JP4312315B2

JP4312315B2 - 基板保持機構および回路基板検査装置

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Publication number: JP4312315B2
Application number: JP31225199A
Authority: JP
Inventors: 秀一清水
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 1999-11-02
Filing date: 1999-11-02
Publication date: 2009-08-12
Anticipated expiration: 2019-11-02
Also published as: JP2001133520A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象の回路基板を直立させた状態で検査位置に保持する基板保持機構、および、その基板保持機構を備え所定の電気的検査を実行可能に構成された回路基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の基板保持機構を備えた回路基板検査装置として、出願人は、図９に示す回路基板検査装置５１を既に開発している。この回路基板検査装置５１は、検査対象の回路基板Ｐ（図１０参照）を直立させた状態で検査位置に保持する基板保持機構５２と、基板保持機構５２によって保持された回路基板Ｐに対して所定の電気的検査を実行する図外の基板検査部とを備えて構成されている。この場合、基板検査部は、回路基板Ｐの表面Ｐａおよび裏面Ｐｂに接触可能に配設された１対の検査用プローブと、回路基板Ｐの表面Ｐａまたは裏面Ｐｂに沿って両検査用プローブを移動させるプローブ移動機構と、検査用プローブの移動制御、検査用信号の入出力、および回路基板Ｐの良否判別などを実行する制御部（いずれも図示せず）とを備えている。
【０００３】
一方、基板保持機構５２は、鉛直方向に立設されたフレームＦ（図１０参照）に互いに平行となるように立設状態で固定されたレール６１ａ，６１ｂと、回路基板Ｐの下端部を挟持可能に構成されレール６１ａ，６１ｂに固定された基板挟持部６３ａと、基板挟持部６３ａに対向配置されて回路基板Ｐの上端部を挟持可能に構成され、上下方向（矢印Ｙ１，Ｙ２方向）に移動可能にレール６１ａ，６１ｂに取り付けられた基板挟持部６３ｂと、基板挟持部６３ｂを上下方向に移動させる移動機構６６とを備えている。また、図１０に示すように、基板挟持部６３ａは、レール６１ａ，６１ｂ（同図はレール６１ｂのみを図示している）に固定されたベース部７１ａを備えると共に、ベース部７１ａにスライド可能に取り付けられたスライダ７２ａと、スライダ７２ａに固定されたエアシリンダ７２ｂと、エアシリンダ７２ｂのロッドの先端部に固定されてロッドの伸縮に応じて矢印Ｚ１，Ｚ２の向き（回路基板Ｐの表面に対して垂直方向の向き）で移動させられる挟持板７３とをそれぞれ２組備えている。一方、基板挟持部６３ｂは、レール６１ａ，６１ｂに固定されたベース部７１ｂを備えるほか、基板挟持部６３ａの構成要素と同一の構成要素を備えている。
【０００４】
移動機構６６は、図９に示すように、モータＭ２と、モータＭ２の回転軸に軸着されたプーリ３５ａと、互いに並行となるように配設されたスプラインシャフト３７ａ，３７ｂと、タイミングベルト３６ａでプーリ３５ａに連結されると共にスプラインシャフト３７ａに軸着されたプーリ３５ｂと、スプラインシャフト３７ａに軸着されたプーリ３５ｃ，３５ｅと、スプラインシャフト３７ｂに軸着されると共にタイミングベルト３６ｂ，３６ｃでプーリ３５ｃ，３５ｅにそれぞれ連結されたプーリ３５ｄ，３５ｆとを備えて構成されている。この場合、基板挟持部６３ｂのベース部７１ｂは、金具３８，３８でタイミングベルト３６ｂ，３６ｃに固定されている。したがって、モータＭ２の回転時には、プーリ３５ａが回転し、これに伴い、プーリ３５ｂが回転させられて、スプラインシャフト３７ａと共にプーリ３５ｃ，３５ｅが回転させられる。この結果、タイミングベルト３６ｂ，３６ｃが回動させられるため、ベース部７１ｂがレール６１ａ，６１ｂに沿って上下方向に移動する。
【０００５】
