JP4288517B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
前記半導体素子と前記基板との間に圧力を加えて、前記配線パターンと前記電極とを電気的に導通させ、前記接着剤を、前記半導体素子の側面を覆うまで回り込ませる第2工程と、
前記接着剤の前記側面を覆った部分を硬化する第3工程と、
を含む。
本発明によれば、接着剤が、半導体素子の側面を覆うので、機械的な破壊から半導体素子を保護することに加え、電極に水分が到達することを防止してコロージョンを防止することができる。
(2)この半導体装置の製造方法において、
前記接着剤は、前記第2工程完了後における前記半導体素子と前記基板との間隔よりも大きな厚みで前記第1工程で設けられ、前記第2工程で前記半導体素子と前記基板との間で加圧されて前記半導体素子からはみ出してもよい。
(3)この半導体装置の製造方法において、
前記第2工程後、前記接着剤と前記半導体素子との接触領域以外の領域で前記基板を切断することをさらに含んでもよい。
(4)この半導体装置の製造方法において、
前記接着剤には導電粒子が分散されており、前記導電粒子により前記配線パターンと前記電極とを電気的に導通させてもよい。
これによれば、導電粒子によって配線パターンと電極とを電気的に導通させるので、信頼性及び生産性に優れた方法で半導体装置を製造することができる。
(5)この半導体装置の製造方法において、
前記第1工程前に、前記接着剤を予め前記半導体素子の前記電極が形成された前記面に設けておいてもよい。
(6)この半導体装置の製造方法において、
前記第1工程前に、前記接着剤を予め前記基板の前記配線パターンが形成された面に設けておいてもよい。
(7)この半導体装置の製造方法において、
前記接着剤は、遮光性材料を含有してもよい。
これによれば、接着剤が遮光性材料を含有するので、半導体素子の電極を有する面への迷光を遮断することができる。これにより、半導体素子の誤作動を防止することができる。
(8)本発明に係る半導体装置は、電極を有する半導体素子と、配線パターンが形成された基板と、接着剤と、
を有し、
前記電極と前記配線パターンとは電気的に導通し、
前記接着剤は、前記基板の前記配線パターンが形成された面と、前記半導体素子の前記電極が形成された面との間に介在し、かつ、前記半導体素子の側面を覆い、かつ、前記接着剤の前記側面を覆った部分が硬化している。
これによれば、接着剤は、半導体素子の側面を覆うので、機械的な破壊から半導体素子を保護する。また、半導体素子は、電極から遠い位置まで接着剤にて覆われるので、電極に水分が到達しにくくなり、電極のコロージョンを防止することができる。
(9)この半導体装置において、
前記接着剤には導電粒子が分散されて異方性導電材料を構成してもよい。
これによれば、異方性導電材料によって配線パターンと電極とが電気的に導通しているので、信頼性及び生産性に優れている。
(10)この半導体装置において、
前記異方性導電材料は、前記配線パターンの全てを覆って設けられてもよい。
(11)この半導体装置において、
前記接着剤は、遮光性材料を含有してもよい。
これによれば、接着剤が遮光性材料を含有するので、半導体素子の電極を有する面への迷光を遮断することができる。これにより、半導体素子の誤作動を防止することができる。
(12)本発明に係る半導体装置は、上記方法により製造されたものである。
(13)本発明に係る回路基板には、上記半導体装置が実装されている。
(14)本発明に係る電子機器は、上記回路基板を有する。
図1A〜図1Dは、第1の参考形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。本参考形態では、図1Aに示すように、配線パターン10が少なくとも一方の面18に形成された基板12が使用される。
図3A及び図3Bは、第2の参考形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。本参考形態は、第1の参考形態に引き続き行われる。
図4A及び図4Bは、第3の参考形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。本参考形態では、第1の参考形態の基板12が使用され、基板12には、保護層50が形成される。保護層50は、配線パターン10を覆って水分に触れないようにするもので、例えばソルダレジストが使用される。
図5A及び図5Bは、本実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示す図である。本実施の形態では、第1の参考形態の基板12が使用され、基板12の上に、異方性導電材料56(接着剤)が設けられる。本実施の形態では、第1の参考形態と比べて、異方性導電材料56の厚みにおいて異なっていてもよい。すなわち、図5Aに示すように、本実施の形態では、異方性導電材料56の厚みが、図1Aに示す異方性導電材料16の厚みよりも大きくなっている。具体的には、異方性導電材料56は、半導体素子20の電極22を有する面24と、基板12に形成された配線パターン10との間隔よりも厚くなっている。また、異方性導電材料56は、半導体素子20よりも少なくとも若干大きくなっている。なお、この厚みと大きさの条件は、少なくともいずれか一方が満たされていればよい。
12 基板
16 異方性導電材料
18 面
20 半導体素子
22 電極
24 面
28 側面
30 治具
36 ハンダボール
38 加熱治具
40 電子部品
Claims (8)
- 配線パターンが形成された基板と、電極が形成された半導体素子と、を用意する第1工程と、
前記第1工程後、前記基板上において前記半導体素子が搭載されるための半導体素子領域と、前記配線パターンのうち、前記半導体素子領域から外側に延びる配線パターンの一部を、導電粒子が分散されてなる異方性導電材料で覆い、前記基板の前記配線パターンが形成された面と、前記半導体素子の前記電極が形成された面との間に、前記異方性導電材料を介在させる第2工程と、
前記第2工程後、前記半導体素子を前記基板の前記半導体素子領域に搭載し、前記基板と前記半導体素子の間に圧力を加えて、前記配線パターンと前記電極とを電気的に導通させ、前記半導体素子領域における前記異方性導電材料を、前記半導体素子の側面を覆うまで回り込ませる第3工程と、
前記第3工程後、前記異方性導電材料と前記半導体素子との接触領域における、前記異方性導電材料を硬化する第4工程と、
前記第4工程後、前記配線パターンの一部を覆った部分における、前記異方性導電材料であって、かつ、前記半導体素子と接触していない前記異方性導電材料を硬化する第5工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記異方性導電材料は、前記第3工程完了後における前記半導体素子と前記基板との間隔よりも大きな厚みで前記第2工程で設けられ、前記第3工程で前記半導体素子と前記基板との間で加圧されて前記半導体素子からはみ出す半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第5工程後、前記異方性導電材料と前記半導体素子との前記接触領域以外の領域で前記基板を切断することをさらに含む半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3工程前に、前記異方性導電材料を予め前記基板の前記配線パターンが形成された面に設けておく半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記異方性導電材料は、遮光性材料を含有する半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第5工程の前記配線パターン領域の一部を覆った部分の前記異方性導電材料を硬化する方法は、加熱治具を、前記異方性導電材料と直接接触させて加熱して行う半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第5工程の前記配線パターン領域の一部を覆った部分の前記異方性導電材料を硬化する方法は、加熱治具、熱風または光ヒーターにより、前記異方性導電材料と非接触で加熱して行う半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、
前記第5工程の前記配線パターン領域の一部を覆った部分の前記異方性導電材料を硬化する方法は、前記配線パターンに形成されるハンダバンプをリフローする際、加えられる熱の熱伝導により、前記異方性導電材料を非接触で加熱して行う半導体装置の製造方法。
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