JP4452001B2 - フェーズドアレイによる探傷方法及び探傷装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はフェーズドアレイによる探傷方法及び探傷装置に関し、面反射波を用いて欠陥の高さを評価するようにしたものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば原子力プラント等の各種プラントにおける配管等の欠陥を非破壊検査により検出する場合に超音波探傷が適用される。従来の超音波探傷の一例として、TOFD(Time Flight Diffraction )法と称される技術が知られている。TOFD法は、送信プローブと受信プローブを対向配置させ、表面波、底面波及び欠陥端部からの回析波の伝搬時間の差から欠陥の高さを計測して欠陥を定量化するようにしたものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の超音波探傷は、欠陥の端部からの回析波を検出して路程差により求めているため、欠陥の形状によっては欠陥の端部からの回析波が非常に小さくなることがあった。このため、雑音等があると回析波を検出し難い場合があり、欠陥の定量化が困難になる虞があった。
【0004】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、形状等に拘らず容易に欠陥の定量化が行えるフェーズドアレイによる探傷方法及び探傷装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明のフェーズドアレイによる探傷方法は、多数の探触子をアレイ状に配設すると共に前記多数の探触子を複数個ずつに分けた探触子群を複数組形成し、且つ、前記複数組の探触子群を送信グループと受信グループとに分割したフェーズドアレイ探触子を形成し、前記受信グループの探触子群で、欠陥の面で反射した反射波が受信されるように、前記送信グループの探触子群の各探触子の超音波発信の遅延時間を設定して超音波の合成波面の入射角を調整し、前記送信グループの探触子群は順次切り換えて超音波を送出する一方、前記受信グループの探触子群は前記送信グループの各探触子群から超音波が送信される毎に、順次切り換えて反射波を受信し、前記超音波を送出した送信グループの探触子群と前記反射波を受信した受信グループの探触子群の位置を特定することで前記欠陥の高さを評価することを特徴とする。
【0015】
また、上記目的を達成する本発明の探傷装置は、多数の探触子をアレイ状に配設すると共に前記多数の探触子を複数個ずつに分けた探触子群を複数組形成し、且つ、前記複数組の探触子群を送信グループと受信グループとに分割したフェーズドアレイ探触子と、前記受信グループの探触子群で、欠陥の面で反射した反射波が受信されるように、前記送信グループの探触子群の各探触子の超音波発信の遅延時間を設定して超音波の合成波面の入射角を調整し、前記送信グループの探触子群は、順次切り換えて超音波を送出する一方、前記受信グループの探触子群は、前記送信グループの各探触子群から超音波が送信される毎に、順次切り換えて反射波を受信するように制御する制御部と、前記超音波を送出した送信グループの探触子群と前記反射波を受信した受信グループの探触子群の位置を特定することで前記欠陥の高さを評価する演算処理部とを備えたことを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【0017】
本形態はいわゆるフェーズドアレイ法を利用するものである。そこで、このフェーズドアレイ法を図1に基づき説明しておく。図1にはフェーズドアレイ法の原理を表す概念を示してある。
【0018】
図に示すように、フェーズドアレイ法とは、複数の超音波の探触子1をアレイ状に配設してなるフェーズドアレイ探触子Iを用い、このフェーズドアレイ探触子Iの各探触子1からそれぞれ発信する超音波の送信波3の遅延時間DTを電気的に適宜設定して、各送信波3の位相をずらすことにより、その合成波面3aの進行方向(超音波入射方向:入射角D)を所望の方向に調整するものである。かかるフェーズドアレイ法を用いれば、超音波発信の遅延時間の設定を調整するだけで容易に入射角を変えることができ、送信波3の入射角を変える超音波探傷が非常に有効なものとなる。
【0019】
