JP4439448B2 - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
ャネル部を除いた活性層116の上に形成されたオーミック接触層146とを備える。
ボッシング形状を有することによって、散乱効果で反射効率を増大させる。
れる。
共に形成されたデータライン104と接続される。
4:ブラックマトリクス
6:カラーフィルター
8:共通電極
10:カラーフィルター基板
12:下部ガラス基板
14,102:ゲートライン
16,104:データライン
18,TFT:薄膜トランジスタ
20:薄膜トランジスタ基板
22,118:画素電極
24:液晶
108:ゲート電極
110:ソース電極
112:ドレイン電極
114:ドレインコンタクトホール
116:活性層
130,138:コンタクトホール
120:ストレージキャパシタ
126:ゲートパッド
128:ゲートパッド下部電極
132:ゲートパッド上部電極
134:データパッド
136:データパッド下部電極
140:データパッド上部電極
142:基板
144:ゲート絶縁膜
146:オーミック接触層
150:保護膜
156:反射電極
160、166、168:コンタクト電極
170:透過ホール
Claims (22)
- ゲートラインと、
前記ゲートラインとゲート絶縁膜を介して交差して画素領域を定義するデータラインと、
前記ゲートライン及びデータラインと接続された薄膜トランジスタと、
前記ゲートライン、データライン、及び薄膜トランジスタを覆うように形成され、前記画素領域内に前記ゲート絶縁膜を貫通する透過ホールを有する有機膜と、
前記透過ホールを通じて前記有機膜上に形成され、前記薄膜トランジスタと接続される画素電極及び前記画素電極上に前記画素電極のエッジ部と異なるエッジ部を有し、前記透過ホールの前記画素電極を露出させる反射電極と、
前記ゲートラインに接続されたゲートパッドと前記データラインに接続され前記ゲートパッドと同一な構造を有するデータパッド、ここで前記ゲートパッドとデータパッドの各々は前記ゲートラインまたはデータラインに接続されたパッド下部電極と、前記有機膜から前記ゲート絶縁膜まで貫通し、前記パッド下部電極を露出させるコンタクトホール及び前記コンタクトホールを通じて前記パッド下部電極と接続されたパッド上部電極を含み、
前記データラインと隣接するように前記パッド下部電極から伸張されたデータリンクと、
前記データリンク及びデータラインを露出させる複数のコンタクトホールと、
前記コンタクトホールを貫通し、前記データリンクを前記データラインと接続させるコンタクト電極を含み、
前記薄膜トランジスタは、前記データラインと接続されたソース電極、前記ソース電極と向い合って前記画素電極と接続されたドレーン電極、前記ゲート絶縁膜を間に置いて前記ゲートラインと重畳されて前記ソース電極と前記ドレーン電極の間にチャンネルを形成する活性層を含み、前記ソース電極の端部と前記ドレーン電極の端部は前記活性層の端部と一致して、前記コンタクト電極は、シーラントによって密封される領域に位置することを特徴とする液晶表示装置。
- 前記有機膜及び画素電極がエンボッシング表面を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記反射電極がエンボッシング表面を有することを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
- 前記反射電極が、前記画素電極と接続され、前記透過ホールの側面を覆うように形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記反射電極のエッジ部が、前記画素電極のエッジ部より外側に位置するように形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記反射電極が、前記ゲートライン及びデータラインの中、少なくとも一つと重畳されることを特徴とする請求項5に記載の液晶表示装置。
- 前記有機膜の下に無機絶縁物質で形成された保護膜をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記画素電極は、前記有機膜を貫通するドレインコンタクトホールを通じて、前記薄膜トランジスタのドレイン電極と接続されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記画素領域を横切って前記データラインと交差し、前記ゲート絶縁膜を介して前記薄膜トランジスタから延長されたドレイン電極と重畳されるストレージライン及びドレイン電極を含むストレージキャパシタをさらに含み、
前記反射電極、前記画素電極、前記ストレージライン及び前記ドレイン電極は、前記ドレインコンタクトホールに対応する領域で互いに重畳されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記データライン及び薄膜トランジスタと重畳された半導体パターンをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記コンタクト電極は、前記画素電極と同一の透明導電膜及び前記反射電極と同一の反射金属層の中、少なくとも一つを含むことを特徴とする請求1に記載の液晶表示装置。
- 前記コンタクト電極が前記透明導電膜及び反射金属層で形成され、前記反射金属層は前記透明導電膜のエッジ部より外側に位置するように形成されることを特徴とする請求項11に記載の液晶表示装置。
- 基板上にゲートラインと、ゲートパッド下部電極とデータパッド下部電極を形成する第1マスク工程と、
前記ゲートライン上にゲート絶縁膜を形成し、前記ゲート絶縁膜上に半導体パターンを形成し、前記半導体パターン上に前記ゲートラインと交差して画素領域を定義するデータライン、ソース電極、及びドレイン電極を形成する第2マスク工程と、
前記データライン、ソース電極、及びドレイン電極の上に有機膜を形成し、前記有機膜及び前記ゲート絶縁膜を貫通する透過ホールと前記ゲートパッド下部電極と前記データパッド下部電極を露出させるコンタクトホールを形成する第3マスク工程と、
前記透過ホールを通じて前記画素領域の前記有機膜上に形成され、前記ドレイン電極と接続された画素電極を形成し、前記コンタクトホールを通じて前記ゲートパッド下部電極と接続されるゲートパッド上部電極と、前記データパッド下部電極と接続されるデータパッド上部電極を形成する第4マスク工程と、
前記画素領域に反射電極を形成し、前記透過ホールの画素電極を露出させる第5マスク工程とを含み、
前記第1マスク工程は、前記パッド下部電極から伸張され、前記データラインと接続されるデータリンクを形成する段階をさらに含み、
前記第3マスク工程は、前記データリンク及びデータラインを露出させる複数のコンタクトホールを形成する段階をさらに含み、
前記第4マスク工程及び第5マスク工程の中、少なくとも一つの工程が、前記コンタクトホールを貫通して、前記データリンクをデータラインと接続させるコンタクト電極を形成する段階をさらに含み、
前記ソース電極の端部と前記ドレーン電極の端部は前記半導体パターンの端部と一致し、
前記コンタクト電極は、シーラントによって密封される領域に位置することを特徴とする液晶表示装置製造方法。
- 前記第1マスク工程は、前記基板上に前記ゲートラインと並立するストレージラインを形成する段階をさらに含み、
前記第2マスク工程は、前記ストレージラインと、ドレイン電極を含むストレージキャパシタと、を形成する段階をさらに含み、前記ストレージラインが前記ゲート絶縁膜を介して薄膜トランジスタから伸張された前記ドレイン電極と重畳され、前記反射電極、前記画素電極、前記ストレージライン及び前記ドレイン電極は、前記コンタクトホールに対応する領域で互いに重畳されることを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記コンタクト電極が、前記画素電極と同一の透明導電膜と前記反射電極と同一の反射金属層の中、少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記コンタクト電極が、前記透明導電膜及び反射金属層で形成され、前記反射金属層は前記透明導電膜のエッジ部より外側に位置するように形成されることを特徴とする請求項15に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記反射電極が前記画素電極と接続され、前記透過ホールの側面を包むように形成されることを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記反射電極のエッジ部が前記画素電極のエッジ部より外側に位置するように形成されることを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記反射電極が、前記ゲートライン及びデータラインの中、少なくとも一つのラインと重畳するように形成されることを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第3マスク工程が、前記有機膜の下に形成された無機絶縁物質で形成された保護膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記第3マスク工程が、前記有機膜を貫通して前記ドレイン電極を露出させるドレインコンタクトホールを形成する段階をさらに含み、
前記画素電極は、前記ドレインコンタクトホールを通じて前記ドレイン電極と接続されることを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記画素電極のエッジ部は、前記反射電極のエッジ部とは異なるように形成されることを特徴とする請求項13に記載の液晶表示装置の製造方法。
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