JP5924084B2 - 静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 - Google Patents
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Description
2 軸受体
3 締結部材
4 軸受基体
5 環状シール部材
6 自励振動減衰機構
11、13、32 面
12 円環状凹部
14 環状凹溝
17 空気吹出孔
51 空気室
54 絞り孔
Claims (16)
- 一方の面に当該一方の面で開口して形成された円環状凹部、他方の面に当該他方の面で開口して形成された環状凹溝及び一端では環状凹溝に開口していると共に他端では円環状凹部で開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔を有した合成樹脂製の軸受体と、一端では該軸受体の一方の面に対面している一方の面で開口して当該一端で円環状凹部に連通している一方、他端に気体が供給されるようになっている給気通路を備えていると共に該軸受体に一体的に結合された軸受基体と、自励振動減衰機構とを具備しており、自励振動減衰機構は、軸受体若しくは軸受基体に形成された空気室と、一端では軸受体の他方の面の中央部で開口すると共に他端では空気室に開口した少なくとも一つの絞り孔とを具備しており、円環状凹部は、円環状の内側小径外周面と、この内側小径外周面に対して拡径している円環状の内側大径外周面と、内周縁では内側小径外周面の下縁に連接する一方、外周縁では内側大径外周面の上縁に連接した円環状段部面とにより規定されており、静圧気体軸受は、内側大径外周面及び円環状段部面に接触して円環状凹部に配されていると共に軸受基体の一方の面に弾性的に接触した環状シール部材を更に具備している静圧気体軸受。
- 円環状凹部は、軸受体の一方の面から他方の面に向かうに連れて末広がりに形成された截頭円錐面で規定されている請求項1に記載の静圧気体軸受。
- 環状凹溝は、少なくとも0.3mmの幅と、少なくとも0.01mmの深さとを有しており、空気吹出孔は、その一端で少なくとも30μmの直径を有していると共に円環状凹部と環状凹溝との間で自成絞りを形成している請求項1又は2に記載の静圧気体軸受。
- 環状凹溝は、0.3〜1.0mmの幅と、0.01〜0.05mmの深さとを有しており、空気吹出孔は、その一端で30〜120μmの直径を有している請求項1から3のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 空気室は、軸受体の一方の面で開口して当該軸受体に形成された凹部を具備しており、この凹部の軸受体の一方の面での開口は、軸受体の一方の面に対面している軸受基体の一方の面で閉塞されている請求項1から4のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 凹部は、軸受体の他方の面から一方の面にかけて末広がりの截頭円錐面で規定されてすり鉢状に形成されている請求項5に記載の静圧気体軸受。
- 少なくとも一つの絞り孔は、0.8〜1.2mmの直径を有している請求項1から6のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 自励振動減衰機構は、複数個の絞り孔を有しており、複数個の絞り孔の夫々は、50〜65μmの直径を有している請求項1から6のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 自励振動減衰機構は、直径0.8〜1.2mmの少なくとも一つの絞り孔と、直径50〜65μmの少なくとも一つの絞り孔とを有している請求項1から6のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 軸受体は、その他方の面に形成されていると共に該環状凹溝の外側で当該環状凹溝を囲む大径環状凹溝と、一方の端部が該環状凹溝に開口すると共に他方の端部が大径環状凹溝に開口する複数個の第一の放射状凹溝と、その他方の面に形成されていると共に該環状凹溝の内側で当該環状凹溝に囲まれた小径環状凹溝と、一方の端部が環状凹溝に開口すると共に他方の端部が小径環状凹溝に開口する複数個の第二の放射状凹溝とを更に具備している請求項1から9のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 軸受基体に設けられていると共に球体受容凹部を有した球体受容手段を更に具備している請求項1から10のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 球体受容手段は、軸受基体の他方の面で開口して当該軸受基体に形成された截頭円錐凹部を球体受容凹部として有している請求項11に記載の静圧気体軸受。
- 球体受容手段は、軸受基体の他方の面で開口して当該軸受基体に形成された半球凹部を球体受容凹部として有している請求項11に記載の静圧気体軸受。
- 球体受容手段は、軸受基体の他方の面で開口して当該軸受基体に形成された円柱状凹部と、この円柱状凹部に嵌合固定された駒とを具備しており、駒は、その一方の面で開口した截頭円錐凹部を球体受容凹部として有している請求項11に記載の静圧気体軸受。
- 球体受容手段は、軸受基体の他方の面で開口して当該軸受基体に形成された円柱状凹部と、この円柱状凹部に嵌合固定された駒とを具備しており、駒は、その一方の面で開口した半球凹部を球体受容凹部として有している請求項11に記載の静圧気体軸受。
- 上面案内面及び両側案内面を有する案内部材と、この案内部材の外側に配されていると共に上面案内面に対面する上板及び両側案内面に対面する一対の側板を備えた可動テーブルと、この可動テーブルの上板の下面及び一対の側板の夫々の内面のうちの少なくとも一つの面に球体を案内部材に向けて立設されたボールスタッドと、このボールスタッドの球体と該少なくとも一つの面に対面する上面案内面及び両側案内面との間に配された請求項11から15のいずれか一項に記載の静圧気体軸受と、該少なくとも一つの面以外の可動テーブルの上板の下面及び一対の側板の夫々の内面と当該少なくとも一つの面以外の可動テーブルの上板の下面及び一対の側板の夫々の内面に対面する上面案内面及び両側案内面との間に配された請求項1から10のいずれか一項に記載の静圧気体軸受とを具備しており、ボールスタッドの球体は、請求項11から15のいずれか一項に記載の静圧気体軸受の軸受基体が当該球体を中心としてボールスタッドに対して揺動自在となるように、当該請求項11から15のいずれか一項に記載の静圧気体軸受の球体受容手段の球体受容部の夫々に受容されており、請求項1から10のいずれか一項に記載の静圧気体軸受のうちの少なくとも一つの静圧気体軸受の軸受基体は、該少なくとも一つの面以外の可動テーブルの上板の下面及び一対の側板の夫々の内面に固定されている直動案内装置。
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