JP4420313B2 - 蓋の開閉装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空チャンバ等の各種容器の蓋を旋回させて該容器の開口面を開閉させる蓋の開閉装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術に於ける真空チャンバ用蓋開閉構造は、例えば、図８に示すような特開平１０−８９４８２号公報に開示したものがある。これについて説明すれば、真空チャンバ１の蓋２は蓋アーム（長）３と、蓋アーム（短）４によるリンク機構により支持されその開閉の駆動は、モータ駆動板５上のモータ６よりウォームギヤー（図示せず）及び、ウォームホイル（図示せず）、駆動ワイヤ７、傘歯車８を介して伝達される。
【０００３】
また、蓋２を開閉する駆動機構は全てモータ駆動板５、及び、左右のアーム支持ベース９上にあり、スライド軸受１０及びシリンダ支持金具１１に支えられたスライドベアリング１２により上下に移動出来る状態にある、それらを上下に摺動させるシリンダ１３は、チャンバ１に固定のシリンダ支持金具１１に取付けられている。
【０００４】
以上のような真空チャンバ用蓋開閉構造に於ける蓋の閉動作は図８の仮想線で示す開放時の蓋２の状態のとき、モータ６が駆動するとその回転をウォームギヤ、ウォームホイルにより減速し、その減速された回転を左右に分割し各々の駆動ワイヤ７と傘歯車８により、左右の蓋アーム（長）３に回転を与えると、蓋アーム（短）４も倣って回転する。蓋２は長、短アーム機構によりチャンバ１からあまり離れずに移動し、次第に閉じて蓋２の接面がチャンバ１の上面と平行な隙間に成るまで動作すると、次に、シリンダ１３の吸引によりモータ駆動板５上と左右のアーム支持ベース９上の蓋駆動機構部全体とそれにより連結された蓋２が降下し均一な加圧力により蓋２が閉じられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術は叙上の構成及び動作を特徴としているので次の課題が存在した。
すなわち、上記特開平１０−８９４８２号公報に開示された従来の技術に於ける真空チャンバ用蓋開閉構造は、該真空チャンバ１の蓋２に長、短２種の蓋アーム３、４を固定したアームリンク機構を備えると共に蓋2の開放時に該蓋２を旋回移動させ及び蓋２の閉止直前時に上記アームリンク機構と上記蓋２を同時に垂直方向に降下させる上記モータ６、ウォームギヤ、ウォームホイルやシリンダ１３でなるシリンダ駆動機構を備えたので、装置が大規模化かつ複雑化し設置ペースが増大するうえに、装置を動作させるための駆動伝達効率が悪いという問題点があった。また、真空チャンバ１の側面二箇所に蓋開閉手段を設けているので、液晶体等の製品を入れるための、通常真空チャンバ１の側面に開いている出入り口の位置が制限される。
また、蓋２をアームに対してフレキシブルにフロート支持していないこのような従来の技術では、真空チャンバ上面にあるシール部材と蓋との均一加圧のために、真空チャンバ１上面、蓋２及び蓋開閉手段同士の現物位置合わせ調整を必要とする。また、該蓋２を微妙に旋回駆動制御することが困難であり、例えば、該蓋２を真空チャンバ１上に閉止した際に、該真空チャンバ１の開口面と蓋２が位置ずれ現象を誘起すると共に該蓋２により真空チャンバ１の開口面に過荷重や衝撃が加わることがあり、該真空チャンバ１の開口面等に設置したシール部材（Ｏリング）等を損傷するといった問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述した従来の技術に存在する問題点を解消すべく高清浄が要求される部品等の生産量当りのスペース効率の向上を図り、真空チャンバ等の容器の開口面等に備えたシール部材（Ｏリング）の耐久性の向上及び、構造が簡単であって、蓋の駆動制御性能を高めた蓋の開閉装置を提供することを目的としたものであって、次の構成、手段から成立する。
【０００７】
請求項１記載の発明によれば、開口面を有する真空チャンバと、該真空チャンバの開口面に被せる蓋と、該蓋に連結した回動アームと、該回動アームを回動させて該蓋を上方から真空チャンバの開口面に開閉する回動手段とを備えてなる蓋の開閉装置において、その一端部が前記回動アームに固定させると共にその他端部が前記蓋に固定されかつ、該両端部間が屈曲しかつ該蓋の前後部に締結具で固定された板バネを有したことを特徴とする蓋の開閉装置である。
而して、リンク機構やシリンダ機構の如き、複雑な装置を使用することなく、シンプルな回動アーム手段でもって、蓋の旋回回転制御や容器への開閉制御を行うことができる作用を奏する。
【０００８】
請求項２記載の発明によれば、開口面を有する真空チャンバと、該真空チャンバの開口面に被せる蓋と、該蓋に連結した回動アームと、該回動アームを回動させて該蓋を上方から真空チャンバの開口面に開閉する回動手段とを備えてなる蓋の開閉装置において、その略中央部が前記回動アームに固定されると共にその前後一端部が前記蓋に固定されかつ、該前後一端部及び略中央部間が屈曲すると共に略中央部が前記回動アームの他端に固定され、前後一端部が蓋に固定された一枚の板バネを有したことを特徴とする蓋の開閉装置である。
而して、板バネの数を削減でき、板バネと回動アーム又は蓋との固定手段を簡単かつ迅速に行える作用を奏する。
【０００９】
請求項３記載の発明によれば、前記板バネは、前記回動アームに固定された部分から回動アーム及び蓋間の蓋センター内側に向って屈曲しており、その屈曲角度が９０°以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置である。
而して、蓋を真空チャンバの開口面から離脱するとき、又は吊上げる際、屈曲角度を拡開させ、または、蓋を真空チャンバの開口面へ閉止するとき屈曲角度を狭めて、蓋と開口面との密着度を高める作用を奏する。さらに、屈曲角度が鋭角でないので板バネの成型が容易となる。
【００１０】
請求項４記載の発明によれば、前記板バネが複数であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置である。
而して、回動アームの配置数に適応した板バネの数又は単一の回動アームに複数の板バネを配置し、蓋に過大な重量がかかる場合にも板バネの耐久性を向上させる作用を奏する。
【００１１】
