JP4410988B2 - 半導体素子のテストハンドラの素子搬送装置の作業位置の認識方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子をテストするハンドラにおいて、作業位置を認識する方法に係り、特に、ハンドラにて種類の異なる半導体素子をテストする場合、交替部品であるトレイ及び差替キットに対する素子搬送装置の作業位置を迅速且つ正確に認識して再設定できるようにした半導体素子のテストハンドラの素子搬送装置の作業位置の認識方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、生産ラインで生産済みの半導体素子(device)は、出荷前に製品の良否を判別のためのテスト過程を経ることになる。ハンドラはかかる半導体素子のテストに用いる装置であって、半導体素子の搬送装置を用いてトレイに収納した半導体素子を工程間で自動的に搬送しながらテストサイトのテストソケットにこれらを装着して所望のテストを行った後、テスト結果によって幾つかの等級に分け、さらに、トレイにアンローディングする過程を順次に繰り返す装置である。
【0003】
図1はこの種の従来のハンドラの概略構成を示す平面図である。同図において、ハンドラ本体1の前方には、テストする半導体素子が収納されているトレイを積載するローディング部2と、テスト済みの半導体素子をテスト結果によって良品及び再検査品に分類して再収納する複数のトレイが用意さているアンローディング部3とを備えている。ローディング部2の後方には、その内部に加熱手段(図示せず)及び冷却手段(図示せず)を含み、温度テスト時にテストする半導体素子を所定の温度に加熱又は冷却するソーク(soaking)プレート7が取り付けられている。また、アンローディング部3の後方には、テストの結果、不良品として分類された半導体素子を等級別に収納するように複数のトレイが積載されるリゼックトマルチスタッカー5が取り付けられている。
【0004】
ハンドラ本体1の最後方のテストサイト10には、外部のテスト装置と電気的に連結され、半導体素子の性能をテストするためのテストソケット11が取り付けられている。このテストソケット11の上側にはテストソケット11の両側の待機位置に搬送された半導体素子をピックアップしてテストソケット11に装着すると共に、テストソケット11でテストされた半導体素子をピックアップしてさらに、両側の待機位置に供給する第1、第2インデックスヘッド12a、12bが左右に水平移動するように取り付けられている。
【0005】
テストサイト10の直前位置には、ローディング部2又はソークプレート7から半導体素子を搬送し、テストサイト10のテストソケット11の両側の待機位置に供給する第1シャトル8a及び第2シャトル8bが前後進可能に取り付けられている。また、テストサイト10でテストを完了した半導体素子をテストサイト10の外側に搬送する第3シャトル9a及び第4シャトル9bが前後進可能に取り付けられている。
【0006】
また、ハンドラ本体1の前端部とテストサイト10の前方部の上側にはハンドラ本体を横切る固定フレーム13がそれぞれ取り付けられ、これらの固定フレーム13には一対の搬送フレーム14a、14bが固定フレーム13に沿って左右に移動可能に取り付けられ、搬送フレーム14a、14bにはこの搬送フレーム14a、14bに沿って前後に搬送可能に取り付けられて半導体素子をピックアップして搬送するピックアップ装置15が各々取り付けられ、ピックアップ装置15はそれぞれ一度に複数の半導体素子をピックアップして搬送できるような複数のピッカー(図示せず)を備えている。
【0007】
なお、通常ハンドラは、一つの装置でQFP(quad flat package)、BGA(ball grid array)、SOP(small out line package)などの多様な形態の半導体素子をテストできるように構成されているが、1種類の半導体素子をテストした後、他の種類の半導体素子をテストするためには、トレイと、ソークプレート7、シャトル8a,8b,9a,9b、テストソケット11などの差替キットとを、テストしようとする半導体素子の種類に合うように差し替えてテストを行うことになる。
【0008】
このとき、テストする半導体素子の種類に応じて差し替えられる差替キットなどは半導体素子が装入される装入部の大きさとピッチが全て以前とは異なるのでハンドラの制御ユニット(図示せず)ではピックアップ装置15の作業区間を再設定しなければならない。即ち、差替キットの仕様の変化によってピックアップ装置15の素子ピックアップ位置が変化し、これによってピックアップ装置15が搬送する距離と、ピックアップ装置のピッカー間のピッチ、ピッカーの昇降高さなどを全て新たに設定しなければならない。
【0009】
ところが、従来は上記のように交替される差替キットなどの仕様を作業者が測定用冶具を用いて順次一つずつ確認し、ハンドラの制御ユニット(図示せず)に入力してプログラミングすることで作業位置を設定していた。しかし、この場合、入力途中にエラーが発生する確率が高く、作業位置の設定に多くの時間を要し、従って、一日の生産量が低下し、全体的にテスト作業の効率を低下させるという問題があり、こうした問題は交替される差替キットの種類及び数に比例している。
【0010】