次いで、回路基板Ｐに対する検査時には、まず、モータＭ２を駆動して基板挟持部６３ｂを上動させると共に、両基板挟持部６３ａ，６３ｂの各エアシリンダ７２ｂのロッドを伸張させることにより、各挟持板７３とベース部７１ａ（または７１ｂ）とを離間させる。次に、図１０に示すように、回路基板Ｐの下端部を基板挟持部６３ａにおけるベース部７１ａおよび挟持板７３の間に挿入した後に、基板挟持部６３ｂを下動させることにより、図１１に示すように、基板挟持部６３ｂにおけるベース部７１ｂおよび挟持板７３間に回路基板Ｐの上端部を挿入する。次いで、各エアシリンダ７２ｂの各ロッドを引き込むことにより、各挟持板７３を矢印Ｚ２の向き（基板面側の向き）で移動させ、ベース部７１ａ，７１ｂと挟持板７３，７３・・とで回路基板Ｐの下端部および上端部を挟持する。この状態で、モータＭ２を駆動して基板挟持部６３ｂを上動させると、図１２に示すように、矢印Ｙ１，Ｙ２の向き（上下方向の向き）で回路基板Ｐが引き伸ばされ、これにより、反りが矯正されて回路基板Ｐがほぼ平坦状態となる。この後、回路基板Ｐの表面Ｐａおよび裏面Ｐｂに検査用プローブをそれぞれ接触させて所定の電気的検査を実行することにより、回路基板Ｐの良否を判別する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この回路基板検査装置５１における基板保持機構５２には、以下の改善すべき点がある。すなわち、基板保持機構５２では、回路基板Ｐの下端部および上端部を基板挟持部６３ａ，６３ｂによって挟持させた状態で、基板挟持部６３ｂを上動させることにより、回路基板Ｐの反りを矯正している。しかし、この際に、回路基板Ｐの上下端部にストレスが集中する結果、その上下端部が破損するおそれがある。また、基板挟持部６３ａ，６３ｂによって挟持可能な回路基板Ｐの上下端部面積が導体パターンによって制限されるため、基板挟持部６３ａ，６３ｂの挟持力を強力にするのは技術的に困難となる結果、比較的小面積で厚手の回路基板Ｐの反りを矯正するのが困難となる。このため、これらの点を改善すべきとの要請がある。
【０００７】
本発明は、かかる改善すべき点に鑑みてなされたものであり、回路基板に対するストレスの軽減を図りつつ、その反りを矯正可能な基板保持機構、およびその基板保持機構を備えた回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板保持機構は、ほぼ直立状態の回路基板における下端部および上端部をそれぞれ挟持する下端部挟持手段および上端部挟持手段と、当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段のうちの一方を上下動させる第１上下動機構とを備え、当該第１上下動機構を駆動して当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段を互いに離間させることにより前記回路基板を上下方向に伸張させた状態で検査位置に保持する回路基板検査装置用の基板保持機構であって、前記回路基板の左端部および右端部をそれぞれ挟持する左端部挟持手段および右端部挟持手段と、前記下端部挟持手段および前記上端部挟持手段のうちの前記一方の上下動に伴って当該一方と同方向にその移動量の二分の一だけ当該左端部挟持手段および当該右端部挟持手段を前記回路基板を介さずに直接移動させることにより当該左端部挟持手段および当該右端部挟持手段を当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段間の中央位置に配置させる第２上下動機構とを備えていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の基板保持機構は、請求項１記載の基板保持機構において、左端部挟持手段および右端部挟持手段の少なくとも一方を左右動移動させる左右動機構を備え、左右動機構を駆動して左端部挟持手段および右端部挟持手段を互いに離間させることにより回路基板を左右方向に伸張させた状態で検査位置に保持することを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の基板保持機構は、請求項１または２記載の基板保持機構において、左端部挟持手段および右端部挟持手段は、回路基板の一面に当接可能なベース部と、待避位置から挟持位置の間で移動可能に構成され挟持位置で回路基板の他面に当接させられてベース部と相俟って回路基板を挟持する挟持板と、挟持板を両位置の間で移動させる挟持用移動手段とをそれぞれ備えていることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の回路基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板保持機構を備え、基板保持機構によって検査位置に保持される回路基板に対して所定の電気的検査を実行可能に構成されていることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る基板保持機構を備えた回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。なお、出願人が既に開発している回路基板検査装置５１および基板保持機構５２の構成要素と機能が共通する構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１５】
