JP4282658B2 - 半導体装置 - Google Patents

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Description

本発明は、半導体装置に関し、特に一つの外部入力端子に接続される複数の入力回路を備える半導体装置に関する。
近年、高速応答の半導体装置では、入力されるデータ信号の時間間隔は狭くなり、一つの外部入力端子から1クロックで2個又は4個のデータを取り込むように複数の入力回路を備えるものも多い。このような半導体装置の例として、DDRSDRAM(Double Data Rate Synchronous DRAM)やQDR(Quad Data Rate)SRAMといった高速なデータ転送機能を持ったメモリがある。このような半導体装置の入力回路では、例えば3.2GHzの周波数で動作させる場合のデータ間隔は、312.5psとなり、入力回路をあるクロックエッジでデータセンスした時のキックバックの影響が、次のクロックエッジのデータセンスに悪影響を及ぼすこととなる。
ここで、入力回路におけるキックバックについて説明する。図7は、高速メモリ等で使われる代表的な入力回路の初段回路(以下、単に入力回路と呼ぶ)の構成例を示す回路図である。データ信号が入力されるパッドPADには、静電気放電保護素子(放電保護素子)であるトランジスタQ100(通称BVDSトランジスタと呼ばれる)が直接接続される。パッドPADは、抵抗素子R100を介し、放電保護素子であるトランジスタQ101に接続され、さらに入力回路100の初段のトランジスタQ102のゲートに接続される。ここでトランジスタQ100のサイズは、トランジスタQ101のサイズの50倍程と放電保護能力が高められており、トランジスタQ101のサイズは、入力回路100の内部で使われるトランジスタのサイズと同程度である。なお、トランジスタQ100の代わりに大きなバイポーラのダイオードを接続してもよい。このような入力保護回路の例は、例えば特許文献1等において開示されている。
図7において、トランジスタQ102とトランジスタQ103は、クロックCKがハイレベルとなると動作する差動アンプとして入力回路100の初段を構成する。そして、トランジスタQ102のゲートの電位がトランジスタQ103のゲートのリファレンス信号Vrefの電位より大きいか小さいかに応じて、負荷となるトランジスタQ109とトランジスタQ110から構成されるフリップフロップ、およびトランジスタQ111とトランジスタQ112から構成されるフリップフロップを介して互いに逆相の出力信号OUT1、OUT2が出力される。一方、クロックCKがローレベルの時には、トランジスタQ104がオフとなって、トランジスタQ102とトランジスタQ103は動作しない。また、トランジスタQ107とトランジスタQ108がオンとなって、出力信号OUT1、OUT2は、ハイレベルとなる。
すなわち、クロックCKがローレベルの時にトランジスタQ104がオフとなるため、入力回路のすべての内部接点は、概ねVDDにプリチャージされる。クロックCKがハイレベルとなると、差動増幅が始まり最終的には、負荷部であるフリップフロップで結果がラッチされる。その結果、差動増幅部のトランジスタのソース、ドレインは、すべてGNDレベルとなり、トランジスタQ102のゲートの対極は、GND電位となりゲート容量を充電するためにゲートの電位がわずかであるが下がる。逆にリセットされプリチャージ状態になると対極は、概ねVDDのレベルに充電され、ゲートの電荷が放出されゲートの電位を押し上げる。
以上のように入力回路100の入力初段がクロックCKによって制御されると、クロックCKのレベルが変化するごとにトランジスタQ102ゲートの電位が変動することになる。これをキックバックと呼んでいる。トランジスタQ102のゲートに他の回路が接続されている場合には、このキックバックが他の回路に影響を及ぼすこととなる。
一方、入力保護回路を有する半導体装置において、入力保護抵抗と初段のトランジスタのゲート容量による遅れを小さくし、応答速度の速い半導体装置が特許文献2において開示されている。この半導体装置は、一つの外部入力信号パスを複数に分割し、それぞれに入力保護回路を設けるように構成される。
また、特許文献3には、入力保護抵抗の抵抗値を小さくすることなく、MOS集積回路の入力回路を高速動作させる半導体集積回路が開示されている。この半導体集積回路では、入力端子とその内部の論理回路との間に、入力保護抵抗と入力回路から構成される入力部を、複数個並列に接続している。これにより、入力保護抵抗の抵抗値の最小値が決まっていても、入力回路の駆動力を大きくすることによって、入力回路の出力電位が変化する時間を短くすることができる。
特開平5−335493号公報 特開昭62−154665号公報 特開平7−326713号公報
ところで、高速にシリアルにデータを受け取って内部でデータをパラレルに処理するとき、入力回路を複数個設け、シリアルデータを順次入力回路に振り分けることで一つの入力回路のサイクルタイムを長くすることができ、安定動作が得られる。図8は、一つの外部入力端子に複数の入力回路を接続した半導体装置の構成を示すブロック図であり、1つの保護抵抗R100を4つの入力回路100a〜100dで共用している。入力回路100a〜100dとしては、図7で示したような入力回路が使用される。パッドPADから入力されるデータ信号は、小振幅信号であって、リファレンス信号との差をクロック信号CK100〜CK103の立ち上がりエッジをトリガとして増幅される。この際、図7の節点Aは、電源電圧に応じた振幅で動作するためゲートオーバーラップ容量を通じてトランジスタQ102のゲート側に影響を与える。これが他の入力回路のトランジスタQ102のゲートに加わり、他の入力回路の入力信号が変動してしまうこととなる。その影響は、入力のセットアップ、ホールドタイムに換算して例えばl0pS程度とさほど大きいものではない。しかしながら、昨今の高速応答のデバイスにおいては、セットアップ、ホールドタイムの規格値が100pS程度になって、先に述べたようなキックバックの影響が問題となり、半導体装置が必ずしも安定して動作しなくなる虞がある。
一方、特許文献2に記載の半導体装置は、応答速度の速い半導体装置を実現するために、一つの外部入力信号パスを複数に分割し、それぞれに入力保護回路を設けている。しかし、特許文献2の装置では、同じ構成の回路を順次動作させる際のキックバックの影響については、何ら考慮されていない。
また、特許文献3に記載の半導体集積回路も、n個の入力回路と、1個の入力端子と、各入力回路の入力端と1個の入力端子との間に接続され、各入力回路を保護するためのn個の入力保護抵抗とを備えている。しかし、特許文献2の装置と同様に、同じ構成の回路を順次動作させる際のキックバックの影響について、何ら考慮されていない。
上記課題を解決するために、本発明の一つのアスペクトに係る半導体装置は、外部入力端子と、外部入力端子に一端が接続される保護抵抗素子と、保護抵抗素子の他端にそれぞれの一端が接続される複数の抵抗素子と、複数の抵抗素子のそれぞれの他端にそれぞれ接続される複数の入力回路とを備える。また、入力回路は、供給されるクロック信号のレベル遷移に応じて外部入力端子に入力される信号を取り込む回路である
本発明の他のアスペクトに係る半導体装置は、外部入力端子と、外部入力端子に一端が接続される第1〜第N(Nは、2以上の自然数)の抵抗素子と、第1〜第N×M(Mは、以上の自然数)の入力回路とを備える。第K(Kは、1〜Nの自然数)、第K+N、・・・第K+N(M−1)の入力回路は、入力端を共通とし、第Kの抵抗素子の他端に接続され、供給されるクロック信号のレベル遷移に応じて外部入力端子に入力される信号を取り込む回路であって、クロック信号の周期をTとする場合、第L(Lは、1〜N×M−1の整数)の入力回路には、第N×Mの入力回路に供給されるクロック信号に対し、L×T/(N×M)の時間の位相ずれを持ったクロック信号が供給される。
また、本発明のさらに他のアスペクトに係る半導体装置は、外部入力端子と、外部入力端子に一端が接続される抵抗値r1の保護抵抗素子と、保護抵抗素子の他端にそれぞれの一端が接続される抵抗値r2の複数の抵抗素子と、複数の抵抗素子のそれぞれの他端にそれぞれ接続される複数の入力回路とを備える。入力回路は、供給されるクロック信号のレベル遷移に応じて外部入力端子に入力される信号を取り込む回路であって、それぞれの入力回路には、それぞれ位相の異なるクロック信号が供給され、抵抗素子の抵抗値r2をr2=0とした場合のキックバックにより生じる波形のピーク値に対して抵抗素子を挿入した際のピーク値をk倍以下とする場合に、r2≧(2/k−1)*r1を満たすようにr2が設定される。
本発明によれば、抵抗素子で各入力回路の入力端を分離するため、各入力回路で発生するキックバック信号の他の入力回路への影響を極めて少なくする。したがって、一つの外部入力端子に接続される複数の順次動作する入力回路を備える半導体装置が高速動作時に安定して動作する。
本発明の実施形態に係る半導体装置は、外部入力端子(図1のPAD)と、外部入力端子に接続されるN個(図1ではN=4)の抵抗素子(図1のR1、R2、R3、R4)と、外部入力端子に抵抗素子をそれぞれ介して接続されるN個の入力回路(図1の10、11、12、13)とを備える。入力回路は、供給されるクロック信号のレベル遷移に応じて活性化して入力信号を取り込む回路である。外部入力端子に印加される信号を順次入力するために、それぞれの入力回路には、それぞれ位相の異なるクロック信号(図1のCK10、CK11、CK12、CK13)が供給される。すなわち、クロック信号の周期をTとする場合、それぞれT/Nの時間の位相ずれを持ったクロック信号が供給される。
以上のように構成される半導体装置は、外部入力端子に供給されるシリアルデータを位相の異なるクロック信号で順次入力回路に振り分けて入力することで一つの入力回路のサイクルタイムを長くすることができる。この時、抵抗素子で各入力回路が分離されているため、各入力回路の初段回路で発生するキックバック信号の、他の入力回路の初段回路への影響を極めて小さくすることができる。したがって、一つの外部入力端子に接続される複数の入力回路が高速動作時に安定して動作する。以下、実施例に即し、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。図1において、半導体装置は、外部入力端子となるパッドPADと、抵抗素子R1、R2、R3、R4と、入力回路10、11、12、13とを備える。入力回路10、11、12、13は、例えば先の図7に示したような入力回路100で構成され、それぞれ抵抗素子R1、R2、R3、R4を介してパッドPADに接続される。また、入力回路10、11、12、13には、パッドPADに供給される入力データφを取り込むために、それぞれクロック信号CK10、CK11、CK12、CK13が供給される。入力回路10、11、12、13は、それぞれ供給されるクロック信号CK10、CK11、CK12、CK13のレベル遷移に応じて活性化され、パッドPADに印加される信号を増幅する。ここで、クロック信号CK10、CK11、CK12、CK13は、1/4周期ずつ位相のずれた信号であって、入力回路10、11、12、13は、それぞれ時間的にずれた入力データを取り込むこととなる。なお、抵抗素子R1、R2、R3、R4は、パッドPADに到来する静電気放電(ESD:electrostatic discharge)に対する保護の役割を果たし、入力回路10、11、12、13の入力段における静電気放電による損傷を防止している。また、図1では明示していないが、図7に示したような放電保護素子であるトランジスタQ100、Q101を接続するようにしてもよい。
次に、以上のように構成される半導体装置における入力データの取り込みタイミングについて説明する。図2は、本発明の第1の実施例に係る半導体装置におけるデータ入力のタイミングチャートである。パッドPADに印加される信号である入力データφは、クロック信号の1周期Tの間に4つのデータが切り替わるような構造であって、1つめのデータは、クロックCK10の立ち上がり(時刻T1)をトリガとして入力回路10が活性化され増幅される。同様に2つめのデータは、クロックCK11の立ち上がり(時刻T2)をトリガとして入力回路11が活性化され増幅される。また、3つめのデータは、クロックCK12の立ち上がり(時刻T3)をトリガとして入力回路12が活性化され増幅される。さらに、4つめのデータは、クロックCK13の立ち上がり(時刻T4)をトリガとして入力回路13が活性化され増幅される。
以上のような半導体装置において、入力回路10、11、12、13は、それぞれ抵抗素子R1、R2、R3、R4を介してパッドPADに接続されているので、各入力回路の入力端で生じるキックバックは、抵抗素子を介して他の入力回路の入力端に到達することとなる。例えば、入力回路10のキックバックは、抵抗素子R1、R2を介して入力回路11の入力端に到達する。この場合、キックバックによる信号成分は、抵抗素子で減衰されて他の入力回路に到達するので、入力回路における他からのキックバックによる影響は極めて小さくなる。これにより、入力回路で入力データφを取り込む際のキックバックによる影響が排除され、各入力回路は、安定的に入力データφを取り込むことができる。
図3は、本発明の第2の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。図3において、半導体装置は、外部入力端子となるパッドPADと、抵抗素子R10、R11、R12、R13、R14と、入力回路10、11、12、13とを備える。入力回路10、11、12、13は、それぞれ抵抗素子R11、R12、R13、R14を介して抵抗素子R10の一端に接続され、抵抗素子R10の他端は、パッドPADに接続される。なお、入力回路10、11、12、13は、実施例1と同様な回路であって同様に機能するので、その説明を省略する。
以上のような構成において、抵抗素子R10は、デバイスの静電破壊を防ぐための保護抵抗であり、抵抗素子R11、R12、R13、R14は、通常の抵抗素子である。図3の半導体装置では、半導体装置の設計基準においてレイアウト面積の大きい保護抵抗である抵抗素子R10は、共用とされ、通常の抵抗で各入力回路を分離するように構成される。すなわち、保護抵抗は抵抗素子R10のみであり、抵抗素子R11、R12、R13、R14は、通常の抵抗素子であって、これらは保護抵抗の設計基準を満たす必要はない。保護抵抗は、デバイスの静電破壊を防ぐために所定の設計基準を持ち、通常デバイス内部の他の抵抗素子と異なり幅を広くする必要があるためレイアウト的に面積を必要とする。実施例2の半導体装置では、保護抵抗自体を各入力回路で共用するようにし、通常基準の抵抗配線で各入力回路の入力端を分離するように構成するので、保護抵抗を4つ配置する実施例1に比べてレイアウト面積を小さくすることができる。
次に、抵抗素子R11、R12、R13、R14の抵抗値の選定方法について説明する。ここでは、入力回路10で発生するキックバックが最大の影響を与える入力回路11について考える。すなわち、入力回路10のクロックCK10の立ち上がりが、時間的に最も近くなる入力回路11のクロックCK11におけるデータ取り込みに最も影響を与える。したがって、図3の入力回路10、11、抵抗素子R10、R11、R12からなる構成部分のみを取り上げれば十分である。
図9は、図8に示す従来の半導体装置の入力段における等価回路である。図9において、接点A1、A2は、図7における節点Aに相当する。入力回路100a中の接点A1は、キックバックの発生源に相当する。キックバックの発生時点では、入力回路100bは非活性の状態にあり、入力回路100b中の接点A2が接地されているものと見なすことができる。C1は、図7の節点AとトランジスタQ102のゲート間のゲートオーバーラップ容量に相当するカップリング容量である。ノードPは、入力回路100a、100bにおけるデータ入力端子に相当する。r1は、抵抗素子R100の抵抗値である。C0は、保護素子、PAD容量、出力側のゲート容量などの容量値であって、C1に比べて10倍以上の値となる。また、通常、PADは、低抵抗でドライブされるため、入力側ノードのインピーダンスを0(接地)と見なすことができる。
図10は、図9における各部の波形を表す図である。波形aに示すような接点A1に与えられるキックバック信号は、カップリング容量C1、抵抗値r1を通って接地され、さらにノードPがカップリング容量C1を通って接地される。この時、ノードPには、接点A1に与えられたキックバック信号が減衰して、図10の波形bに示すような波形として現れる。この波形のピークの値をΔVaとする。ピークの位置が入力回路100bのクロックCK101におけるデータ取り込みタイミングに一致する場合、すなわちキックバックの立ち上がり時間TdkがクロックCK100、CK101間の時間差Tcycに一致する場合に、入力回路100bは、キックバックの影響を最も受けることとなる。