遅延時間DTの制御により送信波3の入射角を任意に変化させることにより被探傷部材2の内部の広い範囲を超音波の送信波3でスキャンすることができ、また送信波3を任意の方向に収束させることもできるからである。かかる関係は、フェーズドアレイ探触子1を受信モードとした場合にも同様である。即ち、受信側のフェーズドアレイ探触子Iの各探触子1における受信のタイミングを制御することで広い範囲の反射波を検出することができる。
【0020】
図2に基づいて本発明の参考例を説明する。図1には本発明の参考例に係る探傷装置により探傷方法を実施している状態の概略を示してある。
【0021】
図に示すように、フェーズドアレイ探触子11は多数(例えば128ch)の探触子(エレメント)がアレイ状に配置され、多数の探触子は1個もしくは複数個づつが一組とされて探触子群12が複数組形成されている。探触子群12は中央から左右に送信グループ13及び受信グループ14とに分割され、送信グループ13及び受信グループ14の探触子群12は、中央から左右対称に送受信のペアが構成されている。つまり、中央から右側に送信グループ13の探触子群12▲1▼〜12▲6▼が形成され、中央から左側に受信グループ14の探触子群12▲1▼〜12▲6▼が形成されている。
【0022】
そして、送信グループ13の探触子群12▲1▼から送出された超音波の反射波は受信グループ14の探触子群12▲1▼でのみ受信される状態に制御部15により制御され、探触子群12▲2▼同士、探触子群12▲3▼同士、探触子群12▲4▼同士、探触子群12▲5▼同士及び探触子群12▲6▼同士で送受信が可能に制御されるようになっている。フェーズドアレイ探触子11の情報は演算処理部16に入力される。
【0023】
上述したフェーズドアレイ探触子11は、欠陥20の位置が特定された後に所定の位置に配置される。送信グループ13の探触子群12▲1▼の送信波18aを欠陥20のコーナ部に向けて送信するように探触子群12▲1▼からの合成波面を制御し、底面及びコーナ部の欠陥20の面を反射した面反射エコーである反射波19aを受信グループ14の探触子群12▲1▼で受信させる。この位置で、探触子群12▲2▼同士、探触子群12▲3▼同士、探触子群12▲4▼同士、探触子群12▲5▼同士及び探触子群12▲6▼同士で送受信を行う。
【0024】
この時、欠陥20の高さに応じて反射波19が受信される探触子群12が決まる(例えば、図示例の場合、探触子群12▲2▼、探触子群12▲3▼に反射波19が受信される)。図示例の欠陥20に対し、高さが低い場合、探触子群12▲2▼で反射波19が受信され、それ以外の受信グループ14の探触子群12では反射波19は受信されない。また、図示例の欠陥20に対し、高さが高い場合、探触子群12▲4▼または探触子群12▲5▼または探触子群12▲6▼で反射波19が受信されることになる。
【0025】
これにより、ペアに構成された送信グループ13からの反射波19が受信された受信グループ14の探触子群12を、演算処理部16で対応させて解析することにより、面反射エコーを用いて略垂直に存在する欠陥20の高さを正確に評価することができ、先端の形状に拘らず欠陥20の定量化が容易に行える。
【0026】
尚、フェーズドアレイ探触子11の全ての探触子群12を、送信時には送信グループ13に切り換え、受信時には受信グループ14に切り換えて欠陥20の高さを評価することも可能である。
【0027】
図3に基づいて本発明の参考例を説明する。図3には本発明の参考例に係る探傷装置による探傷方法を実施している状態の概略を示してある。尚、図2に示した部材と同一部材には同一符号を付してある。
【0028】
図に示すように、フェーズドアレイ探触子22は多数(例えば128ch)の探触子(エレメント)がアレイ状に配置され、多数の探触子は複数個づつが一組とされて探触子群12が複数組形成されている。探触子群12は中央から左右に送信グループ13及び受信グループ14とに分割され、送信グループ13の探触子群12は中央から右側に探触子群12▲1▼〜12▲6▼が形成されている。また、受信グループ14は全ての探触子群12が受信可能な状態に制御部15により制御されている(受信手段)。
【0029】
上述したフェーズドアレイ探触子22は、欠陥21の位置が特定された後に所定の位置に配置される。送信グループ13の探触子群12▲1▼の送信波18aを欠陥21のコーナ部に向けて送出するように探触子群12▲1▼からの合成波面を制御し、底面及びコーナ部の欠陥21の面を反射した反射波19aを受信グループ14の探触子群12の最中央部で受信させる。この位置で、探触子群12▲2▼〜12▲6▼から順次送信波18を送出し、受信グループ14の探触子群12で受信した反射波19の送信グループ13の探触子群12を特定する。
【0030】
図示例では、送信グループ13の探触子群12▲1▼、12▲2▼で送出された送信波18の反射波19が受信グループ14の探触子群12で受信された状態になっている。このとき、欠陥21の傾斜角度が垂直側となっていた場合、受信グループ14には、例えば、探触子群12▲1▼、12▲2▼、12▲3▼から送出される送信波18の反射波19が受信される。逆の傾斜角度の場合、受信された反射波19を送出した送信グループ13の探触子群12が減少する。
【0031】
これにより、受信グループ14で受信された反射波19を送出した探触子群12▲1▼〜▲3▼を演算処理部16で特定して解析することにより、欠陥21が傾斜していても、面反射エコーを用いて欠陥21の高さを評価することができ、先端の形状に拘らず欠陥21の定量化が容易に行える。
【0032】
尚、フェーズドアレイ探触子22の全ての探触子群12を、送信時には送信グループ13に切り換え、受信時には受信グループ14に切り換えて欠陥21の高さを評価することも可能である。また、フェーズドアレイ探触子22の全ての探触子群12を、送信グループ13に切り換え、別途受信手段を備えることも可能である。
【0033】
また、フェーズドアレイ探触子22の受信グループ14を探触子群12▲1▼〜▲6▼とし、送信グループ13の全ての探触子群12を送信可能な状態に制御することも可能である。この場合、反射波19を受信した探触子群12▲1▼〜▲6▼を特定することで傾斜した欠陥21の高さを評価することができる。この時、フェーズドアレイ探触子22を全て受信グループ14に切り換え、別途送信手段を備えることも可能である。
【0034】
図4に基づいて本発明の実施形態例を説明する。図4には本発明の実施形態例に係る探傷装置による探傷方法を実施している状態の概略を示してある。尚、図2に示した部材と同一部材には同一符号を付してある。
【0035】
図に示すように、フェーズドアレイ探触子32は多数(例えば128ch)の探触子(エレメント)がアレイ状に配置され、多数の探触子は1個もしくは複数個づつが一組とされて探触子群12が複数組形成されている。探触子群12は中央から左右に送信グループ13及び受信グループ14とに分割され、中央から右側に送信グループ13の探触子群12▲1▼〜12▲6▼が形成され、中央から左側に受信グループ14の探触子群12▲1▼〜12▲6▼が形成されている。
【0036】
そして、受信グループ14の探触子群12▲1▼〜12▲6▼は、送信グループ13の探触子群12▲1▼〜12▲6▼から超音波が送出される毎に順次切り換えられ、送信波毎に反射波が受信される探触子群12▲1▼〜12▲6▼の位置が特定される。フェーズドアレイ探触子32の情報は演算処理部16に入力される。
【0037】
上述したフェーズドアレイ探触子32は、欠陥31の位置が特定された後に所定の位置に配置される。送信グループ13の探触子群12▲1▼の送信波18aを欠陥31に向けて送信するように探触子群12▲1▼からの合成波面を制御し、底面及びコーナ部の欠陥20の面を反射した反射波19aを受信グループ14で受信させる。この時、受信グループ14の探触子群12▲1▼〜12▲6▼を順次切り換え、探触子群12▲1▼からの送信波18aの反射波19aが受信する受信グループ14の探触子群12▲1▼〜12▲6▼を特定する。送信グループ13の探触子群12▲2▼〜12▲6▼の送信波18毎に、受信グループ14の探触子群12▲1▼〜12▲6▼を順次切り換え、反射波19aを受信する受信グループ14の探触子群12▲1▼〜12▲6▼を特定する。
【0038】
この時、欠陥31の形状及び高さに応じて反射波19が受信される受信グループ14の探触子群12の受信位置が決まる(例えば、図示例の場合、送信グループ13の探触子群12▲4▼からの送信波18が受信グループ14の探触子群12▲2▼に受信される)。反射波19が受信される受信グループ14の探触子群12の受信位置を演算処理部16で特定して解析することにより、面反射エコーを用いて変形して形状が不連続となる欠陥31の高さを評価することができ、先端の形状に拘らず欠陥31の定量化が容易に行える。
【0039】
尚、フェーズドアレイ探触子32の全ての探触子群12を、送信時には送信グループ13に切り換え、受信時には受信グループ14に切り換えて欠陥31の高さを評価することも可能である。