最初に、回路基板検査装置１の構成について、図１〜４を参照して説明する。
【００１６】
回路基板検査装置１は、図１に示すように、直立状態の回路基板Ｐの反りを矯正しつつ所定の検査位置に保持する基板保持機構２と、プローブ移動機構３ａ，３ｂによって所定のプロービング位置に移動させられて回路基板Ｐの表面Ｐａおよび裏面Ｐｂに接触させられる検査用プローブ４ａ，４ｂと、基板保持機構２に対する駆動制御、プローブ移動機構３ａ，３ｂの移動制御、および回路基板Ｐの良否判別処理などを実行する制御部５とを備えている。
【００１７】
基板保持機構２は、図２に示すように、フレームＦ（図３参照）に互いに並行となるように固定されたレール１１ａ，１１ｂと、矢印Ｘ１，Ｘ２の向き（左右方向の向き）でスライド可能にレール１１ａ，１１ｂに取り付けられたレール１２ａ，１２ｂと、本発明における下端部側挟持手段に相当する下側挟持部１３ａと、本発明における上端部側挟持手段に相当する上側挟持部１３ｂと、本発明における左端部側挟持手段に相当する左側挟持部１４ａと、本発明における右端部側挟持手段に相当する右側挟持部１４ｂと、移動機構１５〜１７と、エア供給用のエアポンプＡＰ（図１参照）とを備えている。
【００１８】
下側挟持部１３ａは、図３に示すように、レール１２ａ，１２ｂに固定されてレール１１ａの延設方向に沿って長尺に形成されたベース部２１ａと、ベース部２１ａに固定されたエアシリンダ２２と、エアシリンダ２２のロッドの先端部に固定されてロッドの伸縮に応じて矢印Ｚ１，Ｚ２の向き（回路基板Ｐの表面に対して垂直方向の向き）で移動させられる挟持板２３とを備えている。一方、上側挟持部１３ｂは、同図に示すように、矢印Ｙ１，Ｙ２の向き（上下方向の向き）でスライド可能にレール１２ａ，１２ｂに固定されてレール１１ｂの延設方向に沿って長尺に形成されたベース部２１ｂと、ベース部２１ｂに固定されたエアシリンダ２２と、エアシリンダ２２のロッドの先端部に固定されてロッドの伸縮に応じて回路基板Ｐの表面に対して垂直方向の向きで移動させられる挟持板２３とを備えている。
【００１９】
左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂは、図２に示すように、それぞれレール１２ａ，１２ｂに取り付けられて下側挟持部１３ａおよび上側挟持部１３ｂの中間部位に配置される。また、両挟持部１４ａ，１４ｂは、図４に示すように（同図では左側挟持部１４ａのみを示している）、レール１２ａ，１２ｂに上下方向にスライド可能に取り付けられて回路基板Ｐの裏面Ｐｂに面的接触するベース部２５と、矢印Ｘ１，Ｘ２の向き（左右方向の向き）でスライド可能にベース部２５に取り付けられたスライダ２６と、本発明における挟持用移動手段に相当しスライダ２６を左右方向に移動させるエアシリンダ２７と、矢印Ｚ１，Ｚ２の向きで移動可能にエアシリンダ２９のロッドの先端に取り付けられた挟持板２８と、挟持板２８を移動させるエアシリンダ２９とをそれぞれ備えている。この場合、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂのベース部２５，２５、下側挟持部１３ａのベース部２１ａ、および上側挟持部１３ｂのベース部２１ｂは、その表面が面一となるように配置され、ベース部２５，２５，２１ａ，２１ｂの各々の表面が回路基板Ｐの裏面Ｐｂに面的に接触する。
【００２０】
移動機構１５は、本発明における左右動機構に相当し、図２に示すように、モータＭ１と、モータＭ１の回転軸に軸着されたプーリ３１ａと、タイミングベルト３２ａ，３２ｂでプーリ３１ａにそれぞれ連結されたプーリ３１ｂ，３１ｃと、タイミングベルト３２ｃでプーリ３１ｃに連結されたプーリ３１ｄとを備えている。この場合、タイミングベルト３２ａ，３２ｃには、金具３３，３３によってレール１２ａ，１２ｂが固定されている。したがって、モータＭ１の回転時には、タイミングベルト３２ａ，３２ｃが回動することにより、レール１２ａ，１２ｂが左右方向の向きで、かつ互いに逆方向にレール１１ａ，１１ｂ上をスライドする。これにより、レール１２ａ，１２ｂに取り付けられた左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４が、互いに接近または離間させられることにより、回路基板Ｐの基板幅に応じた所定位置に移動する。
【００２１】
移動機構１６は、本発明における第１上下動機構に相当し、モータＭ２、プーリ３５ａ〜３５ｆ、タイミングベルト３６ａ〜３６ｃおよびスプラインシャフト３７ａ，３７ｂを備えている。この場合、タイミングベルト３６ｂ，３６ｃには、金具３８，３８で上側挟持部１３ｂのベース部２１ｂが固定されている。したがって、モータＭ２の回転時には、プーリ３５ａが回転し、これに伴い、プーリ３５ｂが回転させられ、これにより、スプラインシャフト３７ａと共にプーリ３５ｃ，３５ｅが回転させられて、上側挟持部１３ｂがレール１２ａ，１２ｂに沿って上下方向に移動する。この結果、上側挟持部１３ｂが下側挟持部１３ａに対して接近または離間させられる。