請求項５記載の発明によれば、前記複数の板バネが少なくとも一対一列に配置されていることを特徴とする請求項４記載の蓋の開閉装置。
而して、回動アームに固定した板バネの弾性力で均一に蓋の前後、左右にかかる重量に対し、当該板バネで均一に支持するので、回動アームの旋回回動に対しても該蓋の揺れ動作を抑制する作用を奏する。
【００１２】
請求項６記載の発明によれば、前記回動手段が減速機付き電動機であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置である。
而して、汎用の電動機手段で構成でき、その利用度を高め、実施化容易にする作用を奏する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態について、添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於いて、回動アームが蓋を容器から宙づりにした状態を示す側面図である。
図２は、本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於いて、回動アームが蓋を容器に閉止した状態を示す側面図である。
図３は図２の矢視Ａ―Ａ線方向の平面図である。
【００１５】
上記図に於いて、１４は、真空装置のチャンバ等各種の容器であって、その開口面１４ａが例えば、略四角形若しくは円形等の形状を有している。１５は前記容器１４の開口面１４ａに被せる蓋であり、前記開口面１４ａと略同一の形状を有している。１６は、その一端１６ａが減速機付きサーボモータ等の電動機でなる回動手段１７に、その他端１６ｂが板バネ１８を固定した回動アームであり、例えば、断面形状が略Ｔ字状を有している。
【００１６】
上記板バネ１８は、その一端部１８ａがボルト等の締結具で前記蓋１５の前後部に固定されると共にその他端部１８ｂは、図４に示すように前記回動アーム１６の他端１６ｂの下面１６ｃに固定されている。そして、該板バネ１８は、例えば、金属材料で薄板状に形成してあって、後述するように上記容器１４の開口面１４ａの前後方向および左右方向の剛性に対して該開口面１４ａ方向、つまり、容器１４の上下方向の剛性が低くなるように設定されている。
【００１７】
尚、上記板バネ１８は図３に示すような回動アーム１６の装着数に適応して、２つ乃至複数個を備えるものであるが、図１に示すように、一方、他方の板バネ１８Ａ、１８Ｂを組合せた構成の他に、１８Ａ及び１８Ｂをそれらの略中央部で接続して一体化した一枚の板バネ１８で構成してもよく、その場合、一枚の板バネ１８の略中央部が前記回動アーム１６の他端１６ｂに固定され、前後一端部が蓋１５に固定されて、該前後一端部及び略中央部間で両屈曲（二箇所屈曲）している。板バネ１８Ａ、板バネ１８Ｂ及び一枚の板バネの各々は、固定された両端部間を一箇所屈曲させているが、複数箇所屈曲させても良い。
また、該板バネ１８は一対一列に配置し、蓋１５の重量を分散支持し、回動アーム１６の駆動の際に於ける揺れを抑制することもできる。
【００１８】
前記板バネ１８の他端部１８ｂから一端部１８ａに向って、図１に示すように屈曲角度θが１０５°を有して屈曲している。このように屈曲角度θは９０°以上が好ましい。即ち、板バネ１８は回動アーム１６に固定された部分から回動アーム１６及び蓋１５間の蓋１５センタ内側に向かって屈曲形成しており、板バネの屈曲角度が鋭角でないので、鋭角部での繰り返し疲労が生じにくいし、板バネの成型も容易となる。板バネ１８はアームに対してフロート支持されているので、蓋１５の閉止時、容器１４の開口面１４ａ又はシール部材に対して馴染むように均一圧力で衝撃なく当接できる。従ってシール部材の潰し代が周囲でばらつかず、シール部材の耐久性が向上する。また、容器上面、蓋及び開閉手段同士の現物位置合わせ調整を必要としない。
また、容器１４の側面一箇所のみに蓋開閉手段を設けているので、液晶体等の製品を入れるための、通常真空チャンバ１の側面に開いている出入り口の位置が従来に比べて制限を受けない。
また、その一端部が前記回動アームに固定させると共にその他端部が前記蓋に固定され且つ該両端部間が屈曲した板バネ１８は、上下方向（蓋の厚さ方向）においてバネ定数が低くて撓み易いが、左右方向（蓋の平面方向）においてバネ定数が高くて撓み難い性質がある。即ち上述構成の板バネ１８を用いた蓋の開閉装置は、縦揺れを所望に許容し横揺れを抑えるので、蓋１５の揺れ防止手段（ガイド）が不要となる。
【００１９】
１９はストッパであり、上記板バネ１８の屈曲した内面空間に配置されてあって、その上端が図４に示すように上記回動アーム１６の下面１６ｃにボルト、ナット等の締結具１９ａで固定され、その本体部１９ｂに位置センサ２０を付設している。該位置センサ２０はリード線２０ａを介して接続された制御部（図示せず）の信号で該ストッパ１９の下面１９ｃと蓋１５の表面１５ａとの隙間を計測する。尚、図１、図２に示すように、蓋１５の表面１５ａに当て座１５ｃを形成していれば、該表面１５ａに代えて当て座１５ｃとの隙間を計測する。
【００２０】
図中、２１は板バネ１８の一端部１８ａに固定したバネ座プレートであるが、必ずしも本装置に設ける必要はない。２２は、回動手段１７の設置ベース、２３は該回動手段のアクチュエータ、２４はモータブラケット、２５はシャフト、２６はベアリングブラケット、２７はベアリングユニットのそれぞれである。
【００２１】
次に、本発明に係る蓋開閉装置の動作の実施形態に於ける動作及び蓋の開閉方法等について説明する。
【００２２】
（１）蓋開放時の動作について
容器１４の開口面１４ａに蓋１５を閉止した状態は図２に示している。この状態から前記回動手段１７の駆動により回動アーム１６を反時計方向に回動する。該回動手段１７及び回動アーム１６は図５（ａ）の速度制御特性図で示すように、例えば、加速時間０．１３（ｓｅｃ）および一定速度０．１３（ｄｅｇ／ｓｅｃ）で比較的低速始動する。この際、当該板バネ１８は弾性力を徐々に大きくし、容器１４の開口面１４ａに嵌着しているシール部材（Ｏリング）（図示せず）と蓋１５との粘着力から開放される。そして、このとき、板バネ１８は引張作用を奏し、前記屈曲角度θが更に拡開される。
【００２３】
この状態に於ける該蓋１５と容器１４の開口面１４ａは図１に示すように、該蓋１５が容器１４の開口面１４ａから離れ宙づりになった状態である。そして、この状態に於けるストッパ１９の下面１９ｃと蓋１５の表面１５ａとの隙間Ｂは図４に示すように、所定寸法例えば、３（ｍｍ）に設定し位置調整する。当該所定寸法の測定は、該ストッパ１９の本体部１９ｂに付設した位置センサ２０で計測する。
