JP4312315B2 - 基板保持機構および回路基板検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象の回路基板を直立させた状態で検査位置に保持する基板保持機構、および、その基板保持機構を備え所定の電気的検査を実行可能に構成された回路基板検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の基板保持機構を備えた回路基板検査装置として、出願人は、図9に示す回路基板検査装置51を既に開発している。この回路基板検査装置51は、検査対象の回路基板P(図10参照)を直立させた状態で検査位置に保持する基板保持機構52と、基板保持機構52によって保持された回路基板Pに対して所定の電気的検査を実行する図外の基板検査部とを備えて構成されている。この場合、基板検査部は、回路基板Pの表面Paおよび裏面Pbに接触可能に配設された1対の検査用プローブと、回路基板Pの表面Paまたは裏面Pbに沿って両検査用プローブを移動させるプローブ移動機構と、検査用プローブの移動制御、検査用信号の入出力、および回路基板Pの良否判別などを実行する制御部(いずれも図示せず)とを備えている。
【0003】
一方、基板保持機構52は、鉛直方向に立設されたフレームF(図10参照)に互いに平行となるように立設状態で固定されたレール61a,61bと、回路基板Pの下端部を挟持可能に構成されレール61a,61bに固定された基板挟持部63aと、基板挟持部63aに対向配置されて回路基板Pの上端部を挟持可能に構成され、上下方向(矢印Y1,Y2方向)に移動可能にレール61a,61bに取り付けられた基板挟持部63bと、基板挟持部63bを上下方向に移動させる移動機構66とを備えている。また、図10に示すように、基板挟持部63aは、レール61a,61b(同図はレール61bのみを図示している)に固定されたベース部71aを備えると共に、ベース部71aにスライド可能に取り付けられたスライダ72aと、スライダ72aに固定されたエアシリンダ72bと、エアシリンダ72bのロッドの先端部に固定されてロッドの伸縮に応じて矢印Z1,Z2の向き(回路基板Pの表面に対して垂直方向の向き)で移動させられる挟持板73とをそれぞれ2組備えている。一方、基板挟持部63bは、レール61a,61bに固定されたベース部71bを備えるほか、基板挟持部63aの構成要素と同一の構成要素を備えている。
【0004】
移動機構66は、図9に示すように、モータM2と、モータM2の回転軸に軸着されたプーリ35aと、互いに並行となるように配設されたスプラインシャフト37a,37bと、タイミングベルト36aでプーリ35aに連結されると共にスプラインシャフト37aに軸着されたプーリ35bと、スプラインシャフト37aに軸着されたプーリ35c,35eと、スプラインシャフト37bに軸着されると共にタイミングベルト36b,36cでプーリ35c,35eにそれぞれ連結されたプーリ35d,35fとを備えて構成されている。この場合、基板挟持部63bのベース部71bは、金具38,38でタイミングベルト36b,36cに固定されている。したがって、モータM2の回転時には、プーリ35aが回転し、これに伴い、プーリ35bが回転させられて、スプラインシャフト37aと共にプーリ35c,35eが回転させられる。この結果、タイミングベルト36b,36cが回動させられるため、ベース部71bがレール61a,61bに沿って上下方向に移動する。
【0005】
次いで、回路基板Pに対する検査時には、まず、モータM2を駆動して基板挟持部63bを上動させると共に、両基板挟持部63a,63bの各エアシリンダ72bのロッドを伸張させることにより、各挟持板73とベース部71a(または71b)とを離間させる。次に、図10に示すように、回路基板Pの下端部を基板挟持部63aにおけるベース部71aおよび挟持板73の間に挿入した後に、基板挟持部63bを下動させることにより、図11に示すように、基板挟持部63bにおけるベース部71bおよび挟持板73間に回路基板Pの上端部を挿入する。次いで、各エアシリンダ72bの各ロッドを引き込むことにより、各挟持板73を矢印Z2の向き(基板面側の向き)で移動させ、ベース部71a,71bと挟持板73,73・・とで回路基板Pの下端部および上端部を挟持する。この状態で、モータM2を駆動して基板挟持部63bを上動させると、図12に示すように、矢印Y1,Y2の向き(上下方向の向き)で回路基板Pが引き伸ばされ、これにより、反りが矯正されて回路基板Pがほぼ平坦状態となる。