JP4358955B2 - 異物検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、表面に偏光フィルムが貼着されたガラス基板などの透明な基板と前記偏光フィルムとの間に存在する異物を検出する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、ブラウン管に代わる小型かつ軽量の表示装置として、液晶表示装置(LCD)が注目されるに至っている。図6は、一般的なLCD1の構成を概略的に示すもので、この図に示すように、LCD1は、平面視矩形(例えば長方形)で、セル2とバックライト3とからなる。そして、セル2は、上下一対の透明なガラス基板4,5と、これらのガラス基板4,5の間に互いに密接した状態で挟持されるカラーフィルタ6、液晶7およびカラーフィルタアレー基板8と、ガラス基板4,5のそれぞれの外面4a,5aに貼着される偏光フィルム9,10とからなり、上部の偏光フィルム9の表面9aがLCD1の表示画面となっている。また、バックライト3は、下部の偏光フィルム10の表面10aに密着するようにして設けられている。
【0003】
ところで、上記構成のLCD1の製造工程においては、ガラス基板4,5がガラス基板搬送ラインを通過した後、ガラス基板4,5の外面4a,5aに偏光フィルム9,10が貼着されるが、ガラス基板搬送ラインを通過中にガラス基板4,5にゴミなどの異物が付着したり、あるいは、偏光フィルム搬送ラインを通過する貼着前の偏光フィルム9,10にゴミなどの異物が付着していたりして、偏光フィルム9,10の表面9a,10aのみならず、ガラス基板4と偏光フィルム9の裏面9bとの間やガラス基板5と偏光フィルム10の裏面10bとの間に前記異物が入り込む可能性がある。このため、従来においては、ガラス基板4の斜め上方からレーザ光を照射して、異物からの散乱光を光検出器によって検出するといったレーザ散乱計測方法を用いて、前記異物の検査を行うようにしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記偏光フィルム9,10は、その厚みがせいぜい100μm程度というようにきわめて薄く、したがって、このような薄い偏光フィルム9,10の表面9a,10aおよび裏面9b,10bのいずれの面に異物が付着しているのかを判別することはきわめて難しいものであった。これは、光検出器の焦点深度に起因しており、偏光フィルム9,10が薄いほど困難となっていた。特に、ガラス基板4,5のような透明な基板に貼着された偏光フィルム9,10においては、片面側、つまり、偏光フィルム9,10の表面9a,10a側からの検査しか行うことができず、前記異物が偏光フィルム9,10の表面9a,10aに存在しているのか、それとも、偏光フィルム9,10の裏面9b,10b、つまり、ガラス基板4,5と偏光フィルム9,10の裏面9b,10bとの間に存在しているのかを容易に判別することができなかった。
【0005】
上述した課題は、LCDにおいてのみならず、表面に偏光フィルムが貼着された透明基板において一般に生じているところである。
【0006】
この発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その目的は、例えば、LCDに使用されているガラス基板などの透明基板と偏光フィルムとの間に存在している異物を確実に検出することができる異物検査装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、表面に偏光フィルムが貼着された透明基板に対して、前記偏光フィルムの偏光面と平行な偏光面を有する光と、前記偏光フィルムの偏光面と直交する偏光面を有する光とを偏光フィルム側から照射し、そのとき生ずるそれぞれの散乱光に基づく情報を比較することにより、前記透明基板と偏光フィルムとの間に存在する異物を検出できるようにしている。
【0008】
例えば、LCDにおいては、透明基板としてのガラス基板の一方の面に、偏光フィルムが必ず貼着されている。この偏光フィルムは、図3に示すように、入射光の偏光方向により、入射光を透過させたり透過させなかったりする性質を備えている。すなわち、この図において、光源14からの光18が偏光フィルム9の偏光面と平行な偏光面を有する場合には、符号18’で示すように、偏光フィルム9を透過するが、光源15からの光19が偏光フィルム9の偏光面と直交した偏光面を有する場合には、偏光フィルム9を透過することができない。
【0009】
請求項1に記載の発明では、上述のような偏光フィルム9(または10)の性質を巧みに利用し、表面に偏光フィルムが貼着された透明基板に対して、前記偏光フィルムの偏光面と平行な偏光面を有する光を偏光フィルム側から照射したとき、異物が偏光フィルムの表面および裏面にそれぞれ存在する場合、その両方の異物からの散乱光が得られるが、前記偏光フィルムの偏光面と直交した偏光面を有する光を偏光フィルム側から照射したときには、異物が偏光フィルムの表面および裏面にそれぞれ存在していても、偏光フィルムの表面に存在する異物からしか散乱光が得られない。したがって、前記偏光フィルムの偏光面と平行な偏光面と前記偏光フィルムの偏光面と直交した偏光面をそれぞれ有する二つの光を照射したときにそれぞれ生ずる散乱光をそれぞれ光検出器で検出し、各光検出器の出力(散乱光情報)を比較することにより、偏光フィルムの裏面に存在する異物を判別することができる。
【0010】
そして、請求項2に記載の発明は、表面に偏光フィルムが貼着された透明基板の裏面側から光を照射するとともに、偏光フィルム側から前記偏光フィルムの偏光面と直交する偏光面を有する光を照射し、そのとき生ずるそれぞれの散乱光に基づく情報を比較することにより、前記透明基板と偏光フィルムとの間に存在する異物を検出できるようにしている。
【0011】
上記請求項2に記載の発明では、透明基板の裏面側から光を照射することにより、偏光フィルムの表裏両面に存在する異物からの散乱光が得られる。そして、偏光フィルム側から偏光フィルムの偏光面と直交する偏光面を有する光を照射することにより、偏光フィルムの表裏両面に異物が存在していても、偏光フィルムの表面に存在する異物からしか散乱光が得られない。したがって、透明基板の裏面側および偏光フィルム側からそれぞれ光を照射したときにそれぞれ生ずる散乱光をそれぞれ光検出器で検出し、各光検出器の出力(散乱光情報)を比較することにより、偏光フィルムの裏面に存在する異物を判別することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図1および図2は、この発明の第1の実施の形態を示す。この実施の形態においては、検査対象であるLCDは、バックライト3が取り付けられる前の段階、すなわち、セル2だけの半製品状態であるとし、図1において、符号1Aで表す。そして、図1において、11は互いに垂直な3つの方向、X方向(図の左右方向)、Y方向(紙面に垂直な方向)およびZ方向(図の上下方向)のそれぞれに自在に移動しうる検査ステージで、前記LCD1Aを水平に保持するよう構成されている。
【0013】
そして、この実施の形態においては、二つの照射光学系と二つの検出光学系が設けられている。すなわち、図1において、12,13は検査ステージ11のX方向の両端部側の上方に設けられる照射光学系である。これらの照射光学系12,13は、光源14,15と集光レンズアレイ16,17とから構成される。そして、光源14,15は、いずれもレーザ光源よりなるが、一方の光源14は、LCD1Aの上部の偏光フィルム9の偏光面と平行な偏光面を有する光(例えばp偏光レーザ光)18を発するように構成されており、他方の光源15は、前記偏光フィルム9の偏光面と直交する偏光面を有する光(例えばs偏光レーザ光)19を発するように構成されている。つまり、二つのレーザ光源14,15は、互いの偏光面が90°異なるp偏光レーザ光18、s偏光レーザ光19をそれぞれ発する。そして、各集光レンズアレイ16,17は、例えばシリンドリカルレンズなどの屈折率分布レンズをアレイ化したものよりなり、LCD1Aの幅(Y方向の長さ)方向を全体を照射できる程度の長さを有する。なお、集光レンズアレイ16,17は、レーザ光18,19を絞って感度を向上させるものであり、必ずしも必要ではない。
【0014】
また、図1において、20,21は前記検査ステージ11の真上に適宜の間隔をおいて照射光学系12,13の間に位置するように設けられる検出光学系である。これらの検出光学系20,21は、光検出器22,23と集光レンズアレイ24,25とからなる。光検出器22,23は、例えばCCDアレイセンサよりなり、Y方向に横設されている。そして、集光レンズアレイ24,25は、光検出器22,23に対応するようにしてそれらの下方(検査ステージ11に近い側)に設けられ、例えばセルフォックレンズ(商品名)などの屈折率分布レンズをアレイ化したものよりなる。なお、検出光学系20,21は、LCD1Aの幅方向を全体を検出できる程度の長さを有している。
