JP4269739B2 - 振動波モータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性体が断面略矩形の円環状をした振動波モータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の振動波モータは、圧電体の伸縮を利用して、弾性体の駆動面に進行性振動波を発生させ、この進行波によって、駆動面には楕円運動が生じ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子が駆動される(例えば、特許文献1)。
このような振動波モータは、低回転でも高トルクを有するという特徴があるため、駆動装置に搭載した場合に、その駆動装置のギアを省略することができるので、ギア騒音をなくしたり、位置決め精度が向上できるという利点がある。
振動性進行波を用いた振動波モータの振動子は、圧電体と弾性体とから構成されており、圧電体と弾性体とは接着剤等により強固に接着されている。圧電体は、その両表面にスクリーン印刷等により銀電極が施され、その電極面に駆動信号が印加されるようになっている。
【0003】
【特許文献1】
特公平1−17354号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述した振動波モータは、弾性体に発生する進行性振動波が、圧電体の励振により生じる二つの曲げ振動の定在波を合成することにより得られる。その定在波の曲げ振動は、圧電体への電圧印加による伸縮力を利用して発生させている(ユニモルフ効果)。このため、圧電体に印加する電極部分が少ない場合には、曲げを発生させる力が減少し、曲げ振動の励振が十分に行えない場合がある。
【0005】
また、駆動面側に溝を設けた弾性体は、その溝が設けられていない面に圧電体を接着等で接合する。圧電体に電圧を印加して、弾性体に曲げを発生させようとした場合に、曲げ変位の大きさを左右するのは、溝がない部分、いわゆるベース部の剛性である。このベース部は、その厚さが薄いほど、又は、その幅が狭いほど、剛性が小さく、圧電体から同じ曲げの力を与えられた場合には、曲げ変位が大きくなる。
【0006】
一方、圧電体に施された電極は、印刷ズレによるはみ出しが原因となる、表裏面でのショートを防止するために、通常は、外径端及び内径端よりも隙間を設けて印刷されるので、その分だけ、駆動信号が印加される部分が減少する。それに伴い、圧電体が弾性体に与える曲げようする力は減少し、曲げ振動の振幅の大きさが十分でない場合があった。その場合には、駆動力や駆動効率が十分得られないという問題が生じる。
【0007】
本発明の課題は、駆動力や駆動効率などの駆動性能を向上させることができる振動波モータを提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項1の発明は、駆動信号により励振される圧電体と、該圧電体に接合され、前記励振により駆動面に進行性振動波を生じる弾性体を有する振動体と、前記弾性体の駆動面に加圧接触され、前記進行性振動波によって駆動される移動子と、を備える振動波モータにおいて、前記弾性体が固定される固定部材を有し、前記弾性体は、前記圧電体が接合された円環状のベース部と、該ベース部の前記圧電体が接合される側に設けられ径方向に延出した延出部と、前記延出部から前記固定部材の方向に延出し、前記固定部材に固定されたフランジ部とを有し、前記圧電体の径方向の一端は、前記延出部に接合され、前記圧電体の径方向における幅を、前記ベース部の径方向における幅より大きくしたことを特徴とする振動波モータである。
請求項2の発明は、請求項1に記載の振動波モータにおいて、前記延出部は、前記弾性体の内径側に延出しており、前記圧電体の内径端は、前記延出部に接合されていること、を特徴とする振動波モータである。
【0009】
請求項3の発明は、請求項1または請求項2に記載の振動波モータにおいて、前記圧電体は、駆動信号を印加する電極部を有し、前記電極部の径方向における幅は、前記ベース部の径方向における幅よりも大きく、前記圧電体の径方向の幅より小さいこと、を特徴とする振動波モータである。
請求項4の発明は、請求項2に記載の振動波モータにおいて、前記圧電体は、駆動信号を印加する電極部を有し、前記電極部の内径端は、前記ベース部の内径端を加圧方向に投影した位置よりも内側にあり、かつ、前記圧電体の内径端よりも外側にあること、を特徴とする振動波モータである。
【0010】
請求項5の発明は、請求項3または請求項4に記載の振動波モータにおいて、前記電極部の径方向の幅は、前記弾性体の曲げ中心の径方向の幅よりも広いこと、を特徴とする振動波モータである。
請求項6の発明は、請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の振動波モータにおいて、前記圧電体は、前記弾性体が接合される側の面とその反対側の面に前記電極部を有すること、を特徴とする振動波モータである。
【0011】
請求項7の発明は、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の振動波モータにおいて、前記延出部は、前記圧電体を保持又は保護する部材であること、を特徴とする振動波モータである。
【0012】
請求項8の発明は、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の振動波モータにおいて、前記弾性体は、前記ベース部の前記圧電体が接合される面と反対側の面に複数の突起部を有し、前記移動子は、前記突起部の先端面に加圧接触されること、を特徴とする振動波モータである。
請求項9の発明は、請求項1に記載の振動波モータにおいて、前記圧電体は、駆動信号を印加する電極部を有し、前記ベース部の前記圧電体が接合される側は、前記ベース部の内径側及び外径側に延出した延出部を有し、前記圧電体の内径端は、内径側の前記延出部に接合され、かつ、前記圧電体の外径端は、外径側の前記延出部に接合され、前記電極部の外径端は、前記ベース部の外径端を加圧方向に投影した位置よりも内側にあり、かつ、前記圧電体の外径端よりも内側にあること、を特徴とする振動波モータである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる振動波モータの実施形態をあげて、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以降の実施形態は、振動波モータとして、超音波の振動域を利用した超音波モータを例にとって説明する。
(第一実施形態)
図1は、本発明の第一実施形態による超音波モータを説明する図である。
第一実施形態の超音波モータ10は、振動子11と、移動子(相対運動部材)14とを備え、振動子11側を固定とし、移動子14を駆動するようになっている。
【0014】
振動子11は、後述するように、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気機械変換素子(以下、圧電体と称する)12と、圧電体12を接合した弾性体13とから構成されている。振動体11には、進行波が発生するが、本実施形態では、一例として、4次の進行波として説明する。
【0015】
弾性体13は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、その形状は、断面略矩形の円環形状をしている。この弾性体13は、圧電体12が接合される反対面には、溝13aが設けられた振動拡大部が形成され、突起部(溝と溝の間)13bの先端面が駆動面となり、移動子14に加圧接触される。
溝13aを切る理由は、進行波の中立面をできる限り圧電体12側に近づけ、これにより、駆動面の進行波の振幅を増幅させるためである。溝13aの切っていない部分を、本実施形態では、ベース部13cと呼ぶ。圧電体12は、そのベース部13cの溝13a側とは反対面(接合面)に接合される。
【0016】
ベース部13cには、フランジ部13dが設けられ、その部分を用いて固定部材16に固定する。フランジ部13dは、圧電体12と接合する面よりやや駆動面側によった形態となっている。
【0017】
圧電体12は、円周方向に沿って2つの相(A相、B相)に分かれており、各相においては、1/2波長毎に、分極が交互となった要素が並べられていて、A相とB相の間には、1/4波長分の間隔が空くようにしてある(図3参照)。
【0018】
移動子14は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面の表面には、耐摩耗性向上のための表面処理が施されている。
【0019】
出力軸15は、移動子14に圧入され、移動子14と一体に回転するようにされている。出力軸15と固定部材16との間には、ベアリング17,17が設けられ、固定部材16に対して、出力軸15及び移動子14が回転可能となっている。
【0020】
加圧部材18は、2つのベアリング17,17間に設けられ、移動子14が振動体11の駆動面に加圧接触するようにされている。出力軸15には、Eクリップ等のストッパ19が設けられ、ベアリング17,17及び加圧部材18の軸方向の位置を決めている。
【0021】
図2は、第一実施形態による超音波モータの駆動制御装置を説明するブロック図である。まず、超音波モータの駆動制御部について説明する。
発振部21は、制御部26の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。移相部22は、発振器21で発生した駆動信号を90゜位相の異なる2つの駆動信号に分ける。増幅部23,24は、移相部22によって分けられた2つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。増幅部23,24からの駆動信号は、超音波モータ10に伝達され、この駆動信号の印加により振動体11に進行波が発生し、移動子14が駆動される。
【0022】
検出部25は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動子14の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出する。