図11は、図3に示す半導体装置の入力段における等価回路である。図9に示す等価回路に対し、入力回路10のデータ入力端子であるノードP1および入力回路11のデータ入力端子であるノードP2と、抵抗値r1の一端のノードQとの間にそれぞれ抵抗素子R11、R12に相当する抵抗値r2が挿入される。このような等価回路において、ノードP1には、容量値がC1のみが接続されるため、キックバックの影響でピーク値は、2×ΔVa上がることになる。これに対し、ノードQのレベルは、抵抗分割されるので、r2がr1に対して十分大きければ、r1/(r1+r2)だけ小さくなる。
図12は、図11における各部の波形を表す図である。波形aに示すような接点A1に与えられるキックバック信号は、ノードP1において波形b1として現れ、さらに、ノードQにおいて波形cとして現れる。ノードP2のレベルをノードQのレベルと同等(実際にはノードP2のレベルは、ノードQのレベル以下と期待できる)とすると、キックバックによるピーク値は、次の式(1)のように表される。
キックバック量=2*ΔVa*r1/(r1+r2) −−−(1)
ここでノードP2におけるキックバック量を従来に対してk倍以下に抑えることを目安とすると、以下の式(2)を満たす必要がある。
2*ΔVa*r1/(r1+r2)≦k*ΔVa −−−(2)
式(2)を変形して、r2は、式(3)を満たす必要がある。
r2≧(2/k−1)*r1 −−−(3)
例えば、k=0.5、r1=200Ωの場合、r2を600Ω以上とすれば、キックバックの影響を半分以下とすることができる。
図4は、本発明の第3の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。図4において、半導体装置は、外部入力端子となるパッドPADと、抵抗素子R21、R22と、入力回路10、11、12、13とを備える。入力回路10、12は、入力端を共通とし、抵抗素子R21を介してパッドPADに接続される。また、入力回路11、13は、入力端を共通とし、抵抗素子R22を介してパッドPADに接続される。なお、入力回路10、11、12、13は、実施例1と同様な回路であって同様に機能し、その説明を省略する。
図4の半導体装置では、図1における抵抗素子R1、R3を共用して抵抗素子R21とし、抵抗素子R2、R4を共用して抵抗素子R22としている。したがって、図1の半導体装置に比べて抵抗素子の数を半減することができる。入力回路10のキックバックは、抵抗素子R21、R22を介して入力回路11、13の入力端に到達する。したがって、実施例1と同様にキックバックによる信号成分は、抵抗素子で減衰されて他の入力回路に到達するので、入力回路における他からのキックバックによる影響は極めて小さくなる。ただし、入力回路10のキックバックは、直接入力回路12の入力端に到達する。しかしながら、この場合は、データが直接接続される入力回路同士のクロック信号CK10、CK12のエッジの間隔(位相)は、クロック信号CK10、CK11のエッジの間隔に比べて2倍になるため、キックバックの影響は、極めて少なく問題となることはない。また、他の入力回路についても同様である。
図5は、本発明の第4の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。図5において、半導体装置は、外部入力端子となるパッドPADと、抵抗素子R31、R32、R33、R34と、入力回路10、11、12、13、14、15、16、17とを備える。図5の半導体装置は、図1の半導体装置の構成を拡張したものであって、1つの外部入力端子に対して8つの入力回路が接続される例である。入力回路10、11、12、13、14、15、16、17は、例えば先の図7に示したような入力回路100で構成され、それぞれ抵抗素子R31、R32、R33、R34を介してパッドPADに接続される。