JP4411115B2 - 配線パターンの検査方法 - Google Patents
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Description
計算上の抵抗値RA=(配線長L1/基準距離LS)×基準抵抗値RS…(1)
この例では、基準距離LSが10mm,配線長L1が100mm,基準抵抗値RSが1mΩであるから計算上の抵抗値RAは10mΩとなる。
RA−α<RB<RA+αであれば「良」と判定され、
RA+α<RBであればパターン欠け有り、
RB<RA−αであればパターン太り有り、
と判定される。αの値は任意に決められてよい。
L1:L2=RSS:RA2
したがって、配線パターンP2の計算上の抵抗値RA2は次式(2)によって求めることができる。
RA2=(L2/L1)×RSS…(2)
これによっても、上記と同じく配線パターンP2,P3,…PNについては基準抵抗値RSを測定する手間を省くことができる。
11a,11b 電流供給プローブ
12a,12b 電圧検出プローブ
20 制御手段
21,22 メモリ
23 表示手段
P(P1,P2,…) 被検査配線パターン
Claims (5)
- 演算処理機能および判定機能を有する制御手段と電気的パラメータ測定手段とを含み、上記電気的パラメータ測定手段により回路基板上に形成されている配線パターンのパラメータ値を測定してその良否を検査する配線パターンの検査方法において、
上記制御手段には上記配線パターンの両端点間の配線長が記憶されており、
上記電気的パラメータ測定手段により上記配線パターンの長さ方向に含まれる所定の基準距離間の部分的なパラメータ値を測定して基準パラメータ値を得る第1ステップと、
上記制御手段により上記基準距離,上記基準パラメータ値および上記配線パターンの両端点間の配線長から上記配線パターンの両端点間のパラメータ値を算出する第2ステップと、
上記電気的パラメータ測定手段により上記配線パターンの両端点間のパラメータ値を実際に測定する第3ステップと、
上記制御手段により上記第2ステップで算出された計算上のパラメータ値と上記第3ステップで得られた実測パラメータ値とを比較して上記配線パターンの良否を判定する第4ステップとを含み、
上記第1ステップないし上記第3ステップを適宜の順序にしたがって実行することを特徴とする配線パターンの検査方法。 - 上記電気的パラメータ測定手段として4端子低抵抗測定器を用いる請求項1に記載の配線パターンの検査方法。
- 上記制御手段は上記配線パターンの配線長を設計データから得る請求項1または2に記載の配線パターンの検査方法。
- 上記回路基板上に配線長は異なるが線幅を同一として設計された複数の配線パターンが存在する場合において、その複数の配線パターンのうちの良品と判定された特定配線パターンの上記基準パラメータ値をほかの配線パターンに適用し、これらほかの配線パターンについては実際に上記基準パラメータ値を測定することなく、上記特定配線パターンの上記基準パラメータ値と配線長とから計算上のパラメータ値を求める請求項1ないし3のいずれか1項に記載の配線パターンの検査方法。
- 上記回路基板上に配線長は異なるが線幅を同一として設計された複数の配線パターンが存在する場合において、その複数の配線パターンのうちの良品と判定された特定配線パターンの計算上のパラメータ値もしくは実測パラメータ値を別の第2基準パラメータ値として採用し、ほかの配線パターンについては実際に上記基準パラメータ値を測定することなく、上記第2基準パラメータ値と配線長とから計算上のパラメータ値を求める請求項1ないし3のいずれか1項に記載の配線パターンの検査方法。
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