JP3206572B2 - 布線検査装置および方法 - Google Patents
布線検査装置および方法Info
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
ラズマ・ディスプレイ・パネル(カラー・PDP)にお
ける配線(電極)の不良を検査する場合に使用して好適
な布線検査装置および方法に関する。
パターンの欠陥としては、断線による欠陥あるいは短絡
による欠陥等が知られている。従来、この種欠陥の有無
を検出するために、配線の抵抗を測定して行う布線検査
装置が採用されている。このような布線検査装置による
検査は、被検査配線の二端部にプローブを接触させて配
線抵抗を測定し、この測定値が予め設定された規定値よ
り超えるか否かで配線欠陥の有無を検出することにより
行われる。
査装置においては、抵抗値の測定によって配線欠陥の有
無を検出することができるが、配線の欠陥箇所を自動的
に特定することができなかった。この結果、配線の欠陥
箇所を特定する場合、目視によって配線方向に走査して
行わざるを得ず、不良検査(電気特性検査)に多大の時
間を要するとともに、作業者の検査負担を重くするとい
う問題があった。なお、特開平10−021405号公
報および特許第2737484号にそれぞれ「回路パタ
ーンの外観検査方法および装置」と「配線パターン検査
装置」として先行技術が開示されているが、前述した課
題は解決されていない。
もので、配線の欠陥有無および欠陥位置を自動的に特定
することができ、もって不良検査に要する時間を短縮す
ることができるとともに、検査時における作業者の検査
負担を軽くすることができる布線検査装置および方法の
提供を目的とする。
に、本発明の請求項1記載の布線検査装置は、印刷配線
基板上の配線欠陥を検査する布線検査装置において、平
面縦横に並列するX−Yテーブル上における多数の座標
位置に対応して進退し、この進退位置に対応する印刷配
線板上の被検査部の画像を入力する画像入力装置と、こ
の画像入力装置からの画像信号に画像処理を施して連続
・不連続部分を検出する画像処理装置と、前記印刷配線
板上の被検査部である配線抵抗を測定する抵抗測定装置
と、この抵抗測定装置による測定値を規定値と比較し、
測定値が規定値よりも大きい場合又は小さい場合に前記
画像処理装置に作動信号を送るコントローラと、前記画
像処理装置で検出した不連続部分に対応する前記被検査
部の欠陥箇所を、前記X−Yテーブル上における前記画
像入力装置の座標位置に基づいて特定する欠陥位置特定
部を有する構成としてある。
線検査装置において、前記欠陥位置特定部によって特定
された前記被検査部の欠陥箇所に対応する情報を保存す
る記憶部を有する構成としてある。
記載の布線検査装置において、前記画像処理装置が、前
記画像入力装置からの画像信号を二値化画像に変換する
二値化処理部と、この二値化処理部による二値化画像を
所定の画素幅の芯線画像とする細線化処理部と、この細
線化処理部による芯線画像を芯線方向に走査しかつ画素
の濃淡度を演算して連続・不連続部分を検出する微分演
算処理部とを有する構成としてある。
線を検査する布線検査方法であって、前記印刷配線基板
上のそれぞれが互いに隣り合う二つの配線の端部にそれ
ぞれプローブを接触させる工程と、前記プローブ間の配
線抵抗を測定する工程と、前記配線抵抗の測定値を予め
設定された規定値と比較して判定する工程と、前記測定
値が前記規格値よりも大きい場合又は小さい場合に画像
処理装置に作動信号を送る工程と、前記作動信号を入力
したときに、X−Yテーブル上の座標位置に対応して進
退する前記画像入力装置からの前記印刷配線板上におけ
る前記それぞれが互いに隣り合う二つの配線の画像信号
の画像処理を施して連続・不連続部分を検出する工程
と、次に、これら連続・不連続部分のうち不連続部分に
対応する前記被検査部の欠陥個所を前記X−Yテーブル
上における前記画像入力装置の座標位置に基づいて特定
する工程とを有する方法としてある。
図面を参照して説明する。図1は本発明の第一実施形態
に係る布線検査装置を示すブロック図である。同図にお
いて、符号1で示す布線検査装置は、X−Yテーブル2
と、抵抗測定装置3と、第一コントローラ4と、画像入
力装置5と、画像処理装置6および第二コントローラ7
とを備えている。
えばカラーPDP基板Bに対向するテーブル面2aを有
している。X−Yテーブル2のテーブル面2a上には、
X−Y方向駆動装置8に接続され、平面縦横に並列する
座標位置に対応して進退する移動子9が配設されてい
る。なお、カラーPDP基板Bには、多数の配線W(W
1〜W4)が印刷形成されている。また、移動子8のX
−Yテーブル2上における移動位置は、画像入力装置5
による撮像位置に対応して予め決定されている。
の両端部あるいはそれぞれが互いに隣り合う二つの配線
の端部に接触可能な金属製のプローブ3a,3bを有
し、第一コントローラ4に接続されている。これによ
り、両プローブ3a,3bを単一配線の両端部あるいは
二つの配線の端部に接触させて配線抵抗が測定される。
部4bおよび判定部4cを有し、画像処理装置6および
抵抗測定装置3に接続されている。比較部4aは、抵抗
測定装置3による測定値と設定部4bにおける規定値と
を比較する。設定部4bは、単一配線が断線した場合あ
るいは配線同士が短絡した場合における所定の配線抵抗
を規定値として設定する。判定部4cは、比較部4aに
おける比較結果に基づいて測定値の大小を判定する。
線W1の各端部に接触させて断線の有無を検査する場
合、測定値が規定値より大きいと、「配線W1に断線が
有る(異常)」として判定部4cから画像処理指令情報
が画像処理装置6に出力される。一方、測定値が規定値
より小さいと、「配線W1に断線が無い(正常)」とし
て、両プローブ3a,3bを次の被検査箇所としての配
線W2の各端部に接触させ断線の有無を検査する。
互いに隣り合う二つの例えば配線W1,W2の端部に接
触させて配線同士の短絡の有無を検査する場合、測定値
が規定値より小さいと、「両配線W1,W2間に短絡が
有る(異常)」として判定部4cから画像処理指令情報
が画像処理装置6に出力される。一方、測定値が規定値
より大きいと、「両配線W1,W2間に短絡が無い(正
常)」として、両プローブ3a,3bを次の被検査箇所
としての配線W2,W3の端部に接触させ短絡の有無を
検出する。
り、テーブル面2a上における移動子9に取り付けら
れ、かつ画像処理装置6に接続されている。これによ
り、画像入力装置5が予め決定されたテーブル面2a上
における座標位置(Xi,Yj)(添え字iおよびj
は、i,j≧0を満足する整数とする。)に対応して進
退し、この進退位置(座標位置)に対応するi番目の被
検査部の画像が入力される。すなわち、画像入力装置5
による被検査部の撮像は、画像入力装置5のX方向座標
位置に対応して行われる。なお、画像入力装置5は、移
動子9の進退によってX方向ガイドレール上をX方向に
進退し、X方向ガイドレールの進退によってY方向ガイ
ドレール上をY方向に進退する。
値化処理部6bと、細線化処理部6cおよび微分演算処
理部6dとを有している。画像入力部6aは、画像入力
装置5からの画像情報および第一コントローラ4(判定
部4c)からの画像処理指令情報を取り込む。
の画像信号を予め求めた閾値レベルで二値化画像に変換
する。細線化処理部6cは、二値化処理部6bによって
変換された二値化画像を所定の画素幅の芯線画像とす
る。微分演算処理部6dは、細線化処理部6cによって
細線化された芯線画像の芯線方向に走査し、かつ画素の
濃淡度を演算して連続・不連続に変化する部分を検出す
る。
aおよび記憶部7bを有している。欠陥位置特定部7a
は、微分演算処理部6dによる不連続部分に対応する配
線の断線・短絡箇所をX−Yテーブル2上における画像
入力装置5の座標位置に基づいて特定するとともに、こ
の欠陥箇所の特定後にX−Y方向駆動装置8に駆動信号
が出力される。これにより、微分演算処理部6dからの
画像情報が欠陥位置特定部7aに入力されると、配線欠
陥(断線・短絡)の有無が検出されるとともに、配線W
の欠陥位置が特定される。記憶部7bは、欠陥位置特定
部7aによって特定された配線の断線・短絡箇所に対応
する情報を保存する。
検査方法(断線欠陥の検査)につき、図1〜図8を用
いて説明する。 断線欠陥の検査 「配線抵抗の測定(図2においてステップS1,2)」
配線Wのうち例えば単一配線W1の両端部にそれぞれプ
ローブ3a,3bを接触させる(ステップS1)ことに
より、抵抗測定装置3によって配線抵抗を測定する(ス
テップS2)。
テップS2において測定された測定値を予め設定された
規定値と比較した後、この測定値の大小を判定する(ス
テップS3)。この場合、測定値が規定値より大きい
と、判定部4cから画像処理指令情報が画像処理装置6
の画像入力部6aに出力される。
いてステップS4)」先ず、平面縦横に並列するX−Y
テーブル2上における多数の座標位置に対応して進退す
る画像入力装置5からのカラーPDP基板B上における
被検査部の画像信号を二値化処理部6bによって二値化
画像に変換する。このとき、断線が無い場合には図3に
示すような二値化画像となり、有る場合には図4に示す
ような二値化画像となる。
像を所定の画素幅の芯線画像とする。このとき、断線が
無い場合には図5に示すような芯線画像となり、有る場
合には図6に示すような芯線画像となる。その後、微分
演算処理部6dによって芯線画像を芯線方向に走査し、
かつ画素の濃淡度を演算して連続・不連続部分を検出す
る。このとき、断線が無い場合には図7に示すように変
化量の均一な微分値が得られ、有る場合には図8に示す
ように特定の走査位置で変化量の大きい微分値が得られ
る。ここで、特定の走査位置で変化量の大きい微分値の
個数に応じて断線箇所の個数および配線の端数を算出す
ることができる。
された不連続部分に対応する配線の断線箇所を、欠陥位
置特定部7aによってX−Yテーブル2上における画像
入力装置5の座標位置に基づいて特定する。この場合、
欠陥位置特定部7aには、画像処理装置6(微分演算処
理部6d)から画像入力装置5の座標位置に対応する画
像情報が入力される。
陥位置特定部7aによって特定された配線W1の断線箇
所に対応する情報を記憶部7bによって保存する(ステ
ップS5)。なお、ステップS3において、測定値が規
定値より小さいと、次の被検査物としての配線の有無を
目視によって検出し(ステップS6)、配線が有る場合
にはステップS1に戻り、無い場合には終了する。この
ようにして、布線検査を行うことができる。
Yテーブル2上における画像入力装置5の座標位置に基
づき、欠陥位置特定部7aによって配線の断線有無が検
出されるとともに、その断線箇所が特定されるから、配
線の断線有無および断線箇所の特定を自動的に行うこと
ができる。
検査方法(短絡欠陥の検査)につき、図3,図5およ
