JP4379134B2 - 多孔質静圧気体軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構 - Google Patents
多孔質静圧気体軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構 Download PDFInfo
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Description
2 ガラス板
3 案内レール
4 下面
5 上面
6 軸受パッド
11 隔壁
21、22、23、24 多孔面
31 端面
32 平坦面
33、34 開口
Claims (7)
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、前記多孔質静圧気体軸受パッドは、隔壁を一体的に有したパッド基台と、隔壁内外においてパッド基台に焼成された多孔質金属焼結層とを具備しており、隔壁内における多孔質金属焼結層は、第一の多孔面及び第二の多孔面のうちの一方の多孔面を有しており、隔壁外における多孔質金属焼結層は、第一の多孔面及び第二の多孔面のうちの他方の多孔面を有している多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、第一の多孔面は円形状及び円環状のうちの一方の形状であり、第二の多孔面は円形状及び円環状のうちの他方の形状である多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、第一及び第二の多孔面のうちの一方の多孔面は、略円形状の中央部と、この中央部から放射外方向に伸長した複数個の略矩形状の放射部とを有している多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、平坦面は、第一及び第二の多孔面のうちの一方の多孔面を複数個有しており、第一及び第二の多孔面のうちの他方の多孔面は、第一及び第二の多孔面のうちの複数個の一方の多孔面の間に配されており、第一及び第二の多孔面は同心に配されている多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっており、平坦面は、第一及び第二の多孔面のうちの一方の多孔面を複数個有しており、第一及び第二の多孔面のうちの複数個の一方の多孔面は、第一及び第二の多孔面のうちの他方の多孔面内に分散して配されている多孔質静圧気体軸受パッド。
- 隔壁の端面は、第一又は第二の多孔面と実質的に面一になっている請求項1から5のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受パッド。
- 可動体と、この可動体の可動方向を規定する固定体と、可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在された請求項1から6のいずれか一項に記載の多孔質静圧気体軸受パッドとを具備した静圧気体軸受機構。
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