JP4586378B2 - 静圧気体直動軸受機構 - Google Patents
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Description
2 可動体
3 隙間
4 案内部材
6、7、11、12 斜交面
Claims (20)
- 可動体の移動を案内すると共に可動体を案内方向に移動自在に支持するように可動体に対して隙間をもって案内部材が配されており、案内部材は、隙間に供給される高圧空気を介して可動体の移動を案内すると共に可動体の荷重を受容する一対の案内支持面を有しており、可動体は、案内部材の一対の案内支持面に隙間をもって対面する被案内支持面を有している静圧気体直動軸受機構であって、一対の被案内支持面を一対の案内支持面から離反させるように高圧空気供給手段から隙間に高圧空気が供給されるようになっていると共に一対の被案内支持面を一対の案内支持面に接近させるように空気吸引手段によって隙間の空気が吸引されるようになっており、案内部材は、案内支持面の間に可動体の荷重方向に対して交差する中間支持面を具備しており、可動体は、中間支持面に隙間をもって対面すると共に当該中間支持面に相補的な形状の中間被支持面を有しており、中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方は、隙間に開口する多数の開口を有すると共に当該多数の開口を介して高圧空気供給手段からの高圧空気を隙間に供給する高圧空気供給用多孔面を具備している静圧気体直動軸受機構。
- 中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方には、高圧空気供給用多孔面を有すると共に多数の高圧空気供給用細孔を内部に有した高圧空気供給用の多孔質金属焼結層が設けられており、高圧空気供給手段は、中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の多孔質金属焼結層の多数の高圧空気供給用細孔を介して中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の高圧空気供給用多孔面の多数の開口に高圧空気を供給するようになっている請求項1に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の高圧空気供給用多孔面は、案内方向に長く伸びた細長多孔面を具備している請求項1又は2に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 可動体の移動を案内すると共に可動体を案内方向に移動自在に支持するように可動体に対して隙間をもって案内部材が配されており、案内部材は、隙間に供給される高圧空気を介して可動体の移動を案内すると共に可動体の荷重を受容する一対の案内支持面を有しており、可動体は、案内部材の一対の案内支持面に隙間をもって対面する被案内支持面を有している静圧気体直動軸受機構であって、一対の被案内支持面を一対の案内支持面から離反させるように高圧空気供給手段から隙間に高圧空気が供給されるようになっていると共に一対の被案内支持面を一対の案内支持面に接近させるように空気吸引手段によって隙間の空気が吸引されるようになっており、案内部材は、案内支持面の間に可動体の荷重方向に対して交差する中間支持面を具備しており、可動体は、中間支持面に隙間をもって対面すると共に当該中間支持面に相補的な形状の中間被支持面を有しており、中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方は、隙間に開口する開口面を有する空気吸引用凹所を具備しており、空気吸引手段は、中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の空気吸引用凹所の開口面を介して隙間の空気を吸引するようになっている静圧気体直動軸受機構。
- 中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の空気吸引用凹所の開口面は、案内方向に長く伸びた細長開口面を具備している請求項4に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 可動体の移動を案内すると共に可動体を案内方向に移動自在に支持するように可動体に対して隙間をもって案内部材が配されており、案内部材は、隙間に供給される高圧空気を介して可動体の移動を案内すると共に可動体の荷重を受容する一対の案内支持面を有しており、可動体は、案内部材の一対の案内支持面に隙間をもって対面する被案内支持面を有している静圧気体直動軸受機構であって、一対の被案内支持面を一対の案内支持面から離反させるように高圧空気供給手段から隙間に高圧空気が供給されるようになっていると共に一対の被案内支持面を一対の案内支持面に接近させるように空気吸引手段によって隙間の空気が吸引されるようになっており、案内部材は、案内支持面の間に可動体の荷重方向に対して交差する中間支持面を具備しており、可動体は、中間支持面に隙間をもって対面すると共に当該中間支持面に相補的な形状の中間被支持面を有しており、中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方は、隙間に開口する多数の開口を有する空気吸引用多孔面を具備しており、空気吸引手段は、中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の空気吸引用多孔面の多数の開口を介して隙間の空気を吸引するようになっている静圧気体直動軸受機構。
