JP4355127B2 - 接触子ブロック及び電気的接続装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブシートのような接触子シートを用いた接触子ブロック及びこれを用いる電気的接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プローブカードのような電気的接続装置においては、同じ半導体ウエーハに形成された複数の集積回路の通電試験を同時に行うことができることが望まれている。
【０００３】
そのような電気的接続装置の１つとして、電気絶縁性フィルムに形成された配線の一部をプローブ要素として用いるプローブシートや接触子シート等と称されているコンタクトシートをホルダに組み付けた、コンタクトブロックやプローブブロック等と称されている複数の接触子ブロックを製造し、そのような複数の接触子ブロックをフレームに組み付けたものが提案されている（特開２０００−１４７００５号、特開２０００−１５０５９５号）。
【０００４】
従来のこの種の接触子ブロックは、接触子として作用する突起電極を各プローブ要素に配置したコンタクトシートを用いると共に、板状のホルダを用い、コンタクトシートをホルダに巻き付けている。そのような接触子ブロックを用いた従来の電気的接続装置は、複数の接触子ブロックをホルダの厚さ方向に間隔をおいてフレームに組み付けている。
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかし、従来の接触子ブロックでは、電源に接続されるコンデンサのような回路要素を配置するスペースがなく、したがってコンタクトシートの配線に接続されるフレキシブル印刷配線板（ＦＰＣ）や、接触子ブロックが配置されるフレーム等、接触子ブロック以外の部材に回路要素を配置せざるを得ず、その結果回路要素と接触子との間の電気通路が長くなり、正確な通電試験を行うことができない。
【０００６】
本発明の目的は、回路要素の配置空間を設けることにある。
【０００７】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る接触子ブロックは、棒状のホルダであって該ホルダの長手方向に長い帯状の下面と該下面の幅方向の各端部から斜めに立ち上がる傾斜側面に形成された後退部と各傾斜側面から上方へ立ち上がる垂直側面と前記下面に対向する上面とにより略台形の断面形状を有する棒状のホルダと、前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第１の接触子と該第１の接触子に電気的に接続された複数の配線とを備えるコンタクトシートであって前記第１の接触子が前記下面に位置する状態に前記ホルダの外周に巻き付けられたコンタクトシートとを含む。前記ホルダは、さらに、前記側面から側方へ突出する三角形状の１以上の鍔部であって前記下面と面一の底面を有する１以上の鍔部を有し、前記コンタクトシートは、前記底面に配置された延長領域と、該延長領域に配置された補助接触子とを備える。
【０００８】
後退部は、下面に対し傾斜した傾斜側面や側面に形成された下向きの段部等とすることができる。そのような後退部を含むホルダの外周にコンタクトシートを配置すると、後退部に対応するコンタクトシートの箇所が側面から後退した後退領域が形成される。
【０００９】
そのような後退領域を有する接触子ブロックは、コンデンサのような１以上の回路要素を後退領域に対応する位置のコンタクトシートの部位に配置することができる。そのようにすれば、複数の第１の接触子ブロックをフレーム等の支持手段に並列的に配置しても、接触子ブロックの配列ピッチを回路要素の少なくとも厚さ寸法分だけ小さくすることができるのみならず、回路要素と第１の接触子との間の電気通路が短くなり、正確な通電試験を行うことができる。
【００１０】
前記コンタクトシートは、さらに、前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第２の接触子であって前記ホルダの前記上面に配置された複数の第２の接触子を備え、前記配線は前記第１及び第２の接触子を電気的に接続することができる。
【００１１】
前記ホルダは、さらに、それぞれが２以上の前記第１の接触子を含む１以上の接触子群に個々に対応されて対応する接触子群の配置範囲内で当該ホルダの長手方向へ伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する１以上の雌ねじ穴とを有し、各凹所には、前記コンタクトシートの対応する接触子群の配置領域に当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されていてもよい。そのようにすれば、雌ねじ穴への調整ねじのねじ込み量を調整することにより、ホルダからの接触子の突出量が調整されるから、ホルダに対する接触子の高さ位置を接触子群毎に調整することができる。
【００１２】
上記の代わりに、前記ホルダは、さらに、当該ホルダの長手方向に間隔をおいて伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する複数の雌ねじ穴とを有し、各凹所には、前記コンタクトシートに当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されていてもよい。そのようにしても、雌ねじ穴への調整ねじのねじ込み量を調整することにより、ホルダからの接触子の突出量が調整されるから、ホルダに対する接触子の高さ位置を支持領域に位置する接触子群毎に調整することができる。
【００１４】
前記コンタクトシートは、電気絶縁性のシート部材と、該シート部材に並列的に配置された複数の配線とを含み、前記第１の接触子は前記配線の一端部に配置されており、前記シート部材は前記第１の接触子が配置された前記配線の端部をプローブ要素として作用させる複数のスリットを有することができる。
【００１５】
本発明に係る電気的接続装置は、上記のような１以上の接触子ブロックと、該接触子ブロックがその各第１の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられた支持手段とを含む。この電気的接続装置によっても、上記の接触子ユニットと同様の作用効果を得ることができる。
【００１６】
前記支持手段は、複数の接触子ブロックがその各第１の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられたフレームと、複数の配線を備える配線基板であってこれの下面に前記フレームが取り付けられた配線基板を含むことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１を参照するに、電気的接続装置１０は、例えば図１４に示す集積回路１２のように、同じ半導体ウエーハに形成された長方形の複数の集積回路の通電試験を同時に行うテスターにプローブカードとして用いられるように、構成されている。
【００１８】
