JP4437561B2 - 気流の測定ユニット - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 25
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920006327 polystyrene foam Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
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- G—PHYSICS
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- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
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- F24F2110/30—Velocity
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- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
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Description
前記筐体内に吊り下げた複数の糸と、筐体内を流れる気流による前記糸の変位を測定するための測定手段と、測定した変位から前記気流の状態を求めるための演算手段、とを設けたことを特徴とする。
また好ましくは、測定手段は、前記糸を上方もしくは下方から撮像するカメラを備えている。
自動倉庫内での気流は一般に強くはないので、気流によって糸が変位しても、複数の糸を配列した位置関係は崩れない。そこでカメラで糸を上方もしくは下方から撮像すると、個々の糸を特定できると共に、気流が無い際の位置からどのように変位したかを容易に求めることができる。
1) 1個の気流の測定ユニット24で、自動倉庫内の各棚とスタッカークレーンの昇降台上での、気流の状態を測定できる。測定結果を、ファンフィルタユニット18や排気バルブ26の開度などにフィードバックすれば、保管物品の環境をクリーンに保つことができる。
2) 風受け34で気流を受けて大きな変位を得て、小さな反射体36を撮像すると、風向と風速を正確に測定できる。
3) 複数のトレーサ30を吊すことにより、風向と風速の水平面内での分布を求めることができる。
4) 測定ユニットに仕切り29bを設けると、ユニットの上下での気流の状態を別個に測定でき、また実際のカセットと同様に水平方向に気流を整えることができる。
5) カメラ38で上方もしくは下方から反射体36を撮像すると、水平面内での反射体36の変位を容易に撮像できる。
4,5 ラック
6 スタッカークレーン
8 走行レール
10 走行スペース
12 台車
14 昇降台
15 マスト
16 移載装置
18 ファンフィルタユニット(FFU)
19 充電ステーション
20 地上側コントローラ
22 棚
24 測定ユニット
26 排気バルブ
28 リターン流路
29 筐体
29b 仕切り
30 トレーサ
32 糸
34 風受け
35 開口
36 反射体
38 ストロボ付きカメラ
40 パーティクルカウンタ
42 距離センサ
44 振動センサ
46 静電気センサ
48 電源ユニット
50 制御部
60 トレーサ
61 風受け
62 開口
70 気流の測定ユニット
72 カメラ
74 スリット光源
76 画像認識部
Claims (3)
- 自動倉庫内の搬送装置によって搬送自在でかつ自動倉庫の棚に載置自在な筐体を備えた測定ユニットであって、
前記筐体内に吊り下げた複数の糸と、筐体内を流れる気流による前記糸の変位を測定するための測定手段と、測定した変位から前記気流の状態を求めるための演算手段、とを設けたことを特徴とする気流の測定ユニット。 - 前記筐体を上下少なくとも2層に分割し、各層毎に前記糸と測定手段とを設けて、演算手段により各層毎に気流の状態を求めるようにしたことを特徴とする、請求項1の気流の測定ユニット。
- 測定手段は、前記糸を上方もしくは下方から撮像するカメラを備えていることを特徴とする、請求項1の気流の測定ユニット。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008094989A JP4437561B2 (ja) | 2008-04-01 | 2008-04-01 | 気流の測定ユニット |
DE102009012953A DE102009012953A1 (de) | 2008-04-01 | 2009-03-12 | Messeinheit für einen Luftstrom |
TW098110130A TWI442040B (zh) | 2008-04-01 | 2009-03-27 | A measurement unit for a gas flow, and a measurement method |
CN2009101329212A CN101551236B (zh) | 2008-04-01 | 2009-03-31 | 气流测量设备 |
US12/414,881 US7902492B2 (en) | 2008-04-01 | 2009-03-31 | Measuring unit for air flow |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008094989A JP4437561B2 (ja) | 2008-04-01 | 2008-04-01 | 気流の測定ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009249052A JP2009249052A (ja) | 2009-10-29 |
JP4437561B2 true JP4437561B2 (ja) | 2010-03-24 |
Family
ID=41115134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008094989A Expired - Fee Related JP4437561B2 (ja) | 2008-04-01 | 2008-04-01 | 気流の測定ユニット |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7902492B2 (ja) |
JP (1) | JP4437561B2 (ja) |
CN (1) | CN101551236B (ja) |
DE (1) | DE102009012953A1 (ja) |
TW (1) | TWI442040B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013111429A1 (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-01 | 村田機械株式会社 | 風向風速測定装置 |