【0043】
【発明の効果】
本発明のフェーズドアレイによる探傷方法は、多数の探触子をアレイ状に配設すると共に前記多数の探触子を複数個ずつに分けた探触子群を複数組形成し、且つ、前記複数組の探触子群を送信グループと受信グループとに分割したフェーズドアレイ探触子を形成し、前記受信グループの探触子群で、欠陥の面で反射した反射波が受信されるように、前記送信グループの探触子群の各探触子の超音波発信の遅延時間を設定して超音波の合成波面の入射角を調整し、前記送信グループの探触子群は順次切り換えて超音波を送出する一方、前記受信グループの探触子群は前記送信グループの各探触子群から超音波が送信される毎に、順次切り換えて反射波を受信し、前記超音波を送出した送信グループの探触子群と前記反射波を受信した受信グループの探触子群の位置を特定することで前記欠陥の高さ評価するようにしたので、面反射エコーを用いて傷の高さ及び状況を評価することができる。この結果、雑音が多い材料中でも先端の形状や傷の状況に拘らず傷の定量化が容易に行える。
【0047】
また、本発明の探傷装置は、多数の探触子をアレイ状に配設すると共に前記多数の探触子を複数個ずつに分けた探触子群を複数組形成し、且つ、前記複数組の探触子群を送信グループと受信グループとに分割したフェーズドアレイ探触子と、前記受信グループの探触子群で、欠陥の面で反射した反射波が受信されるように、前記送信グループの探触子群の各探触子の超音波発信の遅延時間を設定して超音波の合成波面の入射角を調整し、前記送信グループの探触子群は、順次切り換えて超音波を送出する一方、前記受信グループの探触子群は、前記送信グループの各探触子群から超音波が送信される毎に、順次切り換えて反射波を受信するように制御する制御部と、前記超音波を送出した送信グループの探触子群と前記反射波を受信した受信グループの探触子群の位置を特定することで前記欠陥の高さ評価する演算処理部とを備えたので、面反射エコーを用いて傷の高さ及び状況を評価することができる。この結果、雑音が多い材料中でも先端の形状や傷の状況に拘らず傷の定量化が容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】 フェーズドアレイ法の原理を概念的に示す説明図。
【図2】 本発明の参考例に係る探傷装置により探傷方法を実施している状態の概略図。
【図3】 本発明の参考例に係る探傷装置により探傷方法を実施している状態の概略図。
【図4】 本発明の実施形態例に係る探傷装置により探傷方法を実施している状態の概略図。
Claims (2)
- 多数の探触子をアレイ状に配設すると共に前記多数の探触子を複数個ずつに分けた探触子群を複数組形成し、且つ、前記複数組の探触子群を送信グループと受信グループとに分割したフェーズドアレイ探触子を形成し、
前記受信グループの探触子群で、欠陥の面で反射した反射波が受信されるように、前記送信グループの探触子群の各探触子の超音波発信の遅延時間を設定して超音波の合成波面の入射角を調整し、
前記送信グループの探触子群は順次切り換えて超音波を送出する一方、前記受信グループの探触子群は前記送信グループの各探触子群から超音波が送信される毎に、順次切り換えて反射波を受信し、
前記超音波を送出した送信グループの探触子群と前記反射波を受信した受信グループの探触子群の位置を特定することで前記欠陥の高さを評価すること、
を特徴とするフェーズドアレイによる探傷方法。 - 多数の探触子をアレイ状に配設すると共に前記多数の探触子を複数個ずつに分けた探触子群を複数組形成し、且つ、前記複数組の探触子群を送信グループと受信グループとに分割したフェーズドアレイ探触子と、
前記受信グループの探触子群で、欠陥の面で反射した反射波が受信されるように、前記送信グループの探触子群の各探触子の超音波発信の遅延時間を設定して超音波の合成波面の入射角を調整し、前記送信グループの探触子群は、順次切り換えて超音波を送出する一方、前記受信グループの探触子群は、前記送信グループの各探触子群から超音波が送信される毎に、順次切り換えて反射波を受信するように制御する制御部と、
前記超音波を送出した送信グループの探触子群と前記反射波を受信した受信グループの探触子群の位置を特定することで前記欠陥の高さを評価する演算処理部と、
を備えたことを特徴とする探傷装置。
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