制御部26は、CPUからの駆動指令を基に超音波モータ10の駆動を制御する。制御部26は、検出部25からの検出信号を受け、その値を基にして、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように、発振器21の周波数を制御する。
【0023】
本実施形態によれば、超音波モータの駆動制御装置は、以下のようにして動作する。
まず、制御部26に目標位置が伝達される。発振部21からは駆動信号が発生し、その信号は、移相部22により90゜位相の異なる2つの駆動信号に分割され、増幅部23,24により所望の電圧に増幅される。駆動信号は、超音波モータ10の圧電体12に印加され、圧電体12は励振され、その励振によって弾性13体には、9次の曲げ振動が発生する。
圧電体12は、A相とB相とに分けられており、駆動信号は、それぞれA相とB相に印加される。A相から発生する4次曲げ振動とB相から発生する4次曲げ振動とは、位置的な位相が1/4波長ずれるようになっており、また、A相駆動信号とB相駆動信号とは、90゜位相がずれているため、2つの曲げ振動は、合成され、9波の進行波となる。
【0024】
進行波の波頭には、楕円運動が生じている。従って、駆動面に加圧接触された移動子14は、この楕円運動によって摩擦的に駆動される。移動子14の駆動により駆動された駆動体(出力軸15)には、光学式エンコーダなどの検出部25が配置されていて、そこから、電気パルスが発生し、制御部26に伝達される。制御部26は、この信号を基にして、現在の位置と現在の速度を得ることが可能となり、これらの位置情報、速度情報及び目標位置情報を基にして、発振部21の駆動周波数が制御される。
【0025】
図3は、第一実施形態による超音波モータの圧電体及び圧電体表面に設けられた電極を説明する図である。
圧電体12の裏面(接合側)と、表面(非接合側)には、各面を覆うように銀メッキ等により電極12aが設けられていて、駆動信号が圧電体12の全体に印加されるようになっている。
しかし、電極12aの印刷ズレ対策、表裏電極のショート対策から、電極12aは外内径部から隙間δを持って印刷されている。このように、電極12aの幅が圧電体12の幅よりも小さい場合に、実際に駆動信号により曲げ振動が励起される部分は、電極12aの部分であるため、外内径からの隙間δの分、圧電体12が無駄になっていた。
【0026】
圧電体12に電圧を印加して、弾性体13に曲げを発生させようとした場合、曲げ変位の大きさを左右するのは、溝13aがない部分、いわゆるベース部13cの剛性である。このベース部13cの厚さが薄いほど、又は、幅が狭いほど、剛性が小さく、圧電体12から同じ曲げの力を与えた場合には、曲げ変位は大きくなる。圧電体12の幅と同じ幅の弾性体13のベース部13cに、圧電体12を接合した場合に、曲げたいベース部13cの幅よりも、圧電体12の電極12aの幅が狭いため、十分な曲げ変位が得られない場合があった。
【0027】
そこで、本実施形態では、フランジ部13dを境に、ベース部13cにベース部13cよりも大径の延出部13eを設け、十分に曲げがなされるようにした。つまり、図1に示すように、電極12aの幅をwとすると、電極12aの外径端は、弾性体13のベース部13cの外径端を加圧方向に投影した位置よりも外側にあり、その内径端は、ベース部13cの内径端を加圧方向に投影した位置よりも内側にある。そして、電極12aの径方向の幅wは、弾性体13の曲げ中心の径方向の幅よりも広くしてある。
フランジ部13dは、接合面側に寄っているため、ベース部13cの剛性は、くし歯側の幅に依存している。これにより、弾性体13は、十分な曲げ変位が得られ、それにより、十分な曲げ振動振幅が得られるようになり、駆動力や駆動効率等が向上し、性能向上が得られる。
【0028】
本実施形態では、弾性体13は、フランジ部13dの接合面側に段部が設けられ、その部分が、ベース部13cから外径及び内径側に延出した延出部13eとなっている。電極12aの外径端及び内径端は、延出部13eを加圧方向に投影した範囲にある。そして、この延出部13eは、圧電体12を保持又は保護する役割を果たしている。
【0029】
また、弾性体13は、圧電体12の接合面には、接着強度を上げるために、面を粗くする必要があり、その粗くする面積を必要なだけ確保するために、このような延出部13eを設けることが有効である。
なお、粗くする面積が広くてもいい場合には、圧電体12の接合面とフランジ部13dの下面とを同じ面にしてもよい。
【0030】
(第二実施形態)
図4は、第二実施形態による超音波モータを説明する図である。
第二実施形態の超音波モータ10−2は、フランジ部15より下のベース部13c、つまり、延出部13eの幅を、フランジ部15より上の幅よりも、内径側にのみ広げるようにした。他の構成は、第一実施形態と同じため、省略する。
【0031】
本実施形態では、外径側は、圧電体12の電極12aの隙間部がベース部13cと重なるが、内径側は、ベース部13cの内径側よりも内側に電極12aの内径が配置され、第一実施形態と同様な効果が生じる。