- 中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方には、空気吸引用多孔面を有すると共に多数の空気吸引用細孔を有した空気吸引用の多孔質金属焼結層が設けられており、空気吸引手段は、中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の多孔質金属焼結層の多数の空気吸引用細孔を介して中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の空気吸引用多孔面の多数の開口から隙間の空気を吸引するようになっている請求項6に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 中間支持面及び中間被支持面のうちの少なくとも一方の空気吸引用多孔面は、案内方向に長く伸びた細長多孔面を具備している請求項6又は7に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 各案内支持面は、隙間に供給される高圧空気を介して可動体の移動を案内すると共に可動体の荷重を受容するように可動体の荷重方向に対して斜交する斜交面を有しており、各被案内支持面は、案内部材の対応の斜交面に隙間をもって対面すると共に当該斜交面に対応して可動体の荷重方向に対して斜交している斜交面を有している請求項1から8のいずれか一項に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 両案内支持面の斜交面は可動体の荷重方向に対して互いに逆に斜交している請求項9に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 両案内支持面の斜交面は荷重方向に対して互いに等しい角度をもって斜交している請求項10に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 各案内支持面は、隙間に供給される高圧空気を介して可動体の移動を案内するように可動体の荷重方向に対して平行な平行面と、隙間に供給される高圧空気を介して可動体の荷重を受容するように可動体の荷重方向に対して直交又は斜交する交差面とを有しており、各被案内支持面は、案内部材の対応の平行面に隙間をもって対面すると共に当該平行面に平行な平行面と、案内部材の対応の交差面に隙間をもって対面すると共に当該交差面に平行な交差面とを具備している請求項1から8のいずれか一項に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 案内支持面及び被案内支持面のうちの少なくとも一方は、隙間に開口する多数の開口を有すると共に当該多数の開口を介して高圧空気供給手段からの高圧空気を隙間に供給する他の高圧空気供給用多孔面を具備している請求項1から12のいずれか一項に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 案内支持面及び被案内支持面のうちの少なくとも一方には、他の高圧空気供給用多孔面を有すると共に多数の他の高圧空気供給用細孔を内部に有した高圧空気供給用の他の多孔質金属焼結層が設けられており、高圧空気供給手段は、他の多孔質金属焼結層の多数の他の高圧空気供給用細孔を介して他の高圧空気供給用多孔面の多数の開口に高圧空気を供給するようになっている請求項13に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 他の高圧空気供給用多孔面は、案内方向に長く伸びた他の細長多孔面を具備している請求項13又は14に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 案内支持面及び被案内支持面のうちの少なくとも一方は、隙間に開口する開口面を有する他の空気吸引用凹所を具備しており、空気吸引手段は、他の空気吸引用凹所の開口面を介して隙間の空気を吸引するようになっている請求項1から15のいずれか一項に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 他の空気吸引用凹所の開口面は、案内方向に長く伸びた他の細長開口面を具備している請求項16に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 案内支持面及び被案内支持面のうちの少なくとも一方は、隙間に開口する多数の開口を有する他の空気吸引用多孔面を具備しており、空気吸引手段は、他の空気吸引用多孔面の多数の開口を介して隙間の空気を吸引するようになっている請求項1から17のいずれか一項に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 案内支持面及び被案内支持面のうちの少なくとも一方には、他の空気吸引用多孔面を有すると共に多数の他の空気吸引用細孔を有した空気吸引用の他の多孔質金属焼結層が設けられており、空気吸引手段は、空気吸引用の他の多孔質金属焼結層の多数の他の空気吸引用細孔を介して他の空気吸引用多孔面の多数の開口から隙間の空気を吸引するようになっている請求項18に記載の静圧気体直動軸受機構。
- 他の空気吸引用多孔面は、案内方向に長く伸びた他の細長多孔面を具備している請求項18又は19に記載の静圧気体直動軸受機構。
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