位移量,進而推估光學感測器OT1的移動路徑(或工作台2的進給路徑)在對應的圖形標籤TP1所在位置上的偏差程度。當偏差程度超出一預設範圍時,表示滾珠螺桿5已發生背隙。
請參考圖8、9A和9B所示,來說明在本發明的一實施例中,本發明所提供的量測進給系統的位置誤差的方法應用於量測二線性滑軌3是否平行。首先,執行與上述步驟S10相同的步驟S20,以控制工作台2沿滑軌31和螺桿51在行進方向V1上移動。如圖9A所示,每當光學感測器OT1在行進方向V1上移動至其感測範圍可完整涵蓋(或是部分涵蓋)一圖形標籤TP1的位置時,執行步驟S31所示,以控制光學感測器OT1在移動過程中對此圖形標籤TP1連續拍攝二次,以獲得一第一影像和一第二影像。
當取得各個第一影像後,執行與上述步驟S12相同的步驟S32,以在灰階的第一影像中選取指定的影像特徵。同樣地,當取得各個第二影像後,執行與上述步驟S13相同的步驟S33,以在灰階的第二影像中搜
尋指定的影像特徵。對應同一個圖形標籤TP1的第一影像和第二影像中的影像特徵相同。
最後,執行與上述步驟S14相同的步驟S34,以比較上述的影像特徵於灰階的第一影像和第二影像中的位置,從而推估此影像特徵在此圖形標籤TP1所在位置,於軸方向D1的第一位移量以及於軸方向D2的第二位移量,進而推估個別線性滑軌3在對應的圖形標籤TP1所在位置上的偏差程度。藉此,便可判斷出二滑軌31在軸方向D1與軸方向D2構成的平面空間上是否發生不平行的情況。
而在本發明量測二線性滑軌3是否平行的另一實施例中,也可採用與量測滾珠螺桿5是否有背隙的方式來實現,也就是採用圖6至7C所示的步驟來個別線性滑軌3在對應的圖形標籤TP1所在位置上的偏差程度。藉此,便可判斷出二滑軌31在軸方向D1與軸方向D2構成的平面空間上是否發生不平行的情況。
為了量測各別線性滑軌3是否上下歪斜,可參考圖10和11所示,可在軸床1的凸部12的側向面14上設置多個圖形標籤TP2(第二圖形標籤),以及在移動體(例如工作台2)上設置對應這些圖形標籤TP2的一光學感測器OT2(第二光學感測器)。側向面14與工作面13的夾角大於0度且小於180度。量測各別線性滑軌3是否上下歪斜的方式與量測二線性滑軌3是否平行的方式類似,如圖12所示。首先,執行與上述步驟S10相同的步驟S50,並且執行與上述步驟S31相同的步驟S51,以獲得一第三影像和一第四影像。接著,當取得各個第三影像後,執行與上述步驟S12相同的步驟S52,以在灰階的第三影像中找出指定的影像特徵,如圖13A所示灰階的第三影像IM3
內呈現的標籤影像PI2(第二標籤影像)中的影像特徵FI2(第二影像特徵);並且,當取得各個第四影像後,執行與上述步驟S13相同的步驟S53,以在灰階的第四影像中找出指定的影像特徵,如圖13B所示灰階的第四影像IM4內呈現的標籤影像PI2中的影像特徵FI2。對應同一個圖形標籤TP2的第三影像和第四影像中的影像特徵相同。
最後,執行與上述步驟S14相同的步驟S54,以比較上述的影像特徵於灰階的第三影像和第四影像中的位置,從而推估此影像特徵在此圖形標籤TP2所在位置,於軸方向D1的第三位移量以及於軸方向D3的第四位移量,進而推估個別線性滑軌3於軸方向D1和軸方向D3所構成的平面中,在對應的圖形標籤TP2所在位置上的偏差程度。
類似地,在量測各別線性滑軌3是否上下歪斜的另一實施例也可採用類似圖6所示的量測二線性滑軌3是否平行的方式來實現。請參考圖10和14所示。首先,執行與上述步驟S10相同的步驟S50,以及執行與上述步驟S21類似的步驟S61,以獲得一第三影像。然後,執行與上述步驟S22類似的步驟S62,以及執行類似上述步驟S23的步驟S63,以獲得一第四影像。
在獲得第三影像後,執行上述步驟S52,以在灰階的第三影像中找出指定的影像特徵;以及在獲得第四影像後,執行上述步驟S53,以在灰階的第四影像中找出指定的影像特徵。對應同一個圖形標籤TP2的第三影像和第四影像中的影像特徵相同。
最後,執行上述的步驟S54,以比較上述的影像特徵於灰階的第三影像和第四影像中的位置,從而推估此影像特徵在此圖形標籤TP2
所在位置,於軸方向D2的第三位移量以及於軸方向D3的第四位移量,進而推估個別線性滑軌3於軸方向D2和軸方向D3所構成的平面中,在對應的圖形標籤TP2所在位置上的偏差程度。
雖然上述圖4、6、8、12和14的各個實施例皆是先取得對應同一個圖形標籤的第一影像和第二影像之後,才對這二個影像進行影像處理及特徵搜尋,然而本發明並不限於此。在其他實施例中,也可以在每取得一影像之後,隨即對此影像進行影像處理及特徵搜尋。
雖然上述圖6和圖14的實施例皆是一次性地對所有的圖形標籤進行第一次拍攝後,才再一次性地對所有的圖形標籤進行第二次拍攝,然而本發明並不限於此。在其他實施例中,也可以控制光學感測器在第一行進方向上移動時對當前的圖形標籤進行第一次拍攝後,隨即控制此光學感測器在相反於第一行進方向的一第二行進方向上移動時對此圖形標籤進行第二次拍攝;之後,再控制光學感測器在第一行進方向上移動時對下一個圖形標籤進行第一次拍攝後,隨即控制此光學感測器在第二行進方向上移動時對此圖形標籤進行第二次拍攝。
在本發明中,光學感測器的數量可根據應用的需求而決定,並不限於上述各實施例所採用的數量。
雖然上述圖1、3、7A至7C、9A至9B和10的實施例皆是將光學感測器OT1/OT2設置在工作台2,然而本發明並不限於此。在其他實施例中,光學感測器OT1/OT2也可根據需求而設置於滑塊32或螺帽52(例如螺帽52的法蘭53)等。
此外,雖然上述關於量測二線性滑軌3在水平面上是否平行、滾珠螺桿5是否有背隙以及各別線性滑軌3在垂直面上是否歪斜的各實施例是分別描述,然而實際上,上述的至少其中2種應用可同時進行,例如同時進行量測二線性滑軌3在水平面上是否平行和量測各別線性滑軌3在垂直面上是否歪斜。
雖然本發明以前述之實施例揭露如上,然而這些實施例並非用以限定本發明。在不脫離本發明之精神和範圍內,所為之更動、潤飾與各實施態樣的組合,均屬本發明之專利保護範圍。關於本發明所界定之保護範圍請參考所附之申請專利範圍。
Claims (10)
- 一種量測進給系統的位置誤差的方法,該進給系統包含一軸床、一長軸件和一移動體,該長軸件固定於該軸床,該移動體可移動地設置於該長軸件,該軸床的一工作面上設置至少一第一圖形標籤,該方法包含以下步驟:(A)控制該移動體沿該長軸件移動,並在該移動體移動的過程中,控制一第一光學感測器對其中一個該第一圖形標籤分別進行二次拍攝,以分別獲得一第一影像和一第二影像,其中該第一光學感測器裝設於該移動體且對應該其中一個第一圖形標籤;(B)以數位影像相關演算法,從該第一影像和該第二影像中選取一第一影像特徵;以及(C)以該數位影像相關演算法及捲積運算,比較該第一影像特徵於該第一影像和該第二影像中的位置,以推估該位置誤差。