【００２４】
尚、板バネ１８は、蓋１５をアームに対してフレキシブルにフローティングしており、吊り上げ又は吊り降ろしすると共に該蓋１５を押圧する蓋押圧機能もできるものである。該蓋押圧機能は他の手段等で構成してもよい。
また、前記シール部材（Ｏリング）は、容器１４の開口面１４ａに代えて、蓋１５の下面１５ｂ側に嵌着してもよい。
【００２５】
そして上記蓋１５が容器１４の開口面１４ａに嵌着したシール部材（Ｏリング）から離れた直後の位置で該蓋１５の揺れが低減するまで、例えば図５（ａ）の停止時間Ｄに示すように２秒間を一旦停止させる。
【００２６】
次に、前記回動手段１７の駆動により回動アーム１６がこの時点から、さらに反時計方向に回動する。該回動手段１７及び回動アーム１６は図５（ａ）の速度制御特性図で示すように、再度、例えば、加速時間１．０６（ｓｅｃ）及び、一定速度１．０５９（ｄｅｇ／ｓｅｃ）で比較的高速再始動する。そして減速時間１．０６（ｓｅｃ）にて前記回動手段１７が停止する。このとき、回動アーム１６又は蓋１５は、図１に示すように蓋全開角度θ１、例えば、９５°まで旋回回動する。
【００２７】
また、前記回動手段１７又は蓋１５は上記蓋全開角度θ１を越えて回動した場合、図６に示すように該回動手段１７に回動アーム規制手段Ｅを具備し、これが動作することにより所定角度θ２以上に蓋１５が開放しないように構成されている。回動アーム規制手段Ｅは、設置ベース２２に固定されたストッパ部２８、該ストッパ部２８に衝当するカム部２９、及び該カム部２９に付設したリミットスイッチ３０で構成されている。該カム部２９は、前記回動手段１７のシャフト２５に直結されてあって、該ストッパ部２８に衝当して、回動アーム１６の回動を規制する突起２９ａと、該突起２９ａの頂部から段差状を有して一連に形成し、かつ回動アーム規制角度θ１、例えば９５°に対応して形成された接触面２９ｂと、該接触面２９ｂから更に段差状を有して一連に形成した非接触面２９ｃとをそれぞれ備えている。そして、上記リミットスイッチ３０のセンサ接触子３０ａが上記接触面２９ｂに接触し、前記回動アーム１６、すなわち、蓋１５の回動規制動作を制御する。
【００２８】
すなわち、前記回動手段１７の駆動により回動アーム１６及び蓋１５が蓋全開角度θ１まで回動したとき、リミットスイッチ３０のセンサ接触端子３０ａが接触面２９ｂに乗上げる、而して、該リミットスイッチ３０はスイッチ動作を行いそのスイッチ信号を回動アーム１６又は回動手段１７の制御部に伝達し、当該回動アーム１６及び回動手段１７の動作を停止させ、該回動アーム規制角度θ１を越えないように構成している。
また、電源停止や制御部の故障等により万が一、回動アーム規制角度θ１を越えて回動した場合、回動アーム規制角度θ２の規制位置Ｇ、例えば１０５°まで回動すれば、回動アーム規制手段Ｅのカム部２９の突起２９ａが回動アーム規制角度θ２の位置まで回動した後、ストッパー部２８に衝当し、回動アームの回動が停止するようにしており、安全を確保している。
【００２９】
尚、蓋全開角度θ１、及び回動アーム規制角度θ２の設定値は蓋の開閉装置の設計仕様に応じて、適宜変更可能である。蓋２が閉じる直前において蓋２の下面がチャンバ１の上面と平行であるように、蓋の開閉装置を組立てる時、蓋２の下面とチャンバ１の上面との間に平行スペーサーを入れて、希望の平行度がでているか否かを測定しておくのが良い。また、該平行スペーサーを入れて閉じた状態で、蓋の開閉装置を組立てても良い。
（２）蓋閉止時の動作について
回動アーム１６は図１に示す蓋全開角度θ１の全開位置Ｆから前記回動手段１７の駆動により時計方向に回動する。該回動手段１７及び回動アーム１６は図５（ｂ）の速度制御特性図で示すように、例えば加速時間１．０６（ｓｅｃ）、一定速度１．０５９（ｄｅｇ／ｓｅｃ）で比較的高速始動する。そして、蓋１５の揺れが低減するまで、停止時間Ｈに示すように2秒間を一旦停止させる。そして、板バネ１８に固定された蓋１５が容器１４の開口面１４ａに接近する位置すなわち、当接する手前まで回動されると、該回動手段１７の駆動により回動アーム１６は図５（ｂ）で示すように例えば、加速時間０．１３（ｓｅｃ）及び一定速度０．１３（ｄｅｇ／ｓｅｃ）の如きその移動速度を低下させると共に、該蓋１５を容器１４の開口面１４ａの真上から前後、又は左右方向に振れることなく下降させて、蓋１５の閉止動作を完了させる。蓋の開き位置から閉じ位置までは９５°に設定しているが、回動アーム１６は開き状態から閉じ方向へ９５．６°動作させている。従って、その差０．６°（９５．６−９５）分は板バネ１８が縮んだ状態である。このとき、蓋１５はシール部材（Ｏリング）を押し込んでいる状態であり、容器１４の開口上面と蓋１５の下端面は僅かな隙間を維持している。蓋１５がシール部材（Ｏリング）に接触する前においては、シール部材（Ｏリング）は容器１４の開口上面から約１ｍｍ突出させている。
【００３０】
従って、蓋１５は容器１４の開口面１４ａにずれることなく該開口面１４ａに嵌着したシール部材（Ｏリング）と蓋１５の下面１５ｂがずれることなく完全に密着状態にさせることができる。そして、かかる状態は回動アーム１６が板バネ１８を押圧しており、前記屈曲角度θを狭めながら該蓋１５の重量が該シール部材（Ｏリング）又は開口面１４ａに重量がかけられ、前記ストッパ１９の下面１９ｃと蓋１５の表面１５ａとの隙間Ｃは図４に示すように所定寸法、例えば１（ｍｍ）に設定し位置調整する。当該所定寸法の測定は、該ストッパ１９の本体部１９ｂに付設した位置センサ２０で計測する。
【００３１】
