JP4458315B2 - ペリクル - Google Patents
ペリクル Download PDFInfo
- Publication number
- JP4458315B2 JP4458315B2 JP2000165515A JP2000165515A JP4458315B2 JP 4458315 B2 JP4458315 B2 JP 4458315B2 JP 2000165515 A JP2000165515 A JP 2000165515A JP 2000165515 A JP2000165515 A JP 2000165515A JP 4458315 B2 JP4458315 B2 JP 4458315B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- adhesive
- layer
- vent hole
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路の製造や液晶基板製造におけるフォトリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクやレティクル(以下、「マスク」という)に固着して使用され、マスクに塵埃等の異物が付着するのを防止するペリクルに係り、特にペリクル自体及びペリクル周辺から発生する塵埃のマスクへの付着を防止する無発塵のペリクルに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ペリクルは、一定幅を有するペリクル枠に透明薄膜からなるペリクル膜を接着剤等を用いて張着されたものであり、ペリクル膜はマスクとは所定の距離(ペリクル枠高さ)をおいてマスク上に位置させ、マスク上に塵埃等の異物等が付着するのを防止するものである。
【0003】
フォトリソグラフィ工程において、異物等がペリクル上に付着したとしても、それ等の像はフォトレジストが塗布された半導体ウェハ上には結像しない。従って、マスクをペリクルで保護することにより、異物等の像による半導体集積回路の短絡や断線等、また液晶ディスプレイ(以下、「LCD」という)の欠陥を防止することが出来、フォトリソグラフィ工程での製造歩留りが向上する。
【0004】
更にマスクのクリーニング回数が減少して、その寿命を延ばす等の効果がペリクルにより得られる。
【0005】
半導体用ペリクル及びLCD用ペリクルにおいては、共に露光工程におけるスループット向上のために露光する光の透過率が高いことが要求される。そのために、透明薄膜の片面或いは両面に反射防止層が設けられるようになってきている。反射防止層は単層或いは2層以上の層で構成されることもある。
【0006】
最外層に用いる反射防止層の材料としては、特開昭61-209449号公報に開示されたテトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、或いは特開平1-100549号公報に開示されたポリフルオロアクリレート、或いは特開平3-39963号公報に開示された主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンAF(商品名)、或いは旭硝子社製のサイトップ(商品名)等が提案されている。
【0007】
最外層の反射防止層の材料の多くは、フッ素含有ポリマーや、フッ化カルシウムやフッ化マグネシウム等の無機フッ素系材料が用いられている。透明薄膜層(中心層)材料の多くはニトロセルロースやセルロースアセテートプロピオネート、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体及びこれらの混合物が用いられている。
【0008】
LCDではTFT(薄膜トランジスタ)の実用化により大画面化、高精細化、大容量化等が達成されつつあるが、TFT−LCD製造で使用されるペリクルもこれに対応して大型化及び面内の光透過性の均一性が求められ、また半導体製造用のペリクルにおいても均一な高光線透過率を持つペリクル膜が求められているが、更にペリクル自身及びその周辺からミクロンオーダーの塵埃等の異物の発生も許されないペリクルが求められている。
【0009】
このようなマスク保護装置としてのペリクルは、ペリクル枠と、該ペリクル枠の一側面に接着剤を介して張着されたペリクル膜とから構成されるものであり、ペリクル枠としては一般にアルマイト処理されたアルミ枠が用いられるが、その形状を精緻に観察すると、通気孔内部の異物が振動や衝撃、気圧差による通気孔内部の空気の流れにより発塵する虞がある。
【0010】
例えば、特開昭60-57841号公報には、ペリクル枠の内面に予め粘着性物質の薄膜を設けておき、ペリクル膜とマスクとの間に混入した微小な異物が浮遊した場合、この微小異物を前述の粘着性物質に付着せしめて固定し、該微小異物を無害化することを特徴とする異物固定方法が開示されている。
【0011】
