JP4339387B2 - 近視野光メモリヘッド - Google Patents
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Description
また、近視野顕微鏡は、光ファイバプローブを通して試料に向けて光を導入させることによって、光ファイバプローブの微小開口に近視野光を生じさせ、この近視野光と試料表面の微細構造との相互作用によって生じた散乱光を更に付加された集光系を用いて光検出器に導き、表面観察を行うことも可能である。
このカンチレバー型光プローブにおいては、開口部に光ファイバを挿入し、光導波層の先端部以外を金属膜でコーティングすることで形成された微小開口に光を透過させることができる。
かかる特徴によれば、光ファイバにおける略球形状の先端部が集光レンズとしての役目を果たすことから、光ファイバの先端面から出射されるレーザ光が微小開口へ向けて集光されつつ、伝搬する。従って、微小開口に向けて出射されたレーザ光の強度が高まり、ひいては微小開口に生成される近視野光の光強度が高まる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の実施の形態1による近視野光メモリヘッド1の構成を示す側断面図である。図1に示す近視野光メモリヘッド1において、シリコン基板2は、その厚さtを数100μmとしており、その中央部には、表面から裏面に向けて徐々にテーパ状に縮径される逆錐形状のテーパ穴2aが形成されている。このテーパ穴2aの頂点においては、数十ナノメートルの径の微小開口2bが形成されている。イルミネーションモードにおいては、この微小開口2bの近傍に近視野光Pが生成される。
(実施の形態2)
図2(a)は、本発明の実施の形態2による近視野光メモリヘッド10の構成を示す側断面図である。図2(a)において、図1の各部に対応する部分には同一の符号を付けその説明を省略する。
(実施の形態3)
図3は、本発明の実施の形態3による近視野光メモリヘッド20の構成を示す側断面図である。図3において、図2の各部に対応する部分には同一の符号を付ける。図3においては、図2に示すガラス基板11に代えて、支持部材21が設けられている。すなわち、図3において、光導波路12は、支持部材21を介してシリコン基板2の表面に直接、支持されている。また、光導波路12は逆L字状になるように、レーザ光による熱変形、ポリイミドなどの膜応力により、曲成されている。
(実施の形態4)
図4(a)は、本発明の実施の形態4による近視野光メモリヘッド30の構成を示す側断面図であり、図4(b)は、上記近視野光メモリヘッド30の構成を示す平面図である。図4(a)および(b)において、図1の各部に対応する部分には同一の符号を付けその説明を省略する。
2 シリコン基板
2a テーパ穴
2b 微小開口
3,13,32 反射膜
4 光ファイバ
4c 先端部
11 ガラス基板
12,31 光導波路
21 支持部材
Claims (3)
- 近視野光を利用して記録媒体へ情報の記録あるいは再生を行う際に、回転している前記記録媒体から浮上する近視野光メモリヘッドであって、
少なくとも1つの逆錐状の穴がその頂部を微小開口とするように貫通して形成された平面基板と、
端部が前記平面基板の逆錐状の前記穴に位置するとともに、前記平面基板の前記微小開口を有する面と対向する面から逆錐状の前記穴に向かって屈曲して配置される光導波路と、
前記光導波路を前記平面基板に支持する支持部材と、を備えることを特徴とする近視野光メモリヘッド。 - 前記光動波路は、逆錐状の前記穴の側面から離間して配置され、前記端部から放射した光により前記微小開口から前記近視野光を生成することを特徴とする請求項1に記載の近視野光メモリヘッド。
- 前記光導波路の前記端面は、略球形状とされていることを特徴とする請求項1あるいは請求項2のいずれかに記載の近視野光メモリヘッド。
Priority Applications (1)
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JP2008041249A JP4339387B2 (ja) | 2008-02-22 | 2008-02-22 | 近視野光メモリヘッド |
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JP2008192292A JP2008192292A (ja) | 2008-08-21 |
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JP2008041249A Expired - Lifetime JP4339387B2 (ja) | 2008-02-22 | 2008-02-22 | 近視野光メモリヘッド |
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JP (1) | JP4339387B2 (ja) |
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- 2008-02-22 JP JP2008041249A patent/JP4339387B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2008192292A (ja) | 2008-08-21 |
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