JP4379126B2

JP4379126B2 - 静圧気体軸受パッド用の隙間調節装置及びこれを用いた静圧気体軸受機構

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Publication number: JP4379126B2
Application number: JP2004008516A
Authority: JP
Inventors: 秀夫小澤
Original assignee: Oiles Corp
Current assignee: Oiles Corp
Priority date: 2004-01-15
Filing date: 2004-01-15
Publication date: 2009-12-09
Anticipated expiration: 2024-01-15
Also published as: JP2005201370A

Description

本発明は、可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる静圧気体軸受パッドの可動体との間の隙間を調節する隙間調節装置及びこれを用いた静圧気体軸受機構に関する。

特開平８−２８５６４号公報特開２０００−１９９５２２号公報特開２００２−３４９５６９号公報

静圧気体軸受、特に、多孔質金属焼結体を用いた多孔質静圧気体軸受は、すぐれた高速安定性と高い負荷容量並びに極めて小さい移動抵抗をもつ軸受として知られていると共にこれら優れた利点のために多くの分野に用いられている。斯かる静圧気体軸受を可動体と固定体との間にパッド形態（本発明ではパッド形態の静圧気体軸受を静圧気体軸受パッドという）をもって介在させる場合には、通常、可動体との間に微小の隙間、例えば５μｍ程度の隙間をもって静圧気体軸受パッドを配置する。

この隙間は、軸受剛性、負荷能力及び速度特性に大きく影響を与えるために、可動体との間の隙間を調節できる隙間調節装置を介して静圧気体軸受パッドは可動体と固定体との間に介在されるのであるが、隙間の調節後、設定した隙間が変化しないように隙間調節装置の調節、設定状態は解除自在に固定される。

ところで、固定体に装着される隙間調節装置では一般にねじを用いて当該ねじの螺入状態の変化により微小な隙間を調節、設定し、隙間の調節、設定後はダブルナットによりねじが移動しないようにしてその設定状態が固定されるようになっているが、ダブルナットによる固定では調節後にねじにナットを螺合させるためにナットの螺合によるねじの微小回転でねじに僅かな移動をもたらす虞がある上に、二つのナットをねじに螺合させるために固定作業が煩雑となり、しかも、二つのナット及びこれらナットが螺合したねじの部分が固定体から突出する結果、固定体の設置のために不要なスペースを必要とする。

本発明は、前記諸点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、隙間の調節後に調節後の状態、即ち設定状態を変動させないで当該設定状態を固定できる上に、固定作業を簡単に行い得、しかも、小スペースをもって設置できる静圧気体軸受パッド用の隙間調節装置及びこれを用いた静圧気体軸受機構を提供することにある。

可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる静圧気体軸受パッドの可動体との間の隙間を調節する本発明の第一の態様の隙間調節装置は、内周面に雌ねじが刻設された筒体と、筒体の内周面の雌ねじに螺合する雄ねじを外周面に有すると共に筒体の一端面から突出する進退自在部材と、筒体に対する進退自在部材の位置を固定する固定手段とを具備しており、筒体にはその外周面から少なくともその内周面まで伸びるスリットが設けられており、固定手段は、スリットの幅を変える方向の力を筒体に加えて筒体に対する進退自在部材の位置を固定するようになっている。

第一の態様の隙間調節装置によれば、筒体のスリットの幅を変える方向の力を筒体に加えて筒体に対する進退自在部材の位置を固定するようになっている固定手段を具備しているために、隙間調節後の固定手段による筒体に対する進退自在部材の位置を固定するための固定操作において進退自在部材に回転を生じさせない結果、隙間の設定状態を変動させないで当該設定状態を固定できる。

固定手段は、本発明の第二の態様の隙間調節装置のように、筒体の他端面及びスリットを規定する筒体の一方のスリット面で夫々開口して筒体に設けられたねじ孔と、このねじ孔に螺合した固定ねじとを具備していても、本発明の第三の態様の隙間調節装置のように、筒体の他端面及びスリットを規定する筒体の一方のスリット面で開口して筒体に設けられた貫通孔と、この貫通孔の一方のスリット面での開口に対面すると共にスリットを規定する筒体の他方のスリット面で開口して筒体に設けられたねじ孔と、筒体の他端面に係止される膨大部を有すると共に貫通孔に移動自在に挿通される一方、ねじ孔に螺合する固定ねじとを具備していてもよく、前者の場合には、固定ねじは、筒体のスリットの幅を広げる方向にスリットを規定する筒体の他方のスリット面を押圧するように、一方のスリット面から突出した一端部では他方のスリット面に当接すると共に他端部ではねじ孔に螺合しているとよく、後者の場合には、固定ねじは、筒体のスリットの幅を狭める方向に他方のスリット面に対して一方のスリット面を相対的に引き付けるように、一端部ではねじ孔に螺合していると共に他端部の膨大部では筒体の他端面に係止されるとよい。

第二又は第三の態様の隙間調節装置によれば、筒体に対して固定ねじを進退させることにより筒体に対する進退自在部材の位置を固定することができる結果、隙間調節後において隙間の設定状態を変動させないで固定作業を簡単に行い得、しかも、固定ねじをねじ孔又はねじ孔及び貫通孔内で進退させることができるので固定ねじが筒体から突出することもなく、小スペースをもって設置できる。

筒体は、好ましくは本発明の第四の態様の隙間調節装置のように、環状の一端面及び他端面を有すると共に円筒状の内周面及び外周面を有した中空体と、この中空体の一端面側の外周面に一体的に設けられた鍔部とを具備しており、ここで、雌ねじは中空体の内周面に刻設されている。

隙間調節装置を静圧気体軸受機構に用いる場合には筒体を固定体の貫通孔に装着して当該固定体に固定するのであるが、斯かる筒体の固定体への固着は、嵌着、溶接、螺着のいずれの手段を用いてもよく、この場合、第四の態様の隙間調節装置のように筒体が鍔部を具備していると固定体の貫通孔への装着において固定体に対する筒体の位置決めを容易く行い得る。

筒体はまた、本発明の第五の態様の隙間調節装置のように、環状の一端面及び他端面を有すると共に円筒状の内周面及び外周面を有した中空体を具備していてもよく、この場合、この中空体の外周面には環状の溝が設けられており、この環状の溝には中空体の外周面から部分的に突出する弾性リングが装着されており、雌ねじは中空体の内周面に刻設されているとよい。

第五の態様の隙間調節装置のように弾性リングが環状の溝に装着されていると、静圧気体軸受機構の固定体の貫通孔に筒体を装着する場合に、貫通孔において弾性リングを介して固定体に筒体を仮止できるためにその後の作業が容易となる。

筒体は必ずしも鍔部を具備している必要はないのであるが、第五の態様の隙間調節装置でも本発明の第六の態様の隙間調節装置のように、筒体は、中空体の一端面側の外周面に一体的に設けられた鍔部を更に具備していてもよく、斯かる鍔部を具備していると第四の態様の隙間調節装置と同様に固定体の貫通孔への装着において固定体に対する筒体の位置決めを容易く行い得る。

筒体の一端面から突出する進退自在部材の一端部の先端面は平坦面、凸曲面であってもよいが、好ましくは本発明の第七の態様の隙間調節装置のように半凸球面からなり、先端面が斯かる半凸球面からなっていると、先端面に拘束されないで静圧気体軸受パッドの揺動を可能とし得て静圧気体軸受パッドを均一な隙間をもって可動体に対面させることができる。

進退自在部材は、好ましい例では本発明の第八の態様の隙間調節装置のように、雌ねじに螺合する雄ねじを外周面に有する円柱体又は円筒体と、円柱体又は円筒体の一端部に設けられた球体又は半球体とを具備しており、ここで、筒体の一端面から突出する進退自在部材の一端部の先端面は球体の表面の一部又は半球体の表面からなる。

第八の態様の隙間調節装置のように先端面が球体の表面の一部又は半球体の表面からなっていると、先端面は半凸球面からなる結果、第七の態様の隙間調節装置と同様に、先端面に拘束されないで静圧気体軸受パッドの揺動を可能とし得て静圧気体軸受パッドを均一な隙間をもって可動体に対面させることができる。

本発明の第一の態様の静圧気体軸受機構は、可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在された静圧気体軸受パッドと、静圧気体軸受パッドと可動体との間の隙間を調節すベく固定体に装着されている上記のいずれかの態様の隙間調節装置とを具備している。

静圧気体軸受パッドは、好ましくは本発明の第二の態様の静圧気体軸受機構のように可動体に対面する多孔面を有しており、またその第三の態様の静圧気体軸受機構のように多孔質金属焼結層を具備しており、この場合、多孔質金属焼結層の一方の面が可動体に対面する多孔面となっている。