【００２２】
移動機構１７は、本発明における第２上下動機構に相当し、スプラインシャフト３７ａに軸着されたプーリ３５ｇ，３５ｉと、タイミングベルト３６ｄ，３６ｅでプーリ３５ｇ，３５ｉにそれぞれ連結されると共にスプラインシャフト３７ｂに軸着されたプーリ３５ｈ，３５ｊとを備えている。この場合、プーリ３５ｇ〜３５ｊは、その直径が移動機構１６のプーリ３５ｃ〜３５ｆの直径に対して１／２に形成されている。さらに、タイミングベルト３６ｄ，３６ｅには、金具３９，３９で左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂのベース部２５，２５が固定されている。したがって、モータＭ２の回転時には、プーリ３５ａが回転し、これに伴い、プーリ３５ｇ，３５ｉが回転させられ、これにより、タイミングベルト３６ｄ，３６ｅが移動機構１６のタイミングベルト３６ｂ，３６ｃに対して１／２の速度で回動させられ、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂがレール１２ａ，１２ｂに沿って上下方向に移動する。なお、両挟持部１４ａ，１４ｂの上方での待機位置は、上側挟持部１３ｂが上方の待機位置で待機している際の両挟持部１３ａ，１３ｂ間のほぼ中央に規定されている。
【００２３】
次に、回路基板検査装置１による回路基板Ｐの検査について、各図を参照して説明する。
【００２４】
まず、制御部５は、モータＭ１を駆動してレール１２ａ，１２ｂを互いに離間させることにより、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂを検査対象の回路基板Ｐの基板幅に応じた待機位置に移動させる。同時に、制御部５は、エアポンプＡＰを駆動制御することにより、図５（ａ）に示すように、左側挟持部１４ａのエアシリンダ２７のロッドを引き込んでスライダ２６を左方向にスライドさせることにより挟持板２８を待避位置に移動させ、同時に、右側挟持部１４ｂのエアシリンダ２７のロッドを引き込んでスライダ２６を右方向にスライドさせることにより挟持板２８を待避位置に移動させる。次に、図６に示すように、下側挟持部１３ａのベース部２１ａおよび挟持板２３の間に回路基板Ｐを直立状態で装着する。この際には、左側挟持部１４ａ，１４ｂの各挟持板２８が待避位置に待避しているため、回路基板Ｐを容易に装着することができる。次いで、制御部５は、モータＭ２を駆動することにより、左側挟持部１４ａ、右側挟持部１４ｂおよび上側挟持部１３ｂを矢印Ｙ２の向き（下向き）で移動させて回路基板Ｐの基板長に応じた挟持位置に移動させる。
【００２５】
この際には、移動機構１７のタイミングベルト３６ｄ，３６ｅが、移動機構１６のタイミングベルト３６ｂ，３６ｅの回転速度に対して１／２の速度で回転させられるため、上側挟持部１３ｂの下動移動量に対して左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂの下動移動量が１／２となる。したがって、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂは、常に下側挟持部１３ａおよび上側挟持部１３ｂ間のほぼ中央位置に配置される。挟持部１３ｂ，１４ａ，１４ｂが挟持位置にそれぞれ配置された際には、図７に示すように、下側挟持部１３ａ、上側挟持部１３ｂ、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂが、回路基板Ｐにおける下端部、上端部、左端部および右端部を挟持可能な状態となる。
【００２６】
次いで、制御部５は、エアポンプＡＰを駆動制御することにより、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂのエアシリンダ２７，２７を伸張させてスライダ２６，２６を回路基板Ｐ側に移動させることにより、図５（ｂ）に示すように、挟持板２８，２８が、回路基板Ｐの左端部および右端部をそれぞれ挟持可能な挟持位置に移動する。
【００２７】
次に、制御部５は、エアポンプＡＰを駆動制御することにより、下側挟持部１３ａおよび上側挟持部１３ｂのエアシリンダ２２，２２のロッドと、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂのエアシリンダ２９，２９のロッドとを引き込ませる。これにより、図８に示すように、回路基板Ｐの上下端部および左右端部が、両挟持部１３ｂ，１３ａおよび両挟持部１４ａ，１４ｂによってそれぞれ挟持される。この際には、回路基板Ｐにおける上下方向の中央部が両挟持部１４ａ，１４ｂによって挟持されるため、回路基板Ｐにストレスを与えることなく、基板面に対して上下方向に対する反りを最も効率的に矯正することができる。
【００２８】
続いて、制御部５は、モータＭ２を回転して移動機構１６，１７を駆動することにより、上側挟持部１３ｂ、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂを、それぞれ上方、左側および右側に僅かに移動させる。この際には、上側挟持部１３ｂが、回路基板Ｐを上方に引き伸ばすことにより、回路基板Ｐの上下方向に対する反りをさらに矯正し、かつ、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂが、回路基板Ｐを左右方向に引き伸ばすことにより、回路基板Ｐの上下方向および左右方向に対する反りをさらに矯正する。これにより、回路基板Ｐは、その反りが確実に矯正されて平坦状態で検査位置に保持される。この後、制御部５が、プローブ移動機構３ａ，３ｂを駆動制御して回路基板Ｐの表面Ｐａおよび裏面Ｐｂに検査用プローブ４ａ，４ｂをそれぞれ接触させた後、検査用信号を入出力して所定の電気的検査を実行する。これにより、回路基板Ｐの良否が判別される。この場合、回路基板Ｐの表面Ｐａおよび裏面Ｐｂに検査用プローブ４ａ，４ｂを確実に接触させることができる結果、その回路基板Ｐに対する電気的検査を高精度で行うことができると共に、回路基板Ｐに当接する際の検査用プローブ４ａ，４ｂの破損を防止することができる。
【００２９】
このように、この回路基板検査装置１では、下側挟持部１３ａ、上側挟持部１３ｂ、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂによって回路基板Ｐの下端部、上端部、左端部および右端部を挟持した状態で上下方向および左右方向の四方向に向けて引き伸ばすことにより、回路基板Ｐに与えるストレスを分散しつつ、より確実に矯正することができる。このため、回路基板Ｐの下端部および上端部を挟持して上下方向に引き伸ばしている回路基板検査装置５１と比較して、回路基板Ｐに与えるストレスを低減することができ、しかも、その反り量を確実に低減することができる。また、この基板保持機構２では、挟持板２３を左右方向に対して長目に形成したことにより、下側挟持部１３ａおよび上側挟持部１３ｂで回路基板Ｐを挟持するだけで、回路基板検査装置５１と比較して、回路基板Ｐに与えるストレスを低減しつつ、その反り量を低減することができる。
【００３０】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、上側挟持部１３ｂ、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂが回路基板Ｐを引き伸ばす例について説明したが、これに限らず、すべての挟持部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂが回路基板Ｐを挟持するのみで引き伸ばさない構成を採用することもできる。また、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂのいずれか一方または双方のみが引き伸ばす構成、下側挟持部１３ａおよび上側挟持部１３ｂのいずれか一方または双方のみが引き伸ばす構成、および、すべての挟持部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂが引き伸ばす構成を採用することもできる。また、本発明の実施の形態では、エアシリンダやモータ駆動によって回路基板Ｐの挟持および反りの矯正を行う構成例について説明したが、本発明における基板保持機構の構成はこれに限定されず、油圧機構などを初めとして各種の構成を採用することができる。
【００３１】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載の基板保持機構によれば、第１上下動機構によって下端部挟持手段および上端部挟持手段のうちの一方を上下動させたときに、第２上下動機構が左端部挟持手段および右端部挟持手段を下端部挟持手段および上端部挟持手段のうちの一方の上下動に伴ってこの一方と同方向にその移動量の二分の一だけ回路基板を介さずに直接移動させることにより、左端部挟持手段および右端部挟持手段を下端部挟持手段および上端部挟持手段間の中央位置に常に配置させた状態で移動させることができる。このため、回路基板を下端部挟持手段および上端部挟持手段の一方と、左端部挟持手段および右端部挟持手段とで引き伸ばすことができ、これにより、下端部挟持手段および上端部挟持手段の一方だけで引き伸ばす構成と比較して、各挟持手段の挟持力を格別に強力にすることなく、回路基板に対するストレスを低減しつつ、基板面に対して上下方向に対する反りを最も効率的に矯正することができる。
【００３４】
また、請求項２記載の基板保持機構によれば、左右動機構が左端部挟持手段および右端部挟持手段を互いに離間させて回路基板を左右方向に伸張させることにより、さらに確実に回路基板の反りを矯正することができる。