【0015】
次に、上記構成の異物検査装置の動作について、図2をも参照しながら説明する。今、図2に示すように、偏光フィルム9の表面9aおよび裏面9bにそれぞれ異物26,27が存在しているものとする。例えば、まず、一方のレーザ光源14から偏光フィルム9の偏向面と平行な偏光面を有する光であるp偏光レーザ光18を、偏光フィルム9の表面9a側からLCD1Aに対して照射すると、図において符号18a,18bで示すように、偏光フィルム9の表面9aおよび裏面9bにそれぞれ存在する異物26,27のいずれからも散乱光が発生し、これらの散乱光18a,18bは、それぞれ光検出器22,23によって検出される。
【0016】
次に、他方のレーザ光源15から偏光フィルム9の偏向面と直交する偏光面を有する光であるs偏向レーザ光19を、偏光フィルム9の表面9a側からLCD1Aに対して照射すると、図において符号19aで示すように、偏光フィルム9の表面9aに存在する異物26からは散乱光が生ずるが、s偏向レーザ光19は偏光フィルム9を透過することができないため、偏光フィルム9の裏面9bに存在する異物27から散乱光が生ずることがなく、前記異物26からの散乱光19aが例えば光検出器22によって検出される。
【0017】
つまり、偏光フィルム9の表面9a、裏面9bに異物26,27が存在している場合、偏光フィルム9の偏光面と平行な偏光面を有するp偏光レーザ光18を偏光フィルム9に照射すると、前記表面9a、裏面9b両側の異物26,27からの散乱光18a,18bが得られるのに対し、偏光フィルム9の偏光面と直交する偏光面を有するs偏光レーザ光19を偏光フィルム9に照射すると、前記表面9a側の異物26からしか散乱光19aが得られない。
【0018】
そこで、偏光フィルム9に対して、p偏光レーザ光18を照射したときに得られる散乱光18a,18bの情報と、s偏光レーザ光19を照射したときに得られる散乱光19aの情報とを比較することにより、偏光フィルム9の裏面9b側に存在する異物27のみを特定することができる。
【0019】
そして、LCD1Aにおける偏光フィルム9を全面的に検査するには、検査ステージ11をX,Y方向に適宜移動すればよい。なお、図2に示す例において、偏光フィルム10における異物の検査については、例えば、セル2だけの半製品状態のLCD1Aを裏返して、上述したと同様にすることにより、偏光フィルム10の裏面10b側に存在する異物を特定することができる。また、上述の実施の形態においては、検出光学系を二つ20,21設けているが、一つの検出光学系のみであってもよい。さらに、照射光学系も一つだけ設け、単一の照射光学系でp偏向レーザ光18とs偏向レーザ光19とを切り換えて出力できるようにしてってもよい。
【0020】
上述の第1の実施の形態においては、半製品状態のLCD1Aにおける異物の検査であったが、図6に示すように、セル2とバックライトとが組み合わされた完成品のLCD1においては、図4および図5に示すようにして検査するのは好ましい。以下、これを第2の実施の形態として説明する。
【0021】
図4および図5において、31,32はそれぞれ照射光学系、検出光学系で、照射光学系31は、光源33と集光レンズアレイ34とから構成され、検出光学系32は、光検出器35と集光レンズアレイ36とから構成されている。
【0022】
そして、前記光源33は、第1の実施の形態における光源15と同様に、偏光フィルム9(図5参照)の偏光面と直交する偏光面を有する光(例えばs偏光レーザ光)37を発するように構成されている。また、前記集光レンズアレイ34は、例えばシリンドリカルレンズなどの屈折率分布レンズをアレイ化したものよりなり、LCD1の幅(Y方向の長さ)方向を全体を照射できる程度の長さを有する。
【0023】
また、前記光検出器35は、前記第1の実施の形態における光検出器23と同様に、CCDアレイセンサよりなり、Y方向に横設されている。そして、集光レンズアレイ36は、光検出器35に対応するようにしてその下方に設けられ、例えばセルフォックレンズ(商品名)などの屈折率分布レンズをアレイ化したものよりなる。なお、検出光学系32は、LCD1の幅方向を全体を検出できる程度の長さを有している。
【0024】
次に、上記構成の異物検査装置の動作について、図5をも参照しながら説明する。今、図5(A),(B)に示すように、偏光フィルム9の表面9aおよび裏面9bにそれぞれ異物38,39が存在しているものとする。この実施の形態においては、セル2の裏面(下面)側に設けられているバックライト3からの光40をも利用する。
【0025】
すなわち、図5(A)に示すように、偏光フィルム9の表面9a側に存在する異物38に対して、バックライト3から光40およびレーザ光源33からのs偏光レーザ光37照射すると、この異物38においては、図5(A)において符号37’,40’で示すように、s偏光レーザ光19およびバックライト光40が異物38に照射されることに起因する散乱光が発生し、これらの散乱光37’,40’は、光検出器35によって検出される。一方、図5(B)に示すように、偏光フィルム9の裏面9b側に存在する異物39に対して、前記バックライト3から光40およびレーザ光源33からのs偏光レーザ光37照射すると、バックライト3からの光40のみ偏光フィルム9を透過し、s偏光レーザ光37は偏光フィルム9を透過することができないため、バックライト3からの光40が異物39に照射されることに起因する散乱光40’のみが発生し、この散乱光40’が光検出器35によって検出される。
【0026】
したがって、この実施の形態においても、上記第1の実施の形態と同様に、偏光フィルム9の表面9a、裏面9bに異物38,39が存在している場合、バックライト3からの光40を偏光フィルム9に照射すると、前記表面9a、裏面9b両側の異物38,39からの散乱光40’が得られるのに対し、偏光フィルム9の偏光面と直交する偏光面を有するs偏光レーザ光37を偏光フィルム9に照射すると、前記表面9a側の異物38からしか散乱光37’が得られない。
【0027】
そこで、偏光フィルム9に対して、バックライト3からの光40を照射したときに得られる散乱光40’の情報(全異物情報)と、s偏光レーザ光37を照射したときに得られる散乱光37’の情報(表面異物情報)とを比較することにより、偏光フィルム9の裏面9b側に存在する異物39のみを特定することができる。
【0028】
なお、上述の実施の形態のいずれにおいても、偏光フィルム9,10がガラス基板4,5に貼着したものであったが、この発明は、偏光フィルム9,10がガラス基板以外の透明な基板に貼着してあるものにも適用することができる。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の異物検査装置によれば、ガラス基板などの透明基板と偏光フィルムとの間に存在している異物を確実に検出することができ、例えばLCDの品質向上に大いに寄与できる。
【0030】
特に、請求項1に記載の発明によれば、半製品の状態であるLCDを製造工程中において検査することができ、製造工程における歩留りを大いに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施の形態における異物検査装置の構成を概略的に示す斜視図である。
【図2】 前記装置の動作を説明するための図である。
【図3】 偏光フィルムの特性を説明するための図である。
【図4】 第2の実施の形態における異物検査装置の構成を概略的に示す斜視図である。
【図5】 前記装置の動作を説明するための図である。
【図6】 LCDの構成を概略的に示す断面図である。
【符号の説明】
4,5…透明基板、9,10…偏光フィルム、18,19…照射光、18a,18b,19a…散乱光、26,27…異物、37,40…照射光、37’,40’…散乱光、38,39…異物。
Claims (2)
- 表面に偏光フィルムが貼着された透明基板に対して、前記偏光フィルムの偏光面と平行な偏光面を有する光と、前記偏光フィルムの偏光面と直交する偏光面を有する光とを偏光フィルム側から照射し、そのとき生ずるそれぞれの散乱光に基づく情報を比較することにより、前記透明基板と偏光フィルムとの間に存在する異物を検出できるようにしたことを特徴とする異物検査装置。
- 表面に偏光フィルムが貼着された透明基板の裏面側から光を照射するとともに、偏光フィルム側から前記偏光フィルムの偏光面と直交する偏光面を有する光を照射し、そのとき生ずるそれぞれの散乱光に基づく情報を比較することにより、前記透明基板と偏光フィルムとの間に存在する異物を検出できるようにしたことを特徴とする異物検査装置。
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