このように、本発明は蓋の開閉装置の他に蓋１５の表面１５ａ及びストッパ１９の下面１９ｃを計測する方法すなわち、開口面１４ａを有する容器１４と、該容器１４の開口面１４ａに被せる蓋１５と、該蓋１５に連結した回動アーム１６と、該回動アーム１６を回動させて該蓋１５を容器１４の開口面１４ａに開閉する回動手段１７とを備えてなる蓋の開閉装置において、その一端部１６ａが前記回動アーム１６に固定させると共にその他端部１６ｂが前記蓋１５に固定されたアームに対してフロート支持し、蓋押圧機能も与えることができる板バネ１８、前記回動アーム１６に取付けたストッパ１９及び位置センサ２０を備え、蓋１５の表面１５ａ及びストッパ１９の下面１９ｃを計測する方法の技術である。また、開口面１４ａを有する容器１４と、該容器１４の開口面１４ａに被せる蓋１５と、該蓋１５に連結した回動アーム１６と、該回動アーム１６を回動させて該蓋１５を容器１４の開口面１４ａに開閉する回動手段１７とを備え、蓋１５を容器１４の開口面に対して開閉駆動させる蓋の開放方法において、該蓋１５がシール部材（Ｏリング）又は容器１４の開口面１４ａを閉止するとき、蓋１５がシール部材（Ｏリング）又は容器１４の開口面１４ａに当接する手前で、回動アーム１６の移動速度を低下させる蓋の開閉方法、又は蓋１５を開放するとき、蓋１５が容器１４の開口面１４ａから所定量離れるまで、前記回動アームを所定の低速度で移動させ、該所定量離れたとき前記回動アーム１６を前記所定の低速度より高い速度で移動させる蓋の開閉技術である。
【００３２】
次に、本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける板バネの動作等を図７に示す力―変位特性図に基づき詳述する。
前記回動手段１７の駆動により回動アーム１６が蓋１５を容器１４の開口面１４ａから開放するときの０°位置から蓋全開角度θ１まで回動し、また蓋１５を容器１４の開口面１４ａに閉止するとき、蓋全開角度θ１から０°の位置まで回動する。この際、上記蓋１５は、上下、左右及び前後に揺れるものであり、該板バネ１８に次のバネ定数を設定すると好適な蓋の開閉動作を行なわせることができることが判明した。
【００３３】
上下方向の板バネ１８のバネ定数は、軽い力で蓋１５の位置が容器１４の開口面１４ａに合うように低く設定している。図７の特性図から算出すれば、上下方向の板バネ１８のバネ定数＝８０／１．０９＝７４（Ｎ／ｍｍ）である。
また、左右方向の板バネ１８のバネ定数は蓋１５の揺れを抑えるために比較的高く設定している。図７の特性図から算出すれば、左右方向板バネのバネ定数＝２００／０．６＝３３６（Ｎ／ｍｍ）である。
また、前後方向の板バネ１８のバネ定数は、蓋１５の揺れを抑えるために前記左右方向の板バネ１８のバネ定数と同様に比較的高く設定している。図７の特性図から算出すれば、前後方向の板バネ１８のバネ定数＝１８０／０．２＝９００（Ｎ／ｍｍ）である。
【００３４】
【発明の効果】
本発明に係る蓋の開閉装置は、蓋をアームに対して屈曲した板バネによってフローティングした構成としているので、次の効果がある。
【００３５】
すなわち、本発明によれば生産量当りのスペース効率の向上を図ると共に、真空チャンバの開口面に嵌着したシール部材の寿命を向上させ、もって、リンク機構やシリンダ機構を使用することなく構造の簡単かつ小規模を実現した蓋の開閉機能を提供する効果がある。
また蓋を真空チャンバの閉止位置から所定量離れた後、又は真空チャンバの全開位置から高速移動を経て真空チャンバの開口面に接近させた後、さらに回動アームを真空チャンバの開口面に当接する手前又は開口面から離れる際に移動速度を低下させる位置制御可能な回動手段を設けることにより、一定の押圧力を蓋の質量に加えてシール部材の又は真空チャンバの開口面に均一に付与するので回動アームの駆動制御機能を高めると共に蓋の開閉に伴う位置ずれ等を防止しシール性を向上させ、併せて該板バネは蓋の重量を分散支持し、回動アームの駆動の際に於ける揺れを抑制する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける、回動アームが蓋を容器から宙づりにした状態を示す側面図である。
【図２】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける、回動アームが蓋を容器に閉止した状態を示す側面図である。
【図３】図２の矢視Ａ―Ａ線方向の平面図である。
【図４】本発明に係る蓋の開閉装置に於ける実施の形態に具備したストッパ及び位置センサの配置構成を示す拡大断面図である。
【図５】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける実施形態の回動アーム又は回動手段の速度制御特性図であって、（ａ）は蓋開き時、（ｂ）は蓋閉じ時の特性を示す。
【図６】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける回動アーム規制手段の構成を示す側面図である。
【図７】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける板バネの力―変位特性図である。
【図８】従来技術に於ける真空チャンバ用蓋開閉構造を示す側面図である。
【符号の説明】
１４ 容器（真空チャンバ）
１４ａ 容器の開口面
１５ 蓋
１５ａ 蓋の表面
１５ｂ 蓋の下面
１５ｃ 当て座
１６ 回動アーム
１６ａ 回動アームの一端
１６ｂ 回動アームの他端
１７ 回動手段
１８ 板バネ
１８ａ 板バネの一端部（屈曲部が二箇所ある一枚の板バネにおける前後一端部であって、蓋の前後部に固定される部分）
１８ｂ 板バネの他端部（屈曲部が二箇所ある一枚の板バネにおける略中央部であって、回動アームの他端の下面に固定される部分）
１８Ａ 一方の板バネ
１８Ｂ 他方の板バネ
１９ ストッパ
１９ａ ストッパの締結具
１９ｂ ストッパの本体部
１９ｃ ストッパの下面
２０ 位置センサ
２０ａ 位置センサのリード線
２１ バネ座プレート
２２ 設置ベース
２３ アクチュエータ
２４ モータブラケット
２５ シャフト
２６ ベアリングブラケット
２７ ベアリングユニット
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空チャンバ等の各種容器の蓋を旋回させて該容器の開口面を開閉させる蓋の開閉装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術に於ける真空チャンバ用蓋開閉構造は、例えば、図８に示すような特開平１０−８９４８２号公報に開示したものがある。これについて説明すれば、真空チャンバ１の蓋２は蓋アーム（長）３と、蓋アーム（短）４によるリンク機構により支持されその開閉の駆動は、モータ駆動板５上のモータ６よりウォームギヤー（図示せず）及び、ウォームホイル（図示せず）、駆動ワイヤ７、傘歯車８を介して伝達される。
【０００３】