- 根據請求項1所述的方法,其中該步驟(A)包含以下步驟:(A1)控制該移動體沿該長軸件朝一第一行進方向移動;(A2)當該移動體朝該第一行進方向移動時,控制該第一光學感測器對該其中一個第一圖形標籤進行拍攝,以獲得該第一影像;(A3)控制該移動體沿該長軸件朝一第二行進方向移動,該第二行進方向相反於該第一行進方向;以及(A4)當該移動體朝該第二行進方向移動時,控制該第一光學感測器對該其中一個第一圖形標籤進行拍攝,以獲得該第二影像。
- 根據請求項2所述的方法,其中該步驟(C)包含以下步驟: (C1)於至少一軸向上,計算該第一影像特徵於該第一影像中的該位置以及於該第二影像中的該位置之間的差值,以獲得於該軸向上的一位移量作為至少部分的該位置誤差。
- 根據請求項1所述的方法,其中於該步驟(A)中,該移動體是沿該長軸件朝一行進方向移動,並且當該移動體朝該行進方向移動時,該第一光學感測器對該其中一個第一圖形標籤進行連續二次拍攝,以分別獲得該第一影像和該第二影像。
- 根據請求項2或4所述的方法,其中該步驟(C)包含以下步驟:(C2)於一第一軸向上,計算該第一影像特徵於該第一影像中的該位置以及於該第二影像中的該位置之間的差值,以獲得於該第一軸向上的一第一位移量作為部分的該位置誤差;以及(C3)於一第二軸向上,計算該第一影像特徵於該第一影像中的該位置以及於該第二影像中的該位置之間的差值,以獲得於該第二軸向上的一第二位移量作為另一部分的該位置誤差,該第一軸向垂直於該第二軸向。
- 根據請求項1所述的方法,其中該軸床的一側向面上設置有至少一個第二圖形標籤,該側向面與該工作面的夾角大於0度且小於180度,該移動體更裝設有對應該至少一個第二圖形標籤的一第二光學感測器,該方法更包含以下步驟:(D)在該移動體移動的過程中,控制該第二光學感測器對其中一個該第二圖形標籤分別進行二次拍攝,以分別獲得一第三影像和一第四影像; (E)以該數位影像相關演算法,從該第三影像和該第四影像中選取一第二影像特徵;以及(F)以該數位影像相關演算法及該捲積運算,比較該第二影像特徵於該第三影像與該第四影像中的位置,以推估該位置誤差。
- 根據請求項6所述的方法,其中該步驟(F)包含以下步驟:(F1)於一第一軸向上,計算該第二影像特徵於該第三影像中的該位置以及於該第四影像中的該位置之間的差值,以獲得於該第一軸向上的一第三位移量作為部分的該位置誤差;以及(F2)於一第三軸向上,計算該第二影像特徵於該第三影像中的該位置以及於該第四影像中的該位置之間的差值,以獲得於該第三軸向上的一第三位移量作為另一部分的該位置誤差,該第二軸向垂直於該第三軸向。
- 根據請求項6所述的方法,其中該步驟(D)包含以下步驟:(D1)控制該移動體沿該長軸件於該第一行進方向移動;(D2)當該移動體朝該第一行進方向移動時,控制該第二光學感測器對該第二圖形標籤進行拍攝,以獲得該第三影像;(D3)控制該移動體沿該長軸件朝一第二行進方向移動,該第二行進方向相反於該第一行進方向;以及(D4)當該移動體朝該第二行進方向移動時,控制該第二光學感測器對該其中一個第二圖形標籤進行拍攝,以獲得該第四影像。
- 根據請求項9所述的方法,其中該步驟(C)中是利用以下條件來進行:位移量=移動距離×像素尺寸其中該位移量是指該第二影像於一軸方向上相對於該第一影像的偏移量;該移動距離是指該相關係數達到最大度時該第二影像相對於該第一影像在該軸方向上的距離;該像素尺寸是指一個像素的大小。
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