多孔質金属焼結層としては金属粉末と無機質粉末とを混合、焼結してなるものを好ましい一例として挙げることができ、ここで、金属粉末は、少なくとも錫、燐及び銅を含んでおり、更には、ニッケル及びマンガンのうちの少なくとも一方を含んでいるとよく、無機質粉末は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つを含んでいるとよいが、本発明はこれらに限定されない。

静圧気体軸受パッドは、本発明の第四の態様の静圧気体軸受機構のように筒体の一端面から突出する進退自在部材の一端部の先端面が当接する凹面を有しているとよく、斯かる凹面を有していると、静圧気体軸受パッドの意図しない移動を阻止できて静圧気体軸受パッドを初期配置位置に常時保持できる。

第四の態様の静圧気体軸受機構において、凹面は先端面の形状と相補的であって先端面とぴったりと合致する形状を有しているのが好ましいが、本発明の第五の態様の静圧気体軸受機構のように半凹球面からなっているとより好ましく、特に先端面が半凸球面からなっている場合には、静圧気体軸受パッドは、先端面に拘束されないその揺動が更に可能となってより均一な隙間をもって可動体に対面することができる。この場合、半凹球面及び半凸球面の夫々は、互いに低摩擦抵抗をもって摺動できるように鏡面仕上げ等されているのが好ましい。

本発明によれば、調節後に設定状態を変動させないで設定状態を固定できる上に、固定作業を簡単に行い得、しかも、小スペースをもって設置できる静圧気体軸受パッド用の隙間調節装置及びこれを用いた静圧気体軸受機構を提供することができる。

次に本発明及びそれを実施するための最良の形態を図に示す好ましい実施例に基づいて更に詳細に説明する。なお、本発明はこれら実施例に何等限定されないのである。

図１から図６において、本例の静圧気体軸受機構１は、可動体２を固定体３に対してＸ方向に移動自在に保持すベく可動体２と固定体３との間に介在された複数の静圧気体軸受パッド４と、各静圧気体軸受パッド４と可動体２との間の隙間５を調節すベく固定体３に各静圧気体軸受パッド４に対応して装着されている隙間調節装置６とを具備している。

可動体２及び固定体３の夫々は、本例では矩形板及び断面コ字状のレールの夫々で構成されているが、静圧気体軸受機構１が例えば精密工作機械等に適用される場合には、可動体２は工作ヘッド自体若しくは工作ヘッドが載置される基台又はワーク載置台に適した形態となり、固定体３もまた、斯かる形態の可動体２をＸ方向に移動自在に保持するに適した形態となり、したがって、可動体２及び固定体３の夫々は、斯かる矩形板及び断面コ字状のレールの夫々に限定されない。

可動体２の側面１１及び１２の夫々と固定体３の内側面１３及び１４との間に介在された複数の静圧気体軸受パッド４並びに可動体２の底面１５と固定体３の基部上面１６との間に介在された複数の静圧気体軸受パッド４の夫々は互いに同様に構成されており、また各静圧気体軸受パッド４に対応して固定体３に装着されている隙間調節装置６の夫々も互いに同様に構成されているので、以下、可動体２の側面１１と固定体３の内側面１３との間に介在された静圧気体軸受パッド４及びこの静圧気体軸受パッド４に対応して固定体３に装着されている隙間調節装置６について詳述する。

静圧気体軸受パッド４は、固定体３の内側面１３に対面する平面２１の略中央部に半凹球面からなる凹面２２を有している円盤状の裏金２３と、裏金２３の他方の平面に一体に形成されて固着されていると共に裏金２３と協働して気体通路２４を形成した円盤状の多孔質金属焼結層２５とを具備しており、可撓性の配管２６を介して気体通路２４に供給された高圧空気を多孔質金属焼結層２５の多数の細孔を介して可動体２の側面１１に向かって噴出するようになっている。このように静圧気体軸受パッド４は、可動体２の側面１１に対面する多孔面２７を有しており、多孔質金属焼結層２５の一方の平坦な面が多孔面２７となっている。

