JP4374038B2 - 基板処理方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる基板処理工程を示す断面図であり、(a)は被処理基板の研磨前の状態、(b)は被処理基板の研磨後の状態を示している。図中の10はシリコン基板、11はSiO2 膜、12はSiN膜である。
図5は、本発明の第2の実施形態に係わる基板処理工程を示す断面図であり、(a)はトレンチを形成した状態、(b)は被処理基板の研磨前の状態、(c)は被処理基板の研磨後の状態を示している。図中の10はシリコン基板、11はSiO2 膜、12はSiN膜、13はシリコンの針状突起である。
図6は、本発明の第3の実施形態に係わる基板処理工程を示す断面図である。
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。実施形態では、基板周縁部の不要膜としてSiO2 及びSiNを示したが、必ずしもこれらに限るものではなく、例えばSiOC,SiCNに対しても適用できる。つまり、酸化シリコン系、窒化シリコン系の膜に適用可能である。
11…SiO2 膜
12…SiN膜
20…被処理基板
21…回転ステージ
22…モータ
23…研磨テープ
23a…セリア砥粒を用いた研磨テープ
23b…ダイヤモンド砥粒を用いた研磨テープ
24…研磨ヘッド
25…純水供給ノズル
31…PETフィルム
32…バインダー
33…セリア砥粒
34…ダイヤモンド砥粒
61…金属膜(Co)
62…シリサイド(CoSi)
71…研磨ヘッド
72…不織布
73…研磨液供給ノズル
Claims (3)
- シリコン基板の周縁部に酸化シリコン系或いは窒化シリコン系の膜が形成された被処理基板の周縁部に、酸化シリコン系或いは窒化シリコン系の膜に対してケミカル効果を有する粒子を主成分とする砥粒を固定した第1研磨面を接触させて、前記被処理基板を研磨する工程と、
前記研磨により前記シリコン基板の一部が露出した後に、前記被処理基板の周縁部に、メカニカル効果を主体とする砥粒を固定した第2研磨面を接触させて、前記被処理基板を研磨する工程と、
を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記第1研磨面に固定された砥粒はセリアを主成分とし、前記第2研磨面に固定された砥粒はダイヤモンド又はSiCを主成分としたことを特徴とする請求項1記載の基板処理方法。
- シリコン基板の周縁部に酸化シリコン系或いは窒化シリコン系の膜が形成された被処理基板に対し、酸化シリコン系或いは窒化シリコン系の膜に対してケミカル効果を有する粒子を主成分とする砥粒を含む研磨液を用いて、又は該砥粒を固定した研磨面に接触させて、前記被処理基板の周縁部を研磨する工程と、
前記研磨により前記シリコン基板の一部が露出した後に、メカニカル効果を主体とする砥粒を含む研磨液を用いて、又は該砥粒を固定した研磨面に接触させて、前記被処理基板の周縁部を研磨する工程と、
を含むことを特徴とする基板処理方法。
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