この後、回路基板Pの表面Paおよび裏面Pbに検査用プローブをそれぞれ接触させて所定の電気的検査を実行することにより、回路基板Pの良否を判別する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この回路基板検査装置51における基板保持機構52には、以下の改善すべき点がある。すなわち、基板保持機構52では、回路基板Pの下端部および上端部を基板挟持部63a,63bによって挟持させた状態で、基板挟持部63bを上動させることにより、回路基板Pの反りを矯正している。しかし、この際に、回路基板Pの上下端部にストレスが集中する結果、その上下端部が破損するおそれがある。また、基板挟持部63a,63bによって挟持可能な回路基板Pの上下端部面積が導体パターンによって制限されるため、基板挟持部63a,63bの挟持力を強力にするのは技術的に困難となる結果、比較的小面積で厚手の回路基板Pの反りを矯正するのが困難となる。このため、これらの点を改善すべきとの要請がある。
【0007】
本発明は、かかる改善すべき点に鑑みてなされたものであり、回路基板に対するストレスの軽減を図りつつ、その反りを矯正可能な基板保持機構、およびその基板保持機構を備えた回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載の基板保持機構は、ほぼ直立状態の回路基板における下端部および上端部をそれぞれ挟持する下端部挟持手段および上端部挟持手段と、当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段のうちの一方を上下動させる第1上下動機構とを備え、当該第1上下動機構を駆動して当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段を互いに離間させることにより前記回路基板を上下方向に伸張させた状態で検査位置に保持する回路基板検査装置用の基板保持機構であって、前記回路基板の左端部および右端部をそれぞれ挟持する左端部挟持手段および右端部挟持手段と、前記下端部挟持手段および前記上端部挟持手段のうちの前記一方の上下動に伴って当該一方と同方向にその移動量の二分の一だけ当該左端部挟持手段および当該右端部挟持手段を前記回路基板を介さずに直接移動させることにより当該左端部挟持手段および当該右端部挟持手段を当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段間の中央位置に配置させる第2上下動機構とを備えていることを特徴とする。
【0011】
請求項2記載の基板保持機構は、請求項1記載の基板保持機構において、左端部挟持手段および右端部挟持手段の少なくとも一方を左右動移動させる左右動機構を備え、左右動機構を駆動して左端部挟持手段および右端部挟持手段を互いに離間させることにより回路基板を左右方向に伸張させた状態で検査位置に保持することを特徴とする。
【0012】
請求項3記載の基板保持機構は、請求項1または2記載の基板保持機構において、左端部挟持手段および右端部挟持手段は、回路基板の一面に当接可能なベース部と、待避位置から挟持位置の間で移動可能に構成され挟持位置で回路基板の他面に当接させられてベース部と相俟って回路基板を挟持する挟持板と、挟持板を両位置の間で移動させる挟持用移動手段とをそれぞれ備えていることを特徴とする。
【0013】
請求項4記載の回路基板検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載の基板保持機構を備え、基板保持機構によって検査位置に保持される回路基板に対して所定の電気的検査を実行可能に構成されていることを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る基板保持機構を備えた回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。なお、出願人が既に開発している回路基板検査装置51および基板保持機構52の構成要素と機能が共通する構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0015】
最初に、回路基板検査装置1の構成について、図1〜4を参照して説明する。
【0016】
回路基板検査装置1は、図1に示すように、直立状態の回路基板Pの反りを矯正しつつ所定の検査位置に保持する基板保持機構2と、プローブ移動機構3a,3bによって所定のプロービング位置に移動させられて回路基板Pの表面Paおよび裏面Pbに接触させられる検査用プローブ4a,4bと、基板保持機構2に対する駆動制御、プローブ移動機構3a,3bの移動制御、および回路基板Pの良否判別処理などを実行する制御部5とを備えている。