また、蓋２を開閉する駆動機構は全てモータ駆動板５、及び、左右のアーム支持ベース９上にあり、スライド軸受１０及びシリンダ支持金具１１に支えられたスライドベアリング１２により上下に移動出来る状態にある、それらを上下に摺動させるシリンダ１３は、チャンバ１に固定のシリンダ支持金具１１に取付けられている。
【０００４】
以上のような真空チャンバ用蓋開閉構造に於ける蓋の閉動作は図８の仮想線で示す開放時の蓋２の状態のとき、モータ６が駆動するとその回転をウォームギヤ、ウォームホイルにより減速し、その減速された回転を左右に分割し各々の駆動ワイヤ７と傘歯車８により、左右の蓋アーム（長）３に回転を与えると、蓋アーム（短）４も倣って回転する。蓋２は長、短アーム機構によりチャンバ１からあまり離れずに移動し、次第に閉じて蓋２の接面がチャンバ１の上面と平行な隙間に成るまで動作すると、次に、シリンダ１３の吸引によりモータ駆動板５上と左右のアーム支持ベース９上の蓋駆動機構部全体とそれにより連結された蓋２が降下し均一な加圧力により蓋２が閉じられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術は叙上の構成及び動作を特徴としているので次の課題が存在した。
すなわち、上記特開平１０−８９４８２号公報に開示された従来の技術に於ける真空チャンバ用蓋開閉構造は、該真空チャンバ１の蓋２に長、短２種の蓋アーム３、４を固定したアームリンク機構を備えると共に蓋2の開放時に該蓋２を旋回移動させ及び蓋２の閉止直前時に上記アームリンク機構と上記蓋２を同時に垂直方向に降下させる上記モータ６、ウォームギヤ、ウォームホイルやシリンダ１３でなるシリンダ駆動機構を備えたので、装置が大規模化かつ複雑化し設置ペースが増大するうえに、装置を動作させるための駆動伝達効率が悪いという問題点があった。また、真空チャンバ１の側面二箇所に蓋開閉手段を設けているので、液晶体等の製品を入れるための、通常真空チャンバ１の側面に開いている出入り口の位置が制限される。
また、蓋２をアームに対してフレキシブルにフロート支持していないこのような従来の技術では、真空チャンバ上面にあるシール部材と蓋との均一加圧のために、真空チャンバ１上面、蓋２及び蓋開閉手段同士の現物位置合わせ調整を必要とする。また、該蓋２を微妙に旋回駆動制御することが困難であり、例えば、該蓋２を真空チャンバ１上に閉止した際に、該真空チャンバ１の開口面と蓋２が位置ずれ現象を誘起すると共に該蓋２により真空チャンバ１の開口面に過荷重や衝撃が加わることがあり、該真空チャンバ１の開口面等に設置したシール部材（Ｏリング）等を損傷するといった問題点があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述した従来の技術に存在する問題点を解消すべく高清浄が要求される部品等の生産量当りのスペース効率の向上を図り、真空チャンバ等の容器の開口面等に備えたシール部材（Ｏリング）の耐久性の向上及び、構造が簡単であって、蓋の駆動制御性能を高めた蓋の開閉装置を提供することを目的としたものであって、次の構成、手段から成立する。
【０００７】
請求項１記載の発明によれば、開口面を有する真空チャンバと、該真空チャンバの開口面に被せる蓋と、該蓋に連結した回動アームと、該回動アームを回動させて該蓋を上方から真空チャンバの開口面に開閉する回動手段とを備えてなる蓋の開閉装置において、その一端部が前記回動アームに固定させると共にその他端部が前記蓋に固定されかつ、該両端部間が屈曲しかつ該蓋の前後部に締結具で固定された板バネを有したことを特徴とする蓋の開閉装置である。
而して、リンク機構やシリンダ機構の如き、複雑な装置を使用することなく、シンプルな回動アーム手段でもって、蓋の旋回回転制御や容器への開閉制御を行うことができる作用を奏する。
【０００８】
請求項２記載の発明によれば、開口面を有する真空チャンバと、該真空チャンバの開口面に被せる蓋と、該蓋に連結した回動アームと、該回動アームを回動させて該蓋を上方から真空チャンバの開口面に開閉する回動手段とを備えてなる蓋の開閉装置において、その略中央部が前記回動アームに固定されると共にその前後一端部が前記蓋に固定されかつ、該前後一端部及び略中央部間が屈曲すると共に略中央部が前記回動アームの他端に固定され、前後一端部が蓋に固定された一枚の板バネを有したことを特徴とする蓋の開閉装置である。
而して、板バネの数を削減でき、板バネと回動アーム又は蓋との固定手段を簡単かつ迅速に行える作用を奏する。
【０００９】
請求項３記載の発明によれば、前記板バネは、前記回動アームに固定された部分から回動アーム及び蓋間の蓋センター内側に向って屈曲しており、その屈曲角度が９０°以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置である。
而して、蓋を真空チャンバの開口面から離脱するとき、又は吊上げる際、屈曲角度を拡開させ、または、蓋を真空チャンバの開口面へ閉止するとき屈曲角度を狭めて、蓋と開口面との密着度を高める作用を奏する。さらに、屈曲角度が鋭角でないので板バネの成型が容易となる。
【００１０】
請求項４記載の発明によれば、前記板バネが複数であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置である。
而して、回動アームの配置数に適応した板バネの数又は単一の回動アームに複数の板バネを配置し、蓋に過大な重量がかかる場合にも板バネの耐久性を向上させる作用を奏する。
【００１１】
請求項５記載の発明によれば、前記複数の板バネが少なくとも一対一列に配置されていることを特徴とする請求項４記載の蓋の開閉装置。
而して、回動アームに固定した板バネの弾性力で均一に蓋の前後、左右にかかる重量に対し、当該板バネで均一に支持するので、回動アームの旋回回動に対しても該蓋の揺れ動作を抑制する作用を奏する。
【００１２】
請求項６記載の発明によれば、前記回動手段が減速機付き電動機であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置である。
而して、汎用の電動機手段で構成でき、その利用度を高め、実施化容易にする作用を奏する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態について、添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於いて、回動アームが蓋を容器から宙づりにした状態を示す側面図である。