【0032】
(変形形態)
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
上記各実施形態に用いた超音波モータは、4波の進行性振動波であるが、他の波数の進行性振動波でも、圧電体の電極部の内径又は外径を弾性体のベース部よりも内側又は外側にするように配置することで、十分な曲げ変位が得られ、それにより、十分な曲げ振動振幅が得られるようになり、駆動力や駆動効率等が向上し、性能向上が得られる。
【0033】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、本発明によれば、電極部の外径端は、弾性体のベース部の外径端を加圧方向に投影した位置よりも外側にあり、及び/又は、その内径端は、ベース部の内径端を加圧方向に投影した位置よりも内側にあるので、十分な曲げ変位が得られ、それにより、十分な曲げ振動振幅が得られるようになり、駆動力や駆動効率等が向上し、性能向上が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態による超音波モータを説明する図である。
【図2】第一実施形態による超音波モータの駆動制御装置を説明するブロック図である。
【図3】第一実施形態による超音波モータの圧電体及び圧電体表面に設けられた電極を説明する図である。
【図4】第二実施形態による超音波モータを説明する図である。
【符号の説明】
10 超音波モータ
11 振動子
12 圧電体
13 弾性体
13a 溝
13b 突起部分
13c ベース部
14 移動子(相対運動部材)
15 出力軸
16 固定部材
17 ベアリング
18 加圧部材
19 ストッパ
20 駆動制御装置
21 発振部
22 移相部
23,24 増幅部
25 検出部
26 制御部
Claims (9)
- 駆動信号により励振される圧電体と、該圧電体に接合され、前記励振により駆動面に進行性振動波を生じる弾性体を有する振動体と、
前記弾性体の駆動面に加圧接触され、前記進行性振動波によって駆動される移動子と、
を備える振動波モータにおいて、
前記弾性体が固定される固定部材を有し、
前記弾性体は、前記圧電体が接合された円環状のベース部と、該ベース部の前記圧電体が接合される側に設けられ径方向に延出した延出部と、前記延出部から前記固定部材の方向に延出し、前記固定部材に固定されたフランジ部とを有し、
前記圧電体の径方向の一端は、前記延出部に接合され、
前記圧電体の径方向における幅を、前記ベース部の径方向における幅より大きくしたことを特徴とする振動波モータ。 - 請求項1に記載の振動波モータにおいて、
前記延出部は、前記弾性体の内径側に延出しており、前記圧電体の内径端は、前記延出部に接合されていること、
を特徴とする振動波モータ。 - 請求項1または請求項2に記載の振動波モータにおいて、
前記圧電体は、駆動信号を印加する電極部を有し、
前記電極部の径方向における幅は、前記ベース部の径方向における幅よりも大きく、前記圧電体の径方向の幅より小さいこと、
を特徴とする振動波モータ。 - 請求項2に記載の振動波モータにおいて、
前記圧電体は、駆動信号を印加する電極部を有し、
前記電極部の内径端は、前記ベース部の内径端を加圧方向に投影した位置よりも内側にあり、かつ、前記圧電体の内径端よりも外側にあること、
を特徴とする振動波モータ。 - 請求項3または請求項4に記載の振動波モータにおいて、
前記電極部の径方向の幅は、前記弾性体の曲げ中心の径方向の幅よりも広いこと、
を特徴とする振動波モータ。 - 請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の振動波モータにおいて、
前記圧電体は、前記弾性体が接合される側の面とその反対側の面に前記電極部を有すること、
を特徴とする振動波モータ。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の振動波モータにおいて、
前記延出部は、前記圧電体を保持又は保護する部材であること、
を特徴とする振動波モータ。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の振動波モータにおいて、
前記弾性体は、前記ベース部の前記圧電体が接合される面と反対側の面に複数の突起部を有し、前記移動子は、前記突起部の先端面に加圧接触されること、
を特徴とする振動波モータ。 - 請求項1に記載の振動波モータにおいて、
前記圧電体は、駆動信号を印加する電極部を有し、
前記ベース部の前記圧電体が接合される側は、前記ベース部の内径側及び外径側に延出した延出部を有し、
前記圧電体の内径端は、内径側の前記延出部に接合され、かつ、前記圧電体の外径端は、外径側の前記延出部に接合され、
前記電極部の外径端は、前記ベース部の外径端を加圧方向に投影した位置よりも内側にあり、かつ、前記圧電体の外径端よりも内側にあること、
を特徴とする振動波モータ。
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