【0017】
基板保持機構2は、図2に示すように、フレームF(図3参照)に互いに並行となるように固定されたレール11a,11bと、矢印X1,X2の向き(左右方向の向き)でスライド可能にレール11a,11bに取り付けられたレール12a,12bと、本発明における下端部側挟持手段に相当する下側挟持部13aと、本発明における上端部側挟持手段に相当する上側挟持部13bと、本発明における左端部側挟持手段に相当する左側挟持部14aと、本発明における右端部側挟持手段に相当する右側挟持部14bと、移動機構15〜17と、エア供給用のエアポンプAP(図1参照)とを備えている。
【0018】
下側挟持部13aは、図3に示すように、レール12a,12bに固定されてレール11aの延設方向に沿って長尺に形成されたベース部21aと、ベース部21aに固定されたエアシリンダ22と、エアシリンダ22のロッドの先端部に固定されてロッドの伸縮に応じて矢印Z1,Z2の向き(回路基板Pの表面に対して垂直方向の向き)で移動させられる挟持板23とを備えている。一方、上側挟持部13bは、同図に示すように、矢印Y1,Y2の向き(上下方向の向き)でスライド可能にレール12a,12bに固定されてレール11bの延設方向に沿って長尺に形成されたベース部21bと、ベース部21bに固定されたエアシリンダ22と、エアシリンダ22のロッドの先端部に固定されてロッドの伸縮に応じて回路基板Pの表面に対して垂直方向の向きで移動させられる挟持板23とを備えている。
【0019】
左側挟持部14aおよび右側挟持部14bは、図2に示すように、それぞれレール12a,12bに取り付けられて下側挟持部13aおよび上側挟持部13bの中間部位に配置される。また、両挟持部14a,14bは、図4に示すように(同図では左側挟持部14aのみを示している)、レール12a,12bに上下方向にスライド可能に取り付けられて回路基板Pの裏面Pbに面的接触するベース部25と、矢印X1,X2の向き(左右方向の向き)でスライド可能にベース部25に取り付けられたスライダ26と、本発明における挟持用移動手段に相当しスライダ26を左右方向に移動させるエアシリンダ27と、矢印Z1,Z2の向きで移動可能にエアシリンダ29のロッドの先端に取り付けられた挟持板28と、挟持板28を移動させるエアシリンダ29とをそれぞれ備えている。この場合、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bのベース部25,25、下側挟持部13aのベース部21a、および上側挟持部13bのベース部21bは、その表面が面一となるように配置され、ベース部25,25,21a,21bの各々の表面が回路基板Pの裏面Pbに面的に接触する。
【0020】
移動機構15は、本発明における左右動機構に相当し、図2に示すように、モータM1と、モータM1の回転軸に軸着されたプーリ31aと、タイミングベルト32a,32bでプーリ31aにそれぞれ連結されたプーリ31b,31cと、タイミングベルト32cでプーリ31cに連結されたプーリ31dとを備えている。この場合、タイミングベルト32a,32cには、金具33,33によってレール12a,12bが固定されている。したがって、モータM1の回転時には、タイミングベルト32a,32cが回動することにより、レール12a,12bが左右方向の向きで、かつ互いに逆方向にレール11a,11b上をスライドする。これにより、レール12a,12bに取り付けられた左側挟持部14aおよび右側挟持部14が、互いに接近または離間させられることにより、回路基板Pの基板幅に応じた所定位置に移動する。
【0021】
移動機構16は、本発明における第1上下動機構に相当し、モータM2、プーリ35a〜35f、タイミングベルト36a〜36cおよびスプラインシャフト37a,37bを備えている。この場合、タイミングベルト36b,36cには、金具38,38で上側挟持部13bのベース部21bが固定されている。したがって、モータM2の回転時には、プーリ35aが回転し、これに伴い、プーリ35bが回転させられ、これにより、スプラインシャフト37aと共にプーリ35c,35eが回転させられて、上側挟持部13bがレール12a,12bに沿って上下方向に移動する。この結果、上側挟持部13bが下側挟持部13aに対して接近または離間させられる。
【0022】