図２は、本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於いて、回動アームが蓋を容器に閉止した状態を示す側面図である。
図３は図２の矢視Ａ―Ａ線方向の平面図である。
【００１５】
上記図に於いて、１４は、真空装置のチャンバ等各種の容器であって、その開口面１４ａが例えば、略四角形若しくは円形等の形状を有している。１５は前記容器１４の開口面１４ａに被せる蓋であり、前記開口面１４ａと略同一の形状を有している。１６は、その一端１６ａが減速機付きサーボモータ等の電動機でなる回動手段１７に、その他端１６ｂが板バネ１８を固定した回動アームであり、例えば、断面形状が略Ｔ字状を有している。
【００１６】
上記板バネ１８は、その一端部１８ａがボルト等の締結具で前記蓋１５の前後部に固定されると共にその他端部１８ｂは、図４に示すように前記回動アーム１６の他端１６ｂの下面１６ｃに固定されている。そして、該板バネ１８は、例えば、金属材料で薄板状に形成してあって、後述するように上記容器１４の開口面１４ａの前後方向および左右方向の剛性に対して該開口面１４ａ方向、つまり、容器１４の上下方向の剛性が低くなるように設定されている。
【００１７】
尚、上記板バネ１８は図３に示すような回動アーム１６の装着数に適応して、２つ乃至複数個を備えるものであるが、図１に示すように、一方、他方の板バネ１８Ａ、１８Ｂを組合せた構成の他に、１８Ａ及び１８Ｂをそれらの略中央部で接続して一体化した一枚の板バネ１８で構成してもよく、その場合、一枚の板バネ１８の略中央部が前記回動アーム１６の他端１６ｂに固定され、前後一端部が蓋１５に固定されて、該前後一端部及び略中央部間で両屈曲（二箇所屈曲）している。板バネ１８Ａ、板バネ１８Ｂ及び一枚の板バネの各々は、固定された両端部間を一箇所屈曲させているが、複数箇所屈曲させても良い。
また、該板バネ１８は一対一列に配置し、蓋１５の重量を分散支持し、回動アーム１６の駆動の際に於ける揺れを抑制することもできる。
【００１８】
前記板バネ１８の他端部１８ｂから一端部１８ａに向って、図１に示すように屈曲角度θが１０５°を有して屈曲している。このように屈曲角度θは９０°以上が好ましい。即ち、板バネ１８は回動アーム１６に固定された部分から回動アーム１６及び蓋１５間の蓋１５センタ内側に向かって屈曲形成しており、板バネの屈曲角度が鋭角でないので、鋭角部での繰り返し疲労が生じにくいし、板バネの成型も容易となる。板バネ１８はアームに対してフロート支持されているので、蓋１５の閉止時、容器１４の開口面１４ａ又はシール部材に対して馴染むように均一圧力で衝撃なく当接できる。従ってシール部材の潰し代が周囲でばらつかず、シール部材の耐久性が向上する。また、容器上面、蓋及び開閉手段同士の現物位置合わせ調整を必要としない。
また、容器１４の側面一箇所のみに蓋開閉手段を設けているので、液晶体等の製品を入れるための、通常真空チャンバ１の側面に開いている出入り口の位置が従来に比べて制限を受けない。
また、その一端部が前記回動アームに固定させると共にその他端部が前記蓋に固定され且つ該両端部間が屈曲した板バネ１８は、上下方向（蓋の厚さ方向）においてバネ定数が低くて撓み易いが、左右方向（蓋の平面方向）においてバネ定数が高くて撓み難い性質がある。即ち上述構成の板バネ１８を用いた蓋の開閉装置は、縦揺れを所望に許容し横揺れを抑えるので、蓋１５の揺れ防止手段（ガイド）が不要となる。
【００１９】
１９はストッパであり、上記板バネ１８の屈曲した内面空間に配置されてあって、その上端が図４に示すように上記回動アーム１６の下面１６ｃにボルト、ナット等の締結具１９ａで固定され、その本体部１９ｂに位置センサ２０を付設している。該位置センサ２０はリード線２０ａを介して接続された制御部（図示せず）の信号で該ストッパ１９の下面１９ｃと蓋１５の表面１５ａとの隙間を計測する。尚、図１、図２に示すように、蓋１５の表面１５ａに当て座１５ｃを形成していれば、該表面１５ａに代えて当て座１５ｃとの隙間を計測する。
【００２０】
図中、２１は板バネ１８の一端部１８ａに固定したバネ座プレートであるが、必ずしも本装置に設ける必要はない。２２は、回動手段１７の設置ベース、２３は該回動手段のアクチュエータ、２４はモータブラケット、２５はシャフト、２６はベアリングブラケット、２７はベアリングユニットのそれぞれである。
【００２１】
次に、本発明に係る蓋開閉装置の動作の実施形態に於ける動作及び蓋の開閉方法等について説明する。
【００２２】
（１）蓋開放時の動作について
容器１４の開口面１４ａに蓋１５を閉止した状態は図２に示している。この状態から前記回動手段１７の駆動により回動アーム１６を反時計方向に回動する。該回動手段１７及び回動アーム１６は図５（ａ）の速度制御特性図で示すように、例えば、加速時間０．１３（ｓｅｃ）および一定速度０．１３（ｄｅｇ／ｓｅｃ）で比較的低速始動する。この際、当該板バネ１８は弾性力を徐々に大きくし、容器１４の開口面１４ａに嵌着しているシール部材（Ｏリング）（図示せず）と蓋１５との粘着力から開放される。そして、このとき、板バネ１８は引張作用を奏し、前記屈曲角度θが更に拡開される。
【００２３】
この状態に於ける該蓋１５と容器１４の開口面１４ａは図１に示すように、該蓋１５が容器１４の開口面１４ａから離れ宙づりになった状態である。そして、この状態に於けるストッパ１９の下面１９ｃと蓋１５の表面１５ａとの隙間Ｂは図４に示すように、所定寸法例えば、３（ｍｍ）に設定し位置調整する。当該所定寸法の測定は、該ストッパ１９の本体部１９ｂに付設した位置センサ２０で計測する。
【００２４】
尚、板バネ１８は、蓋１５をアームに対してフレキシブルにフローティングしており、吊り上げ又は吊り降ろしすると共に該蓋１５を押圧する蓋押圧機能もできるものである。該蓋押圧機能は他の手段等で構成してもよい。
また、前記シール部材（Ｏリング）は、容器１４の開口面１４ａに代えて、蓋１５の下面１５ｂ側に嵌着してもよい。
【００２５】
そして上記蓋１５が容器１４の開口面１４ａに嵌着したシール部材（Ｏリング）から離れた直後の位置で該蓋１５の揺れが低減するまで、例えば図５（ａ）の停止時間Ｄに示すように２秒間を一旦停止させる。
【００２６】