静圧気体軸受パッド４の多孔面２７と可動体２の側面１１との間の隙間５を調節する隙間調節装置６は、内周面３１に雌ねじ３２が刻設された筒体３３と、雌ねじ３２に螺合する雄ねじ３４を外周面３５に有すると共に筒体３３の一端面３６から突出する進退自在部材３７と、筒体３３に対するＹ方向の進退自在部材３７の位置を固定する固定手段３９とを具備している。

筒体３３は、環状の一端面３６及び他端面４１を有すると共に円筒状の内周面３１及び外周面４２を有した中空体４３と、中空体４３の一端面３６側の外周面４２に一体的に設けられた鍔部４４とを具備しており、筒体３３の中空体４３にはその外周面４２から少なくともその内周面３１まで伸びる、本例では内周面３１を越えて伸びるスリット４５が設けられており、中空体４３の外周面４２には環状の溝４６が設けられており、環状の溝４６には中空体４３の外周面４２から部分的に突出する弾性リング、例えばＯリング４７が装着されており、雌ねじ３２は中空体４３の内周面３１に刻設されている。

筒体３３は、固定体３に形成された段付き貫通孔４８に挿入されて固定体３に嵌着されていると共に貫通孔４８の段部を規定する環状肩部４９に鍔部４４が当接されて装着されている。

進退自在部材３７は、雄ねじ３４を外周面３５に有する円柱体又は円筒体、本例では円柱体５１と、円柱体５１の一端部５２に固着されて設けられた球体又は半球体、本例では球体５３とを具備しており、筒体３３の一端面３６から突出する進退自在部材３７の一端部５２の先端面５４は、球体の表面の一部又は半球体の表面、本例では球体５３の表面５５の一部であって半凸球面からなっていると共に静圧気体軸受パッド４の凹面２２に当接するようになっており、円柱体５１の他端部５６の端面５７には回転工具を差込むための六角凹所５８が設けられている。

雄ねじ３４及び雌ねじ３２を介して筒体３３の内周面３１に螺合された進退自在部材３７は、六角凹所５８に回転工具の一端部が差込まれて当該回転工具により軸線Ｏの周りでＲ方向に回転されると雄ねじ３４と雌ねじ３２との螺合結合により筒体３３に対してＹ方向に進退されるようになっており、このＹ方向の進退でもって隙間５の幅ｔを調節するべく静圧気体軸受パッド４をＹ方向に移動させるようになっている。

固定手段３９は、筒体３３の中空体４３の他端面４１及びスリット４５を規定する筒体３３の一方のスリット面６１で夫々開口して筒体３３の中空体４３に設けられたねじ孔６２と、ねじ孔６２に螺合された固定ねじ６３とを具備している。

固定ねじ６３は、スリット４５の幅Ｗを広げる方向にスリット４５を規定する筒体３３の他方のスリット面６５を押圧するように、スリット面６１から突出した一端部６６ではスリット面６５に当接していると共に他端部６７ではねじ孔６２に螺合しており、他端部６７の端面６８には回転工具を差込むための六角凹所６９が設けられている。

固定手段３９は、進退自在部材３７のＹ方向の進退で隙間５の幅ｔが調節、設定された後、六角凹所６９に回転工具の一端部を差込んで当該回転工具により固定ねじ６３を回転させ固定ねじ６３を更にねじ孔６２に螺入して一端部６６でスリット面６５を強く押圧してスリット４５の幅Ｗを変える方向の力、本例ではスリット４５の幅Ｗを広くする方向の力を筒体３３の中空体４３に加え、これによりスリット４５の近傍の中空体４３に変形歪みを生じさせて筒体３３の中空体４３に対して進退自在部材３７がＹ方向に進退できないようにし、而して、筒体３３の中空体４３に対する進退自在部材３７の位置を固定するようになっている。

なお、進退自在部材３７がＹ方向に進退できないようにする場合、スリット４５の近傍の中空体４３に明らかな変形歪みを生じさせる必要はなく、進退自在部材３７がＲ方向に回転できない程度の極めて僅かな変形歪みをスリット４５の近傍の中空体４３に生じさせる力を一端部６６のスリット面６５への押圧を介して中空体４３に加えるだけでもよい。