移動機構17は、本発明における第2上下動機構に相当し、スプラインシャフト37aに軸着されたプーリ35g,35iと、タイミングベルト36d,36eでプーリ35g,35iにそれぞれ連結されると共にスプラインシャフト37bに軸着されたプーリ35h,35jとを備えている。この場合、プーリ35g〜35jは、その直径が移動機構16のプーリ35c〜35fの直径に対して1/2に形成されている。さらに、タイミングベルト36d,36eには、金具39,39で左側挟持部14aおよび右側挟持部14bのベース部25,25が固定されている。したがって、モータM2の回転時には、プーリ35aが回転し、これに伴い、プーリ35g,35iが回転させられ、これにより、タイミングベルト36d,36eが移動機構16のタイミングベルト36b,36cに対して1/2の速度で回動させられ、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bがレール12a,12bに沿って上下方向に移動する。なお、両挟持部14a,14bの上方での待機位置は、上側挟持部13bが上方の待機位置で待機している際の両挟持部13a,13b間のほぼ中央に規定されている。
【0023】
次に、回路基板検査装置1による回路基板Pの検査について、各図を参照して説明する。
【0024】
まず、制御部5は、モータM1を駆動してレール12a,12bを互いに離間させることにより、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bを検査対象の回路基板Pの基板幅に応じた待機位置に移動させる。同時に、制御部5は、エアポンプAPを駆動制御することにより、図5(a)に示すように、左側挟持部14aのエアシリンダ27のロッドを引き込んでスライダ26を左方向にスライドさせることにより挟持板28を待避位置に移動させ、同時に、右側挟持部14bのエアシリンダ27のロッドを引き込んでスライダ26を右方向にスライドさせることにより挟持板28を待避位置に移動させる。次に、図6に示すように、下側挟持部13aのベース部21aおよび挟持板23の間に回路基板Pを直立状態で装着する。この際には、左側挟持部14a,14bの各挟持板28が待避位置に待避しているため、回路基板Pを容易に装着することができる。次いで、制御部5は、モータM2を駆動することにより、左側挟持部14a、右側挟持部14bおよび上側挟持部13bを矢印Y2の向き(下向き)で移動させて回路基板Pの基板長に応じた挟持位置に移動させる。
【0025】
この際には、移動機構17のタイミングベルト36d,36eが、移動機構16のタイミングベルト36b,36eの回転速度に対して1/2の速度で回転させられるため、上側挟持部13bの下動移動量に対して左側挟持部14aおよび右側挟持部14bの下動移動量が1/2となる。したがって、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bは、常に下側挟持部13aおよび上側挟持部13b間のほぼ中央位置に配置される。挟持部13b,14a,14bが挟持位置にそれぞれ配置された際には、図7に示すように、下側挟持部13a、上側挟持部13b、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bが、回路基板Pにおける下端部、上端部、左端部および右端部を挟持可能な状態となる。
【0026】
次いで、制御部5は、エアポンプAPを駆動制御することにより、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bのエアシリンダ27,27を伸張させてスライダ26,26を回路基板P側に移動させることにより、図5(b)に示すように、挟持板28,28が、回路基板Pの左端部および右端部をそれぞれ挟持可能な挟持位置に移動する。
【0027】
次に、制御部5は、エアポンプAPを駆動制御することにより、下側挟持部13aおよび上側挟持部13bのエアシリンダ22,22のロッドと、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bのエアシリンダ29,29のロッドとを引き込ませる。これにより、図8に示すように、回路基板Pの上下端部および左右端部が、両挟持部13b,13aおよび両挟持部14a,14bによってそれぞれ挟持される。この際には、回路基板Pにおける上下方向の中央部が両挟持部14a,14bによって挟持されるため、回路基板Pにストレスを与えることなく、基板面に対して上下方向に対する反りを最も効率的に矯正することができる。
【0028】