なお、この問題を解決するためにデバイス(半導体素子)搬送機構のピックアップ装置に画像入力手段としてCCDカメラを装着し、このCCDカメラで獲得した映像によってトレイ及び差替キットの情報を認識するようにした「水平搬送テストハンドラ」が開示されている(特許文献1)。
【0011】
【特許文献1】
韓国登録特許第10−0261957(2000.4.25)号明細書
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記のような「水平搬送テストハンドラ」は搬送機構の位置補正のためにハンドラ本体上に基準点を設定しなければならないため、搬送機構の作業位置を認識し設定する過程が多少複雑で時間が多くかかるという問題があった。
【0013】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、ハンドラの制御ユニットに予め入力すべき情報を最小化して、簡単な方法でテストしようとする半導体素子の種類応じて差し替える差替キットの仕様及びこれに対する素子搬送装置の作業位置を、正確且つ迅速で、自動的に認識して再設定できるようにした半導体素子テストハンドラの素子搬送装置の作業位置の認識方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明は、
テストする半導体素子及びテスト済みの半導体素子を収納するトレイと、テスト途中の半導体素子を装入する複数のシャトルと、半導体素子が装着されてテストが行われるテストソケットを含み、それぞれの片面に差替の各種データを有する認識標が設けられた差替キットと、ハンドラ本体の上側に水平搬送が可能なように取り付けられてハンドラの制御ユニットの命令によって半導体素子をピックアップして搬送する素子搬送装置と、前記素子搬送装置に固設された画像入力装置と、前記画像入力装置によって獲得された画像を解析して処理する画像処理部とを備えたハンドラで前記素子搬送装置の作業位置を認識するための方法において、
前記素子搬送装置を第1番目のトレイの上側から横方向及び縦方向に搬送し画像入力装置によって第1番目のトレイに装入された半導体素子のうち、第1番目の半導体素子の第1列、第1行の位置と、半導体素子が装入される各カラム間の横ピッチ及び縦ピッチと、トレイに装入される半導体素子の数に対する情報を獲得知る第1段階と、
前記素子搬送装置を他のトレイの上側に移動して、第1列、第1行の半導体素子の位置情報を獲得する第2段階と、
前記素子移送装置を各差替キットに搬送して素子移送装置を片方向に搬送しながら画像入力装置で差替キットの各々に付着している認識標の画像情報を獲得すると共に差替キットの原点を獲得する第3段階と、
前記ハンドラの制御ユニットに入力された半導体素子の種類と前記第3段階の処理で獲得された認識標の情報を比較して半導体素子と差替キットの種類が一致するか否かを判断する第4段階と、
画像処理部及び制御ユニットで前記第1、2、3、4段階の処理で得られた画像情報によって素子移送装置の作業位置を計算する第5段階と
を備えたことを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を添付の図面を参照して詳細に説明する。理解を容易にするために、本発明の素子搬送装置の作業位置認識方法が適用されるハンドラを図1を用いて説明したものとするが、本発明はこれに限定されずこれと同種の従来のハンドラにも適用可能である。
【0016】
図2は本発明に係る素子搬送装置の作業位置の認識方法が適用されるハンドラの主要部の構成を示し、ハンドラの素子搬送装置のピックアップ装置15の一方の端部には各々トレイ及び差替キットの画像情報を得るための画像カメラ17が設置され、該画像カメラ17はハンドラの作動全般を制御する制御ユニット20の画像処理部22に連結される。
【0017】
前記画像処理部22は画像カメラ17から入力された画像情報を処理して制御ユニット20の主制御部21に伝達し、主制御部21では画像処理部22から伝達された情報によって各ピックアップ装置15の作業位置を算出する。
【0018】
図3は素子搬送装置のピックアップ装置15の作業位置を認識するための処理手順を示すフローチャートであり、図4と図5は各々トレイ200と差替キットのシャトル8a、8bの認識方法の一例を説明するための図であり、前記のような画像カメラ17に作業位置を認識させる方法を具体的に説明する。
【0019】
図3に示すように、ピックアップ装置15をローディング部2(図1参照)に位置する第1トレイ200に移動し(S1)、ピックアップ装置15を横方向(+X)に水平に搬送させて画像カメラ17で第1トレイ200を撮影し(S2)、第1トレイ200の第1列、第1行の半導体素子位置(1,1)とカラムの横ピッチ(Tx)及び横方向への半導体素子100の個数に対する情報を獲得する(S3)。
【0020】
次にピックアップ装置15を縦方向(−Y)に搬送させながら第1トレイ200上の半導体素子100などの縦ピッチ(Ty)と縦方向への半導体素子100の個数に対する情報を獲得する(S4、S5)。
【0021】
続いてピックアップ装置15を第2トレイ200の位置に搬送させ(S6)、第2トレイ200の上側から横方向に搬送させながら画像カメラ17で画像を取得して第1列、第1行の半導体素子の位置(1、1)に対する情報を得る(S7)。
【0022】
前記第2トレイ200は第1トレイ200と同一の種類のトレイであるのでここでは第2トレイに装入した第1番目の半導体素子の位置に対する情報だけを得ることで十分である。