JP6803036B1 (ja) * | 2020-08-26 | 2020-12-23 | 株式会社エクサウィザーズ | 情報処理方法、情報処理装置、情報処理システム、及びプログラム |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009249053A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
JP4743454B2 (ja) * | 2009-04-24 | 2011-08-10 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
GB201016222D0 (en) * | 2010-09-27 | 2010-11-10 | Natural Enviromental Res Council | Aerosol detection |
DE102015000064B3 (de) * | 2015-01-12 | 2016-03-31 | Carl Von Ossietzky Universität Oldenburg | Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen mindestens eines Parameters einer Strömung eines Fluids und deren Verwendung |
US9851275B2 (en) * | 2015-03-27 | 2017-12-26 | Clifford A. Cooper | Systems and methods for tracing air |
CN106483330A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-03-08 | 中南大学 | 一种基于反光丝线姿态角视觉识别二维风速风向测试方法 |
CN108226386B (zh) * | 2016-12-14 | 2020-11-10 | 盟立自动化股份有限公司 | 环境侦测*** |
JP6487499B2 (ja) * | 2016-12-14 | 2019-03-20 | 盟立自動化股▲フン▼有限公司 | 検出機器及び揮発性有機化合物検出器 |
CN108226385B (zh) * | 2016-12-14 | 2020-09-08 | 盟立自动化股份有限公司 | 环境侦测*** |
KR102227859B1 (ko) * | 2017-02-07 | 2021-03-15 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 스토커 |
CN113503146B (zh) * | 2021-08-06 | 2022-09-23 | 新疆大学 | 一种深部煤层气开采气压测量装置 |
CN114894428A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-08-12 | 西华大学 | 基于荧光微丝偏转角度的流体流动测量方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4763411A (en) * | 1987-02-27 | 1988-08-16 | Yazaki Corporation | Process for producing a wire strand with a terminal |
JPH0599945A (ja) | 1991-10-09 | 1993-04-23 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 気流可視化装置 |
JP3145581B2 (ja) | 1994-10-14 | 2001-03-12 | 三菱重工業株式会社 | 風洞実験可視化方法及び装置 |
JP3558012B2 (ja) * | 2000-07-04 | 2004-08-25 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
JP4186123B2 (ja) | 2006-05-02 | 2008-11-26 | 村田機械株式会社 | 測定ユニットを備えた搬送システム |
-
2008
- 2008-04-01 JP JP2008094989A patent/JP4437561B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-03-12 DE DE102009012953A patent/DE102009012953A1/de not_active Withdrawn
- 2009-03-27 TW TW098110130A patent/TWI442040B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-03-31 CN CN2009101329212A patent/CN101551236B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2009-03-31 US US12/414,881 patent/US7902492B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013111429A1 (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-01 | 村田機械株式会社 | 風向風速測定装置 |
JP6803036B1 (ja) * | 2020-08-26 | 2020-12-23 | 株式会社エクサウィザーズ | 情報処理方法、情報処理装置、情報処理システム、及びプログラム |
JP2022038438A (ja) * | 2020-08-26 | 2022-03-10 | 株式会社エクサウィザーズ | 情報処理方法、情報処理装置、情報処理システム、及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102009012953A1 (de) | 2009-11-26 |
US7902492B2 (en) | 2011-03-08 |
JP2009249052A (ja) | 2009-10-29 |
TWI442040B (zh) | 2014-06-21 |
CN101551236A (zh) | 2009-10-07 |
TW200951047A (en) | 2009-12-16 |
US20090241684A1 (en) | 2009-10-01 |
CN101551236B (zh) | 2012-10-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091210 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091223 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130115 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140115 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |