JP4361542B2 - ダイシングシートの貼付方法 - Google Patents
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- 複数のセラミックグリーンシートを積層した積層体にダイシングシートを貼り付けるダイシングシートの貼付方法であって、
前記ダイシングシートを吸着可能な吸着面を有する吸着板を準備し、前記吸着面から前記ダイシングシートの一端部がはみ出すように、前記ダイシングシートを前記吸着面に吸着させる工程と、
前記積層体における前記ダイシングシートの貼付予定面に前記ダイシングシートの一端部が近接するように、前記吸着面を前記貼付予定面に対して傾斜させた状態で、前記ダイシングシートの一端部を押圧ローラによって前記貼付予定面に押圧する工程と、
前記吸着面における前記ダイシングシートの吸着を解除してから前記ダイシングシートが前記吸着面から脱離するまでの間に前記吸着板及び前記積層体の少なくとも一方を前記貼付予定面の面内方向に移動させ、前記押圧ローラで押圧しながら前記ダイシングシートを前記吸着面側から前記貼付予定面側に搬送する工程とを備えたことを特徴とするダイシングシートの貼付方法。 - 前記吸着面と前記貼付予定面とが成す開放角は、2°〜6°の範囲であることを特徴とする請求項1記載のダイシングシートの貼付方法。
- 前記押圧ローラによって前記ダイシングシートの前記一端部に加える押圧力は、0.2MPa〜0.8MPaの範囲であることを特徴とする請求項1又は2記載のダイシングシートの貼付方法。
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