び図7〜図13を用いて説明する。 短絡欠陥の検査 「配線抵抗の測定(図9においてステップS1,2)」
配線Wのうち相互に隣り合う二つの例えば配線W1,W
2の端部にそれぞれプローブ3a,3bを接触させる
(ステップS1)ことにより、抵抗測定装置3によって
配線抵抗を測定する(ステップS2)。
テップS2において測定された測定値を予め設定された
規定値と比較した後、この測定値の大小を判定する(ス
テップS3)。この場合、測定値が規定値より小さい
と、判定部4cから画像処理指令情報が画像処理装置6
の画像入力部6aに出力される。
いてステップS4)」先ず、平面縦横に並列するX−Y
テーブル2上における多数の座標位置に対応して進退す
る画像入力装置5からの画像信号を二値化処理部6bに
よって二値化画像に変換する。このとき、配線間に短絡
が無い場合には図3に示すような二値化画像となり、有
る場合には図10に示すような二値化画像となる。
像を所定の画素幅の芯線画像とする。このとき、配線間
に短絡が無い場合には図5に示すような芯線画像とな
り、有る場合には図11に示すような芯線画像となる。
その後、微分演算処理部6dによって図12および図1
3に示すように芯線画像を芯線方向(矢印a,b方向)
に走査し、かつ画素の濃淡度を演算して連続・不連続に
変化する部分を検出する。このとき、配線間に短絡が無
い場合には図7に示すように変化量の均一な微分値が得
られ、有る場合には図8に示すように特定の走査位置で
変化量の大きい微分値が得られる。ここで、特定の走査
位置で変化量の大きい微分値の個数に応じて短絡箇所の
個数を算出することができる。
された不連続部分に対応する配線の短絡箇所を、欠陥位
置特定部7aによってX−Yテーブル2上における画像
入力装置5の座標位置に基づいて特定する。この場合、
欠陥位置特定部7aには、画像処理装置6(微分演算処
理部6d)から画像入力装置5の座標位置に対応する画
像情報が入力される。
陥位置特定部7aによって特定された配線W1,W2の
短絡箇所に対応する情報を記憶部7bによって保存する
(ステップS5)。なお、ステップS3において、測定
値が規定値より大きいと、次の被検査物としての配線の
有無を目視によって検出し(ステップS6)、配線が有
る場合にはステップS1に戻り、無い場合には終了す
る。このようにして、布線検査を行うことができる。
Yテーブル2上における画像入力装置5の座標位置に基
づき、欠陥位置特定部7aによって配線の短絡有無が検
出されるとともに、その短絡箇所が特定されるから、互
いに隣り合う二つの配線間の短絡有無および短絡箇所の
特定を自動的に行うことができる。
像処理装置による不連続部分に対応する被検査部の欠陥
箇所をX−Yテーブル上における画像入力装置の座標位
置に基づいて特定する欠陥位置特定部を有するので、位
置特定部によって被検査部の欠陥有無が検出されるとと
もに、被検査部の欠陥箇所が特定される。
陥箇所の特定を自動的に行うことができるから、不良検
査に要する時間を短縮することができるとともに、検査
時における作業者の負担を軽くすることができる。
すブロック図である。
明するために示すフローチャートである。
ける二値化処理によって配線欠陥の無い場合に得られる
二値化像を示す平面図である。
ける二値化処理によって断線の有る場合に得られる二値
化像を示す平面図である。
ける細線化処理によって配線欠陥の無い場合に得られる
芯線画像を示す平面図である。
ける細線化処理によって断線の有る場合に得られる芯線
画像を示す平面図である。
ける微分演算処理によって配線欠陥の無い場合に得られ
る微分変化量と走査位置の関係を示す図である。
ける微分演算処理によって配線欠陥の有る場合に得られ
る微分変化量と走査位置の関係を示す図である。
明するために示すフローチャートである。
おける二値化処理によって配線短絡の有る場合に得られ
る二値化像を示す平面図である。
おける細線化処理によって配線短絡の有る場合に得られ
る芯線画像を示す平面図である。
おける配線短絡の無い場合の微分演算処理を説明するた
めに示す平面図である。
おける配線短絡の有る場合の微分演算処理を説明するた
めに示す平面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 印刷配線基板上の配線欠陥を検査する布
線検査装置において、 平面縦横に並列するX−Yテーブル上における多数の座
標位置に対応して進退し、この進退位置に対応する印刷
配線板上の被検査部の画像を入力する画像入力装置と、 この画像入力装置からの画像信号に画像処理を施して連
続・不連続部分を検出する画像処理装置と、 前記印刷配線板上の被検査部である配線抵抗を測定する
抵抗測定装置と、 この抵抗測定装置による測定値を規定値と比較し、測定
値が規定値よりも大きい場合又は小さい場合に前記画像
処理装置に作動信号を送るコントローラと、 前記 画像処理装置で検出した不連続部分に対応する前記
被検査部の欠陥箇所を、前記X−Yテーブル上における
前記画像入力装置の座標位置に基づいて特定する欠陥位
置特定部を有することを特徴とした布線検査装置。 - 【請求項2】 前記欠陥位置特定部によって特定された
前記被検査部の欠陥箇所に対応する情報を保存する記憶
部を有することを特徴とする請求項1記載の布線検査装
置。 - 【請求項3】 前記画像処理装置が、前記画像入力装置
からの画像信号を二値化画像に変換する二値化処理部
と、この二値化処理部による二値化画像を所定の画素幅
の芯線画像とする細線化処理部と、この細線化処理部に