続いて、制御部5は、モータM2を回転して移動機構16,17を駆動することにより、上側挟持部13b、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bを、それぞれ上方、左側および右側に僅かに移動させる。この際には、上側挟持部13bが、回路基板Pを上方に引き伸ばすことにより、回路基板Pの上下方向に対する反りをさらに矯正し、かつ、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bが、回路基板Pを左右方向に引き伸ばすことにより、回路基板Pの上下方向および左右方向に対する反りをさらに矯正する。これにより、回路基板Pは、その反りが確実に矯正されて平坦状態で検査位置に保持される。この後、制御部5が、プローブ移動機構3a,3bを駆動制御して回路基板Pの表面Paおよび裏面Pbに検査用プローブ4a,4bをそれぞれ接触させた後、検査用信号を入出力して所定の電気的検査を実行する。これにより、回路基板Pの良否が判別される。この場合、回路基板Pの表面Paおよび裏面Pbに検査用プローブ4a,4bを確実に接触させることができる結果、その回路基板Pに対する電気的検査を高精度で行うことができると共に、回路基板Pに当接する際の検査用プローブ4a,4bの破損を防止することができる。
【0029】
このように、この回路基板検査装置1では、下側挟持部13a、上側挟持部13b、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bによって回路基板Pの下端部、上端部、左端部および右端部を挟持した状態で上下方向および左右方向の四方向に向けて引き伸ばすことにより、回路基板Pに与えるストレスを分散しつつ、より確実に矯正することができる。このため、回路基板Pの下端部および上端部を挟持して上下方向に引き伸ばしている回路基板検査装置51と比較して、回路基板Pに与えるストレスを低減することができ、しかも、その反り量を確実に低減することができる。また、この基板保持機構2では、挟持板23を左右方向に対して長目に形成したことにより、下側挟持部13aおよび上側挟持部13bで回路基板Pを挟持するだけで、回路基板検査装置51と比較して、回路基板Pに与えるストレスを低減しつつ、その反り量を低減することができる。
【0030】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、上側挟持部13b、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bが回路基板Pを引き伸ばす例について説明したが、これに限らず、すべての挟持部13a,13b,14a,14bが回路基板Pを挟持するのみで引き伸ばさない構成を採用することもできる。また、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bのいずれか一方または双方のみが引き伸ばす構成、下側挟持部13aおよび上側挟持部13bのいずれか一方または双方のみが引き伸ばす構成、および、すべての挟持部13a,13b,14a,14bが引き伸ばす構成を採用することもできる。また、本発明の実施の形態では、エアシリンダやモータ駆動によって回路基板Pの挟持および反りの矯正を行う構成例について説明したが、本発明における基板保持機構の構成はこれに限定されず、油圧機構などを初めとして各種の構成を採用することができる。
【0031】
【発明の効果】
以上のように、請求項1記載の基板保持機構によれば、第1上下動機構によって下端部挟持手段および上端部挟持手段のうちの一方を上下動させたときに、第2上下動機構が左端部挟持手段および右端部挟持手段を下端部挟持手段および上端部挟持手段のうちの一方の上下動に伴ってこの一方と同方向にその移動量の二分の一だけ回路基板を介さずに直接移動させることにより、左端部挟持手段および右端部挟持手段を下端部挟持手段および上端部挟持手段間の中央位置に常に配置させた状態で移動させることができる。このため、回路基板を下端部挟持手段および上端部挟持手段の一方と、左端部挟持手段および右端部挟持手段とで引き伸ばすことができ、これにより、下端部挟持手段および上端部挟持手段の一方だけで引き伸ばす構成と比較して、各挟持手段の挟持力を格別に強力にすることなく、回路基板に対するストレスを低減しつつ、基板面に対して上下方向に対する反りを最も効率的に矯正することができる。
【0034】
また、請求項2記載の基板保持機構によれば、左右動機構が左端部挟持手段および右端部挟持手段を互いに離間させて回路基板を左右方向に伸張させることにより、さらに確実に回路基板の反りを矯正することができる。
【0035】
また、請求項3記載の基板保持機構によれば、挟持用移動手段が挟持板を待避位置と挟持位置との間で移動させることにより、回路基板を基板保持機構に容易に装着することができる。
【0036】
加えて、請求項4記載の回路基板検査装置によれば、回路基板における上下左右の各端部を基板保持機構における各挟持手段によって挟持した状態で所定の電気的検査を実行することにより、例えば、検査用プローブや検査用電極を用いた回路基板検査装置では、回路基板の表面および裏面に検査用プローブや検査用電極を確実に接触させることができる結果、その回路基板に対する電気的検査を高精度で行うことができると共に、検査用プローブや検査用電極などの破損を防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置1の構成を示す構成概念図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る基板保持機構2の正面図である。
【図3】図2におけるA−A線断面図である。
【図4】左側挟持部14aの構成を示す側面断面図である。
【図5】(a)は挟持板28が待避位置に移動させられた状態の左側挟持部14aの側面断面図、(b)は挟持板28が挟持位置に移動させられた状態の左側挟持部14aの側面断面図である。
【図6】下側挟持部13aにおけるベース部21aおよび挟持板23間に回路基板Pの下端部が挿入された状態の側面断面図である。
【図7】上側挟持部13b、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bを挟持位置に移動させた状態の側面断面図である。
【図8】下側挟持部13a、上側挟持部13b、左側挟持部14aおよび右側挟持部14bが回路基板Pの上下左右の各端部を挟持した状態の側面断面図である。
【図9】出願人が既に開発している回路基板検査装置51における基板保持機構52の正面図である。
【図10】図9におけるB−B線断面図である。
【図11】基板挟持部63bを挟持位置に移動させた状態の側面断面図である。
【図12】基板挟持部63a,63bが回路基板Pの下端部および上端部を挟持した状態の側面断面図である。
【符号の説明】
1 回路基板検査装置
2 基板保持機構
13a 下側挟持部
13b 上側挟持部
14a 左側挟持部
14b 右側挟持部
15 移動機構
16 移動機構
17 移動機構
25 ベース部
26 スライダ
27 エアシリンダ
28 挟持板
29 エアシリンダ
P 回路基板
Claims (4)
- ほぼ直立状態の回路基板における下端部および上端部をそれぞれ挟持する下端部挟持手段および上端部挟持手段と、当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段のうちの一方を上下動させる第1上下動機構とを備え、当該第1上下動機構を駆動して当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段を互いに離間させることにより前記回路基板を上下方向に伸張させた状態で検査位置に保持する回路基板検査装置用の基板保持機構であって、
前記回路基板の左端部および右端部をそれぞれ挟持する左端部挟持手段および右端部挟持手段と、前記下端部挟持手段および前記上端部挟持手段のうちの前記一方の上下動に伴って当該一方と同方向にその移動量の二分の一だけ当該左端部挟持手段および当該右端部挟持手段を前記回路基板を介さずに直接移動させることにより当該左端部挟持手段および当該右端部挟持手段を当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段間の中央位置に配置させる第2上下動機構とを備えていることを特徴とする基板保持機構。 - 前記左端部挟持手段および前記右端部挟持手段の少なくとも一方を左右動移動させる左右動機構を備え、当該左右動機構を駆動して前記左端部挟持手段および前記右端部挟持手段を互いに離間させることにより前記回路基板を左右方向に伸張させた状態で前記検査位置に保持することを特徴とする請求項1記載の基板保持機構。
- 前記左端部挟持手段および前記右端部挟持手段は、前記回路基板の一面に当接可能なベース部と、待避位置から挟持位置の間で移動可能に構成され当該挟持位置で前記回路基板の他面に当接させられて前記ベース部と相俟って当該回路基板を挟持する挟持板と、当該挟持板を前記両位置の間で移動させる挟持用移動手段とをそれぞれ備えていることを特徴とする請求項1または2記載の基板保持機構。
- 請求項1から3のいずれかに記載の基板保持機構を備え、当該基板保持機構によって前記検査位置に保持される前記回路基板に対して所定の電気的検査を実行可能に構成されていることを特徴とする回路基板検査装置。
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