筒体３３のスリット４５の幅を変える方向の力を筒体３３に加えて筒体３３に対する進退自在部材３７の位置を固定するようになっている固定手段３９を具備した隙間調節装置６によれば、固定手段３９による筒体３３に対する進退自在部材３７の位置を固定するための固定操作において進退自在部材３７に回転を生じさせない結果、隙間５の設定状態を変動させないで当該設定状態を固定でき、しかも、筒体３３に対して固定ねじ６３を回転させねじ孔６２との螺合による固定ねじ６３の筒体３３に対する進退で筒体３３に対する進退自在部材３７のＹ方向の位置を固定することができる結果、隙間５の設定状態を変動させないで固定作業を簡単に行い得、しかも、固定ねじ６３をねじ孔６２内で進退させることができるので固定ねじ６３が筒体３３から突出することもなく、小スペースをもって設置できる。

また隙間調節装置６においては、筒体３３が鍔部４４を具備しているために固定体３の貫通孔４８への装着において固定体３に対する筒体３３の位置決めを容易く行い得る上に、Ｏリング４７が環状の溝４６に装着されているために固定体３の貫通孔４８に筒体３３を装着する場合に、貫通孔４８においてＯリング４７を介して固定体３に筒体３３を仮止できるためにその後の作業が容易となり、加えて、進退自在部材３７の先端面５４が半凸球面からなっているために先端面５４に拘束されないで静圧気体軸受パッド４の揺動を可能とし得て静圧気体軸受パッド４を均一な隙間５をもって可動体２に対面させることができる。

静圧気体軸受パッド４は進退自在部材３７の先端面５４が摺動自在に当接する凹面２２を有しているために、静圧気体軸受パッド４の意図しないＸ方向の移動が阻止されて静圧気体軸受パッド４が初期配置位置に常時保持される上に、凹面２２が半凹球面からなっているために、静圧気体軸受パッド４は、先端面５４に拘束されないその揺動が更に可能となってより均一な隙間５をもって可動体２に対面することができる。

上記の例では、固定ねじ６３の一端部６６でスリット面６５を押圧してスリット４５の幅Ｗを広げる方向の力を筒体３３の中空体４３に加え、これにより筒体３３の中空体４３に対する進退自在部材３７のＹ方向の位置を固定するようにしたが、これに代えて、図７に示すように、固定ねじ６３によりスリット４５の幅Ｗを狭める方向の力を筒体３３の中空体４３に加え、これにより筒体３３の中空体４３に対する進退自在部材３７のＹ方向の位置を固定するようにしてもよく、この場合、筒体３３の他端面４１及びスリット４５を規定する筒体３３の一方のスリット面６１で夫々開口して筒体３３の中空体４３に設けられた貫通孔７１と、貫通孔７１の一方のスリット面６１での開口に対面すると共にスリット４５を規定する筒体３３の他方のスリット面６５で開口して筒体３３の中空体４３に設けられたねじ孔７２と、筒体３３の他端面４１、本例では他端面４１の円形の凹所７３に係止される膨大部７４を有すると共に貫通孔７１に移動自在に挿通される一方、一端部６６でねじ孔７２に螺合する固定ねじ６３とを具備して固定手段３９を構成し、筒体３３の中空体４３のスリット４５の幅Ｗを狭める方向に他方のスリット面６５に対して一方のスリット面６１を相対的に引き付けるように、固定ねじ６３を一端部６６ではねじ孔７２に螺合させると共に他端部６７の膨大部７４では筒体３３の他端面４１の凹所７３に係止させて固定手段３９を構成してもよく、この場合にも、膨大部７４の端面７５には前記と同様に回転工具を差込むための六角凹所が設けられており、進退自在部材３７のＹ方向の進退で隙間５の幅ｔが調節、設定された後、膨大部７４に設けられた六角凹所に回転工具の一端部を差込んで当該回転工具により固定ねじ６３を回転させて、スリット４５の幅Ｗを狭める方向の力を筒体３３の中空体４３に加え、これによりスリット４５の近傍の中空体４３に変形歪みを生じさせて筒体３３の中空体４３に対して進退自在部材３７がＹ方向に進退できないようにし、而して、筒体３３の中空体４３に対する進退自在部材３７のＹ方向の位置を固定するようにしてもよい。

本発明の実施の形態の好ましい一例の平面説明図である。図１の例に示す隙間調節装置の斜視図である。図２に示す隙間調節装置の背面図である。図２に示す隙間調節装置の断面説明図である。図２に示す隙間調節装置に用いた進退自在部材の側面図である。図１に示す例の全体斜視図である。本発明における隙間調節装置の実施の形態の好ましい他の例の断面説明図である。