被検査体としての集積回路としては、図１４（Ａ）に示すように複数のパッド電極１４を集積回路１２の幅方向中央部に長手方向に間隔をおいて一列に有するものや、図１４（Ｂ）に示すように集積回路１６の長手方向中央部にあって幅方向の両端にさらにパッド電極１８を有するもの等、適宜な電極配置パターンを有するものとすることができる。
【００１９】
電気的接続装置１０は、電気絶縁材料で製作された円板状の配線基板２０と、配線基板２０の下面に組み付けられたフレーム２２と、フレーム２２に並列的に組み付けられた長い複数の接触子ブロック２４とを含む。
【００２０】
配線基板２０は、図１０に示すように、テスターの電気回路に接続される複数のテスターランド（図示せず）と、接触子ブロック２４に電気的に接続される複数の突起電極２６と、テスターランドと突起電極２６とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線２８とを備えている。突起電極２６は円錐状（又は、角錐状）の頭部を有している。
【００２１】
フレーム２２は、矩形の開口を形成するように矩形の形状に製作されており、複数のねじ部材３０により配線基板２０に取り付けられている。接触子ブロック２４は、互いに平行に伸びるように、複数のねじ部材３２によりフレーム２２の下面に組み付けられている。
【００２２】
次に、図２〜図１０を参照して、図１４（Ａ）に示す電極配置パターンを有する集積回路１２に適用する接触子ブロック２４の一実施例について説明する。
【００２３】
各接触子ブロック２４は、棒状のホルダ３４と、ホルダ３４の上面に配置された帯状の弾性板３６と、弾性板３６の上に重ねて配置された帯状のスペーサ３８と、ホルダ３４、弾性板３６及びスペーサ３８を重ね合わせたホルダ組立体の外周に巻き付けられたコンタクトシート４０と、電源に接続されるコンデンサのような複数の回路要素４２とを含む。
【００２４】
ホルダ３４は、下面、該下面の幅方向の各端部から斜めに立ち上がる２つの傾斜側面、各傾斜側面から上方へ立ち上がる垂直側面及び下面に対向する上面とにより、略台形の断面形状を有している。それらの面は、ホルダ３４の両端部領域を除いて、ホルダ３４の長手方向に連続して形成されている。
【００２５】
ホルダ３４の、下面、両傾斜側面及び両垂直側面には、それぞれ、１以上の糊溜４４が形成されている。各糊溜４４は、対応する面に開放しており、またホルダ３４の両端部領域を除いて、ホルダ３４の長手方向に連続して形成されている。各糊溜４４は、コンタクトシート４０をホルダ３４に装着するときに、装着用の接着剤の貯留に利用される。
【００２６】
ホルダ３４は、また、下面に開放する複数の第１の凹所４６と、第１の凹所４６に連通する複数の第２の凹所４８との対をホルダ３４の両端部領域を除く領域に長手方向に間隔をおいて有している。対をなす第１及び第２の凹所４６及び４８は、ホルダ３４を厚さ方向に貫通するように、形成されている。第１の凹所４６の幅寸法は、第２の凹所４８のそれより大きい。
【００２７】
各第１の凹所４６には第２の凹所４８の幅寸法とほぼ同じ幅寸法を有する長方形のゴム板のような直方体状の弾性板５０がコンタクトシート４０に当接するように配置されている。各第２の凹所４８には押圧板５２が配置されている。弾性板５０及び押圧板５２は、ホルダ３４の長手方向に伸びている。
【００２８】
ホルダ３４は、さらに、雌ねじ穴５４を各第２の凹所４８の長手方向の各端部に有している。各雌ねじ穴５４には、調整ねじ５６が螺合されている。
【００２９】
接触子ブロック２４の弾性板３６及びスペーサ３８は、ホルダ３４の長手方向に伸びており、また第２の凹所４８に個々に対応する複数の穴５８及び５８をそれぞれ有している。各穴５８は、対応する第２の凹所４８の長さ寸法と略同じ長さ寸法を有している。
【００３０】
コンタクトシート４０は、ポリイミドのような電気絶縁材料から長方形に形成されたフィルム６０と、フィルム６０の長手方向に間隔をおいて幅方向へ伸びるようにフィルム６０に並列的に形成された複数の配線６２とを備えている。
【００３１】
配線６２は、図９に示すように、フィルム６０の幅方向の中央部から幅方向の端部に向けて伸びていると共に、フィルム６０の長手方向に間隔をおいている。そのような配線６２には、図８及び図９に示すように、フィルム６０の幅方向の中央部から幅方向における一端部に向けて伸びる配線と、他端部に向けて伸びる配線とがフィルム６０の長手方向に交互に存在する。
【００３２】
各配線６２は、図９に示すように、フィルム６０の幅方向の中央及び端部の配線領域６２ａ及び６２ｂがフィルム６０の一方の面に形成され、両配線領域６２ａ，６２ｂの間の配線領域６２ｃがフィルム６０の他方の面に形成され、それらの配線領域６２ａ，６２ｂ，６２ｃがフィルム６０に形成されたスルーホールのような導電性部により電気的に接続されている。
【００３３】
各配線６２の配線領域６２ａの先端には、円錐形、多角錐形、半円形等、突起状の接触子６４が板状の複数の座６６を介して形成されている。接触子６４は、フィルム６０の幅方向の中央を長手方向に一列に配列されている。
【００３４】
フィルム６０は、各配線６２の配線領域６２ａの先端部をプローブ要素６８として作用させるＵ字状又はコ字状のスリット７０を有している。これにより、隣り合うプローブ要素６８は、互いに独立して弾性変形可能とされている。
【００３５】
これに対し、各配線６２の端部領域６２ｂの先端には、図１０に示すように、配線基板２０の突起電極２６に接続される接続用接触子７２が形成されている。スペーサ３８及びフィルム６０は、各接続用接触子７２が突起電極２６により押圧されたときに、接続用接触子７２が容易に弾性変形することを許す穴７４及び７４を有している。
【００３６】
接続用接触子７２としては、これが突起電極２６により押圧されたときに、弾性変形するものを用いることが好ましい。しかし、接続用接触子７２として、平板状のランド、スルーホール等、他の種類のものであってもよい。
【００３７】
フィルム６０には、電源のアースに接続される複数の電極板７６が配線領域６２ａ，６２ｂの間にホルダ３４の長手方向に間隔をおいて配置されている。このため、接触子６４は、第１及び第２の凹所４６及び４８に対応しかつホルダ３４の長手方向に間隔をおいた複数の接触子群に分けられている。各電極板７６は、ホルダ３４の第１及び第２の凹所４６及び４８に対応して配置されている。
【００３８】
コンタクトシート４０は、接触子６４が下方へ突出しかつプローブ要素６８が第１の凹所４６と対向するように、ホルダ３４と弾性板３６とスパーサ３８とを重ね合わせたホルダ組立体の外周に巻き付けられて、ホルダ組立体に接着されている。この状態において、回路要素４２は、ホルダ３４の傾斜側面に対応する箇所に位置される。
【００３９】
ホルダ３４とコンタクトシート４０とは、上記状態において、ホルダの下面側の複数箇所及び上面側の複数箇所のそれぞれにおいて、ホルダ３４に備えられた複数の位置決めピン７８により位置決められる。上面側の位置決めピン７８は、弾性板３６及びスペーサ３８を貫通している。
【００４０】
ホルダ３４の各端部には、断面Ｌ状のスリット８０と、段部８２と、雌ねじ穴８４，８６と、位置決め穴８８とが形成されている。雌ねじ穴８４は、スリット８０により分断された箇所に形成されており、雌ねじ穴８６と位置決め穴８８とは段部８２に形成されている。
【００４１】
雌ねじ穴８４には、調整ねじ９０が先端をスリット８０の下側の部分に当接させた状態に螺合されている。調整ねじ９０は、雌ねじ穴８４へのねじ込み量を調節することにより、スリット８０より中央側の領域の突出高さを調整することができる。
【００４２】
雌ねじ穴８６には、接触子ブロック２４をフレーム２２に取り付けるための取り付けねじ（図示せず）が螺合されている。位置決め穴８８は、接触子ブロック２４をフレーム２２に取り付けたときに、フレーム２２に備えられた位置決めピン（図示せず）を受け入れる。
【００４３】
接触子ブロック２４は、段部８２をフレーム２２に当接させた状態に、フレームに組み付けられる。フレーム２２に対する接触子の高さ位置は、雌ねじ穴８４への調整ねじ９０のねじ込み量を調節することにより行うことができると共に、雌ねじ穴５４への調整ねじ５６のねじ込み量を調節することにより接触子群毎に行うことができる。
【００４４】
接触子ブロック２４及びこれを用いた電気的接続装置１０は、回路要素４２が傾斜側面に対応する位置に配置されているから、複数の接触子ブロック２４をフレーム２２に並列的に配置しても、接触子ブロック２４の配列ピッチを回路要素４２の少なくとも厚さ寸法分だけ小さくすることできるのみならず、回路要素４２と接触子６４との間の電気通路が短くなり、正確な通電試験を行うことができる。
【００４５】
調整ねじ５６，９０による接触子６４の高さ調整は、接触子ブロック２４に組み立てた後、電気的接続装置１０に組み立てた後、電気的接続装置１０をプローバーに組み付けた後等、適宜な時期に行うことができる。また、調整ねじ５６，９０による接触子６４の高さ調整を通電試験中に行ってもよい。
【００４６】
調整ねじ５６による接触子６４の高さ調整時、対応する雌ねじ穴５４への調整ねじ５６のねじ込み量を大きくすると、弾性板５０が押圧板５２によりコンタクトシート４０に押圧されて、コンタクトシート４０が下方に弾性変形する、これにより、接触子６４の高さ位置が下げられる。
【００４７】
これに対し、調整ねじ５６のねじ込み量を小さくすると、コンタクトシート４０が自身の弾性力により又は接触圧力により弾性板５０及び押圧板５２を押し上げる。これにより、接触子６４の高さ位置が上げられる。
【００４８】
同様に、対応する雌ねじ穴８４への調整ねじ９０のねじ込み量を大きくすると、ホルダ３４の中央領域が押し下げられて下方に弾性変形され、それにより接触子６４の高さ位置が下げられる。調整ねじ９０のねじ込み量を小さくすると、ホルダ３４が自身の弾性力により上方に変位し、それにより接触子６４の高さ位置が上げられる。
【００４９】
次に、図１４（Ｂ）に示す集積回路の通電試験に用いて好適な接触子ブロック１００の一実施例について説明する。
【００５０】
図１１〜図１３を参照するに、接触子ブロック１００は、ホルダ３４が、さらに、隣り合う第１及び第２の凹所４６及び４８の間に対応する各箇所にあって傾斜側面から側方へ突出する三角形状の鍔部１０２を各傾斜側面に有し、コンタクトシート４０が、さらに、各鍔部１０２の底面に配置された延長領域１０４と、延長領域１０４に配置された補助接触子１０６とを備えている。
【００５１】
各鍔部１０２の底面は、ホルダ３４の下面と面一にされている。各延長領域１０４は、延長領域１０４の形状のスリットをフィルム６０に設けることにより、形成されている。補助接触子１０６は、通電試験時に図１４（Ｂ）におけるパッド電極１８に押圧される。
【００５２】
各補助接触子１０６は、配線６２と同様に、フィルム６０の幅方向の中央部から幅方向の端部に向けて伸びるように、フィルム６０に形成された補助配線１０８に座１１０を介して設けられている。各補助配線１０８の先端と補助接触子１０６とは、プローブ要素６８と同様に、延長領域１０４に形成されたスリット１１２により、独立して弾性変形可能の補助プローブ要素１１４とされている。
【００５３】
接触子ブロック１００においては、ホルダ３４の鍔部１０２を互いに共同して厚さ方向に貫通する第３及び第４の凹所１１６及び１１８並びに雌ねじ穴１２０を鍔部１０２毎に有している。第３及び第４の凹所１１６，１１８にはゴム棒のような弾性体１２２が延長領域１０４に接触した状態に配置されている。
【００５４】
弾性体１２２は、第３の凹所１１６から第２の凹所１１８を経て雌ねじ穴１２０の一部に達している。雌ねじ穴１２０には、調整ねじ１２４が螺合されている。これにより、雌ねじ穴１２０への調整ねじ１２４のねじ込み量を調整することにより、延長領域１０４、ひいては補助接触子１０６の高さ位置を調整することができる。
【００５５】
弾性板３６及びスペーサ３８は、それぞれ、調整ねじ１２４を操作する工具の先端を差し込む穴１２６及び１２６を有している。
【００５６】
接触子ブロック１００及びこれを用いる電気的接続装置も、接触子ブロック２４及びこれを用いる電気的接続装置１０と、同様に動作し、同様の作用及び効果を生じる。
【００５７】
上記いずれの実施例においても、傾斜側面は、本発明における後退部として作用する。しかし、本発明における後退部は、傾斜側面のみならず、少なくとも側面に形成されている限り、下向きの段部を有する凹所や切欠部等であってもよい。
【００５８】
次に、接続用接触子７２の実施例について説明する。
【００５９】
図１５を参照するに、接続用接触子７２は、コンタクトシート４０の配線６２と一体にフィルムに形成されている。しかし、接続用接触子７２を配線６２と別個に形成し、接続用接触子７２を配線６２に取り付けてもよい。
【００６０】
接続用接触子７２は、図１０に示すフィルム６０の穴７４より大きい眼の形状を有するベース１３０と、ベース１３０から片持ち梁状に伸びる一対の接触片１３２とを含み、全体に導電性の金属材料で薄い板の形に一体的に製作されている。この例においては、フィルム６０の穴７４も眼の形状を有する。
【００６１】
ベース１３０は、フィルム６０の穴７４とほぼ同じ大きさの楕円形又は長円形の開口１３４を中央に有している。開口１３４は、その長軸方向へ伸びる帯状の一対の長片部１３６と、短軸方向へ伸びる一対の短片部１３８とにより形成されている。
【００６２】
両接触片１３２は、開口１３４の中心の周りに回転対称に形成されている。各接触片１３２は、ベース１３０の短片部１３８から開口１３４内を、ベース１３０の長片部１３６の内側に沿って開口１３４の長軸方向へ伸びる帯状の一対のアーム部１４０と、各アーム部１４０の先端部からアーム部１４０の内側を開口１３４の短軸方向へ弧状に伸びる接片部１４２とを含む。
【００６３】
各接片部１４２は、アーム部１４０への結合箇所からアーム部１４０の延在方向における前方及び後方へ弧状に伸びており、また弧状の内側縁部を突起電極２６の円錐状頭部の側面に接触される接触縁部１４４としていると共に、突起電極２６の円錐状頭頂を含む先端部を受け入れる受入空間１４６を形成するように接触縁部１４４を開口１３４の中心側に向けている。
【００６４】
両接片部１４２の接触縁部１４４は、同じ曲率半径を有している。しかし、両接触縁部１４４は、接触縁部１４４の両端を結ぶ方向（開口１３４の短軸方向）に相対的に変位されている。図示の例では、両接触縁部１４４は、アーム部１４０とベース１３０との結合箇所に近い側の端部が前記結合箇所より遠い側の端部よりも開口１３４の中心側となるように変位されている。
【００６５】
接続用接触子７２は、それ自体が平面的であるから、配線６２と同様に、例えば、ホトレジスト製のマスクのような適宜なマスクを用いるメッキ技術やエッチング技術等、複雑な作業工程を用いる必要のない簡単な方法で、製造することができる。
【００６６】
図１０に示すように、配線基板２０と接触子ブロック２４とが相互に組み付けられた状態において、接続用接触子７２は、突起電極２６の円錐状頭部、特に先端（頭頂）を受入空間１４６に受け入れる。
【００６７】
これにより、突起電極２６の円錐状頭部の側面が接続用接触子７２の接触縁部１４４に押圧されて、接続用接触子７２は主として各接触片１３２のアーム部１４０において弾性的変形される。このため、接続用接触子７２と突起電極２６とは接触し、接続用接触子７２による接触痕が突起電極２６の円錐状頭部の側面に形成される。しかし、突起電極２６の頭頂は接続用接触子７２に押圧されないから、頭頂は潰されない。
【００６８】
接触片１３２が開口１３４の中心の周りに回転対称に形成されているか、弧状の接触縁部１４４が開口１３４の中心側に向けられていると、接続用接触子７２と突起電極２６との相対的位置が接触片１３２により決められるから、突起電極２６の頭頂が接続用接触子７２に接触することなく、接続用接触子７２と突起電極２６とがより確実に接触する。
【００６９】
また、接触縁部１４４がアーム部１４０と接片部１４２との結合箇所からアーム部１４０の延在方向における前方及び後方へ弧状に伸びていると、接触縁部１４４が突起電極２６に押圧されたときのアーム部１４０の弾性変形にともなって、接片部１４２の接触縁部１４４が突起電極２６の側面に沿って伸びてより確実に突起電極２６に接触する。
【００７０】
さらに、接触縁部１４４が開口１３４の短軸方向に相対的に変位されていると、接触縁部１４４は、アーム部１４０の弾性変形にともなって、開口１３４の中心側に位置する端部から突起電極２６の円錐状頭部の側面に接触し始めて、最終的に接触縁部１４４が螺旋の一部を形成するように突起電極２６に接触し、その結果より確実に突起電極２６に接触する。
【００７１】
特に、アーム部１４０とベース１３０との結合箇所に近い側の接触縁部１４４の端部がそのような結合箇所より遠い側の端部よりも開口１３４の中心側となるように両接触縁部１４４が相対的に変位されていると、接触縁部１４４のうち、先ず開口１３４の中心に近い端部が突起電極２６の側面に接触し、他端部側が突起電極２６に接触していないから、アーム部１４０の弾性変形にともなって、接触縁部１４４が螺旋の一部を形成するように接片部１４２が確実に変形して、接触縁部１４４はより確実に突起電極２６に接触する。
【００７２】
本発明は、集積回路以外の被検査体、例えば液晶表示パネルのような表示用基板の通電試験に用いる接触子ブロック及び電気的接続装置にも適用することができる。特に、表示用基板の通電試験に用いる電気的接続装置に本発明を適用するときは、接触子部特区を組み付ける支持手段として、配線基板及びフレームの代わりに他の支持手段を用いてもよい。
【００７３】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】 本発明に係る接触子ブロックの一実施例を示す斜視図である。
【図３】 図２に示す接触子ブロックの底面図である。
【図４】 図２に示す接触子ブロックの正面図である。
【図５】 図２に示す接触子ブロックの一部の拡大平面図である。
【図６】 図２に示す接触子ブロックの一部の拡大正面図である。
【図７】 図５における７−７線に沿って得た断面図である。
【図８】 図２に示す接触子ブロックの一部の拡大底面図である。
【図９】 図７における９−９線に沿って得た断面図である。
【図１０】 配線基板と接触子ブロックとの電気的接続状態の一実施例を示す断面図である。
【図１１】 本発明に係る接触子ブロックの他の実施例を示す一部の斜視図である。
【図１２】 図１１に示す接触子ブロックの一部の拡大底面図である。
【図１３】 図１１に示す接触子ブロックにおける図９と同様の断面図である。
【図１４】 被検査体としての集積回路のパッド電極の配置例を示す図であって、（Ａ）は第１の例、（Ｂ）は第２の例を示す。
【図１５】 接続用接触子の一実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
１０ 電気的接続装置
１２，１６ 集積回路
１４，１８ パッド電極
２０ 配線基板
２２ フレーム
２４，１００ 接触子ブロック
３４ ホルダ
４０ コンタクトシート
４２ 回路要素
４６，４８ 凹所
５０ 弾性板
５２ 押圧板
５４ 雌ねじ穴
５６ 調整ねじ
６０ フィルム
６２ 配線
６４ 接触子
６８ プローブ要素
７０ スリット
７２ 接続用接触子
１０２ 鍔部
１０４ 延長領域
１０６ 補助接触子
１０８ 補助配線
１１２ スリット
１１４ 補助プローブ要素
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブシートのような接触子シートを用いた接触子ブロック及びこれを用いる電気的接続装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プローブカードのような電気的接続装置においては、同じ半導体ウエーハに形成された複数の集積回路の通電試験を同時に行うことができることが望まれている。
【０００３】
そのような電気的接続装置の１つとして、電気絶縁性フィルムに形成された配線の一部をプローブ要素として用いるプローブシートや接触子シート等と称されているコンタクトシートをホルダに組み付けた、コンタクトブロックやプローブブロック等と称されている複数の接触子ブロックを製造し、そのような複数の接触子ブロックをフレームに組み付けたものが提案されている（特開２０００−１４７００５号、特開２０００−１５０５９５号）。
【０００４】
従来のこの種の接触子ブロックは、接触子として作用する突起電極を各プローブ要素に配置したコンタクトシートを用いると共に、板状のホルダを用い、コンタクトシートをホルダに巻き付けている。そのような接触子ブロックを用いた従来の電気的接続装置は、複数の接触子ブロックをホルダの厚さ方向に間隔をおいてフレームに組み付けている。
【０００５】
【解決しようとする課題】
しかし、従来の接触子ブロックでは、電源に接続されるコンデンサのような回路要素を配置するスペースがなく、したがってコンタクトシートの配線に接続されるフレキシブル印刷配線板（ＦＰＣ）や、接触子ブロックが配置されるフレーム等、接触子ブロック以外の部材に回路要素を配置せざるを得ず、その結果回路要素と接触子との間の電気通路が長くなり、正確な通電試験を行うことができない。
【０００６】
本発明の目的は、回路要素の配置空間を設けることにある。
【０００７】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る接触子ブロックは、棒状のホルダであって該ホルダの長手方向に長い帯状の下面と該下面の幅方向の各端部から斜めに立ち上がる傾斜側面に形成された後退部と各傾斜側面から上方へ立ち上がる垂直側面と前記下面に対向する上面とにより略台形の断面形状を有する棒状のホルダと、前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第１の接触子と該第１の接触子に電気的に接続された複数の配線とを備えるコンタクトシートであって前記第１の接触子が前記下面に位置する状態に前記ホルダの外周に巻き付けられたコンタクトシートとを含む。前記ホルダは、さらに、前記側面から側方へ突出する三角形状の１以上の鍔部であって前記下面と面一の底面を有する１以上の鍔部を有し、前記コンタクトシートは、前記底面に配置された延長領域と、該延長領域に配置された補助接触子とを備える。
【０００８】
後退部は、下面に対し傾斜した傾斜側面や側面に形成された下向きの段部等とすることができる。そのような後退部を含むホルダの外周にコンタクトシートを配置すると、後退部に対応するコンタクトシートの箇所が側面から後退した後退領域が形成される。
【０００９】
そのような後退領域を有する接触子ブロックは、コンデンサのような１以上の回路要素を後退領域に対応する位置のコンタクトシートの部位に配置することができる。そのようにすれば、複数の第１の接触子ブロックをフレーム等の支持手段に並列的に配置しても、接触子ブロックの配列ピッチを回路要素の少なくとも厚さ寸法分だけ小さくすることができるのみならず、回路要素と第１の接触子との間の電気通路が短くなり、正確な通電試験を行うことができる。
【００１０】
前記コンタクトシートは、さらに、前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第２の接触子であって前記ホルダの前記上面に配置された複数の第２の接触子を備え、前記配線は前記第１及び第２の接触子を電気的に接続することができる。
【００１１】
前記ホルダは、さらに、それぞれが２以上の前記第１の接触子を含む１以上の接触子群に個々に対応されて対応する接触子群の配置範囲内で当該ホルダの長手方向へ伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する１以上の雌ねじ穴とを有し、各凹所には、前記コンタクトシートの対応する接触子群の配置領域に当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されていてもよい。そのようにすれば、雌ねじ穴への調整ねじのねじ込み量を調整することにより、ホルダからの接触子の突出量が調整されるから、ホルダに対する接触子の高さ位置を接触子群毎に調整することができる。
【００１２】
上記の代わりに、前記ホルダは、さらに、当該ホルダの長手方向に間隔をおいて伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する複数の雌ねじ穴とを有し、各凹所には、前記コンタクトシートに当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されていてもよい。そのようにしても、雌ねじ穴への調整ねじのねじ込み量を調整することにより、ホルダからの接触子の突出量が調整されるから、ホルダに対する接触子の高さ位置を支持領域に位置する接触子群毎に調整することができる。
【００１４】
前記コンタクトシートは、電気絶縁性のシート部材と、該シート部材に並列的に配置された複数の配線とを含み、前記第１の接触子は前記配線の一端部に配置されており、前記シート部材は前記第１の接触子が配置された前記配線の端部をプローブ要素として作用させる複数のスリットを有することができる。
【００１５】
本発明に係る電気的接続装置は、上記のような１以上の接触子ブロックと、該接触子ブロックがその各第１の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられた支持手段とを含む。この電気的接続装置によっても、上記の接触子ユニットと同様の作用効果を得ることができる。
【００１６】
前記支持手段は、複数の接触子ブロックがその各第１の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられたフレームと、複数の配線を備える配線基板であってこれの下面に前記フレームが取り付けられた配線基板を含むことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１を参照するに、電気的接続装置１０は、例えば図１４に示す集積回路１２のように、同じ半導体ウエーハに形成された長方形の複数の集積回路の通電試験を同時に行うテスターにプローブカードとして用いられるように、構成されている。
【００１８】
被検査体としての集積回路としては、図１４（Ａ）に示すように複数のパッド電極１４を集積回路１２の幅方向中央部に長手方向に間隔をおいて一列に有するものや、図１４（Ｂ）に示すように集積回路１６の長手方向中央部にあって幅方向の両端にさらにパッド電極１８を有するもの等、適宜な電極配置パターンを有するものとすることができる。
【００１９】
電気的接続装置１０は、電気絶縁材料で製作された円板状の配線基板２０と、配線基板２０の下面に組み付けられたフレーム２２と、フレーム２２に並列的に組み付けられた長い複数の接触子ブロック２４とを含む。
【００２０】
配線基板２０は、図１０に示すように、テスターの電気回路に接続される複数のテスターランド（図示せず）と、接触子ブロック２４に電気的に接続される複数の突起電極２６と、テスターランドと突起電極２６とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線２８とを備えている。突起電極２６は円錐状（又は、角錐状）の頭部を有している。
【００２１】
フレーム２２は、矩形の開口を形成するように矩形の形状に製作されており、複数のねじ部材３０により配線基板２０に取り付けられている。接触子ブロック２４は、互いに平行に伸びるように、複数のねじ部材３２によりフレーム２２の下面に組み付けられている。
【００２２】
次に、図２〜図１０を参照して、図１４（Ａ）に示す電極配置パターンを有する集積回路１２に適用する接触子ブロック２４の一実施例について説明する。
【００２３】
各接触子ブロック２４は、棒状のホルダ３４と、ホルダ３４の上面に配置された帯状の弾性板３６と、弾性板３６の上に重ねて配置された帯状のスペーサ３８と、ホルダ３４、弾性板３６及びスペーサ３８を重ね合わせたホルダ組立体の外周に巻き付けられたコンタクトシート４０と、電源に接続されるコンデンサのような複数の回路要素４２とを含む。
【００２４】
ホルダ３４は、下面、該下面の幅方向の各端部から斜めに立ち上がる２つの傾斜側面、各傾斜側面から上方へ立ち上がる垂直側面及び下面に対向する上面とにより、略台形の断面形状を有している。それらの面は、ホルダ３４の両端部領域を除いて、ホルダ３４の長手方向に連続して形成されている。
【００２５】
ホルダ３４の、下面、両傾斜側面及び両垂直側面には、それぞれ、１以上の糊溜４４が形成されている。各糊溜４４は、対応する面に開放しており、またホルダ３４の両端部領域を除いて、ホルダ３４の長手方向に連続して形成されている。各糊溜４４は、コンタクトシート４０をホルダ３４に装着するときに、装着用の接着剤の貯留に利用される。
【００２６】
ホルダ３４は、また、下面に開放する複数の第１の凹所４６と、第１の凹所４６に連通する複数の第２の凹所４８との対をホルダ３４の両端部領域を除く領域に長手方向に間隔をおいて有している。対をなす第１及び第２の凹所４６及び４８は、ホルダ３４を厚さ方向に貫通するように、形成されている。第１の凹所４６の幅寸法は、第２の凹所４８のそれより大きい。
【００２７】
各第１の凹所４６には第２の凹所４８の幅寸法とほぼ同じ幅寸法を有する長方形のゴム板のような直方体状の弾性板５０がコンタクトシート４０に当接するように配置されている。各第２の凹所４８には押圧板５２が配置されている。弾性板５０及び押圧板５２は、ホルダ３４の長手方向に伸びている。
【００２８】
ホルダ３４は、さらに、雌ねじ穴５４を各第２の凹所４８の長手方向の各端部に有している。各雌ねじ穴５４には、調整ねじ５６が螺合されている。
【００２９】
接触子ブロック２４の弾性板３６及びスペーサ３８は、ホルダ３４の長手方向に伸びており、また第２の凹所４８に個々に対応する複数の穴５８及び５８をそれぞれ有している。各穴５８は、対応する第２の凹所４８の長さ寸法と略同じ長さ寸法を有している。
【００３０】
コンタクトシート４０は、ポリイミドのような電気絶縁材料から長方形に形成されたフィルム６０と、フィルム６０の長手方向に間隔をおいて幅方向へ伸びるようにフィルム６０に並列的に形成された複数の配線６２とを備えている。
【００３１】
配線６２は、図９に示すように、フィルム６０の幅方向の中央部から幅方向の端部に向けて伸びていると共に、フィルム６０の長手方向に間隔をおいている。そのような配線６２には、図８及び図９に示すように、フィルム６０の幅方向の中央部から幅方向における一端部に向けて伸びる配線と、他端部に向けて伸びる配線とがフィルム６０の長手方向に交互に存在する。
【００３２】
各配線６２は、図９に示すように、フィルム６０の幅方向の中央及び端部の配線領域６２ａ及び６２ｂがフィルム６０の一方の面に形成され、両配線領域６２ａ，６２ｂの間の配線領域６２ｃがフィルム６０の他方の面に形成され、それらの配線領域６２ａ，６２ｂ，６２ｃがフィルム６０に形成されたスルーホールのような導電性部により電気的に接続されている。
【００３３】
各配線６２の配線領域６２ａの先端には、円錐形、多角錐形、半円形等、突起状の接触子６４が板状の複数の座６６を介して形成されている。接触子６４は、フィルム６０の幅方向の中央を長手方向に一列に配列されている。
【００３４】
フィルム６０は、各配線６２の配線領域６２ａの先端部をプローブ要素６８として作用させるＵ字状又はコ字状のスリット７０を有している。これにより、隣り合うプローブ要素６８は、互いに独立して弾性変形可能とされている。
【００３５】
これに対し、各配線６２の端部領域６２ｂの先端には、図１０に示すように、配線基板２０の突起電極２６に接続される接続用接触子７２が形成されている。スペーサ３８及びフィルム６０は、各接続用接触子７２が突起電極２６により押圧されたときに、接続用接触子７２が容易に弾性変形することを許す穴７４及び７４を有している。
【００３６】
接続用接触子７２としては、これが突起電極２６により押圧されたときに、弾性変形するものを用いることが好ましい。しかし、接続用接触子７２として、平板状のランド、スルーホール等、他の種類のものであってもよい。
【００３７】
フィルム６０には、電源のアースに接続される複数の電極板７６が配線領域６２ａ，６２ｂの間にホルダ３４の長手方向に間隔をおいて配置されている。このため、接触子６４は、第１及び第２の凹所４６及び４８に対応しかつホルダ３４の長手方向に間隔をおいた複数の接触子群に分けられている。各電極板７６は、ホルダ３４の第１及び第２の凹所４６及び４８に対応して配置されている。
【００３８】
コンタクトシート４０は、接触子６４が下方へ突出しかつプローブ要素６８が第１の凹所４６と対向するように、ホルダ３４と弾性板３６とスパーサ３８とを重ね合わせたホルダ組立体の外周に巻き付けられて、ホルダ組立体に接着されている。この状態において、回路要素４２は、ホルダ３４の傾斜側面に対応する箇所に位置される。
【００３９】
ホルダ３４とコンタクトシート４０とは、上記状態において、ホルダの下面側の複数箇所及び上面側の複数箇所のそれぞれにおいて、ホルダ３４に備えられた複数の位置決めピン７８により位置決められる。上面側の位置決めピン７８は、弾性板３６及びスペーサ３８を貫通している。
【００４０】
ホルダ３４の各端部には、断面Ｌ状のスリット８０と、段部８２と、雌ねじ穴８４，８６と、位置決め穴８８とが形成されている。雌ねじ穴８４は、スリット８０により分断された箇所に形成されており、雌ねじ穴８６と位置決め穴８８とは段部８２に形成されている。
【００４１】
雌ねじ穴８４には、調整ねじ９０が先端をスリット８０の下側の部分に当接させた状態に螺合されている。調整ねじ９０は、雌ねじ穴８４へのねじ込み量を調節することにより、スリット８０より中央側の領域の突出高さを調整することができる。
【００４２】
雌ねじ穴８６には、接触子ブロック２４をフレーム２２に取り付けるための取り付けねじ（図示せず）が螺合されている。位置決め穴８８は、接触子ブロック２４をフレーム２２に取り付けたときに、フレーム２２に備えられた位置決めピン（図示せず）を受け入れる。
【００４３】
接触子ブロック２４は、段部８２をフレーム２２に当接させた状態に、フレームに組み付けられる。フレーム２２に対する接触子の高さ位置は、雌ねじ穴８４への調整ねじ９０のねじ込み量を調節することにより行うことができると共に、雌ねじ穴５４への調整ねじ５６のねじ込み量を調節することにより接触子群毎に行うことができる。
【００４４】
接触子ブロック２４及びこれを用いた電気的接続装置１０は、回路要素４２が傾斜側面に対応する位置に配置されているから、複数の接触子ブロック２４をフレーム２２に並列的に配置しても、接触子ブロック２４の配列ピッチを回路要素４２の少なくとも厚さ寸法分だけ小さくすることできるのみならず、回路要素４２と接触子６４との間の電気通路が短くなり、正確な通電試験を行うことができる。
【００４５】
調整ねじ５６，９０による接触子６４の高さ調整は、接触子ブロック２４に組み立てた後、電気的接続装置１０に組み立てた後、電気的接続装置１０をプローバーに組み付けた後等、適宜な時期に行うことができる。また、調整ねじ５６，９０による接触子６４の高さ調整を通電試験中に行ってもよい。
【００４６】
調整ねじ５６による接触子６４の高さ調整時、対応する雌ねじ穴５４への調整ねじ５６のねじ込み量を大きくすると、弾性板５０が押圧板５２によりコンタクトシート４０に押圧されて、コンタクトシート４０が下方に弾性変形する、これにより、接触子６４の高さ位置が下げられる。
【００４７】
これに対し、調整ねじ５６のねじ込み量を小さくすると、コンタクトシート４０が自身の弾性力により又は接触圧力により弾性板５０及び押圧板５２を押し上げる。これにより、接触子６４の高さ位置が上げられる。
【００４８】
同様に、対応する雌ねじ穴８４への調整ねじ９０のねじ込み量を大きくすると、ホルダ３４の中央領域が押し下げられて下方に弾性変形され、それにより接触子６４の高さ位置が下げられる。調整ねじ９０のねじ込み量を小さくすると、ホルダ３４が自身の弾性力により上方に変位し、それにより接触子６４の高さ位置が上げられる。
【００４９】
次に、図１４（Ｂ）に示す集積回路の通電試験に用いて好適な接触子ブロック１００の一実施例について説明する。
【００５０】
図１１〜図１３を参照するに、接触子ブロック１００は、ホルダ３４が、さらに、隣り合う第１及び第２の凹所４６及び４８の間に対応する各箇所にあって傾斜側面から側方へ突出する三角形状の鍔部１０２を各傾斜側面に有し、コンタクトシート４０が、さらに、各鍔部１０２の底面に配置された延長領域１０４と、延長領域１０４に配置された補助接触子１０６とを備えている。
【００５１】
各鍔部１０２の底面は、ホルダ３４の下面と面一にされている。各延長領域１０４は、延長領域１０４の形状のスリットをフィルム６０に設けることにより、形成されている。補助接触子１０６は、通電試験時に図１４（Ｂ）におけるパッド電極１８に押圧される。
【００５２】
各補助接触子１０６は、配線６２と同様に、フィルム６０の幅方向の中央部から幅方向の端部に向けて伸びるように、フィルム６０に形成された補助配線１０８に座１１０を介して設けられている。各補助配線１０８の先端と補助接触子１０６とは、プローブ要素６８と同様に、延長領域１０４に形成されたスリット１１２により、独立して弾性変形可能の補助プローブ要素１１４とされている。
【００５３】
接触子ブロック１００においては、ホルダ３４の鍔部１０２を互いに共同して厚さ方向に貫通する第３及び第４の凹所１１６及び１１８並びに雌ねじ穴１２０を鍔部１０２毎に有している。第３及び第４の凹所１１６，１１８にはゴム棒のような弾性体１２２が延長領域１０４に接触した状態に配置されている。
【００５４】
弾性体１２２は、第３の凹所１１６から第２の凹所１１８を経て雌ねじ穴１２０の一部に達している。雌ねじ穴１２０には、調整ねじ１２４が螺合されている。これにより、雌ねじ穴１２０への調整ねじ１２４のねじ込み量を調整することにより、延長領域１０４、ひいては補助接触子１０６の高さ位置を調整することができる。
【００５５】
弾性板３６及びスペーサ３８は、それぞれ、調整ねじ１２４を操作する工具の先端を差し込む穴１２６及び１２６を有している。
【００５６】
接触子ブロック１００及びこれを用いる電気的接続装置も、接触子ブロック２４及びこれを用いる電気的接続装置１０と、同様に動作し、同様の作用及び効果を生じる。
【００５７】
上記いずれの実施例においても、傾斜側面は、本発明における後退部として作用する。しかし、本発明における後退部は、傾斜側面のみならず、少なくとも側面に形成されている限り、下向きの段部を有する凹所や切欠部等であってもよい。
【００５８】
次に、接続用接触子７２の実施例について説明する。
【００５９】
図１５を参照するに、接続用接触子７２は、コンタクトシート４０の配線６２と一体にフィルムに形成されている。しかし、接続用接触子７２を配線６２と別個に形成し、接続用接触子７２を配線６２に取り付けてもよい。
【００６０】
接続用接触子７２は、図１０に示すフィルム６０の穴７４より大きい眼の形状を有するベース１３０と、ベース１３０から片持ち梁状に伸びる一対の接触片１３２とを含み、全体に導電性の金属材料で薄い板の形に一体的に製作されている。この例においては、フィルム６０の穴７４も眼の形状を有する。
【００６１】
ベース１３０は、フィルム６０の穴７４とほぼ同じ大きさの楕円形又は長円形の開口１３４を中央に有している。開口１３４は、その長軸方向へ伸びる帯状の一対の長片部１３６と、短軸方向へ伸びる一対の短片部１３８とにより形成されている。
【００６２】
両接触片１３２は、開口１３４の中心の周りに回転対称に形成されている。各接触片１３２は、ベース１３０の短片部１３８から開口１３４内を、ベース１３０の長片部１３６の内側に沿って開口１３４の長軸方向へ伸びる帯状の一対のアーム部１４０と、各アーム部１４０の先端部からアーム部１４０の内側を開口１３４の短軸方向へ弧状に伸びる接片部１４２とを含む。
【００６３】
各接片部１４２は、アーム部１４０への結合箇所からアーム部１４０の延在方向における前方及び後方へ弧状に伸びており、また弧状の内側縁部を突起電極２６の円錐状頭部の側面に接触される接触縁部１４４としていると共に、突起電極２６の円錐状頭頂を含む先端部を受け入れる受入空間１４６を形成するように接触縁部１４４を開口１３４の中心側に向けている。
【００６４】
両接片部１４２の接触縁部１４４は、同じ曲率半径を有している。しかし、両接触縁部１４４は、接触縁部１４４の両端を結ぶ方向（開口１３４の短軸方向）に相対的に変位されている。図示の例では、両接触縁部１４４は、アーム部１４０とベース１３０との結合箇所に近い側の端部が前記結合箇所より遠い側の端部よりも開口１３４の中心側となるように変位されている。
【００６５】
接続用接触子７２は、それ自体が平面的であるから、配線６２と同様に、例えば、ホトレジスト製のマスクのような適宜なマスクを用いるメッキ技術やエッチング技術等、複雑な作業工程を用いる必要のない簡単な方法で、製造することができる。
【００６６】
図１０に示すように、配線基板２０と接触子ブロック２４とが相互に組み付けられた状態において、接続用接触子７２は、突起電極２６の円錐状頭部、特に先端（頭頂）を受入空間１４６に受け入れる。
【００６７】
これにより、突起電極２６の円錐状頭部の側面が接続用接触子７２の接触縁部１４４に押圧されて、接続用接触子７２は主として各接触片１３２のアーム部１４０において弾性的変形される。このため、接続用接触子７２と突起電極２６とは接触し、接続用接触子７２による接触痕が突起電極２６の円錐状頭部の側面に形成される。しかし、突起電極２６の頭頂は接続用接触子７２に押圧されないから、頭頂は潰されない。
【００６８】
接触片１３２が開口１３４の中心の周りに回転対称に形成されているか、弧状の接触縁部１４４が開口１３４の中心側に向けられていると、接続用接触子７２と突起電極２６との相対的位置が接触片１３２により決められるから、突起電極２６の頭頂が接続用接触子７２に接触することなく、接続用接触子７２と突起電極２６とがより確実に接触する。
【００６９】
また、接触縁部１４４がアーム部１４０と接片部１４２との結合箇所からアーム部１４０の延在方向における前方及び後方へ弧状に伸びていると、接触縁部１４４が突起電極２６に押圧されたときのアーム部１４０の弾性変形にともなって、接片部１４２の接触縁部１４４が突起電極２６の側面に沿って伸びてより確実に突起電極２６に接触する。
【００７０】
さらに、接触縁部１４４が開口１３４の短軸方向に相対的に変位されていると、接触縁部１４４は、アーム部１４０の弾性変形にともなって、開口１３４の中心側に位置する端部から突起電極２６の円錐状頭部の側面に接触し始めて、最終的に接触縁部１４４が螺旋の一部を形成するように突起電極２６に接触し、その結果より確実に突起電極２６に接触する。
【００７１】
特に、アーム部１４０とベース１３０との結合箇所に近い側の接触縁部１４４の端部がそのような結合箇所より遠い側の端部よりも開口１３４の中心側となるように両接触縁部１４４が相対的に変位されていると、接触縁部１４４のうち、先ず開口１３４の中心に近い端部が突起電極２６の側面に接触し、他端部側が突起電極２６に接触していないから、アーム部１４０の弾性変形にともなって、接触縁部１４４が螺旋の一部を形成するように接片部１４２が確実に変形して、接触縁部１４４はより確実に突起電極２６に接触する。
【００７２】
本発明は、集積回路以外の被検査体、例えば液晶表示パネルのような表示用基板の通電試験に用いる接触子ブロック及び電気的接続装置にも適用することができる。特に、表示用基板の通電試験に用いる電気的接続装置に本発明を適用するときは、接触子部特区を組み付ける支持手段として、配線基板及びフレームの代わりに他の支持手段を用いてもよい。
【００７３】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】 本発明に係る接触子ブロックの一実施例を示す斜視図である。
【図３】 図２に示す接触子ブロックの底面図である。
【図４】 図２に示す接触子ブロックの正面図である。
【図５】 図２に示す接触子ブロックの一部の拡大平面図である。
【図６】 図２に示す接触子ブロックの一部の拡大正面図である。
【図７】 図５における７−７線に沿って得た断面図である。
【図８】 図２に示す接触子ブロックの一部の拡大底面図である。
【図９】 図７における９−９線に沿って得た断面図である。
【図１０】 配線基板と接触子ブロックとの電気的接続状態の一実施例を示す断面図である。
【図１１】 本発明に係る接触子ブロックの他の実施例を示す一部の斜視図である。
【図１２】 図１１に示す接触子ブロックの一部の拡大底面図である。
【図１３】 図１１に示す接触子ブロックにおける図９と同様の断面図である。
【図１４】 被検査体としての集積回路のパッド電極の配置例を示す図であって、（Ａ）は第１の例、（Ｂ）は第２の例を示す。
【図１５】 接続用接触子の一実施例を示す平面図である。
【符号の説明】
１０ 電気的接続装置
１２，１６ 集積回路
１４，１８ パッド電極
２０ 配線基板
２２ フレーム
２４，１００ 接触子ブロック
３４ ホルダ
４０ コンタクトシート
４２ 回路要素
４６，４８ 凹所
５０ 弾性板
５２ 押圧板
５４ 雌ねじ穴
５６ 調整ねじ
６０ フィルム
６２ 配線
６４ 接触子
６８ プローブ要素
７０ スリット
７２ 接続用接触子
１０２ 鍔部
１０４ 延長領域
１０６ 補助接触子
１０８ 補助配線
１１２ スリット
１１４ 補助プローブ要素
Claims (8)
- 棒状のホルダであって該ホルダの長手方向に長い帯状の下面と該下面の幅方向の各端部から斜めに立ち上がる傾斜側面に形成された後退部と各傾斜側面から上方へ立ち上がる垂直側面と前記下面に対向する上面とにより略台形の断面形状を有する棒状のホルダと、
前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第１の接触子と該第１の接触子に電気的に接続された複数の配線とを備えるコンタクトシートであって前記第１の接触子が前記下面に位置する状態に前記ホルダの外周に巻き付けられたコンタクトシートとを含み、
前記ホルダは、さらに、前記側面から側方へ突出する三角形状の１以上の鍔部であって前記下面と面一の底面を有する１以上の鍔部を有し、
前記コンタクトシートは、前記底面に配置された延長領域と、該延長領域に配置された補助接触子とを備える、接触子ブロック。 - 前記後退部は前記傾斜側面を含む、請求項１に記載の接触子ブロック。
- 前記コンタクトシートは、さらに、前記ホルダの長手方向に間隔をおいた複数の第２の接触子であって前記ホルダの前記上面に配置された複数の第２の接触子を備え、前記配線は前記第１及び第２の接触子を電気的に接続する、請求項１又は２に記載の接触子ブロック。
- 前記ホルダは、さらに、それぞれが２以上の前記第１の接触子を含む１以上の接触子群に個々に対応されて対応する接触子群の配置範囲内で当該ホルダの長手方向へ伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する１以上の雌ねじ穴とを有し、
各凹所には、前記コンタクトシートの対応する接触子群の配置領域に当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、
各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されている、請求項１，２又は３に記載の接触子ブロック。 - 前記ホルダは、さらに、当該ホルダの長手方向に間隔をおいて伸びる複数の凹所であって少なくとも前記下面に開放する複数の凹所と、各凹所に対応されて対応する凹所に連通する複数の雌ねじ穴とを有し、
各凹所には、前記コンタクトシートに当接する弾性板と、該弾性板の上面に当接する押圧板とが配置されており、
各ねじ穴には前記押圧板の上面に当接する調整ねじが配置されている、請求項１，２又は３に記載の接触子ブロック。 - 前記コンタクトシートは、電気絶縁性のシート部材と、該シート部材に並列的に配置された複数の配線とを含み、前記第１の接触子は前記配線の一端部に配置されており、前記シート部材は前記第１の接触子が配置された前記配線の端部をプローブ要素として作用させる複数のスリットを有する、請求項１から５のいずれか１項に記載の接触子ブロック。
- 請求項１から６のいずれか１項に記載の１以上の接触子ブロックと、該接触子ブロックがその各第１の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられた支持手段とを含む、電気的接続装置。
- 前記支持手段は、複数の接触子ブロックがその各第１の接触子を下方とした状態に並列的に取り付けられたフレームと、複数の配線を備える配線基板であってこれの下面に前記フレームが取り付けられた配線基板を含む、請求項７に記載の電気的接続装置。
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