また、入力回路10、11、12、13、14、15、16、17には、パッドPADに供給される入力データφを取り込むために、それぞれクロック信号CK10、CK11、CK12、CK13、CK14、CK15、CK16、CK17が供給される。入力回路10、11、12、13、14、15、16、17は、それぞれ供給されるクロック信号CK10、CK11、CK12、CK13、CK14、CK15、CK16、CK17のレベル遷移に応じて活性化され、パッドPADに印加される信号を増幅する。ここで、クロック信号CK10、CK11、CK12、CK13、CK14、CK15、CK16、CK17は、1/8周期ずつ位相のずれた信号であって、入力回路10、11、12、13、14、15、16、17は、それぞれ時間的にずれた入力データを取り込むこととなる。
以上のような半導体装置は、抵抗素子を4つ持ち、入力回路を活性化するクロック間隔が最長となる入力回路10と14、11と15、12と16、13と17でそれぞれ抵抗素子R31、R32、R33、R34を共用したものである。このように構成することで1つの抵抗素子を8つの入力回路で共用する場合に対し、入力端を共通とする入力回路のクロックエッジの間隔を4倍にすることができるため、更なるデータの高速応答が必要になった場合にもキックバックの影響を抑えることができる。
またさらに一般化し、高速動作のために抵抗素子をN個とし、それぞれの抵抗素子にM個の入力回路の入力端を共通として接続するように拡張することも可能である。第1〜第Nの抵抗素子は、一端が外部入力端子PADに接続される。また、第1〜第N×Mの入力回路において、第K(Kは、1〜Nの自然数)、第K+N、・・・第K+N(M−1)の入力回路は、入力端を共通とし、第Kの抵抗素子の他端に接続され、供給されるクロック信号のレベル遷移に応じて活性化して外部入力端子に印加される入力信号を取り込む。クロック信号の周期をTとする場合、第L(Lは、1〜N×Mの整数)の入力回路には、L×T/(N×M)の時間の位相ずれを持ったクロック信号が供給されるようにする。このような構成において、第K、第K+N、・・・第K+N(M−1)の入力回路のクロック信号は、それぞれT/Mの時間の位相ずれを持ち、1つの抵抗素子を全ての入力回路で共用する場合に対し、クロックエッジの間隔のN倍にすることができる。
図6は、本発明の第5の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。図6において、半導体装置は、外部入力端子となるパッドPADと、抵抗素子R1、R2、R3、R4と、入力回路10、11、12、13と、出力回路20とを備える。第5の実施例に係る半導体装置は、第1の実施例に係る半導体装置に対し、出力回路20を付加した点が異なる。パッドPADと、抵抗素子R1、R2、R3、R4と、入力回路10、11、12、13は、図1と同じものであり、その説明を省略する。出力回路20は、トランジスタTRを含み、トランジスタTRをオンオフすることで、パッドPADに対して出力信号を送出する。トランジスタTRは、半導体装置の動作時には出力トランジスタとして機能し、電源未投入時には、図7に示したトランジスタQ100と同じように放電保護素子として機能する。このように、図6の半導体装置は、パッドPADをI/O端子とし、出力回路20のトランジスタTRを入力保護素子としても機能させることができる。なお、出力回路20は、実施例1のみならず、実施例2、3、4に対しても同様に適用できることは言うまでもない。
本発明の第1の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第1の実施例に係る半導体装置におけるデータ入力のタイミングチャートである。 本発明の第2の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第3の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第4の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第5の実施例に係る半導体装置の構成を示すブロック図である。 入力回路の構成例を示す回路図である。 従来における一つの外部入力端子に複数の入力回路を接続した半導体装置の構成を示すブロック図である。 従来の半導体装置の入力段における等価回路である。 従来の半導体装置の入力段における各部の波形を表す図である。 本発明の第2の実施例に係る半導体装置の入力段における等価回路である。 本発明の第2の実施例に係る半導体装置の入力段における各部の波形を表す図である。
符号の説明
10、11、12、13、14、15、16、17 入力回路
20 出力回路
PAD パッド
R1、R2、R3、R4、R10、R11、R12、R13、R14、R21、R22、R31、R32、R33、R34 抵抗素子
TR トランジスタ

Claims (9)

  1. 外部入力端子と、
    前記外部入力端子に一端が接続される保護抵抗素子と、
    前記保護抵抗素子の他端にそれぞれの一端が接続される複数の抵抗素子と、
    前記複数の抵抗素子のそれぞれの他端にそれぞれ接続される複数の入力回路とを備え、
    前記入力回路は、供給されるクロック信号のレベル遷移に応じて前記外部入力端子に入力される信号を取り込む回路であることを特徴とする半導体装置。
  2. それぞれの前記入力回路には、それぞれ位相の異なる前記クロック信号が供給されることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  3. 外部入力端子と、
    前記外部入力端子に一端が接続される第1〜第N(Nは、2以上の自然数)の抵抗素子と、
    第1〜第N×M(Mは、以上の自然数)の入力回路とを備え、
    前記第K(Kは、1〜Nの自然数)、第K+N、・・第K+N(M−1)の入力回路は、入力端を共通とし、前記第Kの抵抗素子の他端に接続され、供給されるクロック信号のレベル遷移に応じて前記外部入力端子に入力される信号を取り込む回路であって、クロック信号の周期をTとする場合、前記第L(Lは、1〜N×M−1の整数)の入力回路には、前記第N×Mの入力回路に供給されるクロック信号に対し、L×T/(N×M)の時間の位相ずれを持ったクロック信号が供給されることを特徴とする半導体装置。
  4. 前記抵抗素子は、静電気放電に対する保護抵抗素子であることを特徴とする請求項記載の半導体装置。
  5. 前記抵抗素子は、前記外部入力端子に直接接続される代わりに、静電気放電に対する保護抵抗素子を介して前記外部入力端子に接続されることを特徴とする請求項記載の半導体装置。
  6. 前記保護抵抗素子の抵抗値をr1、前記抵抗素子の抵抗値をr2、r2=0とした場合のキックバックにより生じる波形のピーク値に対して前記抵抗素子を挿入した際のピーク値をk倍以下とする場合に、r2≧(2/k−1)*r1を満たすようにr2が設定されることを特徴とする請求項1または5に記載の半導体装置。
  7. 前記外部入力端子と接地間に静電気放電保護用のトランジスタのドレインとソースが接続されることを特徴とする請求項1〜のいずれか一に記載の半導体装置。
  8. 前記外部入力端子は、入出力端子であって、前記トランジスタは、出力回路の出力トランジスタであって、前記出力回路は、前記入出力端子に信号を出力するように構成されることを特徴とする請求項記載の半導体装置。
  9. 外部入力端子と、
    前記外部入力端子に一端が接続される抵抗値r1の保護抵抗素子と、
    前記保護抵抗素子の他端にそれぞれの一端が接続される抵抗値r2の複数の抵抗素子と、
    前記複数の抵抗素子のそれぞれの他端にそれぞれ接続される複数の入力回路とを備え、
    前記入力回路は、供給されるクロック信号のレベル遷移に応じて前記外部入力端子に入力される信号を取り込む回路であって、それぞれの前記入力回路には、それぞれ位相の異なる前記クロック信号が供給され、
    前記抵抗素子の抵抗値r2をr2=0とした場合のキックバックにより生じる波形のピーク値に対して前記抵抗素子を挿入した際のピーク値をk倍以下とする場合に、r2≧(2/k−1)*r1を満たすようにr2が設定されることを特徴とする半導体装置。
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