次に、前記回動手段１７の駆動により回動アーム１６がこの時点から、さらに反時計方向に回動する。該回動手段１７及び回動アーム１６は図５（ａ）の速度制御特性図で示すように、再度、例えば、加速時間１．０６（ｓｅｃ）及び、一定速度１．０５９（ｄｅｇ／ｓｅｃ）で比較的高速再始動する。そして減速時間１．０６（ｓｅｃ）にて前記回動手段１７が停止する。このとき、回動アーム１６又は蓋１５は、図１に示すように蓋全開角度θ１、例えば、９５°まで旋回回動する。
【００２７】
また、前記回動手段１７又は蓋１５は上記蓋全開角度θ１を越えて回動した場合、図６に示すように該回動手段１７に回動アーム規制手段Ｅを具備し、これが動作することにより所定角度θ２以上に蓋１５が開放しないように構成されている。回動アーム規制手段Ｅは、設置ベース２２に固定されたストッパ部２８、該ストッパ部２８に衝当するカム部２９、及び該カム部２９に付設したリミットスイッチ３０で構成されている。該カム部２９は、前記回動手段１７のシャフト２５に直結されてあって、該ストッパ部２８に衝当して、回動アーム１６の回動を規制する突起２９ａと、該突起２９ａの頂部から段差状を有して一連に形成し、かつ回動アーム規制角度θ１、例えば９５°に対応して形成された接触面２９ｂと、該接触面２９ｂから更に段差状を有して一連に形成した非接触面２９ｃとをそれぞれ備えている。そして、上記リミットスイッチ３０のセンサ接触子３０ａが上記接触面２９ｂに接触し、前記回動アーム１６、すなわち、蓋１５の回動規制動作を制御する。
【００２８】
すなわち、前記回動手段１７の駆動により回動アーム１６及び蓋１５が蓋全開角度θ１まで回動したとき、リミットスイッチ３０のセンサ接触端子３０ａが接触面２９ｂに乗上げる、而して、該リミットスイッチ３０はスイッチ動作を行いそのスイッチ信号を回動アーム１６又は回動手段１７の制御部に伝達し、当該回動アーム１６及び回動手段１７の動作を停止させ、該回動アーム規制角度θ１を越えないように構成している。
また、電源停止や制御部の故障等により万が一、回動アーム規制角度θ１を越えて回動した場合、回動アーム規制角度θ２の規制位置Ｇ、例えば１０５°まで回動すれば、回動アーム規制手段Ｅのカム部２９の突起２９ａが回動アーム規制角度θ２の位置まで回動した後、ストッパー部２８に衝当し、回動アームの回動が停止するようにしており、安全を確保している。
【００２９】
尚、蓋全開角度θ１、及び回動アーム規制角度θ２の設定値は蓋の開閉装置の設計仕様に応じて、適宜変更可能である。蓋２が閉じる直前において蓋２の下面がチャンバ１の上面と平行であるように、蓋の開閉装置を組立てる時、蓋２の下面とチャンバ１の上面との間に平行スペーサーを入れて、希望の平行度がでているか否かを測定しておくのが良い。また、該平行スペーサーを入れて閉じた状態で、蓋の開閉装置を組立てても良い。
（２）蓋閉止時の動作について
回動アーム１６は図１に示す蓋全開角度θ１の全開位置Ｆから前記回動手段１７の駆動により時計方向に回動する。該回動手段１７及び回動アーム１６は図５（ｂ）の速度制御特性図で示すように、例えば加速時間１．０６（ｓｅｃ）、一定速度１．０５９（ｄｅｇ／ｓｅｃ）で比較的高速始動する。そして、蓋１５の揺れが低減するまで、停止時間Ｈに示すように2秒間を一旦停止させる。そして、板バネ１８に固定された蓋１５が容器１４の開口面１４ａに接近する位置すなわち、当接する手前まで回動されると、該回動手段１７の駆動により回動アーム１６は図５（ｂ）で示すように例えば、加速時間０．１３（ｓｅｃ）及び一定速度０．１３（ｄｅｇ／ｓｅｃ）の如きその移動速度を低下させると共に、該蓋１５を容器１４の開口面１４ａの真上から前後、又は左右方向に振れることなく下降させて、蓋１５の閉止動作を完了させる。蓋の開き位置から閉じ位置までは９５°に設定しているが、回動アーム１６は開き状態から閉じ方向へ９５．６°動作させている。従って、その差０．６°（９５．６−９５）分は板バネ１８が縮んだ状態である。このとき、蓋１５はシール部材（Ｏリング）を押し込んでいる状態であり、容器１４の開口上面と蓋１５の下端面は僅かな隙間を維持している。蓋１５がシール部材（Ｏリング）に接触する前においては、シール部材（Ｏリング）は容器１４の開口上面から約１ｍｍ突出させている。
【００３０】
従って、蓋１５は容器１４の開口面１４ａにずれることなく該開口面１４ａに嵌着したシール部材（Ｏリング）と蓋１５の下面１５ｂがずれることなく完全に密着状態にさせることができる。そして、かかる状態は回動アーム１６が板バネ１８を押圧しており、前記屈曲角度θを狭めながら該蓋１５の重量が該シール部材（Ｏリング）又は開口面１４ａに重量がかけられ、前記ストッパ１９の下面１９ｃと蓋１５の表面１５ａとの隙間Ｃは図４に示すように所定寸法、例えば１（ｍｍ）に設定し位置調整する。当該所定寸法の測定は、該ストッパ１９の本体部１９ｂに付設した位置センサ２０で計測する。
【００３１】
このように、本発明は蓋の開閉装置の他に蓋１５の表面１５ａ及びストッパ１９の下面１９ｃを計測する方法すなわち、開口面１４ａを有する容器１４と、該容器１４の開口面１４ａに被せる蓋１５と、該蓋１５に連結した回動アーム１６と、該回動アーム１６を回動させて該蓋１５を容器１４の開口面１４ａに開閉する回動手段１７とを備えてなる蓋の開閉装置において、その一端部１６ａが前記回動アーム１６に固定させると共にその他端部１６ｂが前記蓋１５に固定されたアームに対してフロート支持し、蓋押圧機能も与えることができる板バネ１８、前記回動アーム１６に取付けたストッパ１９及び位置センサ２０を備え、蓋１５の表面１５ａ及びストッパ１９の下面１９ｃを計測する方法の技術である。また、開口面１４ａを有する容器１４と、該容器１４の開口面１４ａに被せる蓋１５と、該蓋１５に連結した回動アーム１６と、該回動アーム１６を回動させて該蓋１５を容器１４の開口面１４ａに開閉する回動手段１７とを備え、蓋１５を容器１４の開口面に対して開閉駆動させる蓋の開放方法において、該蓋１５がシール部材（Ｏリング）又は容器１４の開口面１４ａを閉止するとき、蓋１５がシール部材（Ｏリング）又は容器１４の開口面１４ａに当接する手前で、回動アーム１６の移動速度を低下させる蓋の開閉方法、又は蓋１５を開放するとき、蓋１５が容器１４の開口面１４ａから所定量離れるまで、前記回動アームを所定の低速度で移動させ、該所定量離れたとき前記回動アーム１６を前記所定の低速度より高い速度で移動させる蓋の開閉技術である。