【００３５】
また、請求項３記載の基板保持機構によれば、挟持用移動手段が挟持板を待避位置と挟持位置との間で移動させることにより、回路基板を基板保持機構に容易に装着することができる。
【００３６】
加えて、請求項４記載の回路基板検査装置によれば、回路基板における上下左右の各端部を基板保持機構における各挟持手段によって挟持した状態で所定の電気的検査を実行することにより、例えば、検査用プローブや検査用電極を用いた回路基板検査装置では、回路基板の表面および裏面に検査用プローブや検査用電極を確実に接触させることができる結果、その回路基板に対する電気的検査を高精度で行うことができると共に、検査用プローブや検査用電極などの破損を防止することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置１の構成を示す構成概念図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板保持機構２の正面図である。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】左側挟持部１４ａの構成を示す側面断面図である。
【図５】（ａ）は挟持板２８が待避位置に移動させられた状態の左側挟持部１４ａの側面断面図、（ｂ）は挟持板２８が挟持位置に移動させられた状態の左側挟持部１４ａの側面断面図である。
【図６】下側挟持部１３ａにおけるベース部２１ａおよび挟持板２３間に回路基板Ｐの下端部が挿入された状態の側面断面図である。
【図７】上側挟持部１３ｂ、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂを挟持位置に移動させた状態の側面断面図である。
【図８】下側挟持部１３ａ、上側挟持部１３ｂ、左側挟持部１４ａおよび右側挟持部１４ｂが回路基板Ｐの上下左右の各端部を挟持した状態の側面断面図である。
【図９】出願人が既に開発している回路基板検査装置５１における基板保持機構５２の正面図である。
【図１０】図９におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図１１】基板挟持部６３ｂを挟持位置に移動させた状態の側面断面図である。
【図１２】基板挟持部６３ａ，６３ｂが回路基板Ｐの下端部および上端部を挟持した状態の側面断面図である。
【符号の説明】
１回路基板検査装置
２基板保持機構
１３ａ下側挟持部
１３ｂ上側挟持部
１４ａ左側挟持部
１４ｂ右側挟持部
１５移動機構
１６移動機構
１７移動機構
２５ベース部
２６スライダ
２７エアシリンダ
２８挟持板
２９エアシリンダ
Ｐ回路基板

Claims

ほぼ直立状態の回路基板における下端部および上端部をそれぞれ挟持する下端部挟持手段および上端部挟持手段と、当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段のうちの一方を上下動させる第１上下動機構とを備え、当該第１上下動機構を駆動して当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段を互いに離間させることにより前記回路基板を上下方向に伸張させた状態で検査位置に保持する回路基板検査装置用の基板保持機構であって、
前記回路基板の左端部および右端部をそれぞれ挟持する左端部挟持手段および右端部挟持手段と、前記下端部挟持手段および前記上端部挟持手段のうちの前記一方の上下動に伴って当該一方と同方向にその移動量の二分の一だけ当該左端部挟持手段および当該右端部挟持手段を前記回路基板を介さずに直接移動させることにより当該左端部挟持手段および当該右端部挟持手段を当該下端部挟持手段および当該上端部挟持手段間の中央位置に配置させる第２上下動機構とを備えていることを特徴とする基板保持機構。
前記左端部挟持手段および前記右端部挟持手段の少なくとも一方を左右動移動させる左右動機構を備え、当該左右動機構を駆動して前記左端部挟持手段および前記右端部挟持手段を互いに離間させることにより前記回路基板を左右方向に伸張させた状態で前記検査位置に保持することを特徴とする請求項１記載の基板保持機構。
前記左端部挟持手段および前記右端部挟持手段は、前記回路基板の一面に当接可能なベース部と、待避位置から挟持位置の間で移動可能に構成され当該挟持位置で前記回路基板の他面に当接させられて前記ベース部と相俟って当該回路基板を挟持する挟持板と、当該挟持板を前記両位置の間で移動させる挟持用移動手段とをそれぞれ備えていることを特徴とする請求項１または２記載の基板保持機構。
請求項１から３のいずれかに記載の基板保持機構を備え、当該基板保持機構によって前記検査位置に保持される前記回路基板に対して所定の電気的検査を実行可能に構成されていることを特徴とする回路基板検査装置。