JP4355127B2 - 接触子ブロック及び電気的接続装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブシートのような接触子シートを用いた接触子ブロック及びこれを用いる電気的接続装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、プローブカードのような電気的接続装置においては、同じ半導体ウエーハに形成された複数の集積回路の通電試験を同時に行うことができることが望まれている。
【0003】
そのような電気的接続装置の1つとして、電気絶縁性フィルムに形成された配線の一部をプローブ要素として用いるプローブシートや接触子シート等と称されているコンタクトシートをホルダに組み付けた、コンタクトブロックやプローブブロック等と称されている複数の接触子ブロックを製造し、そのような複数の接触子ブロックをフレームに組み付けたものが提案されている(特開2000−147005号、特開2000−150595号)。
【0004】
従来のこの種の接触子ブロックは、接触子として作用する突起電極を各プローブ要素に配置したコンタクトシートを用いると共に、板状のホルダを用い、コンタクトシートをホルダに巻き付けている。そのような接触子ブロックを用いた従来の電気的接続装置は、複数の接触子ブロックをホルダの厚さ方向に間隔をおいてフレームに組み付けている。
【0005】
【解決しようとする課題】
しかし、従来の接触子ブロックでは、電源に接続されるコンデンサのような回路要素を配置するスペースがなく、したがってコンタクトシートの配線に接続されるフレキシブル印刷配線板(FPC)や、接触子ブロックが配置されるフレーム等、接触子ブロック以外の部材に回路要素を配置せざるを得ず、その結果回路要素と接触子との間の電気通路が長くなり、正確な通電試験を行うことができない。
【0006】
本発明の目的は、回路要素の配置空間を設けることにある。
【0007】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る接触子ブロックは、棒状のホルダであって該ホルダの長手方向に長い帯状の下面と該下面の幅方向の各端部から斜めに立ち上がる傾斜側面に形成された後退部と各傾斜側面から上方へ立ち上がる垂直側面と前記下面に対向する上面とにより略台形の断面形状を有する棒状のホルダと、前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第1の接触子と該第1の接触子に電気的に接続された複数の配線とを備えるコンタクトシートであって前記第1の接触子が前記下面に位置する状態に前記ホルダの外周に巻き付けられたコンタクトシートとを含む。前記ホルダは、さらに、前記側面から側方へ突出する三角形状の1以上の鍔部であって前記下面と面一の底面を有する1以上の鍔部を有し、前記コンタクトシートは、前記底面に配置された延長領域と、該延長領域に配置された補助接触子とを備える。
【0008】
後退部は、下面に対し傾斜した傾斜側面や側面に形成された下向きの段部等とすることができる。そのような後退部を含むホルダの外周にコンタクトシートを配置すると、後退部に対応するコンタクトシートの箇所が側面から後退した後退領域が形成される。
【0009】
そのような後退領域を有する接触子ブロックは、コンデンサのような1以上の回路要素を後退領域に対応する位置のコンタクトシートの部位に配置することができる。そのようにすれば、複数の第1の接触子ブロックをフレーム等の支持手段に並列的に配置しても、接触子ブロックの配列ピッチを回路要素の少なくとも厚さ寸法分だけ小さくすることができるのみならず、回路要素と第1の接触子との間の電気通路が短くなり、正確な通電試験を行うことができる。
【0010】
前記コンタクトシートは、さらに、前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第2の接触子であって前記ホルダの前記上面に配置された複数の第2の接触子を備え、前記配線は前記第1及び第2の接触子を電気的に接続することができる。
【0011】
前記ホルダは、さらに、それぞれが2以上の前記第1の接触子を含む1以上の接触子群に個々に対応されて対応する接触子群の配置範囲内で当該ホルダの長手方向へ伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する1以上の雌ねじ穴とを有し、各凹所には、前記コンタクトシートの対応する接触子群の配置領域に当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されていてもよい。そのようにすれば、雌ねじ穴への調整ねじのねじ込み量を調整することにより、ホルダからの接触子の突出量が調整されるから、ホルダに対する接触子の高さ位置を接触子群毎に調整することができる。
【0012】