【００３２】
次に、本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける板バネの動作等を図７に示す力―変位特性図に基づき詳述する。
前記回動手段１７の駆動により回動アーム１６が蓋１５を容器１４の開口面１４ａから開放するときの０°位置から蓋全開角度θ１まで回動し、また蓋１５を容器１４の開口面１４ａに閉止するとき、蓋全開角度θ１から０°の位置まで回動する。この際、上記蓋１５は、上下、左右及び前後に揺れるものであり、該板バネ１８に次のバネ定数を設定すると好適な蓋の開閉動作を行なわせることができることが判明した。
【００３３】
上下方向の板バネ１８のバネ定数は、軽い力で蓋１５の位置が容器１４の開口面１４ａに合うように低く設定している。図７の特性図から算出すれば、上下方向の板バネ１８のバネ定数＝８０／１．０９＝７４（Ｎ／ｍｍ）である。
また、左右方向の板バネ１８のバネ定数は蓋１５の揺れを抑えるために比較的高く設定している。図７の特性図から算出すれば、左右方向板バネのバネ定数＝２００／０．６＝３３６（Ｎ／ｍｍ）である。
また、前後方向の板バネ１８のバネ定数は、蓋１５の揺れを抑えるために前記左右方向の板バネ１８のバネ定数と同様に比較的高く設定している。図７の特性図から算出すれば、前後方向の板バネ１８のバネ定数＝１８０／０．２＝９００（Ｎ／ｍｍ）である。
【００３４】
【発明の効果】
本発明に係る蓋の開閉装置は、蓋をアームに対して屈曲した板バネによってフローティングした構成としているので、次の効果がある。
【００３５】
すなわち、本発明によれば生産量当りのスペース効率の向上を図ると共に、真空チャンバの開口面に嵌着したシール部材の寿命を向上させ、もって、リンク機構やシリンダ機構を使用することなく構造の簡単かつ小規模を実現した蓋の開閉機能を提供する効果がある。
また蓋を真空チャンバの閉止位置から所定量離れた後、又は真空チャンバの全開位置から高速移動を経て真空チャンバの開口面に接近させた後、さらに回動アームを真空チャンバの開口面に当接する手前又は開口面から離れる際に移動速度を低下させる位置制御可能な回動手段を設けることにより、一定の押圧力を蓋の質量に加えてシール部材の又は真空チャンバの開口面に均一に付与するので回動アームの駆動制御機能を高めると共に蓋の開閉に伴う位置ずれ等を防止しシール性を向上させ、併せて該板バネは蓋の重量を分散支持し、回動アームの駆動の際に於ける揺れを抑制する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける、回動アームが蓋を容器から宙づりにした状態を示す側面図である。
【図２】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける、回動アームが蓋を容器に閉止した状態を示す側面図である。
【図３】図２の矢視Ａ―Ａ線方向の平面図である。
【図４】本発明に係る蓋の開閉装置に於ける実施の形態に具備したストッパ及び位置センサの配置構成を示す拡大断面図である。
【図５】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける実施形態の回動アーム又は回動手段の速度制御特性図であって、（ａ）は蓋開き時、（ｂ）は蓋閉じ時の特性を示す。
【図６】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける回動アーム規制手段の構成を示す側面図である。
【図７】本発明に係る蓋の開閉装置の実施の形態に於ける板バネの力―変位特性図である。
【図８】従来技術に於ける真空チャンバ用蓋開閉構造を示す側面図である。
【符号の説明】
１４ 容器（真空チャンバ）
１４ａ 容器の開口面
１５ 蓋
１５ａ 蓋の表面
１５ｂ 蓋の下面
１５ｃ 当て座
１６ 回動アーム
１６ａ 回動アームの一端
１６ｂ 回動アームの他端
１７ 回動手段
１８ 板バネ
１８ａ 板バネの一端部（屈曲部が二箇所ある一枚の板バネにおける前後一端部であって、蓋の前後部に固定される部分）
１８ｂ 板バネの他端部（屈曲部が二箇所ある一枚の板バネにおける略中央部であって、回動アームの他端の下面に固定される部分）
１８Ａ 一方の板バネ
１８Ｂ 他方の板バネ
１９ ストッパ
１９ａ ストッパの締結具
１９ｂ ストッパの本体部
１９ｃ ストッパの下面
２０ 位置センサ
２０ａ 位置センサのリード線
２１ バネ座プレート
２２ 設置ベース
２３ アクチュエータ
２４ モータブラケット
２５ シャフト
２６ ベアリングブラケット
２７ ベアリングユニット
Claims (6)
- 開口面を有する真空チャンバと、該真空チャンバの開口面に被せる蓋と、該蓋に連結した回動アームと、該回動アームを回動させて該蓋を上方から真空チャンバの開口面に開閉する回動手段とを備えてなる蓋の開閉装置において、その一端部が前記回動アームに固定させると共にその他端部が前記蓋に固定されかつ、該両端部間が屈曲しかつ該蓋の前後部に締結具で固定された板バネを有したことを特徴とする蓋の開閉装置。
- 開口面を有する真空チャンバと、該真空チャンバの開口面に被せる蓋と、該蓋に連結した回動アームと、該回動アームを回動させて該蓋を上方から真空チャンバの開口面に開閉する回動手段とを備えてなる蓋の開閉装置において、その略中央部が前記回動アームに固定されると共にその前後一端部が前記蓋に固定されかつ、該前後一端部及び略中央部間が屈曲すると共に略中央部が前記回動アームの他端に固定され、前後一端部が蓋に固定された一枚の板バネを有したことを特徴とする蓋の開閉装置。
- 前記板バネは、前記回動アームに固定された部分から回動アーム及び蓋間の蓋センター内側に向って屈曲しており、その屈曲角度が９０°以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置。
- 前記板バネが複数であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置。
- 前記複数の板バネが少なくとも一対一列に配置されていることを特徴とする請求項４記載の蓋の開閉装置。
- 前記回動手段が減速機付き電動機であることを特徴とする請求項１又は２記載の蓋の開閉装置。
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