図2は従来のペリクルの部分断面図であり、ペリクル枠51にペリクル膜52が接着剤53により接着され、ペリクル枠51に設けられた通気孔51aの外側にフィルタ54が設けられている。ペリクル枠51は接着剤55によりマスク56に接着されている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の従来例では、ペリクルの輸送やハンドリング及びマスク貼り付け後の輸送やハンドリングの振動や衝撃、気圧差による空気の流れにより通気孔51aの内部から異物が発塵した場合、該微小異物を無害化することが出来ないという問題があった。
【0013】
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、ペリクルの輸送やハンドリング及びマスク貼り付け後の輸送やハンドリングの振動や衝撃、気圧差による空気の流れによって通気孔内部から異物が発塵しないペリクルを提供せんとするものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は前記目的を達成するために鋭意研究を行った結果、ペリクルに関して、それを構成するペリクル枠の通気孔内部について、その表面を精緻に観察すると、アルマイト屑等の異物が付着しており振動や衝撃、空気の流れにより脱落する虞があることを見い出し、ペリクル膜や接着剤の塵埃等の微小浮遊物が発生し易いことを見い出し、本発明を成すに至った。
【0015】
即ち、本発明に係るペリクルは、ペリクル枠と該ペリクル枠にペリクル膜を接着剤を介して張着したペリクルにおいて、該ペリクル枠の通気孔内部に導電性物質を含む粘着材を塗布したことを特徴とする。また、前記導電性物質が導電性カーボンブラック、又は金属粉であることを特徴とする。更に、前記導電性物質が帯電していることを特徴とする。
【0016】
本発明は、上述の如く構成したので、ペリクル枠の通気孔内部に塗布した導電性物質を含む粘着材により塵埃を捕獲してペリクルの輸送やハンドリング及びマスク貼り付け後の輸送やハンドリングの振動や衝撃、気圧差による空気の流れによって通気孔内部から異物が発塵しない。
【0017】
また、ペリクル枠の内側に粘着材を塗布することが好ましい。内面に塗布することによりマスク貼り付け後のマスクとペリクル枠内の浮遊物を粘着材により捕獲することが出来る。
【0018】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係るペリクルの一実施形態を具体的に説明する。図1(a)は本発明に係るペリクルの部分断面図、図1(b)は本発明に係るペリクルのペリクル枠の通気孔の周辺を示す正面説明図である。
【0019】
図1において、1はペリクル枠であり、該ペリクル枠1には接着剤3を介してペリクル膜2が張着されている。ペリクル枠1の通気孔1aの内面に粘着材4が塗布され、該通気孔1aの外側にフィルタ5が設けられている。
【0020】
6はフォトマスクやレティクル(以下、「マスク」という)等の透明基板からなるマスク7にペリクルAを貼り付けるための接着剤である。
【0021】
ペリクル枠1としては、ペリクル膜2を支持し得る枠であればどのような材質であっても良いが、表面をアルマイト処理したアルミフレームやクロムメッキ等を施した金属枠等の支持枠、更にはエンジニアリングプラスチック等で製造した樹脂支持枠等が用いられ、その形状も方形、円形等、他の種々の形状であっても良い。通常は、製造の容易さ、強度等の点から金属枠が用いられる。
【0022】
ペリクル膜2の透明薄膜層(中心層)材料としては、ニトロセルロース、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート、エチルセルロース、カーボネート化アセチルセルロース等のセルロース誘導体が使用出来る。
【0023】
これらのセルロース誘導体は、夫々単独で用いても良いが、2種以上のセルロース誘導体との混合物を用いても良い。使用するセルロース誘導体は、高分子量のもの程、薄膜の形状保持性が良いため好ましい。
【0024】
即ち、数平均分子量が3万以上、好ましくは5万以上である。このような材料のうち、ニトロセルロースは旭化成工業株式会社製、セルロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネートはイーストマン・コダック社製のものが夫々市販されており、容易に入手することが出来る。
【0025】
セルロース誘導体の溶媒としては、2−ブタノン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、乳酸エチル、酢酸セロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等、及びこれ等の溶媒の混合系が使用される。
【0026】
セルロース誘導体等の溶液は、予め異物除去のための濾過をしてから、スピンコートする。透明薄膜(中心層)の膜厚は、溶液粘度や基板の回転速度を変化させることにより適宜変化させることが出来る。基板上に形成された薄膜に含まれている溶媒はホットプレート、オーブン等で揮発させる。
【0027】