符号の説明

１静圧気体軸受機構
２可動体
３固定体
４静圧気体軸受パッド
５隙間
６隙間調節装置

Claims

可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる静圧気体軸受パッドの可動体との間の隙間を調節する隙間調節装置であって、外周面から少なくとも内周面まで伸びるスリットが設けられていると共に内周面に雌ねじが刻設された筒体と、筒体の内周面の雌ねじに螺合する雄ねじを外周面に有すると共に筒体の一端面から突出する進退自在部材と、スリットの幅を変える方向の力を筒体に加えて筒体に対する進退自在部材の位置を固定する固定手段とを具備しており、進退自在部材は、雌ねじに螺合する雄ねじを外周面に有する円柱体と、円柱体の一端部に固着されて設けられた球体とを具備しており、筒体の一端面から突出する進退自在部材の一端部の先端面は、半凸球面であって球体の表面の一部からなっており、固定手段は、筒体の他端面及びスリットを規定する筒体の一方のスリット面で夫々開口して筒体に設けられたねじ孔と、このねじ孔に螺合した固定ねじとを具備しており、固定ねじは、筒体のスリットの幅を広げる方向にスリットを規定する筒体の他方のスリット面を押圧するように、一方のスリット面から突出した一端部では他方のスリット面に当接すると共に他端部ではねじ孔に螺合しており、静圧気体軸受パッドは、一方の面に可動体に対面する多孔面を有した多孔質金属焼結層と、筒体の一端面から突出する進退自在部材の一端部の先端面が当接する凹面とを有しており、凹面は半凹球面からなっている静圧気体軸受パッド用の隙間調節装置。
可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる静圧気体軸受パッドの可動体との間の隙間を調節する隙間調節装置であって、外周面から少なくとも内周面まで伸びるスリットが設けられていると共に内周面に雌ねじが刻設された筒体と、筒体の内周面の雌ねじに螺合する雄ねじを外周面に有すると共に筒体の一端面から突出する進退自在部材と、スリットの幅を変える方向の力を筒体に加えて筒体に対する進退自在部材の位置を固定する固定手段とを具備しており、進退自在部材は、雌ねじに螺合する雄ねじを外周面に有する円柱体と、円柱体の一端部に固着されて設けられた球体とを具備しており、筒体の一端面から突出する進退自在部材の一端部の先端面は、半凸球面であって球体の表面の一部からなっており、固定手段は、筒体の他端面及びスリットを規定する筒体の一方のスリット面で開口して筒体に設けられた貫通孔と、この貫通孔の一方のスリット面での開口に対面すると共にスリットを規定する筒体の他方のスリット面で開口して筒体に設けられたねじ孔と、筒体の他端面に係止される膨大部を有すると共に貫通孔に移動自在に挿通される一方、ねじ孔に螺合する固定ねじとを具備しており、固定ねじは、筒体のスリットの幅を狭める方向に他方のスリット面に対して一方のスリット面を相対的に引き付けるように、一端部ではねじ孔に螺合していると共に他端部の膨大部では筒体の他端面に係止されており、静圧気体軸受パッドは、一方の面に可動体に対面する多孔面を有した多孔質金属焼結層と、筒体の一端面から突出する進退自在部材の一端部の先端面が当接する凹面とを有しており、凹面は半凹球面からなっている静圧気体軸受パッド用の隙間調節装置。
筒体は、環状の一端面及び他端面を有すると共に円筒状の内周面及び外周面を有した中空体と、この中空体の一端面側の外周面に一体的に設けられた鍔部とを具備しており、雌ねじは中空体の内周面に刻設されている請求項１又は２に記載の隙間調節装置。
筒体は、環状の一端面及び他端面を有すると共に円筒状の内周面及び外周面を有した中空体を具備しており、この中空体の外周面には環状の溝が設けられており、この環状の溝には中空体の外周面から部分的に突出する弾性リングが装着されており、雌ねじは中空体の内周面に刻設されている請求項１又は２に記載の隙間調節装置。
筒体は、中空体の一端面側の外周面に一体的に設けられた鍔部を更に具備している請求項４に記載の隙間調節装置。
可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在された静圧気体軸受パッドと、静圧気体軸受パッドと可動体との間の隙間を調節すベく固定体に装着されている請求項１から５のいずれか一項に記載の隙間調節装置とを具備した静圧気体軸受機構。