上記の代わりに、前記ホルダは、さらに、当該ホルダの長手方向に間隔をおいて伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する複数の雌ねじ穴とを有し、各凹所には、前記コンタクトシートに当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されていてもよい。そのようにしても、雌ねじ穴への調整ねじのねじ込み量を調整することにより、ホルダからの接触子の突出量が調整されるから、ホルダに対する接触子の高さ位置を支持領域に位置する接触子群毎に調整することができる。
【0014】
前記コンタクトシートは、電気絶縁性のシート部材と、該シート部材に並列的に配置された複数の配線とを含み、前記第1の接触子は前記配線の一端部に配置されており、前記シート部材は前記第1の接触子が配置された前記配線の端部をプローブ要素として作用させる複数のスリットを有することができる。
【0015】
本発明に係る電気的接続装置は、上記のような1以上の接触子ブロックと、該接触子ブロックがその各第1の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられた支持手段とを含む。この電気的接続装置によっても、上記の接触子ユニットと同様の作用効果を得ることができる。
【0016】
前記支持手段は、複数の接触子ブロックがその各第1の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられたフレームと、複数の配線を備える配線基板であってこれの下面に前記フレームが取り付けられた配線基板を含むことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1を参照するに、電気的接続装置10は、例えば図14に示す集積回路12のように、同じ半導体ウエーハに形成された長方形の複数の集積回路の通電試験を同時に行うテスターにプローブカードとして用いられるように、構成されている。
【0018】
被検査体としての集積回路としては、図14(A)に示すように複数のパッド電極14を集積回路12の幅方向中央部に長手方向に間隔をおいて一列に有するものや、図14(B)に示すように集積回路16の長手方向中央部にあって幅方向の両端にさらにパッド電極18を有するもの等、適宜な電極配置パターンを有するものとすることができる。
【0019】
電気的接続装置10は、電気絶縁材料で製作された円板状の配線基板20と、配線基板20の下面に組み付けられたフレーム22と、フレーム22に並列的に組み付けられた長い複数の接触子ブロック24とを含む。
【0020】
配線基板20は、図10に示すように、テスターの電気回路に接続される複数のテスターランド(図示せず)と、接触子ブロック24に電気的に接続される複数の突起電極26と、テスターランドと突起電極26とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線28とを備えている。突起電極26は円錐状(又は、角錐状)の頭部を有している。
【0021】
フレーム22は、矩形の開口を形成するように矩形の形状に製作されており、複数のねじ部材30により配線基板20に取り付けられている。接触子ブロック24は、互いに平行に伸びるように、複数のねじ部材32によりフレーム22の下面に組み付けられている。
【0022】
次に、図2〜図10を参照して、図14(A)に示す電極配置パターンを有する集積回路12に適用する接触子ブロック24の一実施例について説明する。
【0023】
各接触子ブロック24は、棒状のホルダ34と、ホルダ34の上面に配置された帯状の弾性板36と、弾性板36の上に重ねて配置された帯状のスペーサ38と、ホルダ34、弾性板36及びスペーサ38を重ね合わせたホルダ組立体の外周に巻き付けられたコンタクトシート40と、電源に接続されるコンデンサのような複数の回路要素42とを含む。
【0024】
ホルダ34は、下面、該下面の幅方向の各端部から斜めに立ち上がる2つの傾斜側面、各傾斜側面から上方へ立ち上がる垂直側面及び下面に対向する上面とにより、略台形の断面形状を有している。それらの面は、ホルダ34の両端部領域を除いて、ホルダ34の長手方向に連続して形成されている。
【0025】
ホルダ34の、下面、両傾斜側面及び両垂直側面には、それぞれ、1以上の糊溜44が形成されている。各糊溜44は、対応する面に開放しており、またホルダ34の両端部領域を除いて、ホルダ34の長手方向に連続して形成されている。各糊溜44は、コンタクトシート40をホルダ34に装着するときに、装着用の接着剤の貯留に利用される。
【0026】
ホルダ34は、また、下面に開放する複数の第1の凹所46と、第1の凹所46に連通する複数の第2の凹所48との対をホルダ34の両端部領域を除く領域に長手方向に間隔をおいて有している。対をなす第1及び第2の凹所46及び48は、ホルダ34を厚さ方向に貫通するように、形成されている。第1の凹所46の幅寸法は、第2の凹所48のそれより大きい。
【0027】
各第1の凹所46には第2の凹所48の幅寸法とほぼ同じ幅寸法を有する長方形のゴム板のような直方体状の弾性板50がコンタクトシート40に当接するように配置されている。各第2の凹所48には押圧板52が配置されている。弾性板50及び押圧板52は、ホルダ34の長手方向に伸びている。
【0028】
ホルダ34は、さらに、雌ねじ穴54を各第2の凹所48の長手方向の各端部に有している。各雌ねじ穴54には、調整ねじ56が螺合されている。
【0029】
接触子ブロック24の弾性板36及びスペーサ38は、ホルダ34の長手方向に伸びており、また第2の凹所48に個々に対応する複数の穴58及び58をそれぞれ有している。各穴58は、対応する第2の凹所48の長さ寸法と略同じ長さ寸法を有している。
【0030】
コンタクトシート40は、ポリイミドのような電気絶縁材料から長方形に形成されたフィルム60と、フィルム60の長手方向に間隔をおいて幅方向へ伸びるようにフィルム60に並列的に形成された複数の配線62とを備えている。
【0031】
配線62は、図9に示すように、フィルム60の幅方向の中央部から幅方向の端部に向けて伸びていると共に、フィルム60の長手方向に間隔をおいている。そのような配線62には、図8及び図9に示すように、フィルム60の幅方向の中央部から幅方向における一端部に向けて伸びる配線と、他端部に向けて伸びる配線とがフィルム60の長手方向に交互に存在する。
【0032】
各配線62は、図9に示すように、フィルム60の幅方向の中央及び端部の配線領域62a及び62bがフィルム60の一方の面に形成され、両配線領域62a,62bの間の配線領域62cがフィルム60の他方の面に形成され、それらの配線領域62a,62b,62cがフィルム60に形成されたスルーホールのような導電性部により電気的に接続されている。
【0033】
各配線62の配線領域62aの先端には、円錐形、多角錐形、半円形等、突起状の接触子64が板状の複数の座66を介して形成されている。接触子64は、フィルム60の幅方向の中央を長手方向に一列に配列されている。
【0034】
フィルム60は、各配線62の配線領域62aの先端部をプローブ要素68として作用させるU字状又はコ字状のスリット70を有している。これにより、隣り合うプローブ要素68は、互いに独立して弾性変形可能とされている。
【0035】
これに対し、各配線62の端部領域62bの先端には、図10に示すように、配線基板20の突起電極26に接続される接続用接触子72が形成されている。スペーサ38及びフィルム60は、各接続用接触子72が突起電極26により押圧されたときに、接続用接触子72が容易に弾性変形することを許す穴74及び74を有している。
【0036】
接続用接触子72としては、これが突起電極26により押圧されたときに、弾性変形するものを用いることが好ましい。しかし、接続用接触子72として、平板状のランド、スルーホール等、他の種類のものであってもよい。
【0037】
フィルム60には、電源のアースに接続される複数の電極板76が配線領域62a,62bの間にホルダ34の長手方向に間隔をおいて配置されている。このため、接触子64は、第1及び第2の凹所46及び48に対応しかつホルダ34の長手方向に間隔をおいた複数の接触子群に分けられている。各電極板76は、ホルダ34の第1及び第2の凹所46及び48に対応して配置されている。
【0038】
コンタクトシート40は、接触子64が下方へ突出しかつプローブ要素68が第1の凹所46と対向するように、ホルダ34と弾性板36とスパーサ38とを重ね合わせたホルダ組立体の外周に巻き付けられて、ホルダ組立体に接着されている。この状態において、回路要素42は、ホルダ34の傾斜側面に対応する箇所に位置される。
【0039】
ホルダ34とコンタクトシート40とは、上記状態において、ホルダの下面側の複数箇所及び上面側の複数箇所のそれぞれにおいて、ホルダ34に備えられた複数の位置決めピン78により位置決められる。上面側の位置決めピン78は、弾性板36及びスペーサ38を貫通している。
【0040】
ホルダ34の各端部には、断面L状のスリット80と、段部82と、雌ねじ穴84,86と、位置決め穴88とが形成されている。雌ねじ穴84は、スリット80により分断された箇所に形成されており、雌ねじ穴86と位置決め穴88とは段部82に形成されている。
【0041】
雌ねじ穴84には、調整ねじ90が先端をスリット80の下側の部分に当接させた状態に螺合されている。調整ねじ90は、雌ねじ穴84へのねじ込み量を調節することにより、スリット80より中央側の領域の突出高さを調整することができる。
【0042】
雌ねじ穴86には、接触子ブロック24をフレーム22に取り付けるための取り付けねじ(図示せず)が螺合されている。位置決め穴88は、接触子ブロック24をフレーム22に取り付けたときに、フレーム22に備えられた位置決めピン(図示せず)を受け入れる。
【0043】
接触子ブロック24は、段部82をフレーム22に当接させた状態に、フレームに組み付けられる。フレーム22に対する接触子の高さ位置は、雌ねじ穴84への調整ねじ90のねじ込み量を調節することにより行うことができると共に、雌ねじ穴54への調整ねじ56のねじ込み量を調節することにより接触子群毎に行うことができる。
【0044】
接触子ブロック24及びこれを用いた電気的接続装置10は、回路要素42が傾斜側面に対応する位置に配置されているから、複数の接触子ブロック24をフレーム22に並列的に配置しても、接触子ブロック24の配列ピッチを回路要素42の少なくとも厚さ寸法分だけ小さくすることできるのみならず、回路要素42と接触子64との間の電気通路が短くなり、正確な通電試験を行うことができる。
【0045】
調整ねじ56,90による接触子64の高さ調整は、接触子ブロック24に組み立てた後、電気的接続装置10に組み立てた後、電気的接続装置10をプローバーに組み付けた後等、適宜な時期に行うことができる。また、調整ねじ56,90による接触子64の高さ調整を通電試験中に行ってもよい。
【0046】
調整ねじ56による接触子64の高さ調整時、対応する雌ねじ穴54への調整ねじ56のねじ込み量を大きくすると、弾性板50が押圧板52によりコンタクトシート40に押圧されて、コンタクトシート40が下方に弾性変形する、これにより、接触子64の高さ位置が下げられる。
【0047】
これに対し、調整ねじ56のねじ込み量を小さくすると、コンタクトシート40が自身の弾性力により又は接触圧力により弾性板50及び押圧板52を押し上げる。これにより、接触子64の高さ位置が上げられる。
【0048】
同様に、対応する雌ねじ穴84への調整ねじ90のねじ込み量を大きくすると、ホルダ34の中央領域が押し下げられて下方に弾性変形され、それにより接触子64の高さ位置が下げられる。調整ねじ90のねじ込み量を小さくすると、ホルダ34が自身の弾性力により上方に変位し、それにより接触子64の高さ位置が上げられる。
【0049】
次に、図14(B)に示す集積回路の通電試験に用いて好適な接触子ブロック100の一実施例について説明する。
【0050】
図11〜図13を参照するに、接触子ブロック100は、ホルダ34が、さらに、隣り合う第1及び第2の凹所46及び48の間に対応する各箇所にあって傾斜側面から側方へ突出する三角形状の鍔部102を各傾斜側面に有し、コンタクトシート40が、さらに、各鍔部102の底面に配置された延長領域104と、延長領域104に配置された補助接触子106とを備えている。
【0051】
各鍔部102の底面は、ホルダ34の下面と面一にされている。各延長領域104は、延長領域104の形状のスリットをフィルム60に設けることにより、形成されている。補助接触子106は、通電試験時に図14(B)におけるパッド電極18に押圧される。
【0052】
各補助接触子106は、配線62と同様に、フィルム60の幅方向の中央部から幅方向の端部に向けて伸びるように、フィルム60に形成された補助配線108に座110を介して設けられている。各補助配線108の先端と補助接触子106とは、プローブ要素68と同様に、延長領域104に形成されたスリット112により、独立して弾性変形可能の補助プローブ要素114とされている。
【0053】
接触子ブロック100においては、ホルダ34の鍔部102を互いに共同して厚さ方向に貫通する第3及び第4の凹所116及び118並びに雌ねじ穴120を鍔部102毎に有している。第3及び第4の凹所116,118にはゴム棒のような弾性体122が延長領域104に接触した状態に配置されている。
【0054】
弾性体122は、第3の凹所116から第2の凹所118を経て雌ねじ穴120の一部に達している。雌ねじ穴120には、調整ねじ124が螺合されている。これにより、雌ねじ穴120への調整ねじ124のねじ込み量を調整することにより、延長領域104、ひいては補助接触子106の高さ位置を調整することができる。
【0055】
弾性板36及びスペーサ38は、それぞれ、調整ねじ124を操作する工具の先端を差し込む穴126及び126を有している。
【0056】
接触子ブロック100及びこれを用いる電気的接続装置も、接触子ブロック24及びこれを用いる電気的接続装置10と、同様に動作し、同様の作用及び効果を生じる。
【0057】
上記いずれの実施例においても、傾斜側面は、本発明における後退部として作用する。しかし、本発明における後退部は、傾斜側面のみならず、少なくとも側面に形成されている限り、下向きの段部を有する凹所や切欠部等であってもよい。
【0058】
次に、接続用接触子72の実施例について説明する。
【0059】
図15を参照するに、接続用接触子72は、コンタクトシート40の配線62と一体にフィルムに形成されている。しかし、接続用接触子72を配線62と別個に形成し、接続用接触子72を配線62に取り付けてもよい。
【0060】
接続用接触子72は、図10に示すフィルム60の穴74より大きい眼の形状を有するベース130と、ベース130から片持ち梁状に伸びる一対の接触片132とを含み、全体に導電性の金属材料で薄い板の形に一体的に製作されている。この例においては、フィルム60の穴74も眼の形状を有する。
【0061】
ベース130は、フィルム60の穴74とほぼ同じ大きさの楕円形又は長円形の開口134を中央に有している。開口134は、その長軸方向へ伸びる帯状の一対の長片部136と、短軸方向へ伸びる一対の短片部138とにより形成されている。
【0062】
両接触片132は、開口134の中心の周りに回転対称に形成されている。各接触片132は、ベース130の短片部138から開口134内を、ベース130の長片部136の内側に沿って開口134の長軸方向へ伸びる帯状の一対のアーム部140と、各アーム部140の先端部からアーム部140の内側を開口134の短軸方向へ弧状に伸びる接片部142とを含む。
【0063】
各接片部142は、アーム部140への結合箇所からアーム部140の延在方向における前方及び後方へ弧状に伸びており、また弧状の内側縁部を突起電極26の円錐状頭部の側面に接触される接触縁部144としていると共に、突起電極26の円錐状頭頂を含む先端部を受け入れる受入空間146を形成するように接触縁部144を開口134の中心側に向けている。
【0064】
両接片部142の接触縁部144は、同じ曲率半径を有している。しかし、両接触縁部144は、接触縁部144の両端を結ぶ方向(開口134の短軸方向)に相対的に変位されている。図示の例では、両接触縁部144は、アーム部140とベース130との結合箇所に近い側の端部が前記結合箇所より遠い側の端部よりも開口134の中心側となるように変位されている。
【0065】
接続用接触子72は、それ自体が平面的であるから、配線62と同様に、例えば、ホトレジスト製のマスクのような適宜なマスクを用いるメッキ技術やエッチング技術等、複雑な作業工程を用いる必要のない簡単な方法で、製造することができる。
【0066】
図10に示すように、配線基板20と接触子ブロック24とが相互に組み付けられた状態において、接続用接触子72は、突起電極26の円錐状頭部、特に先端(頭頂)を受入空間146に受け入れる。
【0067】
これにより、突起電極26の円錐状頭部の側面が接続用接触子72の接触縁部144に押圧されて、接続用接触子72は主として各接触片132のアーム部140において弾性的変形される。このため、接続用接触子72と突起電極26とは接触し、接続用接触子72による接触痕が突起電極26の円錐状頭部の側面に形成される。しかし、突起電極26の頭頂は接続用接触子72に押圧されないから、頭頂は潰されない。
【0068】
接触片132が開口134の中心の周りに回転対称に形成されているか、弧状の接触縁部144が開口134の中心側に向けられていると、接続用接触子72と突起電極26との相対的位置が接触片132により決められるから、突起電極26の頭頂が接続用接触子72に接触することなく、接続用接触子72と突起電極26とがより確実に接触する。
【0069】
また、接触縁部144がアーム部140と接片部142との結合箇所からアーム部140の延在方向における前方及び後方へ弧状に伸びていると、接触縁部144が突起電極26に押圧されたときのアーム部140の弾性変形にともなって、接片部142の接触縁部144が突起電極26の側面に沿って伸びてより確実に突起電極26に接触する。
【0070】
さらに、接触縁部144が開口134の短軸方向に相対的に変位されていると、接触縁部144は、アーム部140の弾性変形にともなって、開口134の中心側に位置する端部から突起電極26の円錐状頭部の側面に接触し始めて、最終的に接触縁部144が螺旋の一部を形成するように突起電極26に接触し、その結果より確実に突起電極26に接触する。
【0071】
特に、アーム部140とベース130との結合箇所に近い側の接触縁部144の端部がそのような結合箇所より遠い側の端部よりも開口134の中心側となるように両接触縁部144が相対的に変位されていると、接触縁部144のうち、先ず開口134の中心に近い端部が突起電極26の側面に接触し、他端部側が突起電極26に接触していないから、アーム部140の弾性変形にともなって、接触縁部144が螺旋の一部を形成するように接片部142が確実に変形して、接触縁部144はより確実に突起電極26に接触する。
【0072】
本発明は、集積回路以外の被検査体、例えば液晶表示パネルのような表示用基板の通電試験に用いる接触子ブロック及び電気的接続装置にも適用することができる。特に、表示用基板の通電試験に用いる電気的接続装置に本発明を適用するときは、接触子部特区を組み付ける支持手段として、配線基板及びフレームの代わりに他の支持手段を用いてもよい。
【0073】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す斜視図である。
【図2】 本発明に係る接触子ブロックの一実施例を示す斜視図である。
【図3】 図2に示す接触子ブロックの底面図である。
【図4】 図2に示す接触子ブロックの正面図である。
【図5】 図2に示す接触子ブロックの一部の拡大平面図である。
【図6】 図2に示す接触子ブロックの一部の拡大正面図である。
【図7】 図5における7−7線に沿って得た断面図である。
【図8】 図2に示す接触子ブロックの一部の拡大底面図である。
【図9】 図7における9−9線に沿って得た断面図である。
【図10】 配線基板と接触子ブロックとの電気的接続状態の一実施例を示す断面図である。
【図11】 本発明に係る接触子ブロックの他の実施例を示す一部の斜視図である。
【図12】 図11に示す接触子ブロックの一部の拡大底面図である。
【図13】 図11に示す接触子ブロックにおける図9と同様の断面図である。
【図14】 被検査体としての集積回路のパッド電極の配置例を示す図であって、(A)は第1の例、(B)は第2の例を示す。
【図15】 接続用接触子の一実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
10 電気的接続装置
12,16 集積回路
14,18 パッド電極
20 配線基板
22 フレーム
24,100 接触子ブロック
34 ホルダ
40 コンタクトシート
42 回路要素
46,48 凹所
50 弾性板
52 押圧板
54 雌ねじ穴
56 調整ねじ
60 フィルム
62 配線
64 接触子
68 プローブ要素
70 スリット
72 接続用接触子
102 鍔部
104 延長領域
106 補助接触子
108 補助配線
112 スリット
114 補助プローブ要素
Claims (8)
- 棒状のホルダであって該ホルダの長手方向に長い帯状の下面と該下面の幅方向の各端部から斜めに立ち上がる傾斜側面に形成された後退部と各傾斜側面から上方へ立ち上がる垂直側面と前記下面に対向する上面とにより略台形の断面形状を有する棒状のホルダと、
前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第1の接触子と該第1の接触子に電気的に接続された複数の配線とを備えるコンタクトシートであって前記第1の接触子が前記下面に位置する状態に前記ホルダの外周に巻き付けられたコンタクトシートとを含み、
前記ホルダは、さらに、前記側面から側方へ突出する三角形状の1以上の鍔部であって前記下面と面一の底面を有する1以上の鍔部を有し、
前記コンタクトシートは、前記底面に配置された延長領域と、該延長領域に配置された補助接触子とを備える、接触子ブロック。 - 前記後退部は前記傾斜側面を含む、請求項1に記載の接触子ブロック。
- 前記コンタクトシートは、さらに、前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第2の接触子であって前記ホルダの前記上面に配置された複数の第2の接触子を備え、前記配線は前記第1及び第2の接触子を電気的に接続する、請求項1又は2に記載の接触子ブロック。
- 前記ホルダは、さらに、それぞれが2以上の前記第1の接触子を含む1以上の接触子群に個々に対応されて対応する接触子群の配置範囲内で当該ホルダの長手方向へ伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する1以上の雌ねじ穴とを有し、
各凹所には、前記コンタクトシートの対応する接触子群の配置領域に当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、
各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されている、請求項1,2又は3に記載の接触子ブロック。 - 前記ホルダは、さらに、当該ホルダの長手方向に間隔をおいて伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する複数の雌ねじ穴とを有し、
各凹所には、前記コンタクトシートに当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、
各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されている、請求項1,2又は3に記載の接触子ブロック。 - 前記コンタクトシートは、電気絶縁性のシート部材と、該シート部材に並列的に配置された複数の配線とを含み、前記第1の接触子は前記配線の一端部に配置されており、前記シート部材は前記第1の接触子が配置された前記配線の端部をプローブ要素として作用させる複数のスリットを有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の接触子ブロック。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載の1以上の接触子ブロックと、該接触子ブロックがその各第1の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられた支持手段とを含む、電気的接続装置。
- 前記支持手段は、複数の接触子ブロックがその各第1の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられたフレームと、複数の配線を備える配線基板であってこれの下面に前記フレームが取り付けられた配線基板を含む、請求項7に記載の電気的接続装置。
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