ペリクル膜2の反射防止層は単層或いは2層以上の層で構成されるが、単層の場合(表裏に反射防止層を形成すると、ペリクル膜2の層数は3層)は、反射防止層の屈折率n1が透明薄膜(中心層)の屈折率nCに対してn1=(nC)1/2の時に反射防止効果は最大となり、この値に近い反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。反射防止層の厚みdは、反射防止すべき波長をλとするとn1×d=λ/4とすれば良い。
【0028】
また、反射防止層が2層の場合(前述と同様に表裏に反射防止層を形成するとペリクル膜2の層数は5層)は、透明薄膜層に接する層を高屈折率反射防止層にし、最外層を低屈折率反射防止層とするが、最外層の反射防止層から順に屈折率と厚みをn1、d1及びn2、d2とすると、n2/n1=(nC)1/2の時に反射防止効果は最大となり、この値に近いn2/n1の反射防止層材料を選択する程、反射防止効果は大きくなる。
【0029】
反射防止層の厚みd1、d2は、反射防止すべき波長をλとすると、n1×d1=n2×d2=λ/4とすれば良い。中心層にはセルロース誘導体、ポリビニルブチラール、ポリビニルプロピオナール等を使用することが出来、その場合にはこれらの屈折率は1.5前後であるから、(nC)1/2が約1.22となる。従って、反射防止層材料の屈折率としては、反射防止層が単層の場合、n2/n1が1.22に近い程、反射防止効果が大きくなり、好ましい。
【0030】
最外層として用いる低屈折率反射防止層の材料としては、テトラフルオロエチレン−ビニリデンフルオライド−ヘキサフルオロプロピレンポリマー、ポリフルオロアクリレート、主鎖に環状構造を有するフッ素ポリマーであるデュポン社製のテフロンAF(商品名)、旭硝子社製のサイトップ(商品名)等のフッ素系材料が使用出来る。
【0031】
テフロンAFは、γ線、電子線、α線等の放射線や遠紫外線等の光を照射することにより、濾過性、制電性、ペリクル膜2とペリクル枠1との接着性が向上する。
【0032】
粘着材4として使用される粘着性物質は、種々のものが用いられるが、例えば、ゴム系、アクリル系、シリコーン系、ポリビニルエーテル系等の有機系、或いは無機系があり、ゴム系等の有機系が一般的であるが、アクリル系は耐熱性もあり、粘着力も大きく、ゴム系のような酸化劣化がない。
【0033】
シリコーン系は耐熱性も良く、粘着力も大きいが、価格が高いためゴム系、アクリル系が好ましい。具体的には、例えば、天然ゴム、ブチルゴム、SBR(スチレン・ブタジエンゴム)、CR(クロロプレンゴム)、NBR(ニトリルブタジエンゴム)、アクリル酸ブチル、PMMA(ポリメタクリル酸メチル)、シリコーン、ポリビニルブチルエーテル等が挙げられる。
【0034】
粘着材4は、粘着剤、粘着付与剤及び副資材とから構成され、粘着付与剤は、粘着性、塗布性、耐久性等を向上させるために粘着剤の主要成分を構成するレジンであり、ロジン系、テルペン系、合成石油系、フェノール系、キシレン系等の樹脂が用いられる。副資材としては、必要に応じて軟化剤、充填剤、酸化防止剤、架橋剤、導電剤等が用いられる。
【0035】
粘着材4を塗布するには、有機溶剤を用いる方法、水系エマルジョン、ホットメルト及び反応系を用いる方法等が挙げられる。これ等を、例えば、スポンジ、或いはウレタン等のスティック状の部材に染み込ませ、通気孔1aの内部に塗布する。このように、通気孔1a内に粘着材4を塗布することによりペリクル枠1の通気孔1a側に入り込んで該通気孔1a内面に付着した異物を強固に保持出来るようになり、マスク7上及びペリクルAの外周辺に異物を落下させないようにすることが出来る。
【0036】
用いる溶剤としては、例えば、トルエン、ヘキサン、シクロヘキサン、塩化メチレン、酢酸エチル、メチルエチルケトン、セロソルブ、イソプロピルアルコール等が挙げられる。
【0037】
また、粘着材4は導電性であることが好ましい。導電性を付与するには、粘着剤の副資材として、導電物質、例えば、導電性カーボンブラック、金属粉等を配合すれば良い。粘着材4が導電性であると、帯電により塵埃が吸収され易く、何らかの原因で粘着材4から異物が剥離する虞が軽減される。
【0038】
また、粘着材4の一つである塗料としては、油性、水性、樹脂製塗料、顔料等の金属の表面保護や着色のために使用される一般的な塗料、伝熱性や導電性或いは光線の吸収や反射の調節、その他、特殊な用途に使用される塗料等が挙げられ、この中では、導電性物質が好ましい例として挙げられる。塗料が帯電性物質であると、帯電により塵埃が吸収され易く、吸収された物質が何らかの原因で外れる虞があるが、導電性物質ではこうした問題は生じない。
【0039】
また、ペリクル枠1の内側面に塗布される粘着材8も前記粘着材4と同様の材料が用いられる。これ等を刷毛、ローラ、スプレー、或いは浸漬等で塗布し、薄膜を形成する。粘着材8を塗布することによりペリクル枠1の内側窪みに入り込んだ異物を封じ込め、外部に飛び出すことがないようにすることが出来る。
【0040】
また、ペリクル枠1にペリクル膜2を接着するための接着剤3は紫外線硬化型接着剤や熱硬化型接着剤を利用すれば好ましい。
【0041】
[参考例]
以下に、本発明を適用した一参考例について説明する。先ず、セルロースアセテートプロピオネート(イーストマン・コダック社製、「CAP482−20」、以下「CAP」という)を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解し、CAP溶液を作製する。