【0023】
第1トレイ200と第2トレイに対する情報を全て獲得すると、ピックアップ装置15は第1シャトル8aに搬送されて横方向(+X)に搬送されながら画像カメラ17で画像を撮影し(S8、S9)、第1シャトル8aの頭頂を基準とする原点0の位置及び第1シャトル8aの上面に形成したシャトル認識標8cの情報を獲得する(S10)。
【0024】
前記シャトル認識標8cには差替キットの種類がシャトルであることを示すコードと装入される半導体素子の種類を示すコード及び/又はその他の基本的な寸法情報が入力されている。
【0025】
次に画像処理部22で処理したシャトルの画像情報を主制御部21のデータベースに入力したシャトル入力情報と比較してシャトルが検査対象半導体素子の種類に適した種類のシャトルであるか否かを判別し(S11)、もし、シャトルの種類が不一致であれば制御ユニット20ではユーザに差替キット交換のエラーメッセージを送出して差替キットの交換を指示する。
【0026】
前記段階でシャトルの種類が一致すれば、ピックアップ装置15は第2シャトル8bに搬送され、第1シャトル8aと同様に第2シャトルの原点位置とシャトル認識標8cに対する情報を獲得した後(S12、S13、S14)、データベースに入力したシャトル情報に比較してシャトル交換が良好に成されているか否かを読みとり(S15)、シャトル交換が良好になされているとピックアップ装置は作業位置認識作業を終了する。
【0027】
制御ユニット20の主制御部21は前記段階などを介して画像処理部22から伝えられるトレイ200及びシャトル8a、8bの画像情報によってピックアップ装置15の作業開始位置とピックアップ位置及び作業終了位置などを算出してハンドラ稼動時にピックアップ装置を正確な作業位置に搬送させることができる。
【0028】
なお、前記作業位置認識方法は2つのトレイと2つのシャトルに対してピックアップ装置の作業位置を認識することで説明されているが、他にも2つ以上のシャトルとテストソケット又はソークプレートなどの差替キットの作業位置を認識する場合にも同様に適用することができる。
【0029】
【発明の効果】
以上の説明によって明らかなように、本発明によれば、素子搬送装置の作業位置を認識して選定する際にハンドラの本体に基準点を設定する必要がなく、簡単な作業過程を経てトレイと差替キットの必要情報が正確且つ迅速で、自動的に得られるので作業の遅延時間が減少し、作業効率が向上するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的な半導体素子テスト用ハンドラの構成例を示す平面図。
【図2】本発明によるハンドラ用半導体素子の搬送装置の作業位置の認識方法を実施するためのハンドラの主要部の概略構成図。
【図3】本発明の素子搬送装置の作業位置の認識方法に対する一実施形態を示すフローチャート。
【図4】本発明の作業位置認識方法を行う過程のうち、トレイの作業位置の認識過程の例を示すトレイの平面図。
【図5】本発明の作業位置認識方法を行う過程のうち、シャトルの作業位置の認識方法過程の例を示すトレイの平面図。
【符号の説明】
15 ピックアップ装置
17 画像カメラ(CCDカメラ)
20 制御ユニット
21 主制御部
22 画像処理部
100 半導体素子
200 トレイ
8a、8b シャトル
8c シャトル認識標
Claims (1)
- テストする半導体素子及びテスト済みの半導体素子を収納するトレイと、
テスト途中の半導体素子が装入する複数の差替キットと、
半導体素子が装着されてテストが行われるテストソケットと、
を備え、
前記差替キットには、その片面に各差替キットの各種データが入力された認識票が備えられており、
さらに、
ハンドラ本体の上側に横方句及び縦方向に水平搬送が可能なように取り付けられ、ハンドラ制御ユニットの命令によって半導体素子をピックアップして搬送する、素子搬送装置と、
前記素子搬送装置に固設された画像入力装置と、
前記画像入力装置によって獲得された画像を解析して処理する画像処理部と、
を備えたハンドラで前記素子搬送装置の作業位置を認識するための方法において、
前記素子搬送装置を第1番目のトレイの上側から横方向及び縦方向に搬送し画像入力装置によって第1番目のトレイに装入された半導体素子のうちの第1番目の半導体素子の第1列、第1行の位置と、半導体素子が装入される各コラム間の横ピッチ及び縦ピッチと、トレイに装入される半導体素子の横の数及び縦の数に対する情報と、を獲得する第1段階と、
前記素子搬送装置を他のトレイの上側に搬送して第1列、第1行の半導体素子の位置情報を獲得する第2段階と、
上記素子搬送装置を各差替キットに搬送して素子搬送装置を片方向に搬送しながら画像入力装置で差替キットの各々に付着している認識票の画像情報を獲得すると共に差替キットの原点を獲得する第3段階と、
ハンドラ制御ユニットに入力された差替キットの種類と、前記第3段階を介して獲得された認識票の情報における差替キットの種類と、が一致するか否かを判断する第4段階と、
主制御部で前記第1、2及び3段階を介して得られた画像情報によって素子搬送装置の作業位置を計算する第5段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子テストハンドラの素子搬送装置の作業位置認識方法。
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