よる芯線画像を芯線方向に走査しかつ画素の濃淡度を演
算して連続・不連続部分を検出する微分演算処理部とを
有することを特徴とする請求項1または2記載の布線検
査装置。 - 【請求項4】 印刷配線板上の配線を検査する布線検査
方法であって、 前記印刷配線基板上のそれぞれが互いに隣り合う二つの
配線の端部にそれぞれプローブを接触させる工程と、 前記プローブ間の配線抵抗を測定する工程と、 前記配線抵抗の測定値を予め設定された規定値と比較し
て判定する工程と、 前記測定値が前記規格値よりも大きい場合又は小さい場
合に画像処理装置に作 動信号を送る工程と、 前記作動信号を入力したときに、X−Yテーブル上の座
標位置に対応して進退する前記画像入力装置からの前記
印刷配線板上における前記それぞれが互いに隣り合う二
つの配線の画像信号の画像処理を施して連続・不連続部
分を検出する工程と、 次に、これら連続・不連続部分のうち不連続部分に対応
する前記被検査部の欠陥個所を前記X−Yテーブル上に
おける前記画像入力装置の座標位置に基づいて特定する
工程とを、 有することを特徴とした布線検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32724898A JP3206572B2 (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 布線検査装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32724898A JP3206572B2 (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 布線検査装置および方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000149027A JP2000149027A (ja) | 2000-05-30 |
JP3206572B2 true JP3206572B2 (ja) | 2001-09-10 |
Family
ID=18196995
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32724898A Expired - Fee Related JP3206572B2 (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 布線検査装置および方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3206572B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6738527B2 (en) | 1997-06-09 | 2004-05-18 | Seiko Epson Corporation | Image processing apparatus, an image processing method, a medium on which an image processing control program is recorded, an image evaluation device, and image evaluation method and a medium on which an image evaluation program is recorded |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008014918A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-24 | Oht Inc | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
KR102024780B1 (ko) * | 2012-11-28 | 2019-11-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | 결함 검사 장치 및 이를 이용한 표시장치의 결함 검사 방법 |
-
1998
- 1998-11-17 JP JP32724898A patent/JP3206572B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6738527B2 (en) | 1997-06-09 | 2004-05-18 | Seiko Epson Corporation | Image processing apparatus, an image processing method, a medium on which an image processing control program is recorded, an image evaluation device, and image evaluation method and a medium on which an image evaluation program is recorded |
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---|---|
JP2000149027A (ja) | 2000-05-30 |
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