【0042】
次に、反射防止層としての含フッ素樹脂を溶媒に溶解した溶液を作製する。先ず、塗布用基板をスピンコーターにセットして、調整したCAP溶液を、フィルターで濾過し、その濾過液の適当量を上記塗布用基板上に滴下し、その後、塗布用基板を1000rpmで45秒間回転させ、次に、ホットプレートで溶媒を蒸発せしめ、シリコンウェーハ上にCAPからなる厚さ1〜2μmの透明薄膜層(中心層)を形成した。
【0043】
次いで、上記で調整した含フッ素樹脂溶液を、フィルターで濾過し、その濾過液を上記中心層の上に数cc滴下し、600rpmで30秒間回転させた後、風乾し、更にホットプレート上で乾燥し、反射防止層を形成した。
【0044】
次に、23℃、相対湿度50%の条件下で塗布用基板により剥離し、更に含フッ素樹脂溶液数ccを上記基板から剥離した2層膜の中心層露出面に滴下し、600rpmで30秒間回転させた後、風乾して反射防止層を形成し、3層膜を得た。
【0045】
次に、上面に紫外線硬化型接着剤を用いて、図1に示すような内側面に粘着性物質の薄膜を設けた表面アルマイト処理したアルミニウム製の金属のペリクル枠1に3層膜を接着した。ペリクル枠1の通気孔1aの内部には予め粘着材4を塗布してある。粘着材4はスティック状のウレタンにアクリル系粘着剤を染み込ませたものを通気孔1aの内部に挿入しながら塗布した。
【0046】
通気孔1aの外側面にはフィルタ5が設けられ、外部からの塵埃の侵入を防止すると共にマスク貼り付け後の気圧差による空気の流れを調整している。
【0047】
得られたペリクルAは輸送中及びハンドリング中も塵埃が発生することが無く、無発塵ペリクルとして良好であった。
【0048】
【発明の効果】
本発明は、上述の如き構成と作用とを有するので、ペリクルの輸送やハンドリング及びマスク貼り付け後の輸送やハンドリングの振動や衝撃、気圧差による空気の流れによって通気孔内部から異物が発塵しないペリクルを提供することが出来る。
【0049】
即ち、ペリクル枠の通気孔内部に塗布した導電性物質を含む粘着材により塵埃を捕獲してペリクルの輸送やハンドリング及びマスク貼り付け後の輸送やハンドリングの振動や衝撃、気圧差による空気の流れによって通気孔内部から異物が発塵しない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 (a)は本発明に係るペリクルの部分断面図、(b)は本発明に係るペリクルのペリクル枠の通気孔の周辺を示す正面説明図である。
【図2】 従来例を説明する図である。
【符号の説明】
A…ペリクル
1…ペリクル枠
1a…通気孔
2…ペリクル膜
3…接着剤
4…粘着材
5…フィルタ
6…接着剤
7…マスク
8…粘着材
Claims (3)
- ペリクル枠と、該ペリクル枠にペリクル膜を接着剤を介して張着したペリクルにおいて、前記ペリクル枠に通気孔が設けられ、該通気孔内に導電性物質を含む粘着材を塗布したことを特徴とするペリクル。
- 前記導電性物質が導電性カーボンブラック、又は金属粉であることを特徴とする請求項1に記載のペリクル。
- 前記導電性物質が帯電していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のペリクル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000165515A JP4458315B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | ペリクル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000165515A JP4458315B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | ペリクル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001343738A JP2001343738A (ja) | 2001-12-14 |
JP4458315B2 true JP4458315B2 (ja) | 2010-04-28 |
Family
ID=18668979
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000165515A Expired - Fee Related JP4458315B2 (ja) | 2000-06-02 | 2000-06-02 | ペリクル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4458315B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004157229A (ja) | 2002-11-05 | 2004-06-03 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル及びその製造方法 |
JP5241657B2 (ja) * | 2009-09-04 | 2013-07-17 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル |
JP5314631B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2013-10-16 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルフレームの通気孔内壁に粘着剤を塗布する方法 |
JP5940283B2 (ja) * | 2011-11-04 | 2016-06-29 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル |
SG11201907482YA (en) * | 2017-02-17 | 2019-09-27 | Mitsui Chemicals Inc | Pellicle, exposure original plate, exposure device, and semiconductor device manufacturing method |
CN114144728A (zh) * | 2019-04-16 | 2022-03-04 | 信越化学工业株式会社 | 防护薄膜用粘合剂、防护薄膜、带防护薄膜的曝光原版、半导体装置的制造方法、液晶显示板的制造方法、曝光原版的再生方法及剥离残渣减少方法 |
-
2000
- 2000-06-02 JP JP2000165515A patent/JP4458315B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001343738A (ja) | 2001-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5189614B2 (ja) | ペリクル及びその取り付け方法、並びにペリクル付マスク及びマスク | |
US8383297B2 (en) | Pellicle for lithography and method for manufacturing pellicle film | |
JP2006178434A (ja) | 大型ペリクル | |
EP3249467B1 (en) | A pellicle | |
US5834143A (en) | Frame-supported dustproof pellicle for photolithographic photomask | |
TWI431414B (zh) | 微影用防塵薄膜組件 | |
JP4458315B2 (ja) | ペリクル | |
KR100318810B1 (ko) | 포토리소그래픽포토마스크용의프레임-지지방진펠리클 | |
EP2330462B1 (en) | Lithographic pellicle | |
JP2001083691A (ja) | 無発塵ペリクル | |
JP4173239B2 (ja) | リソグラフィー用ペリクル | |
JP2001092113A (ja) | 半導体リソグラフィ用ペリクル | |
JP4371458B2 (ja) | ペリクルの製造方法 | |
JP3449180B2 (ja) | ペリクル | |
JP2004240010A (ja) | ペリクルの収納方法 | |
KR101970059B1 (ko) | 펠리클 | |
KR20200014066A (ko) | 펠리클 수납용기 | |
JP3026750B2 (ja) | ペリクル | |
JPH0756325A (ja) | ペリクルとその製造方法 | |
JP4118082B2 (ja) | フォトマスク用保護膜修正方法 | |
JP2001350252A (ja) | ペリクル | |
KR20010088421A (ko) | 포토리소그래피용 펠리클 | |
JPH063808A (ja) | ペリクルおよびその製造方法 | |
JP4252765B2 (ja) | フォトマスク画像面からの異物除去方法 | |
JPH08179495A (ja) | ペリクル及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20031217 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070530 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080130 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091225 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100203 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140219 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |